JPH03107774A - インサーキットテスト用治具 - Google Patents
インサーキットテスト用治具Info
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- JPH03107774A JPH03107774A JP1246063A JP24606389A JPH03107774A JP H03107774 A JPH03107774 A JP H03107774A JP 1246063 A JP1246063 A JP 1246063A JP 24606389 A JP24606389 A JP 24606389A JP H03107774 A JPH03107774 A JP H03107774A
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Links
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Landscapes
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
インサーキットテスト用治具に関し、
被検査基板の上面の回路密度に関係なく被検査基板を十
分に下側可動板側に押し寄せられるようにすることを目
的とし、 下側可動板の上側にストッパーゴムを介して被検査基板
を載置し、真空吸着により被検査基板を下側可動板に引
き寄せて下側可動板に保持されたプローブと被検査基板
とのフィクスチュアをとるように構成したインサーキッ
トテスト用治具において、下側可動板側に真空吸引され
た被検査基板を上面側から加圧空気で押圧する加圧装置
を設けた構成とした。
分に下側可動板側に押し寄せられるようにすることを目
的とし、 下側可動板の上側にストッパーゴムを介して被検査基板
を載置し、真空吸着により被検査基板を下側可動板に引
き寄せて下側可動板に保持されたプローブと被検査基板
とのフィクスチュアをとるように構成したインサーキッ
トテスト用治具において、下側可動板側に真空吸引され
た被検査基板を上面側から加圧空気で押圧する加圧装置
を設けた構成とした。
本発明は、インサーキットテスト用治具に関するもので
ある。
ある。
実装基板の製造において、不良品発生率を低減させるた
めには、単に完成した実装基板の動作の良否を判定する
だけでは不十分であり、どの部品に故障が発生している
かを分析し、製造段階にその情報をフィードバックし、
製造段階でその故障原因を除去することが有効である。
めには、単に完成した実装基板の動作の良否を判定する
だけでは不十分であり、どの部品に故障が発生している
かを分析し、製造段階にその情報をフィードバックし、
製造段階でその故障原因を除去することが有効である。
このような故障原因の追求には、実装基板上の個々の部
品を周辺の素子からの影響をなくして1つずつ試験する
インサーキットテスターが使用される。インサーキット
テスターでは、実装基板の検査対象の各部品の入力側端
子と出力側端子にプローブビンを当て、規定の入力に対
して規定の出力が現れるか否かを判定するようになって
いる。
品を周辺の素子からの影響をなくして1つずつ試験する
インサーキットテスターが使用される。インサーキット
テスターでは、実装基板の検査対象の各部品の入力側端
子と出力側端子にプローブビンを当て、規定の入力に対
して規定の出力が現れるか否かを判定するようになって
いる。
この治具は、例えば第3図に示すように、固定板1の上
面に形成した凹入部2内にバネ3を介して下側可動vi
4を昇降可能に挿入し、この下側可動板4上にストッパ
ーゴム5を介して被検査基板6をR置するように構成さ
れている。被検査基板6は下側可動板4に植設された基
準ビン7によってストッパーゴム5上で所定の位置に位
置決めされる。被検査基板6をストッパーゴム5上に位
置決めして載置した後、上方から上側可動板8が被せら
れ、上・下両側可動板8・4間のストッパゴム5及び被
検査基板6の周囲の空間9が内外両側のシーリングゴム
10・11によって密封される。
面に形成した凹入部2内にバネ3を介して下側可動vi
4を昇降可能に挿入し、この下側可動板4上にストッパ
ーゴム5を介して被検査基板6をR置するように構成さ
れている。被検査基板6は下側可動板4に植設された基
準ビン7によってストッパーゴム5上で所定の位置に位
置決めされる。被検査基板6をストッパーゴム5上に位
置決めして載置した後、上方から上側可動板8が被せら
れ、上・下両側可動板8・4間のストッパゴム5及び被
検査基板6の周囲の空間9が内外両側のシーリングゴム
10・11によって密封される。
上記下側可動板4と凹入部2の横周面との間は別のシー
リングゴム12によって密封される。凹入部2の下側可
動板4により密封された空間13を固定板Iを貫通する
真空通路工4を介して真空源に連通させ、該真空装置に
よって空間13を真空引きすることにより下側可動板4
はガイドボスト15を案内として、バネ3に抗して下方
に引き寄せられる。固定板1と下側可動板4の間には上
面に通気溝16を有するストッパーゴム17を介在させ
てあり、該通気溝16は下側可動板4とストッパーゴム
5とにわたって形成した多数のプローブ挿通孔19に連
通させである。このプローブ挿通孔19の上端開口はス
トッパーゴム5上に位置決めして載置された被検査基板
6で覆われ、したがって、空間13を真空引きするに伴
って被検査基板6は下側可動板4側に吸引され、ストン
バーゴム5は圧縮されることになる。各プローブ挿通孔
19にはそれよりも小径のプローブ22が上向きに配設
され、各プローブ22は、第4図に示すように、固定板
1に固定されるプローブソケット23と、これに内蔵さ
れたバネ24と、バネ24を介してプローブソケット2
3に昇降可能に支持されたプローブビン25とを備え、
空間13の真空引きにより下側可動板4に伴って下方に
引き寄せられたストッパーゴム5に真空吸引により固定
された被検査基板6がプローブビン25を所定量以上プ
ローブソケット23内に押し込めることにより、被検査
基板6と検査システム回路とのフィクスチュアが得られ
るようになっている。
リングゴム12によって密封される。凹入部2の下側可
動板4により密封された空間13を固定板Iを貫通する
真空通路工4を介して真空源に連通させ、該真空装置に
よって空間13を真空引きすることにより下側可動板4
はガイドボスト15を案内として、バネ3に抗して下方
に引き寄せられる。固定板1と下側可動板4の間には上
面に通気溝16を有するストッパーゴム17を介在させ
てあり、該通気溝16は下側可動板4とストッパーゴム
5とにわたって形成した多数のプローブ挿通孔19に連
通させである。このプローブ挿通孔19の上端開口はス
トッパーゴム5上に位置決めして載置された被検査基板
6で覆われ、したがって、空間13を真空引きするに伴
って被検査基板6は下側可動板4側に吸引され、ストン
バーゴム5は圧縮されることになる。各プローブ挿通孔
19にはそれよりも小径のプローブ22が上向きに配設
され、各プローブ22は、第4図に示すように、固定板
1に固定されるプローブソケット23と、これに内蔵さ
れたバネ24と、バネ24を介してプローブソケット2
3に昇降可能に支持されたプローブビン25とを備え、
空間13の真空引きにより下側可動板4に伴って下方に
引き寄せられたストッパーゴム5に真空吸引により固定
された被検査基板6がプローブビン25を所定量以上プ
ローブソケット23内に押し込めることにより、被検査
基板6と検査システム回路とのフィクスチュアが得られ
るようになっている。
また、下側可動板4には、上下両側可動板4・8と内外
二重のシーリングゴム10・11によって区画される空
間32と、上記空間13とを連通させる連通孔18が形
成される。したがって、空間13を真空引きすることに
伴い、上記空間32も真空引きされ、上側可動板8が下
側可動板4側に引き寄せられることになる。上側可動板
8にも必要に応じてプローブ22を下向きに保持させて
あり、このプローブ22は上側可動板8を下側可動板4
側にストッパー21に受は止められるまで吸引すること
により、プローブビン25を所定量以上プローブソケッ
ト23内に押し込んで被検査基板6と検査システム回路
とのフィクスチュアを得るように構成している。なお、
例えば1辺の長さが10〜15c!11程度の比較的小
面積の被検査基板6を検査する場合は、上記空間32を
空間13に連通させずに、上記被検査基板6を迂回して
空間9を空間13に連通させる微小な連通路を下側可動
板に形成し、空間13の真空引きに伴って空間9が真空
引きされるように構成しても同様に被検査基板6と検査
システム回路とのフィクスチュアを得ることが可能であ
るゆ 上記プローブ22は、プローブビン25をバネ24に抗
してプローブソケット23内に例えばその進退ストロー
クの3分の1以上押し込んだときにフィクスチュアがと
られ、インターフェースとして機能するように構成され
ている。従って、例えば下側可動板4に配置されるプロ
ーブ22の数が上側可動板8に配置されるプローブ22
の数に比べて多くなると、下側のプローブ22のバネ2
4の合計圧力が上側のプローブ22のバネ24の合計圧
力よりも強くなり、被検査基板6が空間9内で高く持ち
上げられ、下側のプローブ22のフィクスチュアが得ら
れなくなることがある。また、プローブ22が被検査基
板6の片側に集中して分布されていると、被検査基板6
が傾斜して、プローブ22が集中している側で被検査法
板6が下側可動板4から高く位置し、そこに集中された
プローブ22のフィクスチュアが得られなくなることが
ある。
二重のシーリングゴム10・11によって区画される空
間32と、上記空間13とを連通させる連通孔18が形
成される。したがって、空間13を真空引きすることに
伴い、上記空間32も真空引きされ、上側可動板8が下
側可動板4側に引き寄せられることになる。上側可動板
8にも必要に応じてプローブ22を下向きに保持させて
あり、このプローブ22は上側可動板8を下側可動板4
側にストッパー21に受は止められるまで吸引すること
により、プローブビン25を所定量以上プローブソケッ
ト23内に押し込んで被検査基板6と検査システム回路
とのフィクスチュアを得るように構成している。なお、
例えば1辺の長さが10〜15c!11程度の比較的小
面積の被検査基板6を検査する場合は、上記空間32を
空間13に連通させずに、上記被検査基板6を迂回して
空間9を空間13に連通させる微小な連通路を下側可動
板に形成し、空間13の真空引きに伴って空間9が真空
引きされるように構成しても同様に被検査基板6と検査
システム回路とのフィクスチュアを得ることが可能であ
るゆ 上記プローブ22は、プローブビン25をバネ24に抗
してプローブソケット23内に例えばその進退ストロー
クの3分の1以上押し込んだときにフィクスチュアがと
られ、インターフェースとして機能するように構成され
ている。従って、例えば下側可動板4に配置されるプロ
ーブ22の数が上側可動板8に配置されるプローブ22
の数に比べて多くなると、下側のプローブ22のバネ2
4の合計圧力が上側のプローブ22のバネ24の合計圧
力よりも強くなり、被検査基板6が空間9内で高く持ち
上げられ、下側のプローブ22のフィクスチュアが得ら
れなくなることがある。また、プローブ22が被検査基
板6の片側に集中して分布されていると、被検査基板6
が傾斜して、プローブ22が集中している側で被検査法
板6が下側可動板4から高く位置し、そこに集中された
プローブ22のフィクスチュアが得られなくなることが
ある。
そこで、従来のインサーキットテスト用治具においては
、第3図に示すように、上側可動板8の下面に例えはプ
ラスチックで作られた押し棒26を固定し、下側可動板
4側に真空吸引された被検査基板6を上側から押さえて
、下側のプローブ22のフィクスチュアを確実に得るよ
うに構成しである。
、第3図に示すように、上側可動板8の下面に例えはプ
ラスチックで作られた押し棒26を固定し、下側可動板
4側に真空吸引された被検査基板6を上側から押さえて
、下側のプローブ22のフィクスチュアを確実に得るよ
うに構成しである。
しかしながら、部品実装密度の高密度化を一層進めよう
とすると、被検査基板6の上面側の布線や実装部品の傷
損を避けるため、配線パターンや実装部品の配置によっ
て押し棒26を設置できる箇所が一層狭く制限され、押
し棒26の設置数が減少する上、押し棒26の太さを非
常に細くする必要が生じてくる。その結果、押し捧26
の強度が不足して被検査基板6を十分に下側可動板4側
に押さえ付けることができず、下側のプローブ22のフ
ィクスチュアを確保できなくなるおそれが生じる。
とすると、被検査基板6の上面側の布線や実装部品の傷
損を避けるため、配線パターンや実装部品の配置によっ
て押し棒26を設置できる箇所が一層狭く制限され、押
し棒26の設置数が減少する上、押し棒26の太さを非
常に細くする必要が生じてくる。その結果、押し捧26
の強度が不足して被検査基板6を十分に下側可動板4側
に押さえ付けることができず、下側のプローブ22のフ
ィクスチュアを確保できなくなるおそれが生じる。
本発明は、上記の事情を考慮してなされたものであって
、被検査基板6の上面の回路密度に関係なく被検査基板
6を十分に下側プレート(下側可動板)4側に引き寄せ
られるようにしたインサーキットテスト用治具を提供す
ることを目的とするものである。
、被検査基板6の上面の回路密度に関係なく被検査基板
6を十分に下側プレート(下側可動板)4側に引き寄せ
られるようにしたインサーキットテスト用治具を提供す
ることを目的とするものである。
本発明は、例えば第1図に示すように、下側可動板4の
上側にストッパーゴム5を介して被検査基板6を載置し
、真空吸着により被検査基板6を下側可動板4側に引き
寄せて下側のプローブ22と被検査基板6とのフィクス
チュアをとるように構成したインサーキットテスト用治
具を前提とするものであって、上記の目的を達成するた
め、下側可動板4側に真空吸引された被検査基板6を上
面側から加圧空気で押圧する加圧装置27を設ける。
上側にストッパーゴム5を介して被検査基板6を載置し
、真空吸着により被検査基板6を下側可動板4側に引き
寄せて下側のプローブ22と被検査基板6とのフィクス
チュアをとるように構成したインサーキットテスト用治
具を前提とするものであって、上記の目的を達成するた
め、下側可動板4側に真空吸引された被検査基板6を上
面側から加圧空気で押圧する加圧装置27を設ける。
本発明の加圧装置27は、下側可動板4側に真空吸引さ
れた被検査基vi6を上面側から加圧空気で押圧できる
ように構成してあればよく、例えば、ニアコンプレッサ
等の加圧空気源28と、この加圧空気源28から被検査
基板6を取り囲む空間9に加圧空気を導く加圧空気供給
路29と、加圧空気供給路29を開閉するストップ弁3
0で構成することができる。
れた被検査基vi6を上面側から加圧空気で押圧できる
ように構成してあればよく、例えば、ニアコンプレッサ
等の加圧空気源28と、この加圧空気源28から被検査
基板6を取り囲む空間9に加圧空気を導く加圧空気供給
路29と、加圧空気供給路29を開閉するストップ弁3
0で構成することができる。
本発明においては、下側可動板4側に真空吸引された被
検査基板6を加圧装置27の加圧空気で上面側から押圧
することにより、被検査基板6をその下面に作用する真
空吸引力と、その上面に作用する空気圧とにより下側可
動板4側に押さえ付けることができ、下面側のプローブ
ピン25を押し上げるバネ24を十分に圧縮して下面側
のプローブビン25を所定量以上プローブソケット23
内に押し下げ、そのインターフェース機能を確保するこ
とができる。そして、被検査基板6を空気圧によって上
側から押さえるので、被検査基板6の上面に作用する力
が被検査基板6の全体に均等に分散され、被検査基板6
の上面に配線パターンや実装部品を傷損させるような応
力集中が生じるおそれはなくなる。
検査基板6を加圧装置27の加圧空気で上面側から押圧
することにより、被検査基板6をその下面に作用する真
空吸引力と、その上面に作用する空気圧とにより下側可
動板4側に押さえ付けることができ、下面側のプローブ
ピン25を押し上げるバネ24を十分に圧縮して下面側
のプローブビン25を所定量以上プローブソケット23
内に押し下げ、そのインターフェース機能を確保するこ
とができる。そして、被検査基板6を空気圧によって上
側から押さえるので、被検査基板6の上面に作用する力
が被検査基板6の全体に均等に分散され、被検査基板6
の上面に配線パターンや実装部品を傷損させるような応
力集中が生じるおそれはなくなる。
以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。
第1図は本発明の一実施例に係るインサーキットテスト
用治具の構成を示す模式図であり、第2図は第1図A−
A線横断平面図である。これらの図面において、第3図
に示す従来例の各部分に対応する部分には第3図と同じ
符号と名称とを付しである。また、これら従来例と対応
する各部分の構成及び作用は従来例のそれと同じである
ので、重複をさせるためその説明は省略する。
用治具の構成を示す模式図であり、第2図は第1図A−
A線横断平面図である。これらの図面において、第3図
に示す従来例の各部分に対応する部分には第3図と同じ
符号と名称とを付しである。また、これら従来例と対応
する各部分の構成及び作用は従来例のそれと同じである
ので、重複をさせるためその説明は省略する。
このインサーキットテスト用治具が、従来例と異なるの
は、押し棒26を使用せずに加圧空気で被検査基板6を
ストッパーゴム5に押さえ付ける点である。
は、押し棒26を使用せずに加圧空気で被検査基板6を
ストッパーゴム5に押さえ付ける点である。
すなわち、このインサーキットテスト用治具では、第1
図に示すように、上・下側側可動板8・4及び内側のシ
ーリングゴム10によって区画される空間9に加圧空気
を供給して、被検査基板6をストッパーゴム5に押さえ
付ける加圧装置27が設けられる。
図に示すように、上・下側側可動板8・4及び内側のシ
ーリングゴム10によって区画される空間9に加圧空気
を供給して、被検査基板6をストッパーゴム5に押さえ
付ける加圧装置27が設けられる。
この加圧装置27は、エアフィルタ31を介して吸入し
た空気を加圧するニアコンプレッサからなる加圧空気源
28と、加圧空気源28から上記空間9に加圧空気を導
入する加圧空気供給路29と、この加圧空気供給路29
を開閉する電磁操作式のストップ弁30とを備えている
。
た空気を加圧するニアコンプレッサからなる加圧空気源
28と、加圧空気源28から上記空間9に加圧空気を導
入する加圧空気供給路29と、この加圧空気供給路29
を開閉する電磁操作式のストップ弁30とを備えている
。
このインサーキットテスト用治具においては、上・下側
可動板8・4を上下に開き、被検査基板6をストッパー
ゴム5上に位置決めして載置した後、上・下側側可動板
8・4の間隔を狭めてストッパーゴム5及び被検査基板
6を取り囲む空間9をシーリングゴム10・11によっ
て密封し、固定板1と下側可動板4とによって区画され
た空間13に真空源を接続すると、下側可動板4が真空
吸引されて所定の高さまで下降し、また、被検査基板6
と上側可動板8とが下側可動板4側に真空吸引されて下
降する。更に、ストッパーゴム5及び被検査基板6を取
り囲む空間9に加圧空気源28から加圧空気を供給する
ことにより、被検査基板6は上側から加圧空気の圧力で
下側可動板4側に押圧される。これにより、被検査基板
6が下側のプローブ22のプローブピン25を所定量以
上プローブソケット23に押し込み被検査基板6の下面
と検査システム回路とのフィクスチュアが得られる。な
お、上側可動板8は、空間9に供給された加圧空気によ
って上方に付勢されるが、内側のシーリングゴム10を
隔てて空間9を取り囲む空間32を真空引きすることに
より、ストッパー21に受は止められる位置に保持する
ことができる。従って、被検査基板6に受は止められた
上側のプローブ22のプローブピン25は所定量以上プ
ローブソケット23内に押し込められ、被検査基板6の
上面と検査システム回路とのフィクスチュアが得られる
。このように、被検査基板6を下側可動板4側に押圧す
るのに加圧空気の圧力を使用すると、被検査基板6の上
面にはその押圧力が全面にわたって均等に作用し、被検
査基板6の上面の配線パターンや実装部品を傷損させる
ような集中加重が作用する恐れはなくなる。したがって
、被検査基板6の上面の回路密度や部品実装密度がどの
ように高密度化されても配線パターンや実装部品を傷損
することなく被検査基板6を十分に下側可動板4側に押
しさげることができ、下側のプローブ22による被検査
基板6と検査システム回路とのフィクスチュアを確実に
とることができる。
可動板8・4を上下に開き、被検査基板6をストッパー
ゴム5上に位置決めして載置した後、上・下側側可動板
8・4の間隔を狭めてストッパーゴム5及び被検査基板
6を取り囲む空間9をシーリングゴム10・11によっ
て密封し、固定板1と下側可動板4とによって区画され
た空間13に真空源を接続すると、下側可動板4が真空
吸引されて所定の高さまで下降し、また、被検査基板6
と上側可動板8とが下側可動板4側に真空吸引されて下
降する。更に、ストッパーゴム5及び被検査基板6を取
り囲む空間9に加圧空気源28から加圧空気を供給する
ことにより、被検査基板6は上側から加圧空気の圧力で
下側可動板4側に押圧される。これにより、被検査基板
6が下側のプローブ22のプローブピン25を所定量以
上プローブソケット23に押し込み被検査基板6の下面
と検査システム回路とのフィクスチュアが得られる。な
お、上側可動板8は、空間9に供給された加圧空気によ
って上方に付勢されるが、内側のシーリングゴム10を
隔てて空間9を取り囲む空間32を真空引きすることに
より、ストッパー21に受は止められる位置に保持する
ことができる。従って、被検査基板6に受は止められた
上側のプローブ22のプローブピン25は所定量以上プ
ローブソケット23内に押し込められ、被検査基板6の
上面と検査システム回路とのフィクスチュアが得られる
。このように、被検査基板6を下側可動板4側に押圧す
るのに加圧空気の圧力を使用すると、被検査基板6の上
面にはその押圧力が全面にわたって均等に作用し、被検
査基板6の上面の配線パターンや実装部品を傷損させる
ような集中加重が作用する恐れはなくなる。したがって
、被検査基板6の上面の回路密度や部品実装密度がどの
ように高密度化されても配線パターンや実装部品を傷損
することなく被検査基板6を十分に下側可動板4側に押
しさげることができ、下側のプローブ22による被検査
基板6と検査システム回路とのフィクスチュアを確実に
とることができる。
また、被検査基板6を加圧空気の圧力で押さえるので、
被検査基板6を改造する場合に治具の押し棒26を避け
るように配線パターンのルート指示をする必要がなく、
配線パターンや実装部品の配置の改造の自由度が高めら
れ、更に、改造された被検査基板6の検査に対して、同
じ治具のプローブ22の配置を変更するだけで対応でき
る。
被検査基板6を改造する場合に治具の押し棒26を避け
るように配線パターンのルート指示をする必要がなく、
配線パターンや実装部品の配置の改造の自由度が高めら
れ、更に、改造された被検査基板6の検査に対して、同
じ治具のプローブ22の配置を変更するだけで対応でき
る。
なお、上記の実施例では、加圧空気の圧力による上側可
動板8の浮き上がりが上側可動板8の自重で押さえられ
るように構成しであるが、プローブ22の数が多くなり
、より高圧の加圧空気で被検査基板6を押さえる必要が
ある場合には、必要に応じて、上側可動板8をストッパ
ー21に受は止められる位置にロックする電磁ロックあ
るいはメカルカルロツタを設けて加圧空気の圧力による
上側可動板8の浮き上がりを防止すればよい。
動板8の浮き上がりが上側可動板8の自重で押さえられ
るように構成しであるが、プローブ22の数が多くなり
、より高圧の加圧空気で被検査基板6を押さえる必要が
ある場合には、必要に応じて、上側可動板8をストッパ
ー21に受は止められる位置にロックする電磁ロックあ
るいはメカルカルロツタを設けて加圧空気の圧力による
上側可動板8の浮き上がりを防止すればよい。
以上のように、本発明によれば、下側可動板側に真空吸
引された被検査基板を加圧空気で下側可動板側に押圧す
るので、被検査基板の上面に配線パターンや実装部品の
傷損を招くような集中応力が作用せず、被検査基板の上
面の回路密度にかかわりなく、被検査基板の配線パター
ンや実装部品を傷損させずに被検査基板を下側可動板側
に押圧することができる。したがって、回路密度がより
高密度になり押し棒を配置できない場合にも、加圧空気
の圧力で被検査基板を介して下側のプローブのプローブ
ビンを十分に押し下げて被検査基板と検査システム回路
とのフィクスチュアを確保でき、信頬性の高いインサー
キットテストを行うことができる。
引された被検査基板を加圧空気で下側可動板側に押圧す
るので、被検査基板の上面に配線パターンや実装部品の
傷損を招くような集中応力が作用せず、被検査基板の上
面の回路密度にかかわりなく、被検査基板の配線パター
ンや実装部品を傷損させずに被検査基板を下側可動板側
に押圧することができる。したがって、回路密度がより
高密度になり押し棒を配置できない場合にも、加圧空気
の圧力で被検査基板を介して下側のプローブのプローブ
ビンを十分に押し下げて被検査基板と検査システム回路
とのフィクスチュアを確保でき、信頬性の高いインサー
キットテストを行うことができる。
また、布線改造や実装部品の配置の改造に対しても、布
線のルート指示が不要になり、改造の自由度が高められ
るとともに、基板の回路構成の改造に対応する治具の改
造もプローブの配置を改造するだけの簡単な改造で済む
。
線のルート指示が不要になり、改造の自由度が高められ
るとともに、基板の回路構成の改造に対応する治具の改
造もプローブの配置を改造するだけの簡単な改造で済む
。
第1図は本発明の一実施例に係るインサーキットテスト
用治具の構成を示す模式図、第2図は第1図A−A線横
断平面図、第3図は従来のインサーキットテスト用治具
の構成を示す模式図、第4図はプローブの縦断面図であ
る。 図中、 4・・・下側可動板、 5・・・ストッパーゴム、6・
・・被検査基板、22・・・プローブ、27・・・加圧
装置。
用治具の構成を示す模式図、第2図は第1図A−A線横
断平面図、第3図は従来のインサーキットテスト用治具
の構成を示す模式図、第4図はプローブの縦断面図であ
る。 図中、 4・・・下側可動板、 5・・・ストッパーゴム、6・
・・被検査基板、22・・・プローブ、27・・・加圧
装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 〔1〕下側可動板(4)の上側にストッパーゴム(5)
を介して被検査基板(6)を載置し、真空吸着により被
検査基板(6)を下側可動板(4)に引き寄せて下側可
動板(4)に保持されたプローブ(22)と被検査基板
(6)とのフィクスチュアをとるように構成したインサ
ーキットテスト用治具において、下側プレート(4)側
に真空吸引された被検査基板(6)を上面側から加圧空
気で押圧する加圧装置(27)を設けたことを特徴とす
る、インサーキットテスト用治具
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1246063A JPH03107774A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | インサーキットテスト用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1246063A JPH03107774A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | インサーキットテスト用治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03107774A true JPH03107774A (ja) | 1991-05-08 |
Family
ID=17142920
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1246063A Pending JPH03107774A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | インサーキットテスト用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03107774A (ja) |
-
1989
- 1989-09-20 JP JP1246063A patent/JPH03107774A/ja active Pending
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