JPH03107774A - インサーキットテスト用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 インサーキットテスト用治具に関し、 被検査基板の上面の回路密度に関係なく被検査基板を十
分に下側可動板側に押し寄せられるようにすることを目
的とし、 下側可動板の上側にストッパーゴムを介して被検査基板
を載置し、真空吸着により被検査基板を下側可動板に引
き寄せて下側可動板に保持されたプローブと被検査基板
とのフィクスチュアをとるように構成したインサーキッ
トテスト用治具において、下側可動板側に真空吸引され
た被検査基板を上面側から加圧空気で押圧する加圧装置
を設けた構成とした。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、インサーキットテスト用治具に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

実装基板の製造において、不良品発生率を低減させるた
めには、単に完成した実装基板の動作の良否を判定する
だけでは不十分であり、どの部品に故障が発生している
かを分析し、製造段階にその情報をフィードバックし、
製造段階でその故障原因を除去することが有効である。

このような故障原因の追求には、実装基板上の個々の部
品を周辺の素子からの影響をなくして１つずつ試験する
インサーキットテスターが使用される。インサーキット
テスターでは、実装基板の検査対象の各部品の入力側端
子と出力側端子にプローブビンを当て、規定の入力に対
して規定の出力が現れるか否かを判定するようになって
いる。

この治具は、例えば第３図に示すように、固定板１の上
面に形成した凹入部２内にバネ３を介して下側可動ｖｉ
４を昇降可能に挿入し、この下側可動板４上にストッパ
ーゴム５を介して被検査基板６をＲ置するように構成さ
れている。被検査基板６は下側可動板４に植設された基
準ビン７によってストッパーゴム５上で所定の位置に位
置決めされる。被検査基板６をストッパーゴム５上に位
置決めして載置した後、上方から上側可動板８が被せら
れ、上・下両側可動板８・４間のストッパゴム５及び被
検査基板６の周囲の空間９が内外両側のシーリングゴム
１０・１１によって密封される。

上記下側可動板４と凹入部２の横周面との間は別のシー
リングゴム１２によって密封される。凹入部２の下側可
動板４により密封された空間１３を固定板Ｉを貫通する
真空通路工４を介して真空源に連通させ、該真空装置に
よって空間１３を真空引きすることにより下側可動板４
はガイドボスト１５を案内として、バネ３に抗して下方
に引き寄せられる。固定板１と下側可動板４の間には上
面に通気溝１６を有するストッパーゴム１７を介在させ
てあり、該通気溝１６は下側可動板４とストッパーゴム
５とにわたって形成した多数のプローブ挿通孔１９に連
通させである。このプローブ挿通孔１９の上端開口はス
トッパーゴム５上に位置決めして載置された被検査基板
６で覆われ、したがって、空間１３を真空引きするに伴
って被検査基板６は下側可動板４側に吸引され、ストン
バーゴム５は圧縮されることになる。各プローブ挿通孔
１９にはそれよりも小径のプローブ２２が上向きに配設
され、各プローブ２２は、第４図に示すように、固定板
１に固定されるプローブソケット２３と、これに内蔵さ
れたバネ２４と、バネ２４を介してプローブソケット２
３に昇降可能に支持されたプローブビン２５とを備え、
空間１３の真空引きにより下側可動板４に伴って下方に
引き寄せられたストッパーゴム５に真空吸引により固定
された被検査基板６がプローブビン２５を所定量以上プ
ローブソケット２３内に押し込めることにより、被検査
基板６と検査システム回路とのフィクスチュアが得られ
るようになっている。

また、下側可動板４には、上下両側可動板４・８と内外
二重のシーリングゴム１０・１１によって区画される空
間３２と、上記空間１３とを連通させる連通孔１８が形
成される。したがって、空間１３を真空引きすることに
伴い、上記空間３２も真空引きされ、上側可動板８が下
側可動板４側に引き寄せられることになる。上側可動板
８にも必要に応じてプローブ２２を下向きに保持させて
あり、このプローブ２２は上側可動板８を下側可動板４
側にストッパー２１に受は止められるまで吸引すること
により、プローブビン２５を所定量以上プローブソケッ
ト２３内に押し込んで被検査基板６と検査システム回路
とのフィクスチュアを得るように構成している。なお、
例えば１辺の長さが１０〜１５ｃ！１１程度の比較的小
面積の被検査基板６を検査する場合は、上記空間３２を
空間１３に連通させずに、上記被検査基板６を迂回して
空間９を空間１３に連通させる微小な連通路を下側可動
板に形成し、空間１３の真空引きに伴って空間９が真空
引きされるように構成しても同様に被検査基板６と検査
システム回路とのフィクスチュアを得ることが可能であ
るゆ 上記プローブ２２は、プローブビン２５をバネ２４に抗
してプローブソケット２３内に例えばその進退ストロー
クの３分の１以上押し込んだときにフィクスチュアがと
られ、インターフェースとして機能するように構成され
ている。従って、例えば下側可動板４に配置されるプロ
ーブ２２の数が上側可動板８に配置されるプローブ２２
の数に比べて多くなると、下側のプローブ２２のバネ２
４の合計圧力が上側のプローブ２２のバネ２４の合計圧
力よりも強くなり、被検査基板６が空間９内で高く持ち
上げられ、下側のプローブ２２のフィクスチュアが得ら
れなくなることがある。また、プローブ２２が被検査基
板６の片側に集中して分布されていると、被検査基板６
が傾斜して、プローブ２２が集中している側で被検査法
板６が下側可動板４から高く位置し、そこに集中された
プローブ２２のフィクスチュアが得られなくなることが
ある。

そこで、従来のインサーキットテスト用治具においては
、第３図に示すように、上側可動板８の下面に例えはプ
ラスチックで作られた押し棒２６を固定し、下側可動板
４側に真空吸引された被検査基板６を上側から押さえて
、下側のプローブ２２のフィクスチュアを確実に得るよ
うに構成しである。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、部品実装密度の高密度化を一層進めよう
とすると、被検査基板６の上面側の布線や実装部品の傷
損を避けるため、配線パターンや実装部品の配置によっ
て押し棒２６を設置できる箇所が一層狭く制限され、押
し棒２６の設置数が減少する上、押し棒２６の太さを非
常に細くする必要が生じてくる。その結果、押し捧２６
の強度が不足して被検査基板６を十分に下側可動板４側
に押さえ付けることができず、下側のプローブ２２のフ
ィクスチュアを確保できなくなるおそれが生じる。

本発明は、上記の事情を考慮してなされたものであって
、被検査基板６の上面の回路密度に関係なく被検査基板
６を十分に下側プレート（下側可動板）４側に引き寄せ
られるようにしたインサーキットテスト用治具を提供す
ることを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、例えば第１図に示すように、下側可動板４の
上側にストッパーゴム５を介して被検査基板６を載置し
、真空吸着により被検査基板６を下側可動板４側に引き
寄せて下側のプローブ２２と被検査基板６とのフィクス
チュアをとるように構成したインサーキットテスト用治
具を前提とするものであって、上記の目的を達成するた
め、下側可動板４側に真空吸引された被検査基板６を上
面側から加圧空気で押圧する加圧装置２７を設ける。

〔作用〕

本発明の加圧装置２７は、下側可動板４側に真空吸引さ
れた被検査基ｖｉ６を上面側から加圧空気で押圧できる
ように構成してあればよく、例えば、ニアコンプレッサ
等の加圧空気源２８と、この加圧空気源２８から被検査
基板６を取り囲む空間９に加圧空気を導く加圧空気供給
路２９と、加圧空気供給路２９を開閉するストップ弁３
０で構成することができる。

本発明においては、下側可動板４側に真空吸引された被
検査基板６を加圧装置２７の加圧空気で上面側から押圧
することにより、被検査基板６をその下面に作用する真
空吸引力と、その上面に作用する空気圧とにより下側可
動板４側に押さえ付けることができ、下面側のプローブ
ピン２５を押し上げるバネ２４を十分に圧縮して下面側
のプローブビン２５を所定量以上プローブソケット２３
内に押し下げ、そのインターフェース機能を確保するこ
とができる。そして、被検査基板６を空気圧によって上
側から押さえるので、被検査基板６の上面に作用する力
が被検査基板６の全体に均等に分散され、被検査基板６
の上面に配線パターンや実装部品を傷損させるような応
力集中が生じるおそれはなくなる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づき説明する。

第１図は本発明の一実施例に係るインサーキットテスト
用治具の構成を示す模式図であり、第２図は第１図Ａ−
Ａ線横断平面図である。これらの図面において、第３図
に示す従来例の各部分に対応する部分には第３図と同じ
符号と名称とを付しである。また、これら従来例と対応
する各部分の構成及び作用は従来例のそれと同じである
ので、重複をさせるためその説明は省略する。

このインサーキットテスト用治具が、従来例と異なるの
は、押し棒２６を使用せずに加圧空気で被検査基板６を
ストッパーゴム５に押さえ付ける点である。

すなわち、このインサーキットテスト用治具では、第１
図に示すように、上・下側側可動板８・４及び内側のシ
ーリングゴム１０によって区画される空間９に加圧空気
を供給して、被検査基板６をストッパーゴム５に押さえ
付ける加圧装置２７が設けられる。

この加圧装置２７は、エアフィルタ３１を介して吸入し
た空気を加圧するニアコンプレッサからなる加圧空気源
２８と、加圧空気源２８から上記空間９に加圧空気を導
入する加圧空気供給路２９と、この加圧空気供給路２９
を開閉する電磁操作式のストップ弁３０とを備えている
。

このインサーキットテスト用治具においては、上・下側
可動板８・４を上下に開き、被検査基板６をストッパー
ゴム５上に位置決めして載置した後、上・下側側可動板
８・４の間隔を狭めてストッパーゴム５及び被検査基板
６を取り囲む空間９をシーリングゴム１０・１１によっ
て密封し、固定板１と下側可動板４とによって区画され
た空間１３に真空源を接続すると、下側可動板４が真空
吸引されて所定の高さまで下降し、また、被検査基板６
と上側可動板８とが下側可動板４側に真空吸引されて下
降する。更に、ストッパーゴム５及び被検査基板６を取
り囲む空間９に加圧空気源２８から加圧空気を供給する
ことにより、被検査基板６は上側から加圧空気の圧力で
下側可動板４側に押圧される。これにより、被検査基板
６が下側のプローブ２２のプローブピン２５を所定量以
上プローブソケット２３に押し込み被検査基板６の下面
と検査システム回路とのフィクスチュアが得られる。な
お、上側可動板８は、空間９に供給された加圧空気によ
って上方に付勢されるが、内側のシーリングゴム１０を
隔てて空間９を取り囲む空間３２を真空引きすることに
より、ストッパー２１に受は止められる位置に保持する
ことができる。従って、被検査基板６に受は止められた
上側のプローブ２２のプローブピン２５は所定量以上プ
ローブソケット２３内に押し込められ、被検査基板６の
上面と検査システム回路とのフィクスチュアが得られる
。このように、被検査基板６を下側可動板４側に押圧す
るのに加圧空気の圧力を使用すると、被検査基板６の上
面にはその押圧力が全面にわたって均等に作用し、被検
査基板６の上面の配線パターンや実装部品を傷損させる
ような集中加重が作用する恐れはなくなる。したがって
、被検査基板６の上面の回路密度や部品実装密度がどの
ように高密度化されても配線パターンや実装部品を傷損
することなく被検査基板６を十分に下側可動板４側に押
しさげることができ、下側のプローブ２２による被検査
基板６と検査システム回路とのフィクスチュアを確実に
とることができる。

また、被検査基板６を加圧空気の圧力で押さえるので、
被検査基板６を改造する場合に治具の押し棒２６を避け
るように配線パターンのルート指示をする必要がなく、
配線パターンや実装部品の配置の改造の自由度が高めら
れ、更に、改造された被検査基板６の検査に対して、同
じ治具のプローブ２２の配置を変更するだけで対応でき
る。

なお、上記の実施例では、加圧空気の圧力による上側可
動板８の浮き上がりが上側可動板８の自重で押さえられ
るように構成しであるが、プローブ２２の数が多くなり
、より高圧の加圧空気で被検査基板６を押さえる必要が
ある場合には、必要に応じて、上側可動板８をストッパ
ー２１に受は止められる位置にロックする電磁ロックあ
るいはメカルカルロツタを設けて加圧空気の圧力による
上側可動板８の浮き上がりを防止すればよい。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明によれば、下側可動板側に真空吸
引された被検査基板を加圧空気で下側可動板側に押圧す
るので、被検査基板の上面に配線パターンや実装部品の
傷損を招くような集中応力が作用せず、被検査基板の上
面の回路密度にかかわりなく、被検査基板の配線パター
ンや実装部品を傷損させずに被検査基板を下側可動板側
に押圧することができる。したがって、回路密度がより
高密度になり押し棒を配置できない場合にも、加圧空気
の圧力で被検査基板を介して下側のプローブのプローブ
ビンを十分に押し下げて被検査基板と検査システム回路
とのフィクスチュアを確保でき、信頬性の高いインサー
キットテストを行うことができる。

また、布線改造や実装部品の配置の改造に対しても、布
線のルート指示が不要になり、改造の自由度が高められ
るとともに、基板の回路構成の改造に対応する治具の改
造もプローブの配置を改造するだけの簡単な改造で済む
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係るインサーキットテスト
用治具の構成を示す模式図、第２図は第１図Ａ−Ａ線横
断平面図、第３図は従来のインサーキットテスト用治具
の構成を示す模式図、第４図はプローブの縦断面図であ
る。 図中、 ４・・・下側可動板、　５・・・ストッパーゴム、６・
・・被検査基板、２２・・・プローブ、２７・・・加圧
装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 〔１〕下側可動板（４）の上側にストッパーゴム（５）
   を介して被検査基板（６）を載置し、真空吸着により被
   検査基板（６）を下側可動板（４）に引き寄せて下側可
   動板（４）に保持されたプローブ（２２）と被検査基板
   （６）とのフィクスチュアをとるように構成したインサ
   ーキットテスト用治具において、下側プレート（４）側
   に真空吸引された被検査基板（６）を上面側から加圧空
   気で押圧する加圧装置（２７）を設けたことを特徴とす
   る、インサーキットテスト用治具