JPH0310669Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔技術分野〕 本考案は、ペレツトボンデイング装置、特にペ
レツトボンデイング装置におけるボンデイング駆
動機構に関する。

〔背景技術〕

ペレツトボンデイング装置は、ペレツト収納容
器、ペレツト粘着シート、ペレツト位置決め台等
に位置するペレツトをコレツトアームのコレツト
によつて吸着し、該ペレツトをリードフレーム等
の基板上にマウント可能としている。ここで、コ
レツトアームのコレツトは、ペレツトに無理な力
を加えることなく、ペレツト収納容器、ペレツト
粘着シート、ペレツト位置決め台等に位置するペ
レツトを確実に吸着するとともに、該ペレツトを
確実に基板上にマウント可能とすべく、コレツト
アームの上下方向の移動範囲、特にその下限位置
をペレツトの厚さ変化に応じて厳密に設定する必
要がある。

しかしながら、従来のペレツトボンデイング装
置にあつては、ペレツトの厚さが変化する度に、
コレツトアームに対するコレツトの相対位置を手
動操作によつて調整するとともに目視設定してお
り、調整作業が煩雑であり、高精度の設定結果を
得るのに困難がある。

またこれを解消するため次のような技術が提案
されている。即ち第１図において、Ｘ−Ｙテーブ
ル１上に固定された支持受部２に支軸３を介して
コレツトアーム４を揺動自在に設け、このコレツ
トアーム４の一端にはペレツトを真空吸着できる
コレツト５を、また他端にはカムフオロア６を設
ける。このカムフオロア６はＸ−Ｙテーブル１上
に設けられたステツピングモータ（図示省略）等
の出力軸７に固定したカム８に当接させる。なお
９はＸ−Ｙテーブル１とコレツトアーム４との間
に設けられた引張りばねで、カムフオロア６をカ
ム８側に付勢する。

さてこのような構成において、Ｘ−Ｙテーブル
１を適宜移動させることにより、一例としてコレ
ツト５をペレツト粘着シートとリードフレーム等
の基板との間を往復動させるとともに、コレツト
５をペレツト粘着シート上及び基板上にて上下動
させることにより順次ペレツトボンデイング作業
を行なう。このコレツト５の上下動は、図示省略
のステツピングモータの出力軸７を所要角度、正
逆回転させることによりカムフオロア６をカム８
により上下方向に動かして行なう。またコレツト
アーム４の上限、下限位置の変更はステツピング
モータの出力軸７の回転角度を変化させることに
より行なうようにしていた。

しかしながら、この技術は前記したようにステ
ツピングモータの出力軸７を正逆回転させること
によつてコレツト５を上下動させるようにしてい
るため、出力軸７の反転時に振動が生じ、この振
動が、コレツト５がペレツトを吸着する時、或い
は吸着したペレツトを基板にボンデイングする時
にペレツトに過大な力を作用させてしまい、ペレ
ツトの割れ等を生じてしまう原因となつていた。
また最近のボンデイングの高速化に伴い、Ｘ−Ｙ
テーブル１を高速で動かすような場合、Ｘ−Ｙテ
ーブル１上にステツピングモータ、カム８等を設
けるという機構のため、Ｘ−Ｙテーブル全体の慣
性が大きく、その制御に苦慮していた。

〔考案の目的〕

本考案は、コレツトアームの上下方向の移動範
囲、とくにその下限位置を容易かつ高精度で調整
可能とするとともに、高速ボンデイングにも適す
るペレツトボンデイング装置を提供することを目
的とする。

〔考案の構成〕

上記目的を達成するために本考案は、水平動す
る基台に揺動自在に支持され一端にコレツトを保
持するコレツトアームの他端を適宜上下動させる
駆動手段として、前記基台とは別体の固定部材に
設けたガイドに沿つて上下動可能な上下杆と、こ
の上下杆を上下動させる駆動装置と、前記上下杆
に摺動自在に支持されるとともに、前記基台の水
平動に伴う前記コレツトアームの他端の少なくと
も移動範囲において該他端が当接し得る大きさの
水平面を有しかつ前記上下杆に上下方向に沿つて
設けられたねじ部材に螺合する水平部材と、前記
ねじ部材を回転させるモータと、このモータの回
転制御装置と、前記コレツトアームの他端を前記
水平部材の水平面側に付勢する付勢部材とを有し
て成ることを特徴とする。

〔考案の具体的説明〕

以下、本考案の実施例を図面を参照して説明す
る。第２図は本考案の一実施例が適用されてなる
ペレツトボンデイング装置を示す正面図、第３図
は第２図におけるＡ−Ａ断面図、第４図は第２図
におけるＢ−Ｂ断面図を各々示している。図にお
いて、１０はコレツトアームで、基台１１上に固
定された支持受部１２に支軸１３を介して揺動自
在に支持されている。このコレツトアーム１０の
一端部においては、そのフオーク部１４が中空状
１５のコレツト１６に設けられた支持ピン１７に
係合し、コレツト１６を保持している。コレツト
１６の中空状部１５は、真空配管１８に連通され
る状態でペレツト１９を吸着可能としている。な
お、コレツト１６の下方部分は基台１１の支持部
２０に摺動自在に支持されている。またコレツト
アーム１０の他端部にはフオロア２１が回転自在
に支持されている。

基台１１はブロツク２２の上面に設けられた一
対のスライドガイド２３，２４にガイドされなが
ら矢示Ｃ方向に摺動されるようになつている。こ
の基台１１には係合ピン２５が突設されており、
この係合ピン２５はブロツク２２に軸２６を中心
に揺動可能な揺動レバー２７の一端部のフオーク
部２７Ａと係合している。揺動レバー２７の中間
部位にはカムフオロア２８が回転自在に設けられ
ており、このカムフオロア２８は揺動レバー２７
とブロツク２２との間に設けられた引張りばね２
９により前後動カム３０に常時当接するようにさ
れている。前後動カム３０はブロツク２２に回転
自在に設けられた回転軸３１に取付けられ、また
回転軸３１は図示を省略したモータ等の駆動装置
により連続回転させられ、揺動レバー２７、基台
１１は前後動カム３０のカム面に沿つて前進、停
止、後進、停止を繰り返す。回転軸３１にはさら
に前記した前後動カム３０とは別個の上下動カム
３２が取り付けられている。この上下動カム３２
には、ブロツク２２における回転軸３１の略上部
に設けられたガイド３３に沿つて上下動自在な上
下杆３４がその一端に回転自在に設けられたカム
フオロア３５を介して当接している。３６は上下
杆３４とブロツク２２との間に設けられた引張り
ばねで、上下杆３４のカムフオロア３５を常時上
下動カム３２側に付勢する。上下杆３４にはその
一側面の上下方向に沿つて嵌合凹部３７が設けら
れるとともに、この嵌合凹部３７には嵌合凸部３
８を有する水平杆３９が摺動自在に配置されてい
る。そして上下杆３４の上端にはステツピングモ
ータ４０を固定し、その出力軸４１と、上下杆３
４に軸受４２により回転自在に設けられたねじ軸
４３とを継手４４にて連結し、出力軸４１の回転
運動がねじ軸４３に伝達されるようになつてい
る。さらにこのねじ軸４３には水平杆３９の前記
嵌合凸部３８に設けたねじ部３８Ａが螺合してお
り、ステツピングモータ４０を始動し、その出力
軸４１を正回転あるいは逆回転させることによ
り、上下杆３４に対し水平杆３９を上下方向に移
動させることができ、またステツピングモータ４
０を停止させればその位置で固定させることもで
きる。従つて上下動カム３２の回転によりカムフ
オロア３５を介して上下杆３４がガイド３３に沿
つて上下動されると、水平杆３９も上下杆３４と
一体となつて上下動することになる。なおこの際
水平杆３９の水平部３９Ａは常時水平に保たれる
ようになつており、またコレツトアーム１０の他
端に設けられたフオロア２１が水平杆３９の水平
部３９Ａの下面に付勢当接されるように、コレツ
トアーム１０と基台１１との間に引張りばね４５
が設けられる。また水平部３９Ａの水平方向の長
さは、前後動カム３０によつて往復動される基台
１１の移動範囲においてフオロア２１が水平杆３
９の水平部３９Ａの下面に当接し得る長さにして
ある。

次に上記構成により、ペレツト粘着シートから
基板にペレツトをボンデイングする場合につい
て、その作用を説明する。ペレツトボンデイング
に際し、図示を省略したモータ等の駆動装置を始
動させ、回転軸３１を連続回転させる。回転軸３
１の連続回転により、前後動カム３０と上下動カ
ム３２が回転する。前後動カム３０の回転によ
り、カムフオロア２８を有する揺動レバー２７は
軸２６を中心とする揺動運動を行ない、基台１１
はスライドガイド２３，２４にガイドされながら
前進、停止、後進、停止を繰り返す。この際、基
台１１上に設けられた支持受部１２の支軸１３に
揺動自在に支持されたコレツトアーム１０も基台
１１の動きに追従し、コレツト１６はペレツト粘
着シートと基板との間を往復する。またこの時コ
レツトアーム１０に設けられているフオロア２１
は水平杆３９の水平部３９Ａの下面に沿つて移動
する。

また上下動カム３２の回転により、上下杆３４
はガイド３３に沿つて上下動を行ない、上下杆３
４と一体的に保持されている水平杆３９も上下動
を行なう。従つて引張りばね４５により水平杆３
９の水平部３９Ａ下面に接するようになつている
フオロア２１は、支軸１３を中心として上下に揺
動し、従つてコレツト１６も基台１１の支持部２
０に対して上下方向に摺動する。コレツト１６の
この上下方向の摺動は、基台１１が前後動カム３
０による前後進後の停止時期に行なうように前後
動カム３０、上下動カム３２のカム曲線は設定さ
れている。従つてコレツト１６はペレツト粘着シ
ート上からペレツト１９を吸着保持して基板１１
上に移送し、ボンデイングを行なう。

ところで、このボンデイング装置にはコレツト
アーム１０の上下方向の移動範囲、特に下限位置
を変化させ得る機能を有している。即ち、水平杆
３９の上下杆３４に対する取付位置を調整する。
つまりステツピングモータ４０の出力軸４１をど
ちらかに回転させることにより、水平杆３９を上
下杆３４に対して上下方向に移動させる。コレツ
トアーム１０のフオロア２１は引張りばね４５に
よつて水平杆３９の水平部３９Ａ下面に当接させ
らるようになつているため、水平杆３９を例えば
上下杆３４に対して上方向に移動させたとする
と、コレツト１６は下方に移動することになり、
水平杆３９を下方に移動させればコレツト１６を
上方に移動させることができる。つまりステツピ
ングモータ４０への入力パルス数を変化させるこ
とにより、コレツトアーム１０の上下方向の移動
範囲、特に下限位置に調整することができる。

従つて、ペレツト１９の品種切換え時にはペレ
ツト１９の厚さ変化に応じて、ステツピングモー
タ４０を所定のパルス数相当部だけ回転させるこ
とにより、水平杆３９が上下杆３４に対し相対的
に上下動し、この動きにフオロア２１が追従する
ことによりコレツトアーム１０の下限位置を自動
的に最適位置に高精度で設定することができる。

また上記実施例において、コレツトアーム１０
の移動中、コレツトアーム１０に設けたフオロア
２１と水平杆３９の水平部３９Ａ下面とは当接状
態が保たれることにより、上下動カム３２による
動作特性がコレツトアーム１０を介してコレツト
１６に確実に伝達され、ペレツトの吸着あるいは
ボンデイング時にペレツトにダメージを与えるこ
となく確実なボンデイング動作を行なえる。

また上記実施例において、コレツトアーム１０
の上下駆動部である上下動カム３２、上下杆３４
等が、コレツトアーム１０を支持し水平動する基
台１１とは別位置でかつ固定位置にあるブロツク
２２に支持されているため、基台１１の軽量化が
はかれ、ボンデイング動作の高速化を達成でき
る。

さらにコレツトアーム１０の下限位置の調整
を、上下杆３４の上下方向における水平杆３９の
取付位置を調整することにより行なうようにした
ので、その調整には上下動カム３２の回転動はま
つたく関与しない。従つてその回転軸３１を一方
向に連続回転させることができ、従来の反転によ
つて生じる振動の発生を防止することができる。

なお、ペレツト粘着シートの高さレベルと、基
板の高さレベルとが同等でない場合には、コレツ
トアーム１０の下限位置をペレツト粘着シートに
対する前進位置と、基板に対する後進位置との両
位置において個別に、例えばステツピングモータ
４０への入力パルス数を制御装置等にデジタル的
に設定できるようにしておくことにより、ペレツ
ト粘着シートと基板のそれぞれに対して容易に最
適相対位置に設定することも可能である。

〔考案の効果〕

以上のように本考案は、基台に対するコレツト
アームの移動範囲を容易かつ高精度で調整するこ
とが可能になるとともに、高速ボンデイングにも
充分対応することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のペレツトボンデイング装置を示
す正面図、第２図は本考案の一実施例が適用され
たペレツトボンデイング装置を示す正面図、第３
図は第２図のＡ−Ａ断面図、第４図は第２図のＢ
−Ｂ断面図を各々示している。 １０……コレツトアーム、１１……基台、１２
……支持受部、１３……支軸、１６……コレツ
ト、１９……ペレツト、２１……フオロア、２２
……ブロツク、２３，２４……スライドガイド、
２７……揺動レバー、３０……前後動カム、３１
……回転軸、３２……上下動カム、３３……ガイ
ド、３４……上下杆、３９……水平杆、４３……
ねじ軸、４５……引張ばね。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 一端にコレツトを保持するコレツトアーム
   と、このコレツトアームを揺動自在に支持する
   とともに水平方向に移動する基台と、前記コレ
   ツトアームの他端を適宜上下動させる駆動手段
   と、を有するペレツトボンデイング装置におい
   て、前記駆動手段は、前記基台とは別体の固定
   部材に設けたガイドに沿つて上下動可能な上下
   杆と、この上下杆を上下動させる駆動装置と、
   前記上下杆に摺動自在に支持されるとともに、
   前記基台の水平動に伴う前記コレツトアームの
   他端の少なくとも移動範囲において該他端が当
   接し得る大きさの水平面を有しかつ前記上下杆
   に上下方向に沿つて設けられたねじ部材に螺合
   する水平部材と、前記ねじ部材を回転させるモ
   ータと、このモータの回転制御装置と、前記コ
   レツトアームの他端を前記水平部材の水平面側
   に付勢する付勢部材とを有して成るペレツトボ
   ンデイング装置。 (2) 上下杆を上下動させる駆動装置は連続回転す
   る上下動カムを有し、この上下動カムに上下杆
   に設けたカムフオロアが当接するようにしたこ
   とを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
   記載のペレツトボンデイング装置。