JPH03106083A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
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- JPH03106083A JPH03106083A JP1244654A JP24465489A JPH03106083A JP H03106083 A JPH03106083 A JP H03106083A JP 1244654 A JP1244654 A JP 1244654A JP 24465489 A JP24465489 A JP 24465489A JP H03106083 A JPH03106083 A JP H03106083A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ＋）単結晶の１６３度±
１５度回転Ｙ板から採取した圧電板にチタン（Ｔｉ）膜
を付け、熱処理を行なうことで分極反転層を形或してな
るバルク波利用の高周波圧電振動子の製造方法に関し、 ニオブ酸リチウムを用いた圧電振動子を製造する際に、
均一かつ確実に分極反転層を形或できるようにすること
を目的とし、 ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｘ）単結晶の１６３度±
ｌ５度回転Ｙ板から採取した圧電板にチタン（Ｔｉ）膜
を付け、熱処理を行なうことで分極反転層を形成する際
に、 少なくとも酸素を含んだ雰囲気中で、しかも前記の圧電
板のキュリー温度−１５０゜Ｃからキュリー温度の範囲
で前記の熱処理を行なうように構戒する。
１５度回転Ｙ板から採取した圧電板にチタン（Ｔｉ）膜
を付け、熱処理を行なうことで分極反転層を形或してな
るバルク波利用の高周波圧電振動子の製造方法に関し、 ニオブ酸リチウムを用いた圧電振動子を製造する際に、
均一かつ確実に分極反転層を形或できるようにすること
を目的とし、 ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｘ）単結晶の１６３度±
ｌ５度回転Ｙ板から採取した圧電板にチタン（Ｔｉ）膜
を付け、熱処理を行なうことで分極反転層を形成する際
に、 少なくとも酸素を含んだ雰囲気中で、しかも前記の圧電
板のキュリー温度−１５０゜Ｃからキュリー温度の範囲
で前記の熱処理を行なうように構戒する。
本発明は、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）単結晶の
１６３度±１５度回転Ｙ板から採取した圧電板にチタン
（Ｔｉ）膜を付け、熱処理を行なうことで分極反転層を
形或してなるバルク波利用の高周波圧電振動子の製造方
法に関する。
１６３度±１５度回転Ｙ板から採取した圧電板にチタン
（Ｔｉ）膜を付け、熱処理を行なうことで分極反転層を
形或してなるバルク波利用の高周波圧電振動子の製造方
法に関する。
ニオブ酸リチウムの分極反転に関しては、儒学技報ＵＳ
８６ １８ 「ＬｉＮｂＯ＋単結晶における分極反転
層の形成とその圧電振動子への応用」などが知られてい
るが、Ｚ板における調査であって、回転Ｙ板とくにＺ軸
が圧電板垂直方向から傾いている場合の熱処理条件につ
いては詳細な調査が必要である。
８６ １８ 「ＬｉＮｂＯ＋単結晶における分極反転
層の形成とその圧電振動子への応用」などが知られてい
るが、Ｚ板における調査であって、回転Ｙ板とくにＺ軸
が圧電板垂直方向から傾いている場合の熱処理条件につ
いては詳細な調査が必要である。
第４図はニオブ酸リチウムを用いた圧電振動子の断面図
である。ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ０３）単結晶は、
強誘電体で単分極域を有する。このニオブ酸リチウム単
結晶の１６３度±１５度回転Ｙ板から採取した圧電板１
に熱処理を加えることで、圧電板の真ん中２を境にした
分極反転層１ａ、１ｂを形或し、両面に形或した電極３
、４間に交流電圧を印加すると、安定した高周波振動を
発生し、優れた圧電振動子が得られる。すなわち、圧電
板１の真ん中２を境にして分極の方向Ｐｓが逆向きにな
っているため、電圧を印力■したときの結晶の粒子変位
の方向が同じ向きであっても、上側の電極３側では正の
電荷が発生し、下側の電極４側では負の電荷が発生する
ことで、波形５で示すような１波長共振が発生する。
である。ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂ０３）単結晶は、
強誘電体で単分極域を有する。このニオブ酸リチウム単
結晶の１６３度±１５度回転Ｙ板から採取した圧電板１
に熱処理を加えることで、圧電板の真ん中２を境にした
分極反転層１ａ、１ｂを形或し、両面に形或した電極３
、４間に交流電圧を印加すると、安定した高周波振動を
発生し、優れた圧電振動子が得られる。すなわち、圧電
板１の真ん中２を境にして分極の方向Ｐｓが逆向きにな
っているため、電圧を印力■したときの結晶の粒子変位
の方向が同じ向きであっても、上側の電極３側では正の
電荷が発生し、下側の電極４側では負の電荷が発生する
ことで、波形５で示すような１波長共振が発生する。
分極反転層１ａ， ｌｂを形或するには、第５図に示す
ように、キュリー温度Ｔｃ付近まで加熱処理することが
必要で、加熱温度が高すぎると、分極反転層の深さが不
均一になる。ニオブ酸リチウムのキュリー温度Ｔｃは１
２００゜Ｃであるが、第６図に示すように、ニオブ酸リ
チウム基板９の両面にＴｉを１０００〜２０００人程度
蒸着した状態で熱処理すると、Ｔｉがニオブ酸リチウム
ｉＦｉＱ中に拡散され、かつ比較的低い温度で分極反転
層を形或できることが知られている。
ように、キュリー温度Ｔｃ付近まで加熱処理することが
必要で、加熱温度が高すぎると、分極反転層の深さが不
均一になる。ニオブ酸リチウムのキュリー温度Ｔｃは１
２００゜Ｃであるが、第６図に示すように、ニオブ酸リ
チウム基板９の両面にＴｉを１０００〜２０００人程度
蒸着した状態で熱処理すると、Ｔｉがニオブ酸リチウム
ｉＦｉＱ中に拡散され、かつ比較的低い温度で分極反転
層を形或できることが知られている。
第７図は分極反転層形或用の加熱処理装置の断面図、第
８図はニオブ酸リチウム基板９・・・の搭載ボートの斜
視図である。第７図において、６は石英管からなる加熱
炉であり、外周にヒータ７が巻かれており、該ヒータ７
と石英管６との間に、温度分布を均一化するために、ム
ライト製の管ｌ２が挿通されている。
８図はニオブ酸リチウム基板９・・・の搭載ボートの斜
視図である。第７図において、６は石英管からなる加熱
炉であり、外周にヒータ７が巻かれており、該ヒータ７
と石英管６との間に、温度分布を均一化するために、ム
ライト製の管ｌ２が挿通されている。
また、石英管６の内部にアルミナ製の管１１が挿人され
、その中に、アルミナからなるボート８が内蔵され、加
熱処理を行なうニオブ酸リチウムの基板９・・・が立て
て支持されている。このようにして、複数枚のニオブ酸
リチウム基板９・・・を、石英管６内のアル５ナ管１１
中に入れた状態で、ガス導入口１０から窒素やアルゴン
等を供給し、不活性ガスの雰囲気で熱処理を行なう。
、その中に、アルミナからなるボート８が内蔵され、加
熱処理を行なうニオブ酸リチウムの基板９・・・が立て
て支持されている。このようにして、複数枚のニオブ酸
リチウム基板９・・・を、石英管６内のアル５ナ管１１
中に入れた状態で、ガス導入口１０から窒素やアルゴン
等を供給し、不活性ガスの雰囲気で熱処理を行なう。
第９図は、熱処理後の圧電板の分極反転層の深さの状態
を示す断面図である。分極反転層の深さ（分極反転層の
深さｈ÷圧電板の板厚Ｈ：％）は、第４図に示すように
、あらゆる位置で５０％の場合が、理想的である。
を示す断面図である。分極反転層の深さ（分極反転層の
深さｈ÷圧電板の板厚Ｈ：％）は、第４図に示すように
、あらゆる位置で５０％の場合が、理想的である。
ところが、熱処理温度が低すぎると、分極反転層が発生
せず、また高すぎると第９図に示すように、分極反転層
の深さが一定とならず、無秩序に・変動し、大きくばら
つく。
せず、また高すぎると第９図に示すように、分極反転層
の深さが一定とならず、無秩序に・変動し、大きくばら
つく。
このような問題は、熱処理を行なう雰囲気によっても左
右されることが判明した。
右されることが判明した。
本発明の技術的課題は、ニオブ酸リチウムを用いた圧電
振動子を製造する際のこのような問題を解消し、均一か
つ確実に分極反転層を形或できるようにすることにある
。
振動子を製造する際のこのような問題を解消し、均一か
つ確実に分極反転層を形或できるようにすることにある
。
〔課題を解決するための手段］
本発明の方法は、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）単
結晶の１６３度±１５度回転Ｙ板から採取した圧電板に
チタン（Ｔｉ）ＷＪを付け、熱処理を行なうことで分極
反転層を形或する際に、少なくとも酸素を含んだ雰囲気
中で、前記の熱処理を行なう。酸素の量は、５〜１０％
程度以上が有効である。
結晶の１６３度±１５度回転Ｙ板から採取した圧電板に
チタン（Ｔｉ）ＷＪを付け、熱処理を行なうことで分極
反転層を形或する際に、少なくとも酸素を含んだ雰囲気
中で、前記の熱処理を行なう。酸素の量は、５〜１０％
程度以上が有効である。
また、前記の熱処理は、前記の圧電板のキュリー温度−
１５０゜Ｃからキュリー温度の範囲で行なうのが有効で
ある。
１５０゜Ｃからキュリー温度の範囲で行なうのが有効で
ある。
〔作用］
前記のように、表面にＴｉが蒸着された、ニオブ酸リチ
ウム（ＬｉＮｂＯ３）単結晶の１６３度±１５度回転Ｙ
板から採取した圧電板を熱処理することで分極反転層を
形成する際に、少なくとも酸素を含んだ雰囲気中で、前
記の熱処理を行なうと、分極反転層の深さが均一となる
ことが、実験の結果確認された。
ウム（ＬｉＮｂＯ３）単結晶の１６３度±１５度回転Ｙ
板から採取した圧電板を熱処理することで分極反転層を
形成する際に、少なくとも酸素を含んだ雰囲気中で、前
記の熱処理を行なうと、分極反転層の深さが均一となる
ことが、実験の結果確認された。
すなわち、第ｌ図に示すように、表面にＴｔが蒸着され
たニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｓ）基板９を熱処理す
る際に、Ｔｉの一部はニオブ酸リチウム基板９中に拡散
されるが、他の一部は表面から飛び出す。
たニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯｓ）基板９を熱処理す
る際に、Ｔｉの一部はニオブ酸リチウム基板９中に拡散
されるが、他の一部は表面から飛び出す。
このとき、外部から酸素が供給されていなければ、ニオ
ブ酸リチウム基板９中の０３と結合し、Ｔｉｚ○３とな
って飛び出す。その結果、二オプ酸リチウム基板９中は
、４酸素不足の個所が発生し、第９図に示すように、分
極反転層の深さが不均一となるものと推測される。
ブ酸リチウム基板９中の０３と結合し、Ｔｉｚ○３とな
って飛び出す。その結果、二オプ酸リチウム基板９中は
、４酸素不足の個所が発生し、第９図に示すように、分
極反転層の深さが不均一となるものと推測される。
ところが、本発明の方法によって、外部から炉の中に酸
素を供給すると、Ｔｉは外部から供給された酸素と結合
するため、ニオブ酸リチウム基仮９中の酸素量が変動す
ることはなく、第４図に示すように、分極反転層の深さ
が均一となるものと考えられる。
素を供給すると、Ｔｉは外部から供給された酸素と結合
するため、ニオブ酸リチウム基仮９中の酸素量が変動す
ることはなく、第４図に示すように、分極反転層の深さ
が均一となるものと考えられる。
また、リチウムは還元作用が強いために、第７図に示す
石英管６のＳｉＯｚ中の酸素が奪われ、石英管表面がボ
ロボロに劣化してニオブ酸リチウム基板９・・・の上に
落下するので、アルξナの管ｌ１を挿入し、その中にニ
オブ酸リチウム基板９・・・を配置することが試みられ
ている。ところが、外部から酸素を供給すると、石英管
６が還元されるのを抑制できるので、石英管６の劣化を
防止できるという効果もある。
石英管６のＳｉＯｚ中の酸素が奪われ、石英管表面がボ
ロボロに劣化してニオブ酸リチウム基板９・・・の上に
落下するので、アルξナの管ｌ１を挿入し、その中にニ
オブ酸リチウム基板９・・・を配置することが試みられ
ている。ところが、外部から酸素を供給すると、石英管
６が還元されるのを抑制できるので、石英管６の劣化を
防止できるという効果もある。
さらに、分極反転層を形成するための熱処理の温度を、
前記の圧電板のキュリー温度−１５０゜Ｃからキュリー
温度の範囲で行なうのが有効であることが、実験の結果
ＴａＴｉ認された。
前記の圧電板のキュリー温度−１５０゜Ｃからキュリー
温度の範囲で行なうのが有効であることが、実験の結果
ＴａＴｉ認された。
第２図は本発明の発明者らの実験結果を示すもので、Ｔ
ｉが蒸着された圧電板の熱処理温度と分極反転層の深さ
の関係を示す図であり、横軸は熱処理温度（熱処理時間
；２０時間〉、縦軸は分極反転層の深さ（％）である。
ｉが蒸着された圧電板の熱処理温度と分極反転層の深さ
の関係を示す図であり、横軸は熱処理温度（熱処理時間
；２０時間〉、縦軸は分極反転層の深さ（％）である。
分極反転層の深さが５０％の場合、第４図のように圧電
板１の丁度真ん中２を境にして、分極反転していること
になり、理想的である。第２図（ａ）において、曲線ａ
は、板厚が２００ μｍの圧電板を熱処理した例であり
、熱処理温度が低いと分極反転層が浅く、ｌｌ５０’ｃ
程度より高くなると、５０％程度まで分極反転する。こ
の温度より高すぎると、第９図に示すように、分極反転
層の深さが一定とならず、無秩序に変動し、大きくばら
つく。
板１の丁度真ん中２を境にして、分極反転していること
になり、理想的である。第２図（ａ）において、曲線ａ
は、板厚が２００ μｍの圧電板を熱処理した例であり
、熱処理温度が低いと分極反転層が浅く、ｌｌ５０’ｃ
程度より高くなると、５０％程度まで分極反転する。こ
の温度より高すぎると、第９図に示すように、分極反転
層の深さが一定とならず、無秩序に変動し、大きくばら
つく。
圧電板の厚さが２００ μｍより薄いと、曲線ｂで示す
ように、１１５０゜Ｃよりも低い温度から分極反転層が
生し、２００μｍより厚いと、曲線Ｃで示すように、ｌ
１５０゜Ｃより高い温度で分極反転層が生じる。
ように、１１５０゜Ｃよりも低い温度から分極反転層が
生し、２００μｍより厚いと、曲線Ｃで示すように、ｌ
１５０゜Ｃより高い温度で分極反転層が生じる。
しかしながら、キュリー温度Ｔｃ程度まで高くなると、
分極反転層のばらつきが大きく、使用不能となる。
分極反転層のばらつきが大きく、使用不能となる。
第２図中）は、以上を要約したものであり、ニオブ酸リ
チウム基板のキュリー温度Ｔｃよりわずかに低い温度（
Ｔｃ−２０゜Ｃ程度）からキュリー温度一ｌ５０゜Ｃの
範囲では、分極反転層の深さが比較的深くなる。特に、
キュリー温度−１１０゜Ｃの範囲では、分極反転層の深
さは５０％で、理想的である。
チウム基板のキュリー温度Ｔｃよりわずかに低い温度（
Ｔｃ−２０゜Ｃ程度）からキュリー温度一ｌ５０゜Ｃの
範囲では、分極反転層の深さが比較的深くなる。特に、
キュリー温度−１１０゜Ｃの範囲では、分極反転層の深
さは５０％で、理想的である。
〔実施例］
次に本発明による圧電振動子の製造方法が実際上どのよ
うに具体化されるかを実施例で説明する。
うに具体化されるかを実施例で説明する。
第３図は、Ｔｉ膜の厚さが２０００人のニオブ酸リチウ
ム基板をｌ１３２゜Ｃで１０時間、窒素ガス中に酸素を
含む雰囲気で熱処理した場合における、熱処理雰囲気の
分極反転層深さに及ぼす影響を示す図で、横軸が熱処理
雰囲気中における酸素のＭ（％）、縦軸が分極反転層の
深さ（％およびμｍ）である。
ム基板をｌ１３２゜Ｃで１０時間、窒素ガス中に酸素を
含む雰囲気で熱処理した場合における、熱処理雰囲気の
分極反転層深さに及ぼす影響を示す図で、横軸が熱処理
雰囲気中における酸素のＭ（％）、縦軸が分極反転層の
深さ（％およびμｍ）である。
この実施例から明らかなように、酸素がＯ（％）で窒素
が１００％の雰囲気では、分極反転層の深さが数％〜５
７％と、大きな範囲でばらついており、分極反転層の深
さが一定していない。
が１００％の雰囲気では、分極反転層の深さが数％〜５
７％と、大きな範囲でばらついており、分極反転層の深
さが一定していない。
これに対し、酸素量が１０〜５０％となると、分極反転
層の深さは３０％付近で一定している。酸素量が５０％
を越えても、同しような傾向を示すものと考えられるが
、酸素はコスト高となるため、実用上は５０％以内で足
りる。なお、熱処理温度を上げることで、分極反転層を
５０％まで深くできる。
層の深さは３０％付近で一定している。酸素量が５０％
を越えても、同しような傾向を示すものと考えられるが
、酸素はコスト高となるため、実用上は５０％以内で足
りる。なお、熱処理温度を上げることで、分極反転層を
５０％まで深くできる。
酸素量がＯ〜１０％の範囲では、曲線で示すような傾向
を示すものと推測される。したがって、酸素量が５〜１
０％程度から、酸素供給の効果が表れるものと考えられ
る。
を示すものと推測される。したがって、酸素量が５〜１
０％程度から、酸素供給の効果が表れるものと考えられ
る。
〔発明の効果］
以上のように本発明によれば、ニオブ酸リチウム（Ｌｉ
ＮｂＯｓ）単結晶の１６３度±１５度回転Ｙ板から採取
した圧電仮にチタン（Ｔｉ）膜を付け、熱処理を行なう
際に、少なくとも酸素を含んだ雰囲気中で熱処理を行な
うことにより、分極反転層の深さが均一となり、分極反
転層形或型の高周波振動子が実現できる。また、前記の
熱処理を、前記の圧電板のキュリー温度−１５０゜Ｃか
らキュリー温度の範囲で行なうことにより、分極反転層
を確実にしかも均一の深さに形威できる。
ＮｂＯｓ）単結晶の１６３度±１５度回転Ｙ板から採取
した圧電仮にチタン（Ｔｉ）膜を付け、熱処理を行なう
際に、少なくとも酸素を含んだ雰囲気中で熱処理を行な
うことにより、分極反転層の深さが均一となり、分極反
転層形或型の高周波振動子が実現できる。また、前記の
熱処理を、前記の圧電板のキュリー温度−１５０゜Ｃか
らキュリー温度の範囲で行なうことにより、分極反転層
を確実にしかも均一の深さに形威できる。
通常、ニオブ酸リチウムを用いた圧電振動子において、
例えば２０ＭＨｚ程度の発振周波数を得るには、９０μ
ｍ程度の極めて薄い板厚にしなければならない。そのた
め、割れ易く、歩留りが悪くなり、製造コストが高くな
るが、本発明の方法で分極反転層を均一の深さに形戊す
ることで、比較的厚いニオブ酸リチウムを用いた圧電振
動子が得られる．
例えば２０ＭＨｚ程度の発振周波数を得るには、９０μ
ｍ程度の極めて薄い板厚にしなければならない。そのた
め、割れ易く、歩留りが悪くなり、製造コストが高くな
るが、本発明の方法で分極反転層を均一の深さに形戊す
ることで、比較的厚いニオブ酸リチウムを用いた圧電振
動子が得られる．
第１図は本発明による圧電振動子の製造方法の基本原理
を説明する断面図、 第２図は本発明による圧電振動子の製造方法の作用を説
明する図、 第３図は熱処理雰囲気における酸素含有量と分極反転層
の深さの関係を示す図、 第４図は圧電振動子の断面図、 第５図はニオブ酸リヂウム基板に分極反転層を形威する
ための熱処理条件を示す図、 第６図はニオブ酸リチウム基板の熱処理前の状態を示す
断面図、 第７図は熱処理炉の断面図、 第８図は基板搭載用ポートの斜視図、 第９図は分極反転層の深さが不均一なニオブ酸リチウム
圧電板の断面図である。 図において、ｌはニオブ酸リチウムからなる圧電機、ｌ
ａ， ｌｂは分極反転層、Ｐｓは分極反転層の向き、２
は分極反転層の境界面、３、４は電極、６は石英管から
なる炉体、７はヒータ、８はボート、９はニオブ酸リチ
ウム基板、１ｌはアルミナ管、１２はムライト管をそれ
ぞれ示す。
を説明する断面図、 第２図は本発明による圧電振動子の製造方法の作用を説
明する図、 第３図は熱処理雰囲気における酸素含有量と分極反転層
の深さの関係を示す図、 第４図は圧電振動子の断面図、 第５図はニオブ酸リヂウム基板に分極反転層を形威する
ための熱処理条件を示す図、 第６図はニオブ酸リチウム基板の熱処理前の状態を示す
断面図、 第７図は熱処理炉の断面図、 第８図は基板搭載用ポートの斜視図、 第９図は分極反転層の深さが不均一なニオブ酸リチウム
圧電板の断面図である。 図において、ｌはニオブ酸リチウムからなる圧電機、ｌ
ａ， ｌｂは分極反転層、Ｐｓは分極反転層の向き、２
は分極反転層の境界面、３、４は電極、６は石英管から
なる炉体、７はヒータ、８はボート、９はニオブ酸リチ
ウム基板、１ｌはアルミナ管、１２はムライト管をそれ
ぞれ示す。
Claims (2)
- １．ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ＿３）単結晶の１６
３度±１５度回転Ｙ板から採取した圧電板にチタン（Ｔ
ｉ）膜を付け、熱処理を行なうことで分極反転層を形成
する際に、 少なくとも酸素を含んだ雰囲気中で、前記の熱処理を行
なうことを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - ２．前記の熱処理を、前記の圧電板のキュリー温度−１
５０℃からキュリー温度の範囲で行なうことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1244654A JPH03106083A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1244654A JPH03106083A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03106083A true JPH03106083A (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=17121964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1244654A Pending JPH03106083A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03106083A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1201306A1 (en) | 2000-10-26 | 2002-05-02 | Yasuaki Okyua | System for preventing scatter of crush-cut castings for casting crush-cutting apparatus and cutting structure therefor |
| JP2004151031A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子及び振動ジャイロ並びに電子機器 |
| JP2020204506A (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 多摩川精機株式会社 | 振動ジャイロ |
-
1989
- 1989-09-20 JP JP1244654A patent/JPH03106083A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1201306A1 (en) | 2000-10-26 | 2002-05-02 | Yasuaki Okyua | System for preventing scatter of crush-cut castings for casting crush-cutting apparatus and cutting structure therefor |
| JP2004151031A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電振動子及び振動ジャイロ並びに電子機器 |
| JP2020204506A (ja) * | 2019-06-17 | 2020-12-24 | 多摩川精機株式会社 | 振動ジャイロ |
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