JPH029713A - リン化ホウ素の製造方法 - Google Patents
リン化ホウ素の製造方法Info
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- JPH029713A JPH029713A JP15894288A JP15894288A JPH029713A JP H029713 A JPH029713 A JP H029713A JP 15894288 A JP15894288 A JP 15894288A JP 15894288 A JP15894288 A JP 15894288A JP H029713 A JPH029713 A JP H029713A
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は主として微粉末状態のリン化ホウ素を製造する
方法に関するものである。
方法に関するものである。
リン化ホウ素は高温においても機能が低下せず。
したがって高温で機能が低下する銅コンスタンタンや白
金ロジウム等に代わって最近では耐熱用電子材料として
の需要が高まっている。
金ロジウム等に代わって最近では耐熱用電子材料として
の需要が高まっている。
従来、リン化ホウ素は赤リンとホウ素とを混合して大気
圧中で加熱して反応させることによって得られていた。
圧中で加熱して反応させることによって得られていた。
しかし赤リンとホウ素とを大気圧中で加熱すると赤リン
が蒸発し、ホウ素含有址がリッチなリン化ホウ素しか得
られなかった。基板を入れた容器中に三塩化リンと三臭
化ホウ素等のリン化合物およびホウ素化合物の蒸気と水
素ガスとを導入し加熱して反応せしめ、基板上にリン化
ホウ素を沈着させる化学蒸着法によればリンとホウ素と
が等モルで結合している純粋なリン化ホウ素を得ること
は可能である。しかし上記化学蒸着法によれば薄層状の
リン化ホウ素しか得られず、種々の素子を成形加工する
原赳として有用な微粉末状のものは得られない。
が蒸発し、ホウ素含有址がリッチなリン化ホウ素しか得
られなかった。基板を入れた容器中に三塩化リンと三臭
化ホウ素等のリン化合物およびホウ素化合物の蒸気と水
素ガスとを導入し加熱して反応せしめ、基板上にリン化
ホウ素を沈着させる化学蒸着法によればリンとホウ素と
が等モルで結合している純粋なリン化ホウ素を得ること
は可能である。しかし上記化学蒸着法によれば薄層状の
リン化ホウ素しか得られず、種々の素子を成形加工する
原赳として有用な微粉末状のものは得られない。
本発明は上記従来の問題点を解決するための手段として
赤リンとホウ素とを高温高圧下で反応させ、実質的に等
モル量の化合物とすることを特徴とするリン化ホウ素の
製造方法を提供するものである。
赤リンとホウ素とを高温高圧下で反応させ、実質的に等
モル量の化合物とすることを特徴とするリン化ホウ素の
製造方法を提供するものである。
本発明においては上記したように赤リンとホウ素と高温
高圧下で反応させ実質的に等モル量の化合物とするもの
であるが、該反応において望ましい温度は500〜15
00℃、また望ましい圧力は1000〜3000kgf
/Jである1反応温度が500℃以下になると赤リンが
溶融せず、赤リンとホウ素との反応が円滑に行われず、
1500℃以上になると赤リンの蒸気圧が高くなってそ
れに拮抗するために必要な圧力が大きくなり、大規模な
装置が必要となる。上記温度範囲において圧力は300
0kgf/J以下で赤リン蒸気の逃散を抑制出来る。し
かし100100O/Jでは赤リン蒸気が逃散する可能
性がある。
高圧下で反応させ実質的に等モル量の化合物とするもの
であるが、該反応において望ましい温度は500〜15
00℃、また望ましい圧力は1000〜3000kgf
/Jである1反応温度が500℃以下になると赤リンが
溶融せず、赤リンとホウ素との反応が円滑に行われず、
1500℃以上になると赤リンの蒸気圧が高くなってそ
れに拮抗するために必要な圧力が大きくなり、大規模な
装置が必要となる。上記温度範囲において圧力は300
0kgf/J以下で赤リン蒸気の逃散を抑制出来る。し
かし100100O/Jでは赤リン蒸気が逃散する可能
性がある。
本発明においては上記高温高圧を及ぼす望ましい手段と
しては熱間静水圧(HIP)装置またはホットプレスが
ある。
しては熱間静水圧(HIP)装置またはホットプレスが
ある。
本発明においてリン化ホウ素の微粉末は原料とする赤リ
ンとホウ素を微粉末状のものとすれば容易にえられる。
ンとホウ素を微粉末状のものとすれば容易にえられる。
しかし本発明においては赤リンとホウ素とが微粉末であ
ることを要請するものではない、赤リンとホウ素との微
粉末以外の形状としては例えば粒状、片状、リボン状等
がある。このような微粉末以外の形状のものであっても
高温により赤リンが溶融し、該赤リン溶融物中にホウ素
が溶解しつシ反応して行くと思われるので反応は円滑に
進行する。
ることを要請するものではない、赤リンとホウ素との微
粉末以外の形状としては例えば粒状、片状、リボン状等
がある。このような微粉末以外の形状のものであっても
高温により赤リンが溶融し、該赤リン溶融物中にホウ素
が溶解しつシ反応して行くと思われるので反応は円滑に
進行する。
本発明においては更に赤リンとホウ素との実質的に等モ
ル量の混合物粉末を所定形状に成形した後に高温高圧を
及ぼして反応させてもよい、この場合にはバインダとし
て鉄、金、銀、パラジウムなどの低融点(約1500℃
以下)の貴金属、ニッケル、コバルト、銅、ケイ素など
の低融点の非金属およびアルカリ金属酸化物、アルカリ
土類金属酸化物、酸化リン、酸化ホウ素等の低融点物質
を上記混合物粉末に若干量混合することが望ましい、こ
のようにして得られたリン化ホウ素は所定形状をした焼
結体となる。
ル量の混合物粉末を所定形状に成形した後に高温高圧を
及ぼして反応させてもよい、この場合にはバインダとし
て鉄、金、銀、パラジウムなどの低融点(約1500℃
以下)の貴金属、ニッケル、コバルト、銅、ケイ素など
の低融点の非金属およびアルカリ金属酸化物、アルカリ
土類金属酸化物、酸化リン、酸化ホウ素等の低融点物質
を上記混合物粉末に若干量混合することが望ましい、こ
のようにして得られたリン化ホウ素は所定形状をした焼
結体となる。
赤リンとホウ素との実質的に等モル量の混合物を高温高
圧下で反応させると、赤リンが高温により溶融し、次い
で該赤リン溶融物中にホウ素が溶解することにより赤リ
ンとホウ素とが反応するものと考えられる。そして高圧
により赤リンの逃散することが抑制され、赤リンとホウ
素とは実質的に等モルで反応することになる。
圧下で反応させると、赤リンが高温により溶融し、次い
で該赤リン溶融物中にホウ素が溶解することにより赤リ
ンとホウ素とが反応するものと考えられる。そして高圧
により赤リンの逃散することが抑制され、赤リンとホウ
素とは実質的に等モルで反応することになる。
本発明は上記したように赤リンとホウ素とが等モルで反
応したリン化ホウ素を容易に得るものであり、しかも該
リン化ホウ素を成形に便利な微粉末の形状で得ることが
容易である。また赤リンとホウ素との混合物粉末を成形
後に反応させてリン化ホウ素の所定形状の焼結体を得る
ことも容易である。
応したリン化ホウ素を容易に得るものであり、しかも該
リン化ホウ素を成形に便利な微粉末の形状で得ることが
容易である。また赤リンとホウ素との混合物粉末を成形
後に反応させてリン化ホウ素の所定形状の焼結体を得る
ことも容易である。
以下に本発明を更に具体的に説明するための実施例をあ
げる。
げる。
平均粒径5μの赤リン粉末と、平均粒径5μのホウ素粉
末とを各々1モルずつ採って充分に混合した上で一端を
閉じた石英管中に充填し真空にて密封する。該石英管を
熱間熱間静水圧装置に挿入して温度1300℃、圧力2
000kgf/Iiを及ぼして1時間保持して石英管中
の赤リンとホウ素とを反応せしめる。このようにして得
られた粉末の平均粒径は略10μでありX線回折で分析
したところリン化ホウ素であることが判明し、またリン
化ホウ素以外のピークは全くみられなかった。
末とを各々1モルずつ採って充分に混合した上で一端を
閉じた石英管中に充填し真空にて密封する。該石英管を
熱間熱間静水圧装置に挿入して温度1300℃、圧力2
000kgf/Iiを及ぼして1時間保持して石英管中
の赤リンとホウ素とを反応せしめる。このようにして得
られた粉末の平均粒径は略10μでありX線回折で分析
したところリン化ホウ素であることが判明し、またリン
化ホウ素以外のピークは全くみられなかった。
【図面の簡単な説明】
第1図はリン化ホウ素のXS回折図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、赤リンとホウ素とを高温高圧下で反応させ、実質的
に等モル量の化合物とすることを特徴とするリン化ホウ
素の製造方法 2、該赤リンとホウ素との混合物の反応は温度が500
〜1500℃、圧力が1000〜3000kgf/cm
^2の条件下で行われる特許請求の範囲1に記載のリン
化ホウ素の製造方法 3、該赤リンとホウ素との混合物の反応において適用さ
れる高温高圧は熱間静水圧装置またはホットプレスによ
って及ぼされる特許請求の範囲1に記載のリン化ホウ素
の製造方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15894288A JPH029713A (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | リン化ホウ素の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15894288A JPH029713A (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | リン化ホウ素の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH029713A true JPH029713A (ja) | 1990-01-12 |
Family
ID=15682708
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15894288A Pending JPH029713A (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | リン化ホウ素の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH029713A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017505747A (ja) * | 2013-12-23 | 2017-02-23 | ユニヴェルシテ ピエール エ マリ キュリ(パリ 6) | アルカリ金属でのリン酸ホウ素の還元によるリン化ホウ素の製造 |
CN110713194A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-01-21 | 福州大学 | 一种高导热率水基磷化硼纳米片胶体的制备方法 |
CN113526476A (zh) * | 2020-04-15 | 2021-10-22 | 四川大学 | 一种高温半导体材料磷化硼(bp)的高压高温法制备 |
-
1988
- 1988-06-27 JP JP15894288A patent/JPH029713A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017505747A (ja) * | 2013-12-23 | 2017-02-23 | ユニヴェルシテ ピエール エ マリ キュリ(パリ 6) | アルカリ金属でのリン酸ホウ素の還元によるリン化ホウ素の製造 |
CN110713194A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-01-21 | 福州大学 | 一种高导热率水基磷化硼纳米片胶体的制备方法 |
CN113526476A (zh) * | 2020-04-15 | 2021-10-22 | 四川大学 | 一种高温半导体材料磷化硼(bp)的高压高温法制备 |
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