JPH029560A - 曲面研磨装置 - Google Patents
曲面研磨装置Info
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- JPH029560A JPH029560A JP16161088A JP16161088A JPH029560A JP H029560 A JPH029560 A JP H029560A JP 16161088 A JP16161088 A JP 16161088A JP 16161088 A JP16161088 A JP 16161088A JP H029560 A JPH029560 A JP H029560A
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- JP
- Japan
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- polishing
- polisher
- machined
- compressed air
- curved surface
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Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 92
- 230000010349 pulsation Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 10
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 3
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
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Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学ガラスレンズ、金型等の曲面研磨装置に
関するものである。
関するものである。
従来の技術
光学部品、特に光学ガラスレンズやミラー、射出成形全
行う場合必要な金型等の高精度・高品位な仕上げ而を得
るために、高能率・高品位な曲面研磨装置が要望されて
いる。
行う場合必要な金型等の高精度・高品位な仕上げ而を得
るために、高能率・高品位な曲面研磨装置が要望されて
いる。
以下第３図を参照しながら、従来の曲面研磨装置の一例
について説明する。
について説明する。
第３図＜ａ）において、１ ｆ−１：波加工物、２は研
１群ポリシャーであり、研磨ポリシャー２は研磨治具３
に貼付けられている。４は研磨押付はピンで、圧力治具
６により加圧力は変化させられる。６は研磨軸ハウジン
グである。
１群ポリシャーであり、研磨ポリシャー２は研磨治具３
に貼付けられている。４は研磨押付はピンで、圧力治具
６により加圧力は変化させられる。６は研磨軸ハウジン
グである。
以上のように構成された曲面研磨装置について、以下そ
の研磨方法について、況明する。
の研磨方法について、況明する。
被加工物１はａ方向に２〜２００ｉｐｍの低速で口伝し
、史に前記被加工物１０回転抵抗により研磨治具３に貼
付けられた４ｄｔ磨ポリシヤー２もＣ方向に回転する。
、史に前記被加工物１０回転抵抗により研磨治具３に貼
付けられた４ｄｔ磨ポリシヤー２もＣ方向に回転する。
そして、被加工物１の半径方向（矢印す方向）に所定の
曲面形状をたどるように、かつ研磨ポリシャー２が常に
形状曲面に垂直になるように移動させて研磨を行う。こ
の時の研磨ポリシャー２の移動軌跡は第３図（均の矢印
ｄの如くなる。
曲面形状をたどるように、かつ研磨ポリシャー２が常に
形状曲面に垂直になるように移動させて研磨を行う。こ
の時の研磨ポリシャー２の移動軌跡は第３図（均の矢印
ｄの如くなる。
究明が解決しようとする課題
しかしながら上記のような方法では、被加工物１の半径
方向（矢印す方向）の位置により加工周速度が異なるた
め、研磨量が半径方向に対して均一とならず、また研磨
量も少ないため加工時間が長い。更に、研磨ポリシャー
２を曲面形状に沿って滑らかに移動させないと、研磨面
にリップルが生じるなど、最終仕上げ面が得点いという
問題点を有していた。
方向（矢印す方向）の位置により加工周速度が異なるた
め、研磨量が半径方向に対して均一とならず、また研磨
量も少ないため加工時間が長い。更に、研磨ポリシャー
２を曲面形状に沿って滑らかに移動させないと、研磨面
にリップルが生じるなど、最終仕上げ面が得点いという
問題点を有していた。
本究明は上記問題点に鑑み、加工時間を短縮し、また、
全加工域の研磨量を均一にすることにより、高精度・高
品位な最終曲面形状を仕上げる曲面研磨装置を提供する
ことを目的とするものである。
全加工域の研磨量を均一にすることにより、高精度・高
品位な最終曲面形状を仕上げる曲面研磨装置を提供する
ことを目的とするものである。
課題を解決するための手段
上記問題点を解決するために請求項１記載の発明は、被
加工物を回転させる回転部と、研磨ポリシャーが取付け
られこの研磨ポリシャーとの間にポケット空間を形成す
る研磨ホルダー部と、前記研磨ホルダー部全回転させる
回転部と、前記研磨ホルダー部を揺動させる揺動部と、
前記研磨ホルダー部に一定圧力を与える加圧部と、前記
ポケット空間に圧縮空気を送り込み、前記研磨ポリシャ
ーに均等圧力を与える空気供給部と、前記研磨ポリシャ
ーを微振動させるために圧縮空気に脈動を与えるための
脈動発生装置とを備えたことを特徴とする。
加工物を回転させる回転部と、研磨ポリシャーが取付け
られこの研磨ポリシャーとの間にポケット空間を形成す
る研磨ホルダー部と、前記研磨ホルダー部全回転させる
回転部と、前記研磨ホルダー部を揺動させる揺動部と、
前記研磨ホルダー部に一定圧力を与える加圧部と、前記
ポケット空間に圧縮空気を送り込み、前記研磨ポリシャ
ーに均等圧力を与える空気供給部と、前記研磨ポリシャ
ーを微振動させるために圧縮空気に脈動を与えるための
脈動発生装置とを備えたことを特徴とする。
また、請求項２記載の発明は、請求項１記載の装置にお
いて、脈動発生装置の代わりに、前記被加工物に光軸方
向にｓ ｏ ｏ Ｈｚ〜５０００Ｈｚの微振動を与える
振動発生駆動部を備えたものである。
いて、脈動発生装置の代わりに、前記被加工物に光軸方
向にｓ ｏ ｏ Ｈｚ〜５０００Ｈｚの微振動を与える
振動発生駆動部を備えたものである。
作 用
請求項１記載の発明は上記構成によって、加工面内に均
等に研磨圧がかかる様研磨ポリシャーに圧縮空気によっ
て張力全与え、さらに圧縮空気に脈動を与え研磨ポリシ
ャーを微振動させることにより、加工面内を加振しなが
ら研磨を行うことができる。
等に研磨圧がかかる様研磨ポリシャーに圧縮空気によっ
て張力全与え、さらに圧縮空気に脈動を与え研磨ポリシ
ャーを微振動させることにより、加工面内を加振しなが
ら研磨を行うことができる。
請求項２記戦の発明は上記構成によって、被加工物を光
軸方向に微振動させることにより、加工面内を加振しな
がら研磨を行うことができる。
軸方向に微振動させることにより、加工面内を加振しな
がら研磨を行うことができる。
上記作用により、請求項１，２記載の発明ともに研磨量
が大きく加工面内が均等に研磨され、加工時間の短縮が
図れ、高精度で高品位な最終仕上げ面？得ることができ
る。
が大きく加工面内が均等に研磨され、加工時間の短縮が
図れ、高精度で高品位な最終仕上げ面？得ることができ
る。
実施例
以下本発明の第１実施例について、第１図全参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第１図において、７は光学ガラス等の被加工物であり、
ホルダー２０に取り付けられ、レンズ軸受２２に保持さ
れたシャフト２１を介して方向に回転する。研磨ポリシ
ャー１８が貼られたゴムシート１７は圧縮空気漏れ防止
用Ｑリング８と研磨ポリシャー押え９により周囲を挟ま
れた状態で研磨ホルダー１０に取り付けられ、ゴムシー
ト１７と研磨ホルダー１０との間にポケット１９を形成
する。１３は圧縮バネであり、バネ押え１４により所望
の加圧力に設定することができる。研磨シャフト１６は
、図示せぬ駆動モーターの駆動力を伝達するベルト２３
により軸受１１で保持されたプーリー１２を介し、ｆ方
向に回転させられる。また、圧縮空気は脈動発生装置２
５により脈動しながらロータリー継手１５と研磨シャフ
ト１６を通りエアポケット１９に供給され、研磨ポリシ
ャー１８に微振動を与え、さらに、研磨ポリシャー１８
は図示せぬ駆動モーターによりｑ方向に揺動する。
ホルダー２０に取り付けられ、レンズ軸受２２に保持さ
れたシャフト２１を介して方向に回転する。研磨ポリシ
ャー１８が貼られたゴムシート１７は圧縮空気漏れ防止
用Ｑリング８と研磨ポリシャー押え９により周囲を挟ま
れた状態で研磨ホルダー１０に取り付けられ、ゴムシー
ト１７と研磨ホルダー１０との間にポケット１９を形成
する。１３は圧縮バネであり、バネ押え１４により所望
の加圧力に設定することができる。研磨シャフト１６は
、図示せぬ駆動モーターの駆動力を伝達するベルト２３
により軸受１１で保持されたプーリー１２を介し、ｆ方
向に回転させられる。また、圧縮空気は脈動発生装置２
５により脈動しながらロータリー継手１５と研磨シャフ
ト１６を通りエアポケット１９に供給され、研磨ポリシ
ャー１８に微振動を与え、さらに、研磨ポリシャー１８
は図示せぬ駆動モーターによりｑ方向に揺動する。
２４は研磨液供給ノズルである。
以上のように構成された曲面研磨装置について、以下そ
の動作を説明する。
の動作を説明する。
予め所定の曲面形状を均等に研磨するために、被加工物
７０回転数と研磨ポリシャー１８の回転数と被加工物７
に対する研磨ポリシャー１８の研磨位置を解析ソフトに
より求め、その如く設定し、圧縮空気をロータリー継手
１５、研磨シャフト１６を経てエアポケット１９に供給
し研磨ポリシャー１８を膨らませ、破加工物了に押し付
ける。研磨圧は圧縮バネ１３とバネ押え１４により所望
の加圧力に設定することにより得られる。次に、図示せ
ぬ駆動モーターにより被加工物７と研磨ポリシャ−１８
全回転させ、脈動発生装置２６により脈動する圧縮空気
により研磨ボリンヤー１８に５００Ｈｚ〜５０００Ｈｚ
の微振動を与え、さらに図示せぬ駆動モーターによ
りｑ方向に微小な揺動運動をさせながら研磨液供給ノズ
ル２４より加工面内に研磨液を充分供給しながら研磨を
行う。
７０回転数と研磨ポリシャー１８の回転数と被加工物７
に対する研磨ポリシャー１８の研磨位置を解析ソフトに
より求め、その如く設定し、圧縮空気をロータリー継手
１５、研磨シャフト１６を経てエアポケット１９に供給
し研磨ポリシャー１８を膨らませ、破加工物了に押し付
ける。研磨圧は圧縮バネ１３とバネ押え１４により所望
の加圧力に設定することにより得られる。次に、図示せ
ぬ駆動モーターにより被加工物７と研磨ポリシャ−１８
全回転させ、脈動発生装置２６により脈動する圧縮空気
により研磨ボリンヤー１８に５００Ｈｚ〜５０００Ｈｚ
の微振動を与え、さらに図示せぬ駆動モーターによ
りｑ方向に微小な揺動運動をさせながら研磨液供給ノズ
ル２４より加工面内に研磨液を充分供給しながら研磨を
行う。
以上のように本実施例によれば、圧縮空気を脈動させる
ことにより研磨ポリシャー１８に微振動を与え、加工面
内を加振しながら研磨するため、研磨液が加工面内に充
分供給され、研磨量も大きく加工時間が短縮され、また
、加工面内の研磨量が均等となるため、高精度、高品位
な最終仕上げ面を得ることができる。
ことにより研磨ポリシャー１８に微振動を与え、加工面
内を加振しながら研磨するため、研磨液が加工面内に充
分供給され、研磨量も大きく加工時間が短縮され、また
、加工面内の研磨量が均等となるため、高精度、高品位
な最終仕上げ面を得ることができる。
次に本発明の第２実施例について、第２図を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
第２図において、その構成は第１実施例を基本としてお
り、同じ構成部品に共通符号を付して８況明は省１“令
する。２７は被加工物アに微振Ｍを与えるカム、２６は
リニアガイドである。
り、同じ構成部品に共通符号を付して８況明は省１“令
する。２７は被加工物アに微振Ｍを与えるカム、２６は
リニアガイドである。
以上のように構成された曲面研磨装置について、以丁そ
の動作を説明する。本装置の動作は、第１実施例とほぼ
同、求な動作であり、第１実施例と異なるのは、圧縮空
気を脈動させることにより研磨ポリンヤ−１８を微振動
させる代わりに、図示せぬ駆動モーターによりカム２ア
をｈ方向に回転させ、リニアガイド２６を介して被加工
物７を光軸方向に５００ Ｈｚ〜５０００Ｈｚの微振動
を与えながら研磨を行う点である。
の動作を説明する。本装置の動作は、第１実施例とほぼ
同、求な動作であり、第１実施例と異なるのは、圧縮空
気を脈動させることにより研磨ポリンヤ−１８を微振動
させる代わりに、図示せぬ駆動モーターによりカム２ア
をｈ方向に回転させ、リニアガイド２６を介して被加工
物７を光軸方向に５００ Ｈｚ〜５０００Ｈｚの微振動
を与えながら研磨を行う点である。
以上のように本実施例によれば、被加工物７に微振動を
与え、加工面内を加振しながら研磨するため、第１実施
例と同様に、研磨量も大きく加工時間が短ｍされ、また
、加工面内の研磨量が均等となり、高精度・高品位な最
終仕上げ而を得ることができる。
与え、加工面内を加振しながら研磨するため、第１実施
例と同様に、研磨量も大きく加工時間が短ｍされ、また
、加工面内の研磨量が均等となり、高精度・高品位な最
終仕上げ而を得ることができる。
なお、第１実施例において、圧縮空気を脈動させ研磨ポ
リシャー１８に微振動を与え、また、第２実施例におい
て、カム２７により被加工物７に微振動を与える構成と
したが、圧電素子により、研磨ポリシャー１８または被
加工物７に微振動を与えてもよいことは言うまでもない
。
リシャー１８に微振動を与え、また、第２実施例におい
て、カム２７により被加工物７に微振動を与える構成と
したが、圧電素子により、研磨ポリシャー１８または被
加工物７に微振動を与えてもよいことは言うまでもない
。
発明の効果
以上述べたように、請求項１記載の発明によれば、研磨
ボリンヤーを微振動させ、加工面内を加振しながら研磨
することができるので研磨液が加工面内に充分供給され
、研磨量が大きく、また加工面内の研１ｇ清が均等とな
り、加工時間が大巾に短縮され、高精度で高品位な最終
仕上げ面を得ることができ、その効果は大なるものであ
る。
ボリンヤーを微振動させ、加工面内を加振しながら研磨
することができるので研磨液が加工面内に充分供給され
、研磨量が大きく、また加工面内の研１ｇ清が均等とな
り、加工時間が大巾に短縮され、高精度で高品位な最終
仕上げ面を得ることができ、その効果は大なるものであ
る。
寸た、請求項２．ｚ城の究明によれば、加工面内を加振
しながら研磨することができるので、研磨液が加工面内
に充分供給され、研磨量が大きくまた加工面内の研磨１
改が均等となり、上記究明と同様な効果を得ることがで
きる。
しながら研磨することができるので、研磨液が加工面内
に充分供給され、研磨量が大きくまた加工面内の研磨１
改が均等となり、上記究明と同様な効果を得ることがで
きる。
第１図は本発明の第１実施例における曲面研磨ＩＡ置の
加工部概略Ｆ匂、第２図は本発明のｆｌｒ、２実施例に
おける曲面研磨装置の加工部概略図、第３図は従来の曲
面加工法の説明図である。 ７・・・・・・被加工物、１ｏ・・・・・・研磨ホルダ
ー、１３・・・・・圧縮バネ、１７・・・・・・ゴムシ
ート、１８・・・・・・研磨ポリシャー １９・・・・
・・ポケット、２ｏ・・・・・・ホルダー、２４・・・
・・・研磨液供給ノズル、２５・・・・・・弧動定生装
置、２７・・・・・・カム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１乙）Ｉ
匍ＬｌＦ （ν［摩・丁・ル９゛− ムｆ閏ハ′ト ］゛ｚノート 石斤１９−’；：すＪｌ− れ°７−１’１− Ｊ１ルタ゛−
加工部概略Ｆ匂、第２図は本発明のｆｌｒ、２実施例に
おける曲面研磨装置の加工部概略図、第３図は従来の曲
面加工法の説明図である。 ７・・・・・・被加工物、１ｏ・・・・・・研磨ホルダ
ー、１３・・・・・圧縮バネ、１７・・・・・・ゴムシ
ート、１８・・・・・・研磨ポリシャー １９・・・・
・・ポケット、２ｏ・・・・・・ホルダー、２４・・・
・・・研磨液供給ノズル、２５・・・・・・弧動定生装
置、２７・・・・・・カム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１乙）Ｉ
匍ＬｌＦ （ν［摩・丁・ル９゛− ムｆ閏ハ′ト ］゛ｚノート 石斤１９−’；：すＪｌ− れ°７−１’１− Ｊ１ルタ゛−
Claims (2)
- （１）被加工物を回転させる回転部と、研磨ポリシャー
が取付けられこの研磨ポリシャーとの間にポケット空間
を形成する研磨ホルダー部と、前記研磨ホルダー部を回
転させる回転部と、前記研磨ホルダー部を揺動させる揺
動部と、前記研磨ホルダー部に一定圧力を与える加圧部
と、前記ポケット空間に圧縮空気を送り込み、前記研磨
ポリシャーに均等圧力を与える空気供給部と、前記研磨
ポリシャーを微振動させるために圧縮空気に脈動を与え
るための脈動発生装置とを備えたことを特徴とする曲面
研磨装置。 - （２）請求項１記載の曲面研磨装置において、脈動発生
装置の代わりに、前記被加工物に光軸方向に５００Ｈｚ
〜５０００Ｈｚの微振動を与える振動発生駆動部を備え
たことを特徴とする曲面研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16161088A JPH029560A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 曲面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16161088A JPH029560A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 曲面研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH029560A true JPH029560A (ja) | 1990-01-12 |
Family
ID=15738435
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16161088A Pending JPH029560A (ja) | 1988-06-29 | 1988-06-29 | 曲面研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH029560A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5399234A (en) * | 1993-09-29 | 1995-03-21 | Motorola Inc. | Acoustically regulated polishing process |
| CN109590812A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-04-09 | 苏州大学 | 使用气囊抛光处理非球面的路径生成方法 |
-
1988
- 1988-06-29 JP JP16161088A patent/JPH029560A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5399234A (en) * | 1993-09-29 | 1995-03-21 | Motorola Inc. | Acoustically regulated polishing process |
| CN109590812A (zh) * | 2018-11-27 | 2019-04-09 | 苏州大学 | 使用气囊抛光处理非球面的路径生成方法 |
| CN109590812B (zh) * | 2018-11-27 | 2019-11-29 | 苏州大学 | 使用气囊抛光处理非球面的路径生成方法 |
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