JPH01310865A - 超精密研削装置 - Google Patents
超精密研削装置Info
- Publication number
- JPH01310865A JPH01310865A JP63139233A JP13923388A JPH01310865A JP H01310865 A JPH01310865 A JP H01310865A JP 63139233 A JP63139233 A JP 63139233A JP 13923388 A JP13923388 A JP 13923388A JP H01310865 A JPH01310865 A JP H01310865A
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- JP
- Japan
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- work
- work table
- groove
- grinding tool
- workpiece
- Prior art date
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/02—Frames; Beds; Carriages
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
- B24B19/02—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group for grinding grooves, e.g. on shafts, in casings, in tubes, homokinetic joint elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
- B24B47/02—Drives or gearings; Equipment therefor for performing a reciprocating movement of carriages or work- tables
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的］
（産業上の利用分野）
この発明は、ワークの被加工部を精密に研削加工する装
置に係り、さらに詳細には、ワークの周面、溝等の側面
を精密に仕上加工する装置に関する。
置に係り、さらに詳細には、ワークの周面、溝等の側面
を精密に仕上加工する装置に関する。
（従来の技術）
従来、放電加工機によって加工された金型の内面を極め
て高精度に仕上加エリ−るには、超音波研磨装置等を用
いることにより、手作業によって行われている。したが
って、非能率的であり、かつ均一性に欠ける問題点があ
った。
て高精度に仕上加エリ−るには、超音波研磨装置等を用
いることにより、手作業によって行われている。したが
って、非能率的であり、かつ均一性に欠ける問題点があ
った。
そこで出願人は、上記のごとき問題を解決覆るために、
特開昭５９−１９６７０号公報（以下単に先行例と称す
）に記載の装置を既に提供している。
特開昭５９−１９６７０号公報（以下単に先行例と称す
）に記載の装置を既に提供している。
（発明が解決しようとする課題）
先行例に記載の装置によれば、例えばワークに形成され
た長溝の研削仕上を行うとぎには、長溝の長手方向へワ
ークを移動する操作だ（プでよいので、作業能率の向上
と加工面の均一化とが図られた。しかし、ワークに形成
された満が、例えば複雑な輪部をなす環状であり、その
溝の側面を仕上加工する場合には、多少の困難性が伴う
問題点があった。
た長溝の研削仕上を行うとぎには、長溝の長手方向へワ
ークを移動する操作だ（プでよいので、作業能率の向上
と加工面の均一化とが図られた。しかし、ワークに形成
された満が、例えば複雑な輪部をなす環状であり、その
溝の側面を仕上加工する場合には、多少の困難性が伴う
問題点があった。
［発明の構成］
（課題を解決り−るための手段）
前述のごとぎ従来の問題点に鑑みて、この発明は、ワー
クの被加工部を精密に研削加工する装置にして、上記ワ
ークを支持したワークテーブルをベース上面に水平に移
動自在かつ旋回自在に載置し、上記ワークテーブルを旋
回するためのモータを支承したスライドテーブルをワー
クテーブルと一体的に水平に移動自在に設け、上記スラ
イドテーブルを一方向へ牽引する牽引装置を設ζブてな
るものである。
クの被加工部を精密に研削加工する装置にして、上記ワ
ークを支持したワークテーブルをベース上面に水平に移
動自在かつ旋回自在に載置し、上記ワークテーブルを旋
回するためのモータを支承したスライドテーブルをワー
クテーブルと一体的に水平に移動自在に設け、上記スラ
イドテーブルを一方向へ牽引する牽引装置を設ζブてな
るものである。
（作用）
上記構成により、ワークテーブルに支持されたワークの
環状の溝内に研削工具を位置せしめた後、ワークテーブ
ルと一体的に水平に移動自在のスライドテーブルを一方
向へ牽引すると、前記研削工具は、溝の一側面と当接す
る。し７．−がって、モータによってワークテーブルを
旋回すると、ワークが回転されて、研削工具と溝の一側
面との当接位置が次第に変化するので、溝の一側面は全
面に亘って自動的に研削され、仕上加工されることとな
る。
環状の溝内に研削工具を位置せしめた後、ワークテーブ
ルと一体的に水平に移動自在のスライドテーブルを一方
向へ牽引すると、前記研削工具は、溝の一側面と当接す
る。し７．−がって、モータによってワークテーブルを
旋回すると、ワークが回転されて、研削工具と溝の一側
面との当接位置が次第に変化するので、溝の一側面は全
面に亘って自動的に研削され、仕上加工されることとな
る。
〈実施例）
第１図を参照するに、本実施例に係る研削装置は、研削
工具７を備えた加工機本体３どワークＷを保持覆るワー
ク保持装置５とより構成しである。
工具７を備えた加工機本体３どワークＷを保持覆るワー
ク保持装置５とより構成しである。
上記研削工具１は、上下に微振動自在かつ微小偏心運動
自在に設けられている。この研削工具１を備えた前記加
工機本体３の構成は、前記特Ｉ？１１昭５９−１９６７
０号公報に記載された装置と同じであるから、その詳細
については説明を省略する。
自在に設けられている。この研削工具１を備えた前記加
工機本体３の構成は、前記特Ｉ？１１昭５９−１９６７
０号公報に記載された装置と同じであるから、その詳細
については説明を省略する。
前記ワーク保持装置５は、ワークＷを支持づるワークテ
ーブル７と、ワークテーブル７を旋回覆るためのモータ
９を支持したスライドテーブル１１より構成しである。
ーブル７と、ワークテーブル７を旋回覆るためのモータ
９を支持したスライドテーブル１１より構成しである。
上記ワークテーブル７は、加工機本体３のベース１３上
に単に載置してあって、水平に摺動自在かつ旋回自在に
設（プられている。第２図より明らかなように、ワーク
テーブル７は円盤状をなしており、その上面には、ワー
クＷを固定する固定具（図示省略）を取（＝Ｉ’ ４．
’るためのＴ溝１５が十字形状に形成しである。
に単に載置してあって、水平に摺動自在かつ旋回自在に
設（プられている。第２図より明らかなように、ワーク
テーブル７は円盤状をなしており、その上面には、ワー
クＷを固定する固定具（図示省略）を取（＝Ｉ’ ４．
’るためのＴ溝１５が十字形状に形成しである。
前記スライドテーブル１１は、Ｘ軸方向に移動自在のＸ
スライド１７とＹ軸方向に移動自在のＹスライド１９よ
り描成しである。
スライド１７とＹ軸方向に移動自在のＹスライド１９よ
り描成しである。
より詳細には、前記ベース１３に取付けた支持ベース２
１にはＸ軸方向く第１図、第２図において左右方向）に
延伸したＸ軸ガイドレール２３が設けられている。この
Ｘ軸ガイドレール２３には、複数のローラ２５を介して
前記Ｘスライド１７が移動自在に支承されている。この
Ｘスライド１７の上面には、例えば螺子部先端を前記Ｘ
軸ガイドレール２３に押圧してＸスライド１７を固定す
ることのできる固定ノブ２７が螺着しであると共に、Ｙ
スライダ１９をＹ軸方向に移動自在に支承する複数のガ
イドローラ２つが設けられている。
１にはＸ軸方向く第１図、第２図において左右方向）に
延伸したＸ軸ガイドレール２３が設けられている。この
Ｘ軸ガイドレール２３には、複数のローラ２５を介して
前記Ｘスライド１７が移動自在に支承されている。この
Ｘスライド１７の上面には、例えば螺子部先端を前記Ｘ
軸ガイドレール２３に押圧してＸスライド１７を固定す
ることのできる固定ノブ２７が螺着しであると共に、Ｙ
スライダ１９をＹ軸方向に移動自在に支承する複数のガ
イドローラ２つが設けられている。
上記Ｙスライダ１９には、例えば螺子部の先端をＸスラ
イダ１７に抑圧覆る、或は先端部をＸスライダ１７に設
（プた孔に係合するなどの適宜の構成でもってＹスライ
ダ１９をＸスライダ１７に固定することのできる固定ノ
ブ３１が取付けであると共に、前記モータ９を支承した
モータブラケット３３が一体的に取付けである。このモ
ータブラケット３３には、前記ワークテーブル７の方向
へ延伸したアーム３５ａ 、３５ｂが対称に設けてあり
、各アーム３５ａ、３５わの先端部にはそれぞれプーリ
３７ａ、３７ｂが回転自在に取付りである。
イダ１７に抑圧覆る、或は先端部をＸスライダ１７に設
（プた孔に係合するなどの適宜の構成でもってＹスライ
ダ１９をＸスライダ１７に固定することのできる固定ノ
ブ３１が取付けであると共に、前記モータ９を支承した
モータブラケット３３が一体的に取付けである。このモ
ータブラケット３３には、前記ワークテーブル７の方向
へ延伸したアーム３５ａ 、３５ｂが対称に設けてあり
、各アーム３５ａ、３５わの先端部にはそれぞれプーリ
３７ａ、３７ｂが回転自在に取付りである。
前記モータ９の出力軸には駆動プーリ３９が取付てあり
、この駆動プーリ３つと前記ワークテーブル７の外周面
にはベルト４１が掛回しである。
、この駆動プーリ３つと前記ワークテーブル７の外周面
にはベルト４１が掛回しである。
このベルト４１は、前記プーリ３７ａ、３７ｂによって
、ワークテーブル７の外周面に確実に掛回されている。
、ワークテーブル７の外周面に確実に掛回されている。
またベルト４１の作用によってワークテーブル７は前記
プーリ３７ａ、３７ｂの間に挾持された態様でもって位
置決めされ、ワークデープル７とスライドテーブル１１
とがＸ軸、Ｙ軸方向へ一体的に移動するよう構成しであ
る。
プーリ３７ａ、３７ｂの間に挾持された態様でもって位
置決めされ、ワークデープル７とスライドテーブル１１
とがＸ軸、Ｙ軸方向へ一体的に移動するよう構成しであ
る。
上記構成により、モータ９を駆動することによってワー
クテーブル７が回転される。また、スライドテーブル１
１におけるＸスライド１７をＸ軸方向へ、ざらにＹスラ
イド１９をＹ軸方向へ移動することにより、ワークテー
ブル７は、アーム３５ａ 、３５ｂおよびベルト４１を
介してＸ軸、Ｙ軸方向へ一体的に移動することになる。
クテーブル７が回転される。また、スライドテーブル１
１におけるＸスライド１７をＸ軸方向へ、ざらにＹスラ
イド１９をＹ軸方向へ移動することにより、ワークテー
ブル７は、アーム３５ａ 、３５ｂおよびベルト４１を
介してＸ軸、Ｙ軸方向へ一体的に移動することになる。
前記スライドテーブル１１を介してワークテーブル７を
一方向へ牽引する牽引装置の１例として、本実施例にお
いては、前記Ｘスライド１７の一部にワイヤ４３の一端
が連結しである。このワイヤ４３は、前記支持ベース２
１に水平に回転自在に支承されたプーリ４５及び支柱４
７の下部に取付（ブたプーリ４９を経て、支柱４７の上
部に取付けたプーリ５１に掛回しである。そして、この
プーリ５１から垂下しＩＣワイヤ４３の他端部には、重
錘５３が着脱自在に取付けである。
一方向へ牽引する牽引装置の１例として、本実施例にお
いては、前記Ｘスライド１７の一部にワイヤ４３の一端
が連結しである。このワイヤ４３は、前記支持ベース２
１に水平に回転自在に支承されたプーリ４５及び支柱４
７の下部に取付（ブたプーリ４９を経て、支柱４７の上
部に取付けたプーリ５１に掛回しである。そして、この
プーリ５１から垂下しＩＣワイヤ４３の他端部には、重
錘５３が着脱自在に取付けである。
上記構成により、前記スライドテーブル１１゜ワークテ
ーブル７は、重錘５３の作用によって常にＸ軸方向へ牽
引されているものであり、その牽引力は、重錘５３を適
宜に着脱することによって調節することができる。
ーブル７は、重錘５３の作用によって常にＸ軸方向へ牽
引されているものであり、その牽引力は、重錘５３を適
宜に着脱することによって調節することができる。
以上のごとぎ構成において、ワークデープル７に載置固
定されたワークＷの環状の溝Ｇの外周側壁Ｇ１を研削す
る場合には、ワークテーブル７がＸ軸方向へ牽引された
状態においで、第２図に１Δで示すように、研削工具１
が外周側壁Ｇ１に接触するように、ワークテーブル７を
位置決めする。
定されたワークＷの環状の溝Ｇの外周側壁Ｇ１を研削す
る場合には、ワークテーブル７がＸ軸方向へ牽引された
状態においで、第２図に１Δで示すように、研削工具１
が外周側壁Ｇ１に接触するように、ワークテーブル７を
位置決めする。
また溝Ｇの内周側壁Ｇ２を研削する場合には、１Ｂで示
すように、研削工具１が内周側壁Ｇ２に接触するように
、ワークテーブル７を位置決めする。
すように、研削工具１が内周側壁Ｇ２に接触するように
、ワークテーブル７を位置決めする。
上述のごとく、例えば研削工具１が溝Ｇの外周側壁Ｇ１
に接触するようワークテーブル７の位置決めを行った後
に、定位置において研削工具１を上下に振動せしめると
共に微小偏心運動せしめ、かつモータ９によりワークテ
ーブル７を旋回せしめて、研削加工を開始する。
に接触するようワークテーブル７の位置決めを行った後
に、定位置において研削工具１を上下に振動せしめると
共に微小偏心運動せしめ、かつモータ９によりワークテ
ーブル７を旋回せしめて、研削加工を開始する。
ワークテーブル７の旋回により、ワークＷの溝Ｇにお（
プる外周側壁Ｇ１は研削工具１によって全周に亘って研
削加工されることとなる。この際、ワークテーブル７の
Ｘ軸方向への牽引力は常に一定であり、研削工具１ど外
周側壁Ｇ１の接触圧は一定し、均一的な研削加工が行わ
れる。また、ワークデープル７が水平に移動自在である
ことにより、ワークＷの溝Ｇの形状によって、ワークテ
ーブル７が重錘５３を引上げるＸ軸方向へ移動したり、
Ｙ軸方向へ移動したりしつつワークテーブル７は旋回す
るものである。したがって、ワークＷの溝Ｇの輪部形状
が複雑であっても、溝Ｇの周面を自動的に研削できるも
のである。
プる外周側壁Ｇ１は研削工具１によって全周に亘って研
削加工されることとなる。この際、ワークテーブル７の
Ｘ軸方向への牽引力は常に一定であり、研削工具１ど外
周側壁Ｇ１の接触圧は一定し、均一的な研削加工が行わ
れる。また、ワークデープル７が水平に移動自在である
ことにより、ワークＷの溝Ｇの形状によって、ワークテ
ーブル７が重錘５３を引上げるＸ軸方向へ移動したり、
Ｙ軸方向へ移動したりしつつワークテーブル７は旋回す
るものである。したがって、ワークＷの溝Ｇの輪部形状
が複雑であっても、溝Ｇの周面を自動的に研削できるも
のである。
なお、溝Ｇの周面がテーパ面である場合には、研削工具
１の上下動に連動してワークテーブル７がＸ軸方向に往
復動することとなって、何等の問題なしに容易に研削加
工を行うことができる。
１の上下動に連動してワークテーブル７がＸ軸方向に往
復動することとなって、何等の問題なしに容易に研削加
工を行うことができる。
また、重錘５３を取外して牽引力を除去することもでき
、この場合には前述した先行例と同様に使用できるもの
である。
、この場合には前述した先行例と同様に使用できるもの
である。
なお、この発明は、上述の実施例のみに限るものではな
く、適宜の変更を行うことにより、その他の態様でも実
施可能である。例えば、ワークテーブルを一方向へ牽引
する装置として、前述の重錘に変えて、トルクモータを
用いて一定の力で牽引する構成とすることも可能である
。
く、適宜の変更を行うことにより、その他の態様でも実
施可能である。例えば、ワークテーブルを一方向へ牽引
する装置として、前述の重錘に変えて、トルクモータを
用いて一定の力で牽引する構成とすることも可能である
。
［発明の効果］
以上のごとき実施例の説明より理解されるように、この
発明によれば、ワークに形成された溝の側面あるいはワ
ークの周面を自動的に仕上加工することができるので、
仕上加工の無人化が可能であって、省力化９作業能率向
上および加工面の均一化に効果を奏するものである。
発明によれば、ワークに形成された溝の側面あるいはワ
ークの周面を自動的に仕上加工することができるので、
仕上加工の無人化が可能であって、省力化９作業能率向
上および加工面の均一化に効果を奏するものである。
図面はこの発明の一実施例を示すもので、第１図は全体
を示す正面図、第２図は主要部分を拡大して示した平面
図である。 ７・・・ワークテーブル １３・・・ベース９・・・モ
ータ １１・・・スライドテーブル代理人 弁
理士 三 好 保 男
を示す正面図、第２図は主要部分を拡大して示した平面
図である。 ７・・・ワークテーブル １３・・・ベース９・・・モ
ータ １１・・・スライドテーブル代理人 弁
理士 三 好 保 男
Claims (1)
- ワークの被加工部を精密に研削加工する装置にして、上
記ワークを支持したワークテーブルをベース上面に水平
に移動自在かつ旋回自在に載置し、上記ワークテーブル
を旋回するためのモータを支承したスライドテーブルを
ワークテーブルと一体的に水平に移動自在に設け、上記
スライドテーブルを一方向へ牽引する牽引装置を設けて
なることを特徴とする超精密研削装置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63139233A JPH0639052B2 (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 超精密研削装置 |
| US07/360,342 US4991356A (en) | 1988-06-08 | 1989-06-02 | Ultra-precision grinding machine |
| DE3918365A DE3918365A1 (de) | 1988-06-08 | 1989-06-06 | Ultra-praezisionsschleifmaschine |
| AU36107/89A AU591629B1 (en) | 1988-06-08 | 1989-06-06 | Ultra-precision grinding machine |
| GB8912973A GB2219536B (en) | 1988-06-08 | 1989-06-06 | Ultra-precision grinding machine |
| CA000602009A CA1317769C (en) | 1988-06-08 | 1989-06-07 | Ultra-precision grinding machine |
| KR1019890007806A KR930007112B1 (ko) | 1988-06-08 | 1989-06-07 | 초정밀 연삭기 |
| FR898907620A FR2632556B1 (fr) | 1988-06-08 | 1989-06-08 | Rectifieuse d'extreme precision pour la rectification de rainures rectilignes ou en boucle |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63139233A JPH0639052B2 (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 超精密研削装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01310865A true JPH01310865A (ja) | 1989-12-14 |
| JPH0639052B2 JPH0639052B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=15240577
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63139233A Expired - Fee Related JPH0639052B2 (ja) | 1988-06-08 | 1988-06-08 | 超精密研削装置 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4991356A (ja) |
| JP (1) | JPH0639052B2 (ja) |
| KR (1) | KR930007112B1 (ja) |
| AU (1) | AU591629B1 (ja) |
| CA (1) | CA1317769C (ja) |
| DE (1) | DE3918365A1 (ja) |
| FR (1) | FR2632556B1 (ja) |
| GB (1) | GB2219536B (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4126566A1 (de) * | 1991-08-10 | 1993-02-11 | Geyer Bruno Werkzeugbau | Drehtisch, insbesondere fuer eine poliermaschine |
| DE4203434C2 (de) * | 1992-02-06 | 1994-03-31 | Ppv Verwaltungs Ag Zuerich | Maschine zum Schleifen eines Werkstücks |
| CN2150970Y (zh) * | 1993-02-08 | 1993-12-29 | 许显华 | 内孔花键组合磨床 |
| JP3076291B2 (ja) * | 1997-12-02 | 2000-08-14 | 日本電気株式会社 | 研磨装置 |
| US6250991B1 (en) * | 1999-10-15 | 2001-06-26 | Agere Systems Guardian Corp. | Bearing substitute for wafer polishing arm |
| US6915725B2 (en) * | 2002-12-13 | 2005-07-12 | Bryan Bridges | Engraver's workstation |
| CN109849079B (zh) * | 2019-04-11 | 2020-09-15 | 北京理工大学 | 一种加工微结构阵列的超精密加工装置 |
| CN114559357B (zh) * | 2022-03-26 | 2024-11-19 | 徐德富 | 一种单一驱动的公自转抛光修形装置 |
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