JPH0289029A - 記憶装置および液晶表示装置 - Google Patents

記憶装置および液晶表示装置

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JPH0289029A
JPH0289029A JP63240111A JP24011188A JPH0289029A JP H0289029 A JPH0289029 A JP H0289029A JP 63240111 A JP63240111 A JP 63240111A JP 24011188 A JP24011188 A JP 24011188A JP H0289029 A JPH0289029 A JP H0289029A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は電気信号を記憶する記憶装置およびそれを用い
た液晶表示装置に関する。またその記憶方法読み出し方
法及び記憶装置の製造方法に関す従来の技術 XYマトリックス電極をもち、その交差点に設けたトラ
ンジスタを介して容量に電気信号を蓄積する記録装置は
Si半導体装置としてはよく知られている。また、TF
Tを用いたアクティブマトリックス型表示基板を用いた
液晶デイスプレーは、単純マトリックス型液晶表示装置
に比べて高い画質が得られるため盛んに研究されている
。アクティブマトリックス型表示装置のためのTPTア
レーは上述したSi半導体装置と同じ構成をしている。
TPTを用いたアクティブマトリックス型液晶表示装置
は第7図に示す構成である。
透光性基板120に形成されたソース(又はドレーン)
電極母線121及びゲート電極母線122と、TFT1
23と、絵素電極124を支持している表示基板125
と、対向電極126を有する対向基板127とから構成
されており、これらの基板125と127の間に液晶が
封入される。
一方、絶縁物の上に半導体を形成する逆スタガー型TF
Tは良質のTFTが得られるが、それについて、マトリ
ックス表示基板の製造方法を示す第8図に従って説明す
る。TPTは絶縁基板130上に堆積されたCrゲート
131と、SiNx絶Liff132とa−8i(アモ
ルファスシリコン)層134と、AIソース135と、
AIドレーン136とで形成されている。絵素電極13
8はITO(インジウム−ティン−オキサイド)で形成
されている。TFTと絵素電極138は、絶縁層132
に形成されたコンタクトホール142に続くドレーン1
36に結合されている。
発明が解決しようとする課題 このようなTPTを用いたアクティブマトリックス型表
示基板は、絶縁層をはさんでXYの電極母線が交差して
いる構造となっており、XY電極母線同志のシghが歩
留まりを低下させる大きな不良要因であった。
またゲートパルス電位の変化による偽信号が絵素表示電
極の電位をひきおこし液晶表示表示品質劣下させていた
。また特に大型液晶表示基板として用いる場合、ゲート
パルスの遅延によるTPTのスイッチング時間の画面左
右の不均一性が、表示品質の低下、具体的には画面左右
の師度の不均一性をまねいた。
課題を解決するための手段 行を指定する信号を光としその伝達を光導波路を用いて
行い、列を形成する第1の電極に記憶すべき電気信号を
伝達し、前記第1の電極と第2の電極は前記光導波路上
に形成された光導電層を介して電気的に接続し、誘電体
層をはさんで第2、第3の電極間で形成した容量に前記
電気信号を蓄積する。
また、第2の電極を透明電極で形成し、前記第1の誘電
体層として液晶を用いることにより、液晶表示装置を構
成する。
作用 上記の構成により、光導波路に導入された光によって光
導波路上に形成された光導電層を導通状態にして電極パ
スラインより伝達される電気信号を容量に蓄積して記憶
できる。記憶された電気信号は別の11h間に導入され
た光によって再び光導電層を導通状態にして蓄積された
電気信号を電極パスラインより読み出すことができる。
またはJt換えが可能であるのでこの性質を利用すると
液晶駆動用アレーとしても用いることができる。
実施例 本発明の記憶装置は、行を指定する信号を光としその伝
達を光導波路を用いて行い、列を形成する第1の電極に
記憶すべき電気信号を伝達し、第1の電極と第2の電極
を光導波路上に形成された光導電層を介して電気的に接
続し、誘電体層をはさんで第2、第3の電極間で形成し
た容量に前記電気信号を蓄積するものである。
本記憶装置をマトリックス回路とするときは、複数の前
記光導波路と複数の第1の電極が交差する11q所に対
応して複数の第2の電極が分離して形成される。あるい
は複数の光導波路と複数の第1の電極が交差することな
く形成され、第2の電極が分離して形成され、第3の電
極が光導波路及び第1の電極と交差するように複数の第
3の電極が設置される。この場合光導電体層の下層また
は上層の少なくとも一方に光の遮蔽層を設けることが望
ましい。
なお、光導電層をダイオードとして構成してもよい。そ
の場合、複数のダイオードを互いに極性の異なるように
直列に接続した構成とすることが好ましい。またダイオ
ードはへテロ接合であることが好ましい。
実施例1 第1図に示すように、ガラス基板10(商品名コーニン
グ7059)に、イオン交換法により屈折率の高い光導
波路1を形成する。次に、第1のITOを100OAの
厚さに形成し、パターニングして第3の電極2とする。
次に基板周辺部の第1のITOの電極取り出し部を除い
て5i02からなる誘電体層3を2000Aの厚さに常
圧CVD法で形成する。
次に、1−asiを2000Aの厚さにPCvD法で形
成し、パターニングし光導電層4を形成する。更に、第
2のITOをDCスパッタ法で100OA形成し、パタ
ーニングして第2の電極5とする。
n4−aSi層61、Mo5iJil?、Alff18
をそれぞれ、500A、500A15000Aの厚みに
形成し、絵素電極である第2の電極5と光導電層4を接
続するための接続電極36と第1の電極34を形成する
本実施例では第1の電極11から第2の電極5への電流
は基板上の光導電層4の横方向に流れる。
上記の記憶装置においては、行を指定する信号を光とし
その伝達を光導波路1を用いて行い、列を形成する第1
の電極11に記憶すべき電気信号を伝達する。第1の電
極11と第2の電極5は光導波路1上に形成された光導
?!!層4を介して電気的に接続され、誘電体層3を挟
んで第2、第3の電極間で形成した容量に前記電気信号
を蓄積する。
すなわち、光導波路1に光を導入し光導電層4を低抵抗
化している期間に、第1の電極11より第2の電極5に
電気信号を伝達し、記憶期間中光導電前4は暗中に保持
して電気信号を記憶する。
電気信号の読み出し時には、光導波路1に光を導入し光
導電層4を低抵抗化し蓄積した電気信号を第1の電極1
1を通じて読み出す。
実施例2 実施例1のn・−381層6の代わりにS iN n2
0OAを介在させると、記憶電圧は実施例1の場合より
大きくなるが、その電荷の保持特性は優れた記憶装置と
なる。
実施例3 第2図の様に、実施例1と同様の光導波路21をガラス
基板20上にイオン交換によって形成する。
次にSnO2を常圧CVD法で形成し、ドライエツチン
グ法で22のパターンを形成する。
CdTe23、In24をを蒸着法で各々4000A、
100OAの厚さに形成する。のちに24aのようにパ
ターニングする。
本実施例では電極1から電極2の電流の流れは光導電層
の膜厚方向に流れる。
本発明の第3の電極2が分離されずに共通の場合のマト
リックス回路の等価回路を第3図(a)に示す。R1、
CIは蓄積容量または液晶層の抵抗、容量、R2,C2
は光導電層の抵抗、容量を表す。
E l(m−1)、E 1m1E 1(m+1 )は信
号を伝達する第1の電極、R3は第3の電極を表す。こ
のとき、R2−R1>10IQΩ       (1)
を溝足しR1,R2ともに高抵抗である。
n番目の行の光導波路に光を入射し光導電層を低抵抗化
する。このとき光導電層の抵抗はR2からR2゛に変化
するものとする。
R2’ CRI            (2)となり
光導電層のC2に印加される電圧はほとんど無視でき、
第3図(b)のようにn番目の行はC1のみと見なせる
。他の行はCIと02の直列の容量と見なせる。第1の
電極に印加する信号電圧をVml  第3の電極に印加
する電圧をVtとするとき容ff1c+に分配される電
圧は CI+C2 であるからC2が小さいほどCIに分配される電圧は小
さくなる。C2に(Vm−Vt)のほとんどの電圧が印
加される。パターンの設計によりC2<CI     
       (4)にすると上述したことが実現でき
る。アドレスしようとして信号を伝達しようとしている
いるn番目の行ではR2は無視できるので、第3図(b
)のような等価回路となる。n番目の行では、(Vm−
Vt)の電圧がCIに印加される。他の行では、(Vm
−Vt)の電圧が02に印加される。
つぎに光導波路と平行に信号線を走らせ、対向電極を分
離形成して光導波路および信号線と交差させる場合につ
いてのべる。等価回路を第6図(a)に示す。
E″In、  E’ I(n+1)は信号を伝達する第
1の電極、E ’ 3(m−1)、 E ’ 3m1E
 ’ 3(m+I)は第3の電極を表す。第3図(a)
と同様に、Rlz  C1は蓄積容量または液晶の抵抗
、容量を、R2,C2は光導電層の抵抗、容量を表す。
上述した第3図と同様の条件、すなわち式(1)、(2
)、(4)を満足すると同様のことが言える。等価回路
は第6図(b)のように簡略化される。アドレスすべき
行をn番目の行とすると、信号電圧はそれぞれ、(V’
m−1−Vs)、 (V’m−VS)、 (V’m+1
−Vs)が印加されCIに記憶される。他の行では、(
V ’m−I −Vb) 、(V ’m−Vb) 、(
V ’m+I −Vb)の電圧が02に印加させられる
CIが111(視できない場合でもCIに分配される電
圧は、 である。この場合でも、 (V’m−Vs)の絶対値が
(V’m−Vb)の絶対値よりか大きくなるようにvb
を設定すると、アドレスされていない行のCIに印加さ
れる偽の信号は小さ(できる。
実施例4 本実施例は光遮蔽層を設ける場合の例で、第4図にその
平面図を示す。実施例1と同様の材料を用いて、光導波
路31、光導電層44、ITO42、第1の電極43を
順次形成する。
ガラス基板の反対側に光遮蔽層45をCr金属を用いて
100OAの厚さに形成する。
実施例5 本実施例は記憶装置を液晶表示装置に適用した場合であ
る。実施例1の基板を一方の基板とし、ITOを全面に
形成しである他方の基板との間のギャップを6μmとし
て液晶を挿入して液晶表示装置とする。
光導波路にはGaAlAsのLEDアレーより680n
mの波長の光を1本当り30μ秒間ずつ導入してその光
導波路上の光導電層を低抵抗化してこれに同期して映像
信号を与える。映像信号は従来のTFTアレーのLCD
と同一でよい。これによりTV画像が表示できる。
実施例6 実施例4の基板を一方の基板とし、ストライブ状のIT
O45を形成したもう一方の基板とギャップ6μmで第
4図の様に合わせて形成し、液晶表示装置とする。
光導波路には別の液晶シャッターより光を導入する。
この場合の等価回路は第5図に示すようになる。
一つの(11位は容fFx CLの液晶と光によって変
化する可変抵抗RPと容量Cpをもつ光導電層の直列接
続によって表わされる。この動作は第6図で説明したよ
うになる。
なお、上述した第1の電極と光導電層を同一マスクパタ
ーンにより形成するとより簡単に記憶装置が製造できる
また、液晶によって光を偏向し複数の複数の光導波路に
導く構成にするとより簡単な構成の液晶表示装置が実現
できる。
第1図、第4図の例のように、光電流が光導電層の横方
向に流れる構成の方が、第2図のように光電流が先導?
!層の膜厚方向に流れる構成より光導電層の容ff1c
2の値が小さくできる。
発明の効果 本発明によれば、TPTアレーのゲート電極にあたるア
ドレス線を光導波路構造とすることにより、XY電極同
志のショートをなりシ、段差のないところに信号伝達線
を配置することができるので歩留まりが向上する。電気
的ではなく光によって行をアドレスするのでTPTの場
合のようなゲートパルスの電位変化による偽信号を容量
に与えることがない。
このような特長をもつ本発明の記憶装置をたとえば液晶
表示装置に適用するとちらつきのない画面の表示が可能
となる。また電気的なゲートパルス信号の代わりに光を
アドレス信号としているためアドレス信号の遅延はほと
んどない。このためTPTアレーを大型の液晶表示装置
に適用する場合問題となる画面左右の不均一性がなくな
る。
【図面の簡単な説明】
第1図(a)および(b)は各々、本発明の第1の実施
例における記憶装置を示す平面図および断面図、第2図
(a)および(b)は各々、本発明の第3の実施例にお
ける記憶装置を示す平面図および断面図、第3図(a)
および(b)は、本発明の記憶装置の作用を説明する等
価回路図、第4図は、本発明の第4の実施例の平面図、
第5図は、本発明の記憶装置を液晶表示装置に適用した
場合の等価回路図、第6図は、本発明の記憶装置の作用
を説明する等価回路図、第7図は、従来の液晶表示装置
の斜視図、第8図(a)および(b)は各々、従来のT
PTアレーを説明する断面図および平面図である。 21.31.41・・・・光導波路、32.33.42
・・・・透明電極、34.43・・・・信号電極、35
.44・・・・光導電層、45・・・・光遮蔽層。 代理人の氏名 弁理士 栗野重孝 はか1名図 (0L) 第2図 (幻 (bン 第 第 図 図 (a−2 第 図 第 図 (トジ 第 図 (勾 込 0り 懺

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光導波路と、記憶すべき電気信号を伝達する第1
    の電極と、第1の誘電体層をはさんで相対する第2、第
    3の電極とからなり前記電気信号を蓄積する第1の容量
    と、前記光導波路上に形成され、前記第1の電極と第2
    の電極とを電気的に接続する光導電層を備えたことを特
    徴とする記憶装置。
  2. (2)第2の電極及び第4の電極間に第2 の誘電体層を介在させた第2の容量を形成することを特
    徴とする請求項1に記載の記憶装置。
  3. (3)光導波路と複数の第1の電極が交差する箇所に対
    応して第2の電極が分離形成されて設置されたことを特
    徴とする請求項1に記載の記憶装置。
  4. (4)光導波路と第1の電極が交差することなく形成さ
    れ、複数の第2の電極が分離して形成され、第3の電極
    が、第1の誘電体層を介して前記光導波路及び前記第1
    の電極と交差する複数の電極からなることを特徴とする
    請求項1に記載の記憶装置。
  5. (5)光導電体層の下層または上層の少なくとも一方に
    光遮蔽層を設けたことを特徴とする請求項1に記載の記
    憶装置。
  6. (6)第1または第2の電極が光遮蔽層を兼ねることを
    特徴とする請求項5に記載の記憶装置。
  7. (7)光導電層と第1、第2の電極の間に第2の誘電体
    層を介在させたことを特徴とする請求項1に記載の記憶
    装置。
  8. (8)請求項1に記載の記憶装置における第1の誘電体
    層を液晶層としたことを特徴とする液晶表示装置。
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