JPH0284752A - ウエハ整列装置 - Google Patents
ウエハ整列装置Info
- Publication number
- JPH0284752A JPH0284752A JP63321659A JP32165988A JPH0284752A JP H0284752 A JPH0284752 A JP H0284752A JP 63321659 A JP63321659 A JP 63321659A JP 32165988 A JP32165988 A JP 32165988A JP H0284752 A JPH0284752 A JP H0284752A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roller
- wafers
- cassette
- arrow
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 44
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、ウェハのウェハ整列装置に関するものであ
る。
る。
ウェハは、多数の製造工程を経て、ＩＣやＬＳＩなどの
半導体装置に製造されるが、熱処理などの関係上ウェハ
は、常にオリエンテーションフラット（オリフラ又はフ
ァセットともいう）が水平状態で石英ボートに収容され
、ることが必要である。そこで、ウェハを石英ボートに
収容する前にカセット内のウェハのファセットを水平状
態に調整する作業（オリフラ合せという）が行なわれる
。
半導体装置に製造されるが、熱処理などの関係上ウェハ
は、常にオリエンテーションフラット（オリフラ又はフ
ァセットともいう）が水平状態で石英ボートに収容され
、ることが必要である。そこで、ウェハを石英ボートに
収容する前にカセット内のウェハのファセットを水平状
態に調整する作業（オリフラ合せという）が行なわれる
。
このオリフラ合せは、従来、第３図のようにカセット１
の溝２にウェハ３を嵌入して収容しこのカセット１をカ
セット支持台４に載置し、カセットクランプ５ａ、 ｓ
ｂで固定し、ローラ６の保持板７を矢印Ａ７方向に移動
させて、ウェハ３のファセット３ａにローラ６を当接せ
しめ、ローラ６を矢印Ａ６方向に回転させて、ウェハ３
を矢印Ａ３方向に移送し、ファセット３ａを水平状態に
するものである。
の溝２にウェハ３を嵌入して収容しこのカセット１をカ
セット支持台４に載置し、カセットクランプ５ａ、 ｓ
ｂで固定し、ローラ６の保持板７を矢印Ａ７方向に移動
させて、ウェハ３のファセット３ａにローラ６を当接せ
しめ、ローラ６を矢印Ａ６方向に回転させて、ウェハ３
を矢印Ａ３方向に移送し、ファセット３ａを水平状態に
するものである。
しかし、この装置では、ファセットの水平状態を確認で
きない上、ローラが一本なので、オリフラ合せも完全に
出来ない。本発明は、上記の欠点を改良することを目的
とする。
きない上、ローラが一本なので、オリフラ合せも完全に
出来ない。本発明は、上記の欠点を改良することを目的
とする。
本発明は、ウェハを収容したカセットと、このカセット
に収容されたウェハを回転させる如く設けられたローラ
と、このローラにより回転されたウェハが停止したのち
上記ローラを移動させ、上記ウェハを整列させる機構と
を具備してなることを特徴とするウェハ整列装置。
に収容されたウェハを回転させる如く設けられたローラ
と、このローラにより回転されたウェハが停止したのち
上記ローラを移動させ、上記ウェハを整列させる機構と
を具備してなることを特徴とするウェハ整列装置。
ウェハのオリエンテーションフラットの水平状態を検出
する光電検出系とを具備してなるウェハ整列装置である
。
する光電検出系とを具備してなるウェハ整列装置である
。
以下、本発明の実施例を図面により説明する。
ローラ１１の支持台１２は、プーリ１３の支持台１４上
に設けられ、この支持台１４は、支柱１５により支持さ
れた上下動機構１６上に設けられている。支柱１５の上
端には、カセット支持台１７が設けられかつ、カセット
支持台１７上には図示しない駆動機構により横方向に移
動するカセットチャック１８が設けられている。ローラ
１１は、図示しない駆動装置により回転するプーリ１３
とベルト１９により連結され、かつ支持台１７は、図示
しない駆動機構、例えば、リニアウェイベアリングなど
により矢印Ａ１２方向に移動し、ローラ１１を水平方向
に移動せしめる。
に設けられ、この支持台１４は、支柱１５により支持さ
れた上下動機構１６上に設けられている。支柱１５の上
端には、カセット支持台１７が設けられかつ、カセット
支持台１７上には図示しない駆動機構により横方向に移
動するカセットチャック１８が設けられている。ローラ
１１は、図示しない駆動装置により回転するプーリ１３
とベルト１９により連結され、かつ支持台１７は、図示
しない駆動機構、例えば、リニアウェイベアリングなど
により矢印Ａ１２方向に移動し、ローラ１１を水平方向
に移動せしめる。
２０は、ウェハのオリエンテーションフラット（オリフ
ラ又はファセット）の水平状態を検知するセンサであり
、例えば第２図のように相対する二組の発光装置２１と
受光装置２２とを間隔をおいて設け、カセットに収容し
たウェハ２３のファセット２４が水平状態２４ａの時、
発光装置２１の光束を２個の受光装置２２が受光し、又
、ファセット２４が水平状態でない２４ｂ時、一方の受
光装置２２のみ受光し。
ラ又はファセット）の水平状態を検知するセンサであり
、例えば第２図のように相対する二組の発光装置２１と
受光装置２２とを間隔をおいて設け、カセットに収容し
たウェハ２３のファセット２４が水平状態２４ａの時、
発光装置２１の光束を２個の受光装置２２が受光し、又
、ファセット２４が水平状態でない２４ｂ時、一方の受
光装置２２のみ受光し。
他方の受光装置２２は受光しない様にし、この受光量の
変化によりファセット２４の水平状態を判断する。
変化によりファセット２４の水平状態を判断する。
この水平状態検知器２０は、支持台１２の図示しない駆
動機構と電気的に接続し該駆動機構を作動させる。
動機構と電気的に接続し該駆動機構を作動させる。
以下本実施例の作動について説明すると、ウェハ２３を
カセット２５の溝２６に嵌スして垂直状に収容した後、
該カセット２５をカセット支持台２５に載置し、カセッ
トクランプ１８でクランプし固定する。
カセット２５の溝２６に嵌スして垂直状に収容した後、
該カセット２５をカセット支持台２５に載置し、カセッ
トクランプ１８でクランプし固定する。
次に、ウェハ２３の中心とローラ１１の中心が、同一直
線上に位置する様に、ローラ１１の支持台１２を調整し
、更に上下動駆動機構１６を矢印Ａ１６方向に移動し、
ファセット２４が水平な状態となる点まで口°−ラ１１
を移動し、カセット２５の下部から露出しているウェハ
２３に当接せしめる。図示しない駆動装置によりプーリ
１３を矢印Ａ１３方向に回転させ、この回転力をベルト
１９を介してローラ１１に伝えローラ１１を矢印Ａｌｌ
方向に回転せしめると、ウェハ２３は矢印Ａ２３方向に
回転しながら移動し、最終的にファセット２４がローラ
１１の上部位置で停止する。
線上に位置する様に、ローラ１１の支持台１２を調整し
、更に上下動駆動機構１６を矢印Ａ１６方向に移動し、
ファセット２４が水平な状態となる点まで口°−ラ１１
を移動し、カセット２５の下部から露出しているウェハ
２３に当接せしめる。図示しない駆動装置によりプーリ
１３を矢印Ａ１３方向に回転させ、この回転力をベルト
１９を介してローラ１１に伝えローラ１１を矢印Ａｌｌ
方向に回転せしめると、ウェハ２３は矢印Ａ２３方向に
回転しながら移動し、最終的にファセット２４がローラ
１１の上部位置で停止する。
この時のファセット２４の水平状態を、水平状態検知器
２０により検知するが、この検知器２０が水平状態でな
いことを検知すると、支持台１２の図示しない駆動機構
に作動指示を与え、該支持台１２を矢印Ａ１２方向に移
動させて、ローラ１１の中心を移動せしめる。この移動
により、ウェハ２３のファセット２４を水平状態にせし
める。この移動は、ローラ１１の回転を停止して行うが
、回転させながら行なってもよい。
２０により検知するが、この検知器２０が水平状態でな
いことを検知すると、支持台１２の図示しない駆動機構
に作動指示を与え、該支持台１２を矢印Ａ１２方向に移
動させて、ローラ１１の中心を移動せしめる。この移動
により、ウェハ２３のファセット２４を水平状態にせし
める。この移動は、ローラ１１の回転を停止して行うが
、回転させながら行なってもよい。
ウェハ２３のファセット２４が水平状態になった時、水
平状態検知器２０からの指示により駆動機構の作動は停
止する。
平状態検知器２０からの指示により駆動機構の作動は停
止する。
本発明は、以上のようにローラを横方向に可動にしたの
で、ローラの中心をずらすことによりオリフラ合せ作業
が完全に出来る。従って、カセットに収容したウェハの
ファセットは、水平状態を保持する。又、水平状態検知
器の指示により横方向にローラを移動せしめることによ
り自動的にオリフラ合せ作業ができる。
で、ローラの中心をずらすことによりオリフラ合せ作業
が完全に出来る。従って、カセットに収容したウェハの
ファセットは、水平状態を保持する。又、水平状態検知
器の指示により横方向にローラを移動せしめることによ
り自動的にオリフラ合せ作業ができる。
１１・・・ローラ
１７・・・支持台
２０・・・水平状態検知器
２３・・・ウェハ
２５・・・カセット
Claims (2)
- （１）ウェハを収容したカセットと、このカセットに収
容されたウェハを回転させる如く設けられたローラと、
このローラにより回転されたウェハが停止したのち上記
ローラを移動させ、上記ウェハを整列させる機構とを具
備してなることを特徴とするウェハ整列装置。 - （２）ウェハのオリエンテーションフラットの水平状態
を検出する光電検出系とを具備してなる特許請求の範囲
第１項記載のウェハ整列装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63321659A JPH0284752A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | ウエハ整列装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63321659A JPH0284752A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | ウエハ整列装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0284752A true JPH0284752A (ja) | 1990-03-26 |
| JPH0343781B2 JPH0343781B2 (ja) | 1991-07-03 |
Family
ID=18134977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63321659A Granted JPH0284752A (ja) | 1988-12-20 | 1988-12-20 | ウエハ整列装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0284752A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4912791A (ja) * | 1972-03-15 | 1974-02-04 | ||
| JPS5434774A (en) * | 1977-08-24 | 1979-03-14 | Hitachi Ltd | Article transfer device |
| JPS55149951U (ja) * | 1979-04-16 | 1980-10-29 |
-
1988
- 1988-12-20 JP JP63321659A patent/JPH0284752A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4912791A (ja) * | 1972-03-15 | 1974-02-04 | ||
| JPS5434774A (en) * | 1977-08-24 | 1979-03-14 | Hitachi Ltd | Article transfer device |
| JPS55149951U (ja) * | 1979-04-16 | 1980-10-29 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0343781B2 (ja) | 1991-07-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6652216B1 (en) | Method and device for changing a semiconductor wafer position | |
| US6357996B2 (en) | Edge gripping specimen prealigner | |
| US4483434A (en) | Apparatus for conveying semiconductor substrates | |
| JP2001077179A (ja) | 半導体基板アライナー装置および方法 | |
| CN111312644A (zh) | 晶圆自动对位装置以及刻蚀机 | |
| CN215299193U (zh) | 一种寻边设备 | |
| JPH0284752A (ja) | ウエハ整列装置 | |
| JP2003218183A (ja) | ウエハ搬送装置 | |
| JP3072484B2 (ja) | ウエハ位置決め装置 | |
| JP2004079587A (ja) | ウエハ回転装置とこれを有する端部傷検査装置 | |
| JPH1179391A (ja) | 薄型ワークの立直装置 | |
| JP2002043393A (ja) | ノッチ合わせ装置 | |
| JPH0685408B2 (ja) | ウエハ−ロ−ディング装置 | |
| JP2803702B2 (ja) | ウエハ姿勢制御装置 | |
| JPS6254449A (ja) | ウエハ整列装置 | |
| JPH0722495A (ja) | ウェーハ姿勢合わせ装置 | |
| JPS62268137A (ja) | ウエハキヤリア移載装置 | |
| JPH05206251A (ja) | オリエンテイションフラット位置合わせ装置 | |
| JPS60160138A (ja) | 半導体ペレツト移送装置 | |
| JPH0364412B2 (ja) | ||
| JP3916196B2 (ja) | 切欠部整列方法および切欠部整列装置 | |
| JPS6224638A (ja) | ウエハ整列装置 | |
| JP2000072249A (ja) | ウエハのノッチ揃え機構 | |
| JPH06151566A (ja) | オリフラ位置検出装置およびオリフラ位置合わせ装置 | |
| JP2006019645A (ja) | 基板角度位置補正装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |