JPH0283150A - 硝子板の連続研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は硝子板の連続研磨装置に関するものである。

［従来の技術］ 従来、液晶用硝子基板のような比較的薄い硝子板の研磨
は、オスカー式片面研磨機や両面研磨機によって行われ
ていたが、これらの方法では硝子板に加わる研磨定盤の
周速差を利用しているため、硝子板各点における硝子の
除去されがたが異なり硝子板サイズが大型化すればする
程、より多くの研摩代をとらなければならない。一方、
硝子板はキャリヤという枠内支持であるため研磨負荷か
らみて大型化に対して限界が生じている。又、これらは
装置構成上自動化が困難であるため、多大の人手を要し
、その結果研磨装置への硝子板サイズにおける扱いキズ
の発生確率が高くなるという問題を生じている。

［発明の解決しようとする課題］ 本発明の目的は、従来技術が有していた前述の欠点を解
消する新規な研磨装置を提供することである。

［課題を解決するための手段］ 本発明は、前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、硝子板を一方向に移送するための研磨テーブルと、
該研磨テーブルの上方に硝子板の移送方向に沿って配置
された複数個の研磨具とを有し、各研磨具は偏心軸によ
って前記硝子板に対し偏心回転運動を行い、かつ隣り合
う研磨具の回転位相が反転するように設置されているこ
とを特徴とする硝子板の連続研磨装置を提供するもので
ある。

次に図面に従って本発明に係る研磨装置について具体的
に説明する。

第１図において、１は研磨機構を支持するための片持ち
はりであり、通常は鋳物で製作されている。これらの片
持ちはりは、研磨ラインに研磨具３の数に合せて配置さ
れる。研磨ラインはレール６上を連接して矢印方向に走
行する研磨テーブル７により構成されており、硝子板５
はこの研磨テーブル上に傷がつかないように薄いクツシ
ョン材を介して張り付は固定される。

研磨テーブル７の裏側には図示を省略したが、テーブル
に対して垂直にラックが設けてあり、テーブル下方に設
けである駆動モータとビニオンを介して動作するように
なっている。

ラックがテーブルに対して垂直に設けであるのは、ビニ
オンとのバックラッシによってテーブルが研磨具に対し
て垂直方向に振動を起すのを避けるためである。また、
このテーブル駆動用モータはインバータを備え付けてお
り、スピードを０〜ｌｏｏｃｍ／分の間で可変すること
ができる。硝子板５を研磨する位置では、このようにレ
ール６によりテーブルは送られるが、研磨後の戻りライ
ンでは、さほど位置精度、振動などが問題にならないた
め、ロール８により戻るようになっている。

研磨具３は、重量を軽（するため通常はＡｌあるいはＡ
１合金で製作されており、その下面には図示を省略した
が研磨パッドとして例えば発泡ポリウレタンパッドを貼
っている。ここで、研磨具の形状としては、硝子面の表
面を均一に研磨するという点から短冊型であることが望
まれる。この研磨具３は、前記片持ちはり１にボールベ
アリングｌＯにより軸支した回転軸の下端にディスク１
１を装着し、このディスク１１に偏心して設けた偏心軸
１２により支持板１３を取付け、この支持仮にシリンダ
ー５を介して装着した定盤１４に取付けられる。この場
合、研磨具３は定盤１４に通常ユニバーサルジヨイント
１６により取付けられる。テーパ状の硝子板あるいは硝
子板間の継ぎ目の段差に対し、フレキシブルに対応させ
るためである。なお、定盤１４は両端のガイド１５によ
り支持板１３に安定して取付けられており、シリンダー
５によるストロークに対して左右に傾かないように工夫
されている。

なお、図には示していないが、ディスク１１には、偏心
軸１２による回転モーメントを消去するために、偏心軸
１２の反対側にバランスを付けるのが好ましい。これに
より振動を最小限にすることができる。

以上、一つの研磨具の取付は構造について説明したが、
多片持ちはりｌには研磨具３が同様に取付けられる。そ
して、これらの研磨具３はドライブシャフト９に駆動結
合されており、同時に回転できるようになっている。こ
の場合、ドライブシャフト９はモータインバータを介し
て連結されており、これにより研磨具の回転数はＯ〜３
００ｒｐｍの間で変えられる。

更に、本発明において重要なことは研磨ラインに沿って
並設される研磨具３は、回転方向はすべて同様であるが
、後述するように隣り合う定盤１４及び研磨具３の質量
重心の回転位相が第２図に示すようにそれぞれ１８０°
ずつ反転することである。このような構成により、硝子
板に複数個の研磨具が載った場合に、硝子板に加わる負
荷をバランスさせることができ、特に偶数個の研磨具が
硝子板５に対して作動しているときには、負荷を相殺す
ることができる。

［作用１ 次に第２図、第３図により研磨具の動作について説明す
る。

本発明装置において、テーブル７は連続的に大矢印方向
へ移動する。研磨具３は偏心軸によって第２図のように
運動する。その運動詳細を第３図（ａ）、（ｂ）で示す
。１８は研磨具の質量重心、１７はその質量重心が偏心
軸によって移動する軌跡を示している。（ａ）において
隣り合う各研摩具同志は回転方向はすべて同様であるが
、質量重心の回転位相がそれぞれ１８０°ずつ反転して
いる。１９は研磨具が硝子板５に加える力の方向を示し
ている。

本発明において、このような機構を持たせることによっ
て、硝子板に複数の研磨具が作用したとき互いに相殺す
るように働き、特に偶数のときには硝子板５に加わる負
荷は完全に相殺される。また、奇数個の研磨具が載った
場合でも、従来のオスカー式片面研磨機や両面研磨機に
比べ、硝子板に加わる負荷は比べるほどにならない程小
さい。そのため従来の様なキャリヤ内での硝子板の支持
を行わなくても、大型サイズの硝子板を連続的に研磨加
工することが可能となる。

［実施例］ 第１図において、個々のテーブルの大きさは５００ｍｍ
　ｘ　１２５０ｍｍとし、送りスピードはＯ〜１００ｃ
ｍ／ｍｉｎをイバータにより可変とした。又各研磨具は
４８０ｍｍＸ　１００ｍｍの大きさとし、各研磨具間の
ピッチを１００ｍｍとし総数３２ケ並べる形とし、それ
ぞれを回転数Ｏ〜３００ｒｐｍとし、インバータにより
可変とした。

硝子板は３０抛ｍＸ　３００ｍｍ　Ｘ　１．Ｉｎ＋ｍと
し、テーブルへは研磨布に水で吸着させる方法によって
固定する。パッドとして酸化セリウムを含浸させた発泡
ポリウレタンパッドを用い、研磨液としては１Ｏ−１５
ｂｅ程度の酸化セリウム溶液な＃２００あるいは＃４０
０のメツシュでふるいにかけて用いた。

以下、前述の実施例に基づき硝子素板がもつ表面上の微
小なうねり（〜０．２μｍ高さ）とキズが除去されるの
に要する時間の一例を従来の研磨方式で行なった場合と
比較して挙げる。

本発明装置 従来機（オスカース式片面研磨機） ［発明の効果］ 従来のオスカー式片面研磨機では硝子表面の凹凸を除去
するために５μｍ以上の研磨代をとらなければならなか
ったが、本発明装置では、隣り合う研磨具の質量重心の
回転位相を１８０’ずつずらしているので、硝子板に加
わる負荷がバランスし、研磨具に周速差を発生しない結
果として研磨代が２〜３μｍ程度で良好な面が得られる
。さらに研磨具が連続して並んでいるために、前段では
粗研磨、中断は通常の液晶用硝子並の研磨、後段ではフ
ォトマスク並みの精密研磨面とパッドを交換するだけで
容易に得らことか確認されている。

更に、本発明の好ましい実施例では研磨具を２軸により
片持ちはりに支持しているので、研磨具を常に安定して
保持することができ、これにより研磨具の拡大化が図れ
ると共に、硝子板を均一に研磨することができる。

更にまた、研磨具を支持板に定盤を介して取付けると、
研磨具の支持が一層安定するばかりでな（、研磨面の凹
凸、段差などに対しても柔軟に対応することが可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は。本発明装置の一実施例を示す概略的な斜視図
であり、第２図は研磨具の基本構成を示す平面図であり
、第３図は第２図における研磨具の動きを示す説明図で
ある。 図において、 ■は片持ちはり、 ３は研磨具、 ５は硝子板、 ７は研磨テーブル。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、硝子板を一方向に移送するための研磨テーブルと、
   該研磨テーブルの上方に硝子板の移送方向に沿って配置
   された複数個の研磨具とを有し、各研磨具は偏心軸によ
   って前記硝子板に対し偏心回転運動を行い、かつ隣り合
   う研磨具の回転位相が反転するように設置されているこ
   とを特徴とする硝子板の連続研磨装置。