JPH0277594A - 光学式記録媒体の製造方法 - Google Patents
光学式記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH0277594A JPH0277594A JP22945088A JP22945088A JPH0277594A JP H0277594 A JPH0277594 A JP H0277594A JP 22945088 A JP22945088 A JP 22945088A JP 22945088 A JP22945088 A JP 22945088A JP H0277594 A JPH0277594 A JP H0277594A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- conductive film
- optical recording
- recording medium
- stamper
- electrically conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 46
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L nickel(2+);disulfamate Chemical compound [Ni+2].NS([O-])(=O)=O.NS([O-])(=O)=O KERTUBUCQCSNJU-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 12
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 150000002815 nickel Chemical class 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はビデオディスク３ コンパクトディスク等の光
学式記録媒体の製造方法に関するものである。
学式記録媒体の製造方法に関するものである。
ビデオディスク、コンパクトディスク等の光学式記録媒
体はガラス基板上にフォトレジストを塗布し、塗布した
レジスト膜にレーザビームを照射してグルーブまたはピ
ットの潜像を露光した後、現像処理を行ってグルーブま
たはピットを形成し、グルーブまたはピットを形成した
基板上に銀等を蒸着またはスパッタリングして導電膜を
形成し、これにニッケルメッキを施してスタンパを製造
し、これを原盤として光学式記録媒体を複製する。
体はガラス基板上にフォトレジストを塗布し、塗布した
レジスト膜にレーザビームを照射してグルーブまたはピ
ットの潜像を露光した後、現像処理を行ってグルーブま
たはピットを形成し、グルーブまたはピットを形成した
基板上に銀等を蒸着またはスパッタリングして導電膜を
形成し、これにニッケルメッキを施してスタンパを製造
し、これを原盤として光学式記録媒体を複製する。
ところで、前記導電膜として用いられる銀は導電度が高
く、電気鋳造肯定を容易に行うことができる等の利点が
ある反面、酸化され易いという欠点がある。このため前
記導電膜の表面にニッケルメッキが形成されるまでの時
間にスルファミン酸ニッケル等のメツキ溶液によって銀
が酸化され、銀導電膜の表面が荒、れ、メツキ後のスタ
ンパの表面に前記銀導電膜の表面の荒れが転写される。
く、電気鋳造肯定を容易に行うことができる等の利点が
ある反面、酸化され易いという欠点がある。このため前
記導電膜の表面にニッケルメッキが形成されるまでの時
間にスルファミン酸ニッケル等のメツキ溶液によって銀
が酸化され、銀導電膜の表面が荒、れ、メツキ後のスタ
ンパの表面に前記銀導電膜の表面の荒れが転写される。
このスタンパを用いて製造された光学式記録媒体は、ノ
イズレベルが高＜、Ｓ／Ｎ比が低（、ドロップアウト等
の欠陥が発生する等という問題を有する。
イズレベルが高＜、Ｓ／Ｎ比が低（、ドロップアウト等
の欠陥が発生する等という問題を有する。
本発明は斯かる問題点を解決し、導電膜の表面の荒れを
防ぐことにより、表面状態の良好なスタンパを製造し、
高品質な光学式記録媒体を提供することを目的とする。
防ぐことにより、表面状態の良好なスタンパを製造し、
高品質な光学式記録媒体を提供することを目的とする。
本発明の光学式記録媒体の製造方法は、グルーブまたは
ピットを形成した基板上に導電膜を形成し、該導電膜上
にニッケルメッキを行うことにより得られるニッケルメ
ッキ体を原盤とする光学式記録媒体の製造方法において
、前記導電膜を少なくとも二層以上の導電膜とし、前記
ニッケルメッキ時にニッケルメッキ液と接触する層にニ
ッケルの導電膜を用いることを特徴とする。
ピットを形成した基板上に導電膜を形成し、該導電膜上
にニッケルメッキを行うことにより得られるニッケルメ
ッキ体を原盤とする光学式記録媒体の製造方法において
、前記導電膜を少なくとも二層以上の導電膜とし、前記
ニッケルメッキ時にニッケルメッキ液と接触する層にニ
ッケルの導電膜を用いることを特徴とする。
本発明の光学式記録媒体の製造方法は、グルーブまたは
ピットを形成した基板上に導電膜を形成させる際に、該
導電膜を少なくとも二層以上の導電膜とし、その最上層
の導電膜をニッケルの導電膜とする。このニッケル導電
膜の上にニッケルメッキを行うと、メツキ液による導電
膜の酸化が防がれ、表面に荒れのない高品質なメツキ体
が得られる。このメツキ体を原盤として光学式記録媒体
を複製する。
ピットを形成した基板上に導電膜を形成させる際に、該
導電膜を少なくとも二層以上の導電膜とし、その最上層
の導電膜をニッケルの導電膜とする。このニッケル導電
膜の上にニッケルメッキを行うと、メツキ液による導電
膜の酸化が防がれ、表面に荒れのない高品質なメツキ体
が得られる。このメツキ体を原盤として光学式記録媒体
を複製する。
〔実施例］
以下、本発明をその実施例を示す図面に基づき具体的に
説明する。
説明する。
第１図は本発明による光学式記録媒体の製造方法を説明
するための断面図である。ガラス基板１にフォトレジス
ト２を塗布し、これにレーザビームを照射してグルーブ
またはピットの潜像を露光した後、現像処理を行ってグ
ルーブまたはピットを形成する。グルーブまたはピット
を形成した基板上に銀による第−層厚電膜３を、その上
にニッケルによる第二層導電膜４を、スパッタ法または
真空蒸着法により形成させる。前記第一層の厚さは３０
０〜１０００人、前記第二層の厚さは約１００人とする
。
するための断面図である。ガラス基板１にフォトレジス
ト２を塗布し、これにレーザビームを照射してグルーブ
またはピットの潜像を露光した後、現像処理を行ってグ
ルーブまたはピットを形成する。グルーブまたはピット
を形成した基板上に銀による第−層厚電膜３を、その上
にニッケルによる第二層導電膜４を、スパッタ法または
真空蒸着法により形成させる。前記第一層の厚さは３０
０〜１０００人、前記第二層の厚さは約１００人とする
。
上述の如き二層の導電膜を形成させた上にニッケルメッ
キを行いスタンパを製造した場合、スルファミン酸ニッ
ケル等のニッケルメッキ溶液による導電膜の酸化が防が
れるので、製造されるスタンパ表面の状態は極めて良好
なものとなる。
キを行いスタンパを製造した場合、スルファミン酸ニッ
ケル等のニッケルメッキ溶液による導電膜の酸化が防が
れるので、製造されるスタンパ表面の状態は極めて良好
なものとなる。
第２図は従来法の銀導電膜上にニッケルメッキを施して
製造したスタンパの表面状態を示す電子顕微鏡写真であ
り、銀の酸化による荒れがその表面全体に見られる。第
３図は本発明による二層導電膜上にニッケルメッキを施
して製造したスタンパの表面状態を示す電子顕微鏡写真
であり、前記第３図に比べると表面の荒れは殆ど見られ
ず、表面状態は極めて良好である。
製造したスタンパの表面状態を示す電子顕微鏡写真であ
り、銀の酸化による荒れがその表面全体に見られる。第
３図は本発明による二層導電膜上にニッケルメッキを施
して製造したスタンパの表面状態を示す電子顕微鏡写真
であり、前記第３図に比べると表面の荒れは殆ど見られ
ず、表面状態は極めて良好である。
また第４図は従来法及び本発明により製造した光学式記
録媒体を線速１０．４＋１１／！ｌ、 ）ラックピッチ
１．６７μ蹟において再生した場合のＳ／Ｎ比を示すグ
ラフであるが、これにより明らかな様に、従来法のＳ／
Ｎ比は３９〜４５ｄＢであるのに対し、本発明法のＳ／
Ｎ比は４４〜４７ｄＢであり、本発明による光学式記録
媒体のＳ／Ｎ比はバラツキが少なく、安定して高いＳ／
Ｎ比が得られる。
録媒体を線速１０．４＋１１／！ｌ、 ）ラックピッチ
１．６７μ蹟において再生した場合のＳ／Ｎ比を示すグ
ラフであるが、これにより明らかな様に、従来法のＳ／
Ｎ比は３９〜４５ｄＢであるのに対し、本発明法のＳ／
Ｎ比は４４〜４７ｄＢであり、本発明による光学式記録
媒体のＳ／Ｎ比はバラツキが少なく、安定して高いＳ／
Ｎ比が得られる。
なお、本実施例においては第一層の導電膜として銀を用
いたが、第一層に用いる導電膜は銀に限らず、第二層の
導電膜のニッケルよりも導電度が高い金属であればどの
ような金属を用いても上記同様の効果が得られるのはい
うまでもない。また第一層にニッケルの導電膜、第二層
に銀導電膜、第三層にニッケルの導電膜を用いて三層の
導電膜とし、銀にかかるコストを節減させることもでき
る。
いたが、第一層に用いる導電膜は銀に限らず、第二層の
導電膜のニッケルよりも導電度が高い金属であればどの
ような金属を用いても上記同様の効果が得られるのはい
うまでもない。また第一層にニッケルの導電膜、第二層
に銀導電膜、第三層にニッケルの導電膜を用いて三層の
導電膜とし、銀にかかるコストを節減させることもでき
る。
また本発明方法は、グルーブまたはピットにより情報が
予め記録されている再生専用の光学式記録媒体に限らず
、需要家による記録が可能なように案内溝またはトラッ
クアドレスを有した光学式記録媒体を製造する場合に用
いても同様の効果が得られる。
予め記録されている再生専用の光学式記録媒体に限らず
、需要家による記録が可能なように案内溝またはトラッ
クアドレスを有した光学式記録媒体を製造する場合に用
いても同様の効果が得られる。
〔発明の効果〕
本発明による光学式記録媒体は、従来法によるものと比
べると表面の荒れが少なく、表面状態が極めて良好な状
態で製造される。このため、これに記録された情報を再
生させた場合、そのＳ／Ｎ比は安定して高く、ドロップ
アウト等の欠陥も見られず高品質な光学式記録媒体が得
られる等価れた効果を奏する。
べると表面の荒れが少なく、表面状態が極めて良好な状
態で製造される。このため、これに記録された情報を再
生させた場合、そのＳ／Ｎ比は安定して高く、ドロップ
アウト等の欠陥も見られず高品質な光学式記録媒体が得
られる等価れた効果を奏する。
第１図は本発明による光学式記録媒体の製造方法を説明
するための断面図、第２図は従来法により製造したスタ
ンパの表面状態を示す電子顕微鏡写真、第３図は本発明
により製造したスタンバの表面状態を示す電子顕微鏡写
真、第４図は従来法及び本発明により製造した光学式記
録媒体のＳ／Ｎ比を示すグラフである。 特 許 出願人 三洋電機株式会社 代理人 弁理士 河 野 登 夫 一〜ノ／ 秦 １ 記 第 ４ 回 第 ２ 図 手続補正書（方式） １、事件の表示 昭和６３年特許願第２２９４５０号 ２、 発明の名称 光学式記録媒体の製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 所在地 守口市京阪本通２丁目１８番地名 称 （１８
８） 三洋電機株式会社代表者 井 植 敏 ４、代理人 住 所 ■５４３大阪市天王寺区四天王寺１丁目１４番
２２号 日進ビル２０７号 ５、補正命令の日付 ７、補正の内容 ＋１１ 明細書の第７頁第５行〜第６行に「表面状態
を示す電子顕微鏡写真」とあるのを「表面の金属組織を
示す写真」と訂正する。 （２）明細書の第７頁第７行に「表面状態を示す電子顕
微鏡写真ｊとあるのを「表面の金属組織を示す写真」と
訂正する。 以上
するための断面図、第２図は従来法により製造したスタ
ンパの表面状態を示す電子顕微鏡写真、第３図は本発明
により製造したスタンバの表面状態を示す電子顕微鏡写
真、第４図は従来法及び本発明により製造した光学式記
録媒体のＳ／Ｎ比を示すグラフである。 特 許 出願人 三洋電機株式会社 代理人 弁理士 河 野 登 夫 一〜ノ／ 秦 １ 記 第 ４ 回 第 ２ 図 手続補正書（方式） １、事件の表示 昭和６３年特許願第２２９４５０号 ２、 発明の名称 光学式記録媒体の製造方法 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 所在地 守口市京阪本通２丁目１８番地名 称 （１８
８） 三洋電機株式会社代表者 井 植 敏 ４、代理人 住 所 ■５４３大阪市天王寺区四天王寺１丁目１４番
２２号 日進ビル２０７号 ５、補正命令の日付 ７、補正の内容 ＋１１ 明細書の第７頁第５行〜第６行に「表面状態
を示す電子顕微鏡写真」とあるのを「表面の金属組織を
示す写真」と訂正する。 （２）明細書の第７頁第７行に「表面状態を示す電子顕
微鏡写真ｊとあるのを「表面の金属組織を示す写真」と
訂正する。 以上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、グルーブまたはピットを形成した基板上に導電膜を
形成し、該導電膜上にニッケルメッキを行うことにより
得られるニッケルメッキ体を原盤とする光学式記録媒体
の製造方法において、 前記導電膜を少なくとも二層以上の導電膜 とし、前記ニッケルメッキ時にニッケルメッキ液と接触
する層にニッケルの導電膜を用いることを特徴とする光
学式記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22945088A JPH0277594A (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | 光学式記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22945088A JPH0277594A (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | 光学式記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0277594A true JPH0277594A (ja) | 1990-03-16 |
Family
ID=16892397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22945088A Pending JPH0277594A (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | 光学式記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0277594A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5385638A (en) * | 1990-11-28 | 1995-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a stamper |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63105987A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-11 | Seiko Epson Corp | 光メモリ−用スタンパの製造方法 |
-
1988
- 1988-09-13 JP JP22945088A patent/JPH0277594A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63105987A (ja) * | 1986-10-22 | 1988-05-11 | Seiko Epson Corp | 光メモリ−用スタンパの製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5385638A (en) * | 1990-11-28 | 1995-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a stamper |
| US5458985A (en) * | 1990-11-28 | 1995-10-17 | Sharp Kabushiki Kaisha | Stamper |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4285056A (en) | Replicable optical recording medium | |
| EP0165804A1 (en) | Stamper for replicating high-density data recording disks and process for producing the same | |
| JPS61289553A (ja) | 情報記録媒体 | |
| JPH0678590B2 (ja) | スタンパー製造方法 | |
| JPH0427615B2 (ja) | ||
| JPH0277594A (ja) | 光学式記録媒体の製造方法 | |
| JPH0312840A (ja) | 光学式記録媒体の製造方法 | |
| EP0668584A1 (fr) | Substrat préformaté, substrat préformaté comportant des informations à dupliquer, leurs procédés de fabrication et procédé de fabrication d'un disque maître et/ou disque optique | |
| JPS6022080B2 (ja) | 高密度記録レプリカデイスクの金型製造方法 | |
| JPS606018B2 (ja) | 情報記録媒体の製造方法 | |
| JPS61105742A (ja) | 信号記録媒体 | |
| JPH10312585A (ja) | 光学記録媒体作製用スタンパ、スタンパ用原盤、および光学記録媒体の製造方法 | |
| JPH0552573B2 (ja) | ||
| JPH03248342A (ja) | 光ディスク基板の製造方法 | |
| JPH05339774A (ja) | スタンパ製造方法 | |
| JPH0336021A (ja) | 高硬度スタンパ及びその製造方法 | |
| JPS60197959A (ja) | 光デイスクの製造方法 | |
| JPS6148144A (ja) | 光デイスク | |
| JPS59171046A (ja) | 光デイスク媒体 | |
| JPS6120059B2 (ja) | ||
| JPS61160850A (ja) | 光デイスク | |
| JPS59215036A (ja) | 光デイスク媒体 | |
| JPH0234095B2 (ja) | ||
| JPH04263141A (ja) | 反射コート付きガラス原盤 | |
| JPS61123035A (ja) | 光デイスク用原盤およびその製造方法 |