JPH0277192A - プリント基板の表面研磨装置 - Google Patents
プリント基板の表面研磨装置Info
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- JPH0277192A JPH0277192A JP16167989A JP16167989A JPH0277192A JP H0277192 A JPH0277192 A JP H0277192A JP 16167989 A JP16167989 A JP 16167989A JP 16167989 A JP16167989 A JP 16167989A JP H0277192 A JPH0277192 A JP H0277192A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はプリント基板を製造する工程においてプリント
基板の表面処理を行うためのプリント基板の表面研磨装
置に関するものである。
基板の表面処理を行うためのプリント基板の表面研磨装
置に関するものである。
出願人の昭和62年11月10日出願に係る特願昭62
−283368号の平面部材の表面研磨方法には平面偏
心運動する研磨部材にて平面部材表面を研磨する方法を
開示したところである。
−283368号の平面部材の表面研磨方法には平面偏
心運動する研磨部材にて平面部材表面を研磨する方法を
開示したところである。
上述の発明によって、回転ブラシの毛が半径方向距離に
よって異なるエネルギを付与されるのと異なり、偏心運
動ブラシの毛は夫々同じエネルギを付与され、平面部材
に対して同じ研磨作用を行い、ブラシの摩耗も均等であ
る。
よって異なるエネルギを付与されるのと異なり、偏心運
動ブラシの毛は夫々同じエネルギを付与され、平面部材
に対して同じ研磨作用を行い、ブラシの摩耗も均等であ
る。
又、出願人は従来の研磨装置が夫々単一の機能を行う構
成であり、構造機能上から当然とされているが比較的研
摩代の少ない場合、例えば研磨ブラシと研磨砥石の場合
には連続作業とすることが希望されるところから平面偏
心運動する研磨部材にて平面部材表面を研磨する方法に
おいて、はぼ長方形の上流側のブラシと下流側の研磨部
材にて研磨することを特徴とする平面部材の表面研磨方
法を特願昭63−71167号にて出願したところであ
る。
成であり、構造機能上から当然とされているが比較的研
摩代の少ない場合、例えば研磨ブラシと研磨砥石の場合
には連続作業とすることが希望されるところから平面偏
心運動する研磨部材にて平面部材表面を研磨する方法に
おいて、はぼ長方形の上流側のブラシと下流側の研磨部
材にて研磨することを特徴とする平面部材の表面研磨方
法を特願昭63−71167号にて出願したところであ
る。
しかして、当該出願に係る発明について、以下に説明を
加える。
加える。
第2図は、プリント基板表面研磨方法を実施するための
表面研磨装置1の構成を示す斜視図、第3図は、第2図
の要部の正面図、第4図は、プリント基板の表面を研磨
している状態を示す斜視図である。
表面研磨装置1の構成を示す斜視図、第3図は、第2図
の要部の正面図、第4図は、プリント基板の表面を研磨
している状態を示す斜視図である。
図に示すように表面研磨装置lは、プリント基板2(第
3図参照)を搬送するための搬送装置3と、搬送装置3
を介して搬送されるプリント基板2の表面2aを研磨処
理するだめの研磨部4と、搬送装置3及び研磨部4を収
容する装置本体5等より構成しである。
3図参照)を搬送するための搬送装置3と、搬送装置3
を介して搬送されるプリント基板2の表面2aを研磨処
理するだめの研磨部4と、搬送装置3及び研磨部4を収
容する装置本体5等より構成しである。
搬送装置3は、回転駆動自在に構成された2本の搬送ロ
ール6.7と、搬送ロール6.7に巻回された無端帯8
とより構成してあり、いわゆるへルトコンヘアーにて構
成しである。9で示すのは、プリント基板2の搬送案内
用の搬送ガイドロールである。
ール6.7と、搬送ロール6.7に巻回された無端帯8
とより構成してあり、いわゆるへルトコンヘアーにて構
成しである。9で示すのは、プリント基板2の搬送案内
用の搬送ガイドロールである。
研磨ブラシ部4は、ブラシ本体(又はスコッチ)10と
、ブラシ本体10を保持するブラシ保持部11と、下流
側に並列した研磨砥石15を偏心軸12とより構成しで
ある。ブラシ本体10は、第4図にて示すごとく比較的
長尺の平面矩形状のブラシ保持部11に形設しである。
、ブラシ本体10を保持するブラシ保持部11と、下流
側に並列した研磨砥石15を偏心軸12とより構成しで
ある。ブラシ本体10は、第4図にて示すごとく比較的
長尺の平面矩形状のブラシ保持部11に形設しである。
ブラシ保持部11及び砥石15は、偏心軸12を介して
偏心駆動されるように設定しである。即ち偏心軸12を
介して偏心駆動されるブラシ保持部11及び研磨砥石1
5により、プリン+−M板2表面上のスジ目(ブラシに
よる研磨のスジ目)を板面の前後、左右方向に均等に設
定され、更に研磨砥石によって平滑に設定できるように
構成しである。
偏心駆動されるように設定しである。即ち偏心軸12を
介して偏心駆動されるブラシ保持部11及び研磨砥石1
5により、プリン+−M板2表面上のスジ目(ブラシに
よる研磨のスジ目)を板面の前後、左右方向に均等に設
定され、更に研磨砥石によって平滑に設定できるように
構成しである。
装置本体5の側面部には、表面研磨処理されるプリント
基板2を装置内に搬入(供給)するための開口13と、
表面研磨処理後のプリント基板2を装置外に搬出(排出
)するための開口14とが開設しである。なお、開口1
3.14は、いずれを搬入用又は搬出用に設定してもよ
い。
基板2を装置内に搬入(供給)するための開口13と、
表面研磨処理後のプリント基板2を装置外に搬出(排出
)するための開口14とが開設しである。なお、開口1
3.14は、いずれを搬入用又は搬出用に設定してもよ
い。
次に、上記構成よりなる表面研磨装置1にてプリント基
板2の表面2aを研磨する方法について説明する。
板2の表面2aを研磨する方法について説明する。
まず、表面研磨処理されるプリント基板2を開口13(
又は開口14)から装置内に供給する。
又は開口14)から装置内に供給する。
次に、供給されたプリント基Vi2を搬送装置3を介し
て研磨ブラシ部4方向に搬送する。
て研磨ブラシ部4方向に搬送する。
次に、研磨ブラシ部4のブラシ本体(ブラシ)lO及び
砥石15を偏心軸12を介して偏心運動させ、搬送され
たプリント基板2の表面2aを研磨する。このブラシ本
体lOと砥石15の偏心運動により、プリント基板2の
表面上に螺旋状の「ブラシ目」ができ、この螺旋状の「
ブラシ目」によりプリント基板表面2aが滑らかに粗さ
れ、更に砥石15によって平滑に仕上げられる。
砥石15を偏心軸12を介して偏心運動させ、搬送され
たプリント基板2の表面2aを研磨する。このブラシ本
体lOと砥石15の偏心運動により、プリント基板2の
表面上に螺旋状の「ブラシ目」ができ、この螺旋状の「
ブラシ目」によりプリント基板表面2aが滑らかに粗さ
れ、更に砥石15によって平滑に仕上げられる。
そして、最終工程として、表面を平滑化された状態で表
面研磨処理されたプリント基板2を、搬送装置3を介し
て開口14(又は開口13)方向に搬送し、開口14か
ら装置外に搬出させる。
面研磨処理されたプリント基板2を、搬送装置3を介し
て開口14(又は開口13)方向に搬送し、開口14か
ら装置外に搬出させる。
第5.6図はプリント基板の銅箔等の比較的軟質の材料
の研磨に好適な実施例を示す。
の研磨に好適な実施例を示す。
ブラシ10は多数のブラシの束16を有し、各ブラシの
束16を構成する繊維は研磨材入りとする。本体11に
は多数の給水孔18を有し、図示しない給水装置から水
を噴射する。並列した砥石15は図示の例ではゴム砥石
とする。この構成によって、著しく精密な相対位置調節
装置を必要とせずに、異なる種類の研磨部材を並列使用
でき、所要の仕上げを得られる。
束16を構成する繊維は研磨材入りとする。本体11に
は多数の給水孔18を有し、図示しない給水装置から水
を噴射する。並列した砥石15は図示の例ではゴム砥石
とする。この構成によって、著しく精密な相対位置調節
装置を必要とせずに、異なる種類の研磨部材を並列使用
でき、所要の仕上げを得られる。
以上の研磨方法により、平面のブラシ本体10と砥石1
5を偏心軸12を介して偏心運動させて研磨することか
ら均等なブラシ目が平滑な仕上となり、従って、プリン
ト基板表面2aが滑らかに研磨されることになる。その
結果、表面粗度が平滑化され、後工程のラミネート密着
、印刷工程におけるインクの切れ性等全て良好となり、
ファインパターン形成が実現できる。又、ブラシ形状が
円ではなく平面であるので、ブラシの加工が容易となり
、コストの低減化が図れる。
5を偏心軸12を介して偏心運動させて研磨することか
ら均等なブラシ目が平滑な仕上となり、従って、プリン
ト基板表面2aが滑らかに研磨されることになる。その
結果、表面粗度が平滑化され、後工程のラミネート密着
、印刷工程におけるインクの切れ性等全て良好となり、
ファインパターン形成が実現できる。又、ブラシ形状が
円ではなく平面であるので、ブラシの加工が容易となり
、コストの低減化が図れる。
又、簡単な構成にて、かつ、加工ラインも極めて短かく
設定できるので、装置の簡略化、低コスト化が図れる利
点がある。
設定できるので、装置の簡略化、低コスト化が図れる利
点がある。
さて、出願人の前記出願によって開示された発明により
、所期の平面部材の表面研磨を遂行し得るところであり
ますが、さらに本発明はプリント配線板の製造工程、特
に銅スルーホールプリント配線板の穴埋め法に於ける穴
埋め後の表面研磨に最適な表面研磨装置を提案するとこ
ろである。
、所期の平面部材の表面研磨を遂行し得るところであり
ますが、さらに本発明はプリント配線板の製造工程、特
に銅スルーホールプリント配線板の穴埋め法に於ける穴
埋め後の表面研磨に最適な表面研磨装置を提案するとこ
ろである。
すなわち、銅箔部分の不必要な研磨なく、穴埋め部分の
適切な研磨と表面仕上げ面を得るところの表面研磨装置
の提供を目的とするものである。
適切な研磨と表面仕上げ面を得るところの表面研磨装置
の提供を目的とするものである。
本発明はプリント基板を搬送するための搬送装置と、こ
の搬送装置を介して搬送されるプリント基板の表面を研
磨処理するための研磨部とから成るプリント基板の表面
研磨装置において、前記研磨部のブラシ保持部に複数の
研磨液の噴出孔を配設するとともに複数のブラシ束を配
設し、かつ各ブラシ束を鋼状研磨布にて被覆して研磨部
材を装備することにより構成したものである。
の搬送装置を介して搬送されるプリント基板の表面を研
磨処理するための研磨部とから成るプリント基板の表面
研磨装置において、前記研磨部のブラシ保持部に複数の
研磨液の噴出孔を配設するとともに複数のブラシ束を配
設し、かつ各ブラシ束を鋼状研磨布にて被覆して研磨部
材を装備することにより構成したものである。
C作用〕
本発明は平面偏心運動する研磨部材又は回転研磨部材に
て平面部材表面を研磨する装置において、複数の研磨液
の噴出孔を配設したブラシ保持部に複数のブラシ束を配
設するとともに各ブラシ束を鋼状研磨布にて被覆した研
磨部材にて研磨するとともに前記研磨部材による研磨に
関連して前記研磨部材の研磨液の噴出孔より研磨液を噴
出しつつ研磨することによって、ブラシ束の弾性とこれ
を被覆する綱状研磨布によって被研磨面の不必要な磨耗
、損傷を防止し、かつ研磨液の噴出によって、穴埋め部
における適切な仕上げ研磨面の研磨作用を得られるもの
である。
て平面部材表面を研磨する装置において、複数の研磨液
の噴出孔を配設したブラシ保持部に複数のブラシ束を配
設するとともに各ブラシ束を鋼状研磨布にて被覆した研
磨部材にて研磨するとともに前記研磨部材による研磨に
関連して前記研磨部材の研磨液の噴出孔より研磨液を噴
出しつつ研磨することによって、ブラシ束の弾性とこれ
を被覆する綱状研磨布によって被研磨面の不必要な磨耗
、損傷を防止し、かつ研磨液の噴出によって、穴埋め部
における適切な仕上げ研磨面の研磨作用を得られるもの
である。
以下本発明研磨装置について説明する。
第1図は本発明研磨装置におけるる研磨ブラシ部を示す
もので、第1図aは研磨ブラシ部の正面図、第1図すは
研磨ブラシ部本体の斜視図である。
もので、第1図aは研磨ブラシ部の正面図、第1図すは
研磨ブラシ部本体の斜視図である。
第1図示の研磨ブラシ部40はブラシ本体41とこれを
保持するブラシ保持部42に加えて、ブラシ本体41を
被覆する金属製の綱状研磨布43により構成されている
。
保持するブラシ保持部42に加えて、ブラシ本体41を
被覆する金属製の綱状研磨布43により構成されている
。
そして、ブラシ本体41は第1図aに示す如く、長尺の
平面矩形状の植設板44にブラシ束45を植設するとと
もに植設板44には研磨液の噴出孔46を穿孔すること
により構成しである。
平面矩形状の植設板44にブラシ束45を植設するとと
もに植設板44には研磨液の噴出孔46を穿孔すること
により構成しである。
また、ブラシ保持部42は前記ブラシ本体41を保持す
るに足る植設板44に対応する形状から成り、植設板4
4に穿孔した各噴出孔46との対応位置に研磨液の給水
孔47を穿孔することにより構成しである。
るに足る植設板44に対応する形状から成り、植設板4
4に穿孔した各噴出孔46との対応位置に研磨液の給水
孔47を穿孔することにより構成しである。
さらに鋼状研磨布43は金属繊維を鋼状に織った織布か
ら成り、所要の形状の織布にてブラシ本体41の各ブラ
シ束45側を被覆した後、その開放端43a、43bを
ブラシ本体41の上側に折り込み(第1図す参照)、か
つ開放端43a、43bをブラシ本体41の上側に接着
剤等にて固着した後、前記ブラシ保持部42をブラシ本
体41上側に重合して両者を固着することにより、前記
鋼状研磨布43の開放端43a、43bを挟み込みつつ
固定し、研磨ブラシ部40を構成し得るものである。
ら成り、所要の形状の織布にてブラシ本体41の各ブラ
シ束45側を被覆した後、その開放端43a、43bを
ブラシ本体41の上側に折り込み(第1図す参照)、か
つ開放端43a、43bをブラシ本体41の上側に接着
剤等にて固着した後、前記ブラシ保持部42をブラシ本
体41上側に重合して両者を固着することにより、前記
鋼状研磨布43の開放端43a、43bを挟み込みつつ
固定し、研磨ブラシ部40を構成し得るものである。
又、各ブラシ束45は金属製あるいは合成樹脂製等の繊
維束によって構成するとともに鋼状研磨布43について
は、金属繊維の織布に換えて合成樹脂製繊維、その他の
繊維から成る織布によって構成することも可能で、被研
磨面並びにその仕上面の要求に応じて選択しつつ実施す
る。
維束によって構成するとともに鋼状研磨布43について
は、金属繊維の織布に換えて合成樹脂製繊維、その他の
繊維から成る織布によって構成することも可能で、被研
磨面並びにその仕上面の要求に応じて選択しつつ実施す
る。
また、同様にして、これらの織布から成る綱状研磨布4
3には被研磨面の種類あるいはその仕上面の要求に応じ
て、ダイヤモンド、その他の研磨砥粒を蒸着等の手段に
て固着することにより構成実施する。
3には被研磨面の種類あるいはその仕上面の要求に応じ
て、ダイヤモンド、その他の研磨砥粒を蒸着等の手段に
て固着することにより構成実施する。
さて、以上の構成から成る研磨ブラシ部40を第2図示
の研磨ブラシ部4換えて、偏心軸12に取付け、第2図
示の表面研磨装置1にて所望の平面部材の表面研磨を実
施する。
の研磨ブラシ部4換えて、偏心軸12に取付け、第2図
示の表面研磨装置1にて所望の平面部材の表面研磨を実
施する。
しかして、第2図示の表面研磨装置1による研磨方法の
実施は、研磨ブラシ部40を使用する構成を異にするの
みで、他の方法は第2図、第3図。
実施は、研磨ブラシ部40を使用する構成を異にするの
みで、他の方法は第2図、第3図。
第4図に係る研磨方法と同様の実施によるもので、例え
ば、同図に示されるプリントi板2の表面2aの研磨方
法につき以下に説明を加える。
ば、同図に示されるプリントi板2の表面2aの研磨方
法につき以下に説明を加える。
尚、プリント基板2の表面2aの研磨は例えば、銅スル
ーホールプリント配線板の製造に於いて、鋼張積層板に
所要の穴明は加工を施した後、スルーホールめっきを行
うとともにこのスルーホールめっき後のスルーホール中
にUV硬化樹脂(又は熱硬化樹脂)を充填し、これを硬
化して穴埋めした後の表面研磨を目的とするものとする
。
ーホールプリント配線板の製造に於いて、鋼張積層板に
所要の穴明は加工を施した後、スルーホールめっきを行
うとともにこのスルーホールめっき後のスルーホール中
にUV硬化樹脂(又は熱硬化樹脂)を充填し、これを硬
化して穴埋めした後の表面研磨を目的とするものとする
。
まず、表面研磨処理されるプリント基板2を開口13(
又は開口14)から装置内に供給する。
又は開口14)から装置内に供給する。
次に、供給されたプリント基板2を搬送装置3を介して
研磨ブラシ部40方向に搬送する。
研磨ブラシ部40方向に搬送する。
次に、研磨ブラシ部40を偏心軸12を介して偏心運動
させるとともに研磨ブラシ部40に研磨液の供給部(図
示しない)より研磨液を供給し、供給孔47および噴出
孔45を介して研磨液を噴出しつつ搬送されたプリント
基板2の表面2aを研磨する。かかる研磨によって、プ
リントi仮2の表面2aにおける銅箔面を損傷すること
なく、UV硬化樹脂(又は熱硬化樹脂)を効果的に除去
しつつ表面2aの所要の研磨を遂行することができる。
させるとともに研磨ブラシ部40に研磨液の供給部(図
示しない)より研磨液を供給し、供給孔47および噴出
孔45を介して研磨液を噴出しつつ搬送されたプリント
基板2の表面2aを研磨する。かかる研磨によって、プ
リントi仮2の表面2aにおける銅箔面を損傷すること
なく、UV硬化樹脂(又は熱硬化樹脂)を効果的に除去
しつつ表面2aの所要の研磨を遂行することができる。
すなわち、この種の表面研磨については従来ベルトサン
グ一方式が採用されていたため、銅箔表面を極端に損傷
し、後工程のプリント配線上、断線、半田不良あるいは
シジート等の電気的欠陥を生ずる原因となっていたが、
本発明装置によってかかる欠点を解消し得るとともにベ
ルトサングー方式の場合にはベルトサングーの目づまり
による作業上の欠点を有し、これを防止するためベルト
サングーの交換が要求され、費用が大幅にかさむ等の欠
点を有していたが、本発明装置の実施によってこれらの
点についても作業上、経済的に大幅な改善を計ることが
判明した。
グ一方式が採用されていたため、銅箔表面を極端に損傷
し、後工程のプリント配線上、断線、半田不良あるいは
シジート等の電気的欠陥を生ずる原因となっていたが、
本発明装置によってかかる欠点を解消し得るとともにベ
ルトサングー方式の場合にはベルトサングーの目づまり
による作業上の欠点を有し、これを防止するためベルト
サングーの交換が要求され、費用が大幅にかさむ等の欠
点を有していたが、本発明装置の実施によってこれらの
点についても作業上、経済的に大幅な改善を計ることが
判明した。
尚、研磨液については、本来の研磨作用の増大等に加え
てUVあるいは熱硬化樹脂の除去に作用し得る溶液の混
合することにより実施される。
てUVあるいは熱硬化樹脂の除去に作用し得る溶液の混
合することにより実施される。
そして、最終工程として、表面を平滑化された状態で表
面研磨処理されたプリント基Fi、2は、搬送装置3を
介して開口14(又は開口13)方向に搬送し、開口1
4から装置外に搬出させる。
面研磨処理されたプリント基Fi、2は、搬送装置3を
介して開口14(又は開口13)方向に搬送し、開口1
4から装置外に搬出させる。
尚、以上の実施例では研磨ブラシ部40を平面偏心運動
しつつ研磨する方法について述べたが、研磨ブラシ部4
0を回転せしめつつ研磨することも勿論可能である。
しつつ研磨する方法について述べたが、研磨ブラシ部4
0を回転せしめつつ研磨することも勿論可能である。
以上のように本発明装置によれば、簡単な工程にてプリ
ント配線板の製造工程に於けるプリント基板の表面研磨
を所要の研磨と適確な仕上げ面を得つつ実施できこの種
の研磨の作業性並びに経済性を向上し得る。
ント配線板の製造工程に於けるプリント基板の表面研磨
を所要の研磨と適確な仕上げ面を得つつ実施できこの種
の研磨の作業性並びに経済性を向上し得る。
第1図は、本発明装置の研磨ブラシ部を示し、第1図a
は正面図、第1図すはブラシ部本体の斜視図、 第2図は、研磨装置を示す斜視図、 第3図は、第2図の要部の正面図、 第4図は、プリント基板表面を研磨している状態を示す
斜視図、 第5図はブラシと砥石の実施例を示す平面図、第6図は
第5図の端面図である。 2・・・プリント基板 2a・・・表面4.40
・・・研磨ブラシ部 10.41・・・ブラシ本体1
2・・・偏心軸 15・・・研磨砥石16
、45・・・ブラシ束 18・・・給水孔42・
・・ブラシ保持部 43・・・鋼状研磨布44・
・・植設板 46・・・噴出孔47・・・
給水孔 特許出願人 日本シイエムケイ株式会社第1図 (a) 40・・・研磨ブラン部 41・・・ブラシ本
体42・・・プラノ保持部 43・坦状研麿布
45・・・ブラン束 46・・・噴出孔4
了・・給水孔
は正面図、第1図すはブラシ部本体の斜視図、 第2図は、研磨装置を示す斜視図、 第3図は、第2図の要部の正面図、 第4図は、プリント基板表面を研磨している状態を示す
斜視図、 第5図はブラシと砥石の実施例を示す平面図、第6図は
第5図の端面図である。 2・・・プリント基板 2a・・・表面4.40
・・・研磨ブラシ部 10.41・・・ブラシ本体1
2・・・偏心軸 15・・・研磨砥石16
、45・・・ブラシ束 18・・・給水孔42・
・・ブラシ保持部 43・・・鋼状研磨布44・
・・植設板 46・・・噴出孔47・・・
給水孔 特許出願人 日本シイエムケイ株式会社第1図 (a) 40・・・研磨ブラン部 41・・・ブラシ本
体42・・・プラノ保持部 43・坦状研麿布
45・・・ブラン束 46・・・噴出孔4
了・・給水孔
Claims (3)
- (1)プリント基板を搬送するための搬送装置と、この
搬送装置を介して搬送されるプリント基板の表面を研磨
処理するための研磨部とから成るプリント基板の表面研
磨装置において、 前記研磨部のブラシ保持部に複数の研磨液の噴出孔を配
設するとともに複数のブラシ束を配設し、かつ各ブラシ
束を鋼状研磨布にて被覆して研磨部材を装備することに
より構成したことを特徴とするプリント基板の表面研磨
装置。 - (2)前記鋼状研磨布は、金属製繊維またはその他の繊
維製の織布から成る特許請求の範囲第1項記載のプリン
ト基板表面研磨装置。 - (3)前記鋼状研磨布は、ダイヤモンドまたはその他の
研磨砥粒を蒸着またはその他の手段にて固着して成る特
許請求の範囲第1項記載のプリント基板の表面研磨装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16167989A JPH0277192A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | プリント基板の表面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16167989A JPH0277192A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | プリント基板の表面研磨装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21969888A Division JPH0271968A (ja) | 1988-09-02 | 1988-09-02 | プリント配線板の製造工程に於ける表面研磨等の平面部材の表面研磨方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0277192A true JPH0277192A (ja) | 1990-03-16 |
Family
ID=15739784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16167989A Pending JPH0277192A (ja) | 1989-06-23 | 1989-06-23 | プリント基板の表面研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0277192A (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1989
- 1989-06-23 JP JP16167989A patent/JPH0277192A/ja active Pending
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