JP2006231451A - ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法および製造装置 - Google Patents
ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法および製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006231451A JP2006231451A JP2005048474A JP2005048474A JP2006231451A JP 2006231451 A JP2006231451 A JP 2006231451A JP 2005048474 A JP2005048474 A JP 2005048474A JP 2005048474 A JP2005048474 A JP 2005048474A JP 2006231451 A JP2006231451 A JP 2006231451A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass fiber
- containing resin
- resin continuous
- plate
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
【課題】本発明の課題は、ガラス繊維含有樹脂連続素材板をバフロールによって研磨処理する際に、ガラス繊維含有樹脂連続素材板の研磨処理ムラや研磨処理量の低下を防止しつつ、ガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造しうるような製造方法を提供する。
【解決手段】回路基板のベース材として使用されるガラス繊維含有樹脂連続板３を製造する、ガラス繊維含有樹脂連続板３の製造方法であって、バフロール２の表面に水を吹き付けつつ該バフロール２にて未研磨処理状態のガラス繊維含有樹脂連続素材板３を連続的に研磨することにより、バフロール２の表面に付着している研磨カスをバフロール２の表面から水洗１除去しつつガラス繊維含有樹脂連続板３を連続的に製造するガラス繊維含有樹脂連続板３の製造方法。
【選択図】図１
【解決手段】回路基板のベース材として使用されるガラス繊維含有樹脂連続板３を製造する、ガラス繊維含有樹脂連続板３の製造方法であって、バフロール２の表面に水を吹き付けつつ該バフロール２にて未研磨処理状態のガラス繊維含有樹脂連続素材板３を連続的に研磨することにより、バフロール２の表面に付着している研磨カスをバフロール２の表面から水洗１除去しつつガラス繊維含有樹脂連続板３を連続的に製造するガラス繊維含有樹脂連続板３の製造方法。
【選択図】図１
Description
本発明は、ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法および製造装置に関する。
従来、フレキシブルプリントサーキット（ＦＰＣ）やチップオンボード（ＣＯＢ）などの回路基板が知られている。このような回路基板では、ガラス繊維補強材とマトリックス樹脂とを含むガラス繊維含有樹脂板と、銅などの金属パターン板とは、接着剤を介して相互に接着されている。この中でガラス繊維補強材とマトリックス樹脂とを含むガラス繊維含有樹脂連続板は、各回路基板の用途に応じた所定の厚みと、接着剤塗布用の粗表面とを必要とする。このため、製造されたままの厚みと表面平滑状態を有するガラス繊維含有樹脂連続素材板を、サンドプラスト処理またはバフロール研磨処理して、その表面を所定の厚みに研磨すると共に粗面化している。このバフロール研磨処理法は、砥粒を円周上に備えたバフロールを用いる研磨処理法であって、種々の用途に採用されている（例えば、次の特許文献１、参照）。
特開２００１−０２４３３２号公報
ガラス繊維含有樹脂連続素材板の表面処理に関し、バフロール研磨処理法は、サンドブラスト処理法に比し所定の厚みへの研磨性能の点で優れているため、一般に、かかる表面処理において採用されている。
しかしながら、バフロール研磨処理法は、かかる表面処理の進行につれて砥粒の脱落や研磨カスの付着によりバフロールの機能が低下し、これにより、ガラス繊維含有樹脂連続素材板において研磨処理ムラが起こり、また研磨処理量が低下する。このような場合、従来技術では、一旦、バフロール研磨処理を中断し、機能低下したバフロールをバフロール研磨処理工程から取り出す。次いで、取り出した機能低下したバフロールを、目立て処理法に従って金属プレートやセラミックプレートなどの目立て用プレートを用いて機能低下したバフロールの表面を研磨処理したり、あるいは洗浄したりすることにより、機能低下したバフロールの表面を活性化させている。このように、従来技術では、ガラス繊維含有樹脂連続素材板のバフロール研磨処理を中断することなく、ガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造することが不可能であった。
しかしながら、バフロール研磨処理法は、かかる表面処理の進行につれて砥粒の脱落や研磨カスの付着によりバフロールの機能が低下し、これにより、ガラス繊維含有樹脂連続素材板において研磨処理ムラが起こり、また研磨処理量が低下する。このような場合、従来技術では、一旦、バフロール研磨処理を中断し、機能低下したバフロールをバフロール研磨処理工程から取り出す。次いで、取り出した機能低下したバフロールを、目立て処理法に従って金属プレートやセラミックプレートなどの目立て用プレートを用いて機能低下したバフロールの表面を研磨処理したり、あるいは洗浄したりすることにより、機能低下したバフロールの表面を活性化させている。このように、従来技術では、ガラス繊維含有樹脂連続素材板のバフロール研磨処理を中断することなく、ガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造することが不可能であった。
本発明の課題は、ガラス繊維含有樹脂連続素材板をバフロールによって研磨処理する際に、ガラス繊維含有樹脂連続素材板の研磨処理ムラや研磨処理量の低下を防止しつつ、ガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造しうるような製造方法および製造装置を提供することである。
本発明者は、前記課題を達成すべく、鋭意検討した結果、これまで、ガラス繊維含有樹脂連続板の研磨製造工程から取り出してなされていた、機能低下したバフロール表面の活性化処理を、ガラス繊維含有樹脂連続板の当該研磨製造工程において実施することによって、前記課題を達成できることを見出し、この知見に基づき、本発明が完成するに至ったのである。
すなわち、本発明は、回路基板のベース材として使用されるガラス繊維含有樹脂連続板を製造する、ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法であって、バフロールの表面に水を吹き付けつつ該バフロールにて未研磨処理状態のガラス繊維含有樹脂連続素材板を連続的に研磨することにより、バフロールの表面に付着している研磨カスをバフロールの表面から水洗除去しつつガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造することを特徴とするガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法を提供する。
また、回路基板のベース材として使用されるガラス繊維含有樹脂連続板を製造する、ガラス繊維含有樹脂連続板の製造装置であって、未研磨処理状態のガラス繊維含有樹脂連続素材板を研磨してガラス繊維含有樹脂連続板を製造するバフロールが備えられ、ガラス繊維含有樹脂連続素材板を研磨している状態のバフロールから、該バフロールの表面に付着している研磨カスを除去し得るように前記バフロールの表面に水を吹きつけてバフロールを水洗するバフロール用高水圧水洗ノズルがさらに備えられていることを特徴とするガラス繊維含有樹脂連続板の製造装置を提供する。
なお、本明細書中におけるバフロール用高水圧水洗ノズルとは、バフロールの表面に対して、バフロールの長さ方向に２０ｃｍ以下の線状の区間に１Ｌ／分以上の水量を吹き付けて研磨カスを水洗して除去し得る水洗ノズルを意図している。
なお、本明細書中におけるバフロール用高水圧水洗ノズルとは、バフロールの表面に対して、バフロールの長さ方向に２０ｃｍ以下の線状の区間に１Ｌ／分以上の水量を吹き付けて研磨カスを水洗して除去し得る水洗ノズルを意図している。
本発明によれば、バフロールに付着している研磨カスを水洗して除去しつつ、ガラス繊維含有樹脂連続板の製造を行うことができ、ガラス繊維含有樹脂連続素材板の研磨処理ムラや研磨処理量の低下を防止しつつ、ガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造できるという、技術的効果を奏することができる。
本実施形態のガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法においては、このガラス繊維含有樹脂連続板は、通常所定の寸法に切断した後に、回路基板のベース材として使用され、ＦＰＣ、ＣＯＢ等の回路基板を形成することができる。
このガラス繊維含有樹脂連続板は、前記したように、バフロール用高水圧水洗ノズルによりバフロールを水洗させながら、当該バフロールによってガラス繊維含有樹脂連続素材板を連続的に研磨することによって、連続的に製造される。
このガラス繊維含有樹脂連続板は、前記したように、バフロール用高水圧水洗ノズルによりバフロールを水洗させながら、当該バフロールによってガラス繊維含有樹脂連続素材板を連続的に研磨することによって、連続的に製造される。
（ガラス繊維含有樹脂連続素材板）
ガラス繊維含有樹脂連続素材板は、マトリックス樹脂に、ガラス繊維補強材などを混合し、得られた混合物を成形（特に、加熱、加圧成形）して調製することができる。一般に、ガラス繊維含有樹脂連続素材板は、厚み５０〜３００μｍ×長さ５０〜１０００ｍ×幅５００〜７００ｍｍで調製され、次いで、直ちにバフロールによる研磨処理に付すか、または未研磨処理状態でロール状に巻取って、ロール状態で貯蔵することもできる。したがって、未研磨処理状態のガラス繊維含有樹脂連続素材板は、調製されたままの状態の厚みと平滑性とを有している。
マトリックス樹脂として、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂などを使用することができる。好ましくは、絶縁特性並びにコスト上の観点から、マトリックス樹脂としてエポキシ樹脂を用いたガラス繊維含有エポキシ樹脂連続素材板が採用されている。
なお、本実施形態のガラス繊維含有樹脂連続素材板としては、従来、研磨処理ムラや研磨処理量の低下を発生させやすく、本発明の効果をより顕著に発揮させ得る点において前記マトリックス樹脂が５０質量％以上含有されるガラス繊維含有樹脂連続素材板を好適に用いることができる。
ガラス繊維含有樹脂連続素材板は、マトリックス樹脂に、ガラス繊維補強材などを混合し、得られた混合物を成形（特に、加熱、加圧成形）して調製することができる。一般に、ガラス繊維含有樹脂連続素材板は、厚み５０〜３００μｍ×長さ５０〜１０００ｍ×幅５００〜７００ｍｍで調製され、次いで、直ちにバフロールによる研磨処理に付すか、または未研磨処理状態でロール状に巻取って、ロール状態で貯蔵することもできる。したがって、未研磨処理状態のガラス繊維含有樹脂連続素材板は、調製されたままの状態の厚みと平滑性とを有している。
マトリックス樹脂として、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ポリイミド樹脂などを使用することができる。好ましくは、絶縁特性並びにコスト上の観点から、マトリックス樹脂としてエポキシ樹脂を用いたガラス繊維含有エポキシ樹脂連続素材板が採用されている。
なお、本実施形態のガラス繊維含有樹脂連続素材板としては、従来、研磨処理ムラや研磨処理量の低下を発生させやすく、本発明の効果をより顕著に発揮させ得る点において前記マトリックス樹脂が５０質量％以上含有されるガラス繊維含有樹脂連続素材板を好適に用いることができる。
（バフロール）
バフロールは、一般に、研磨対象であるガラス繊維含有樹脂連続素材板を、研磨処理（例えば、粗面化処理並びに研磨処理）しうる性能を有するものであれば、いずれであってもよい。
一般に、ナイロンバフロールや、セラミックバフロールなどを本発明のバフロールとして使用することができる。例えば、ナイロンバフロールは、ナイロン不織布に、砥粒含有樹脂を含浸させたナイロン不織布を積層させたものである。また、セラミックバフロールは、その表面に、砥粒含有樹脂を有するものである。砥粒として、シリコンカーバイト、アルミナなどが採用されている。
バフロールは、一般に、研磨対象であるガラス繊維含有樹脂連続素材板を、研磨処理（例えば、粗面化処理並びに研磨処理）しうる性能を有するものであれば、いずれであってもよい。
一般に、ナイロンバフロールや、セラミックバフロールなどを本発明のバフロールとして使用することができる。例えば、ナイロンバフロールは、ナイロン不織布に、砥粒含有樹脂を含浸させたナイロン不織布を積層させたものである。また、セラミックバフロールは、その表面に、砥粒含有樹脂を有するものである。砥粒として、シリコンカーバイト、アルミナなどが採用されている。
（バフロール用高水圧水洗ノズル）
本発明に使用しうる、バフロール用高水圧水洗ノズルは、バフロールの表面に対して、バフロールの長さ方向に２０ｃｍ以下の線状の区間に対して１分間に１Ｌ以上の水量を吹き付けて研磨カスを水洗して除去しバフロールの表面を活性化し得る水洗であればいずれであってもよいが、例えば、バフロールの表面に対して、バフロールの長さ方向に約９０度の噴角で、１５〜２０ｃｍの線状の区間に１〜５Ｌ／分の水量を吹き付けるものなどを用いることができる。
また、このバフロール用高水圧水洗ノズルは、バフロールの長さ方向全長に対して水を吹き付け得るように、複数用いられることが好ましく、さらに、個々のバフロール用高水圧水洗ノズルから吹き付けられる水が、互いに重なり合うように配されていることが好ましい。
さらに、バフロールがガラス繊維含有樹脂連続素材板を研磨する方向と逆方向に、バフロール用高水圧水洗ノズルがバフロール表面に水を吹き付けることで研磨カスを除去する効果がより優れたものとなるように、バフロールの回転方向と同方向で、バフロールの接線方向を０度（図１中Ａの配置）、バフロールの接線に垂直な方向を９０度（図１中Ｂの配置）としたときに、０〜９０度に水の吹き付けが行われるよう配されていることが好ましい。
本発明に使用しうる、バフロール用高水圧水洗ノズルは、バフロールの表面に対して、バフロールの長さ方向に２０ｃｍ以下の線状の区間に対して１分間に１Ｌ以上の水量を吹き付けて研磨カスを水洗して除去しバフロールの表面を活性化し得る水洗であればいずれであってもよいが、例えば、バフロールの表面に対して、バフロールの長さ方向に約９０度の噴角で、１５〜２０ｃｍの線状の区間に１〜５Ｌ／分の水量を吹き付けるものなどを用いることができる。
また、このバフロール用高水圧水洗ノズルは、バフロールの長さ方向全長に対して水を吹き付け得るように、複数用いられることが好ましく、さらに、個々のバフロール用高水圧水洗ノズルから吹き付けられる水が、互いに重なり合うように配されていることが好ましい。
さらに、バフロールがガラス繊維含有樹脂連続素材板を研磨する方向と逆方向に、バフロール用高水圧水洗ノズルがバフロール表面に水を吹き付けることで研磨カスを除去する効果がより優れたものとなるように、バフロールの回転方向と同方向で、バフロールの接線方向を０度（図１中Ａの配置）、バフロールの接線に垂直な方向を９０度（図１中Ｂの配置）としたときに、０〜９０度に水の吹き付けが行われるよう配されていることが好ましい。
次いで、バフロールを水洗しながら、当該バフロールによってガラス繊維含有樹脂連続素材板を連続的に研磨する方法を例に説明する。
例えば、図１および図２に示すように、ガラス繊維含有樹脂連続素材板３を、図中右手方向に供給しながら、このガラス繊維含有樹脂連続素材板３に対し、バフロール２の軸方向長さ部分を、当該バフロール２が回転軸４まわりに回転するように（図１では、反時計回りの回転）、接触させることによってガラス繊維含有樹脂連続素材板３の研磨処理を行うことができる。このガラス繊維含有樹脂連続素材板３の研磨処理の間に、バフロール用高水圧水洗ノズル１からバフロール２に扇状に水を吹き付けてバフロール２の長手方向全長を水洗させる。この水洗により、バフロール２の表面に付着しているガラス繊維含有樹脂連続素材板３の研磨カスを除去することができ、ガラス繊維含有樹脂連続素材板３の研磨処理ムラや研磨処理量の低下を防止しつつ、ガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造できる。
例えば、図１および図２に示すように、ガラス繊維含有樹脂連続素材板３を、図中右手方向に供給しながら、このガラス繊維含有樹脂連続素材板３に対し、バフロール２の軸方向長さ部分を、当該バフロール２が回転軸４まわりに回転するように（図１では、反時計回りの回転）、接触させることによってガラス繊維含有樹脂連続素材板３の研磨処理を行うことができる。このガラス繊維含有樹脂連続素材板３の研磨処理の間に、バフロール用高水圧水洗ノズル１からバフロール２に扇状に水を吹き付けてバフロール２の長手方向全長を水洗させる。この水洗により、バフロール２の表面に付着しているガラス繊維含有樹脂連続素材板３の研磨カスを除去することができ、ガラス繊維含有樹脂連続素材板３の研磨処理ムラや研磨処理量の低下を防止しつつ、ガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造できる。
製造されたガラス繊維含有樹脂連続板は、所定の寸法に切断し、片面または両面に接着剤を塗布し、その上に、ポリエチレンテレフタレート等の保護シートを貼着することができる。なお、接着剤の塗布および保護シートの貼着は、ガラス繊維含有樹脂連続板の切断前に実施してもよい。
また、本実施形態においては、ガラス繊維含有樹脂連続板の製造時にバフロールの活性化を行うべくバフロール用高水圧水洗ノズルのみを用いた場合を例示しているが、バフロール用高水圧水洗ノズルでの水洗を行いつつ、金属プレートやセラミックプレートなどの目立て用プレートをバフロールに当接させることもできる。また、バフロールの全長に水を吹き付けず、一部の区間をバフロール用高水圧水洗ノズルに代えて目立て用プレートを当接させることでバフロールを活性化させてもよい。
また、本実施形態においては、ガラス繊維含有樹脂連続板の製造時にバフロールの活性化を行うべくバフロール用高水圧水洗ノズルのみを用いた場合を例示しているが、バフロール用高水圧水洗ノズルでの水洗を行いつつ、金属プレートやセラミックプレートなどの目立て用プレートをバフロールに当接させることもできる。また、バフロールの全長に水を吹き付けず、一部の区間をバフロール用高水圧水洗ノズルに代えて目立て用プレートを当接させることでバフロールを活性化させてもよい。
次に、実施例を挙げて本発明を更に詳しく説明するが、本発明は、これに限定されるものではない。
＜実施例＞
石井表記（株）製の２軸研磨機に、上部バフロールに（株）角田ブラシ製作所製のＰ−ＳＭ＃３２０を、下部バフロールに（株）角田ブラシ製作所製のクリアバフ＃２２０を装着し、厚みが１３０〜１３５μｍのガラス繊維含有樹脂連続素材板（マトリックス樹脂含有量：５３〜５５質量％）を１．５ｍ／ｍｉｎの速度で、バフロール回転数２０００ｒｐｍ、負荷１．５Ａの設定で連続的に研磨した。
この時、バフロール用高水圧水洗ノズル（各ノズル水圧１ＭＰａ、噴角９０度）を用いて、バフロールの表面２０ｃｍの線状区間当たりに、３．５Ｌ／分の水がバフロールの表面に対して６０度の角度でバフロールの長さ方向全長に渡り、水を吹き付けつつ、ガラス繊維含有樹脂連続板を製造した。
石井表記（株）製の２軸研磨機に、上部バフロールに（株）角田ブラシ製作所製のＰ−ＳＭ＃３２０を、下部バフロールに（株）角田ブラシ製作所製のクリアバフ＃２２０を装着し、厚みが１３０〜１３５μｍのガラス繊維含有樹脂連続素材板（マトリックス樹脂含有量：５３〜５５質量％）を１．５ｍ／ｍｉｎの速度で、バフロール回転数２０００ｒｐｍ、負荷１．５Ａの設定で連続的に研磨した。
この時、バフロール用高水圧水洗ノズル（各ノズル水圧１ＭＰａ、噴角９０度）を用いて、バフロールの表面２０ｃｍの線状区間当たりに、３．５Ｌ／分の水がバフロールの表面に対して６０度の角度でバフロールの長さ方向全長に渡り、水を吹き付けつつ、ガラス繊維含有樹脂連続板を製造した。
＜比較例＞
バフロール用高水圧水洗ノズルを用いていないこと以外は、実施例と同じ条件で研磨を行った。
バフロール用高水圧水洗ノズルを用いていないこと以外は、実施例と同じ条件で研磨を行った。
＜評価＞
研磨開始直後からのガラス繊維含有樹脂連続板の光沢度（グロス値）の変化をバフロールの研磨処理量の低下として観察した。即ち、バフロールの研磨が正常に行われておれば、ガラス繊維含有樹脂連続板の表面は粗面化されるため、光沢度は小さな値となる。逆に、バフロールの研磨処理量が低下すれば表面の粗面化が十分なものとならず光沢度が高い値を示すようになるのである。
前記光沢度は光沢計（ＧＭ−２６８、ミノルタ）を用いて６０度の測定角度で測定した。
前記実施例、前記比較例の光沢度測定結果（グロス値）を表１に示す。
研磨開始直後からのガラス繊維含有樹脂連続板の光沢度（グロス値）の変化をバフロールの研磨処理量の低下として観察した。即ち、バフロールの研磨が正常に行われておれば、ガラス繊維含有樹脂連続板の表面は粗面化されるため、光沢度は小さな値となる。逆に、バフロールの研磨処理量が低下すれば表面の粗面化が十分なものとならず光沢度が高い値を示すようになるのである。
前記光沢度は光沢計（ＧＭ−２６８、ミノルタ）を用いて６０度の測定角度で測定した。
前記実施例、前記比較例の光沢度測定結果（グロス値）を表１に示す。
本発明の製造方法は、所定の寸法に切断した後に、回路基板のベース材として使用されるガラス繊維含有樹脂連続板を製造する方法に適用される。
１：バフロール用高水圧水洗ノズル
２：バフロール
３：ガラス繊維含有樹脂連続素材板
２：バフロール
３：ガラス繊維含有樹脂連続素材板
Claims (2)
- 回路基板のベース材として使用されるガラス繊維含有樹脂連続板を製造する、ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法であって、
バフロールの表面に水を吹き付けつつ該バフロールにて未研磨処理状態のガラス繊維含有樹脂連続素材板を連続的に研磨することにより、バフロールの表面に付着している研磨カスをバフロールの表面から水洗除去しつつガラス繊維含有樹脂連続板を連続的に製造することを特徴とするガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法。 - 回路基板のベース材として使用されるガラス繊維含有樹脂連続板を製造する、ガラス繊維含有樹脂連続板の製造装置であって、
未研磨処理状態のガラス繊維含有樹脂連続素材板を研磨してガラス繊維含有樹脂連続板を製造するバフロールが備えられ、ガラス繊維含有樹脂連続素材板を研磨している状態のバフロールから、該バフロールの表面に付着している研磨カスを除去し得るように前記バフロールの表面に水を吹きつけてバフロールを水洗するバフロール用高水圧水洗ノズルがさらに備えられていることを特徴とするガラス繊維含有樹脂連続板の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005048474A JP2006231451A (ja) | 2005-02-24 | 2005-02-24 | ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法および製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2005048474A JP2006231451A (ja) | 2005-02-24 | 2005-02-24 | ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法および製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2006231451A true JP2006231451A (ja) | 2006-09-07 |
Family
ID=37039661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005048474A Withdrawn JP2006231451A (ja) | 2005-02-24 | 2005-02-24 | ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法および製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2006231451A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008221448A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Dainippon Printing Co Ltd | ドクター刃研磨装置およびドクター刃研磨方法 |
| JP4831552B1 (ja) * | 2011-03-28 | 2011-12-07 | Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 | Ｃｏ−Ｓｉ系銅合金板 |
| KR101318925B1 (ko) * | 2006-12-15 | 2013-10-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치용 백라이트 유닛 |
| KR101326224B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2013-11-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 플렉서블한 액정표시장치용 백라이트 어셈블리 |
-
2005
- 2005-02-24 JP JP2005048474A patent/JP2006231451A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101318925B1 (ko) * | 2006-12-15 | 2013-10-29 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치용 백라이트 유닛 |
| KR101326224B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2013-11-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 플렉서블한 액정표시장치용 백라이트 어셈블리 |
| JP2008221448A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-09-25 | Dainippon Printing Co Ltd | ドクター刃研磨装置およびドクター刃研磨方法 |
| JP4831552B1 (ja) * | 2011-03-28 | 2011-12-07 | Ｊｘ日鉱日石金属株式会社 | Ｃｏ−Ｓｉ系銅合金板 |
| WO2012132805A1 (ja) * | 2011-03-28 | 2012-10-04 | Jx日鉱日石金属株式会社 | Co-Si系銅合金板 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5297096B2 (ja) | 研磨布 | |
| JP4813185B2 (ja) | ウェハの洗浄装置及び洗浄方法 | |
| JP4998815B2 (ja) | ガラス基板洗浄装置及びガラス基板洗浄方法 | |
| JP2616736B2 (ja) | ウエーハ研磨装置 | |
| JP2012513908A (ja) | ラッピング用にコーティングされたキャリア、並びにその作製方法及び使用方法 | |
| WO2007032517A1 (en) | Polishing platen and polishing apparatus | |
| JP2006231451A (ja) | ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法および製造装置 | |
| JP2010228058A (ja) | 研磨布の洗浄装置および洗浄方法 | |
| WO2003038882A1 (fr) | Procede et patin de polissage de plaquette | |
| CN107000173B (zh) | 研磨刷 | |
| US6824451B2 (en) | Process for the abrasive machining of surfaces, in particular of semiconductor wafers | |
| JP2011031361A (ja) | 研磨用具、研磨方法及び研磨用具の製造方法 | |
| US6875091B2 (en) | Method and apparatus for conditioning a polishing pad with sonic energy | |
| JP2004202668A (ja) | 研磨クロス | |
| JP2006231452A (ja) | ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法および製造装置 | |
| TW201715013A (zh) | 研磨材及研磨材的製造方法 | |
| JP2006231450A (ja) | ガラス繊維含有樹脂連続板の製造方法および製造装置 | |
| WO2002100595A1 (fr) | Feuille de polissage et procede de realisation de la feuille de polissage | |
| US7503836B2 (en) | Method of dressing grindstone for processing eyeglass lens, and dressing tool used in the method | |
| JP2014100766A (ja) | サファイア基板 | |
| JP5298688B2 (ja) | 研磨パッド | |
| WO2006113374A1 (en) | Sheet-form coated abrasive article | |
| JP5421839B2 (ja) | 研磨パッドおよび研磨パッドの製造方法 | |
| JP2008023625A (ja) | 被加工物保持材 | |
| JP2001088009A (ja) | ポリッシングパッドのドレッシング装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080513 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080623 |
|
| A072 | Dismissal of procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20081010 |