JPH0277147A - 集積回路パッケージの製造方法 - Google Patents
集積回路パッケージの製造方法Info
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- JPH0277147A JPH0277147A JP23031588A JP23031588A JPH0277147A JP H0277147 A JPH0277147 A JP H0277147A JP 23031588 A JP23031588 A JP 23031588A JP 23031588 A JP23031588 A JP 23031588A JP H0277147 A JPH0277147 A JP H0277147A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 23
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 abstract description 2
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract description 2
- NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N (2s)-2,6-diaminohexanoic acid;(2s)-2-hydroxybutanedioic acid Chemical compound OC(=O)[C@@H](O)CC(O)=O.NCCCC[C@H](N)C(O)=O NWZSZGALRFJKBT-KNIFDHDWSA-N 0.000 abstract 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract 1
- IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N hydrazine monohydrate Substances O.NN IKDUDTNKRLTJSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- BIVUUOPIAYRCAP-UHFFFAOYSA-N aminoazanium;chloride Chemical compound Cl.NN BIVUUOPIAYRCAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/341—Surface mounted components
- H05K3/3421—Leaded components
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、コンピュータ等に搭載される集積回路パッケ
ージの製造方法に関し、特に表面実装用多ビンPGA
(ピングリッドアレイ)の形成方法に関する。
ージの製造方法に関し、特に表面実装用多ビンPGA
(ピングリッドアレイ)の形成方法に関する。
従来、この種の集積回路パッケージの製造方法は、内部
に配線層を有するセラミック基板を形成した後に、この
セラミック基板の一つの面に複数のI/Oピンをロー付
けし、この状態で製造工程を終了していた。
に配線層を有するセラミック基板を形成した後に、この
セラミック基板の一つの面に複数のI/Oピンをロー付
けし、この状態で製造工程を終了していた。
上述した従来の集積回路パッケージの製造方法では、第
4図に示すように完成した集積回路パッケージはセラミ
ック基板1にロー付けされた複数のI/Oピン2が全て
露出したままとなっているので外力にて簡単にI10ピ
ン2が曲がり、座屈が生じ易いという欠点があった。
4図に示すように完成した集積回路パッケージはセラミ
ック基板1にロー付けされた複数のI/Oピン2が全て
露出したままとなっているので外力にて簡単にI10ピ
ン2が曲がり、座屈が生じ易いという欠点があった。
更に複数のI/Oピン2の先端の高さはI/Oピン2の
ロー付は工程の取付は精度が支配的となるため、バラツ
キが大きくなり、I/Oピン2の先端の平坦度は悪い。
ロー付は工程の取付は精度が支配的となるため、バラツ
キが大きくなり、I/Oピン2の先端の平坦度は悪い。
更に、I/Oピン2の数が100ピン以上、あるいはパ
ッケージサイズが3011110以上の多ビン大型サイ
ズパッケージになると、パッケージ自体の反り、あるい
は集積回路パッケージが搭載されるプリント基板の反り
、更に両者の熱膨張係数の差に起因する熱応力等の影響
によりI10ピン2をプリント基板にはんだ付けする時
に、未はんだ、断線などが生じ、正常なはんだ付けが困
難であるという欠点があった。
ッケージサイズが3011110以上の多ビン大型サイ
ズパッケージになると、パッケージ自体の反り、あるい
は集積回路パッケージが搭載されるプリント基板の反り
、更に両者の熱膨張係数の差に起因する熱応力等の影響
によりI10ピン2をプリント基板にはんだ付けする時
に、未はんだ、断線などが生じ、正常なはんだ付けが困
難であるという欠点があった。
本発明の集積回路パッケージの製造方法は、セラミック
基板の複数のI/Oピンが固設された面に前記複数のI
/Oピン全てをおおうように有機樹脂層を塗布する工程
と、前記I10ピンの先端が露出するまで前記有機樹脂
層の表面を研磨する工程と、前記研磨した有機樹脂の表
面をエツチングする工程とを含んで構成される。
基板の複数のI/Oピンが固設された面に前記複数のI
/Oピン全てをおおうように有機樹脂層を塗布する工程
と、前記I10ピンの先端が露出するまで前記有機樹脂
層の表面を研磨する工程と、前記研磨した有機樹脂の表
面をエツチングする工程とを含んで構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第1図(a)〜(d)は本発明の一実施例を工程順に示
す断面図、第2図は第1図に示す実施例で製造した集積
回路パッケージの斜視図、第3図は本実施例の集積回路
パッケージをプリント基板4に実装したときの断面図で
ある。
す断面図、第2図は第1図に示す実施例で製造した集積
回路パッケージの斜視図、第3図は本実施例の集積回路
パッケージをプリント基板4に実装したときの断面図で
ある。
本実施例では、先ず従来の製造方法と同様にセラミック
基板1に工/○ピン2をロー付けする(第1図(a))
。この工程では、未だビン曲かりはない。次に、第1図
(b)に示すように、セラミック基板1の複数のI/O
ピン2が形成された面全体にI/Oピン2がすべておお
われるように有機樹脂層3を塗布する。有機樹脂層3の
材質としては耐熱性、加工性等の点から例えばポリイミ
ドを使用する。次に、第1図(C)に示すように、有機
樹脂層3の表面をI10ピン2の先端が露出するまで研
磨し平坦化する。
基板1に工/○ピン2をロー付けする(第1図(a))
。この工程では、未だビン曲かりはない。次に、第1図
(b)に示すように、セラミック基板1の複数のI/O
ピン2が形成された面全体にI/Oピン2がすべておお
われるように有機樹脂層3を塗布する。有機樹脂層3の
材質としては耐熱性、加工性等の点から例えばポリイミ
ドを使用する。次に、第1図(C)に示すように、有機
樹脂層3の表面をI10ピン2の先端が露出するまで研
磨し平坦化する。
次に、第1図(d)に示すように平坦化した有機樹脂層
3の表面をヒドラジンヒトラード系の溶剤にて化学的に
エツチングするか、あるいは02プラズマ等により物理
・化学的にエツチングするかして、予め設計された深さ
まで有機樹脂層3の表面をエツチングする。この場合、
エツチングする深さは1〜3 mm程度が一般的となる
。I/Oピン2(材質がKOVARあるいは42AIl
oyなど)はエツチングされないため、I10ピン2の
先端1〜31程度が露出することになる。
3の表面をヒドラジンヒトラード系の溶剤にて化学的に
エツチングするか、あるいは02プラズマ等により物理
・化学的にエツチングするかして、予め設計された深さ
まで有機樹脂層3の表面をエツチングする。この場合、
エツチングする深さは1〜3 mm程度が一般的となる
。I/Oピン2(材質がKOVARあるいは42AIl
oyなど)はエツチングされないため、I10ピン2の
先端1〜31程度が露出することになる。
本実施例では、研磨加工により複数のI/Oピン2の先
端の平坦性は良好であるから、第3図に示すようにI/
Oピン2をプリンI・基板4にはんだ付けした時に未は
んだの発生を防止できる。更に、はんだウィッキングは
有機樹脂3で完全にストップされるから、はんだフィレ
ットもほとんど設計通り均一に形成できることになる。
端の平坦性は良好であるから、第3図に示すようにI/
Oピン2をプリンI・基板4にはんだ付けした時に未は
んだの発生を防止できる。更に、はんだウィッキングは
有機樹脂3で完全にストップされるから、はんだフィレ
ットもほとんど設計通り均一に形成できることになる。
第3図にこの様子を示している。
以上説明したように本発明は、集積回路用PGAパッケ
ージの複数のI/Oピンを有機樹脂層でおおい、先端を
研磨してがち有機樹脂層の表面をエツチングすることに
より、外力によるI/Oピンの曲がりを防止するととも
に、はんだウィッキングのない、品質、信頼性の高いは
んだ付けが可能になるという効果がある。
ージの複数のI/Oピンを有機樹脂層でおおい、先端を
研磨してがち有機樹脂層の表面をエツチングすることに
より、外力によるI/Oピンの曲がりを防止するととも
に、はんだウィッキングのない、品質、信頼性の高いは
んだ付けが可能になるという効果がある。
第1図(a)〜(d)は本発明の一実施例を工程順に示
す断面図、第2図は第1図に示す実施例で製造した集積
回路パッケージの斜視図、第3図は本実施例の集積回路
パッケージをプリント基板4に実装したときの断面図、
第4図は従来の製造方法により製造された集積回路パッ
ケージの側面図である。 1・・・セラミック基板、2・・・I10ピン、3・・
・有機樹脂層、4・・・プリント基板。
す断面図、第2図は第1図に示す実施例で製造した集積
回路パッケージの斜視図、第3図は本実施例の集積回路
パッケージをプリント基板4に実装したときの断面図、
第4図は従来の製造方法により製造された集積回路パッ
ケージの側面図である。 1・・・セラミック基板、2・・・I10ピン、3・・
・有機樹脂層、4・・・プリント基板。
Claims (1)
- セラミック基板の複数のI/Oピンが固設された面に
前記複数のI/Oピン全てをおおうように有機樹脂層を
塗布する工程と、前記I/Oピンの先端が露出するまで
前記有機樹脂層の表面を研磨する工程と、前記研磨した
有機樹脂の表面をエッチングする工程とを含むことを特
徴とする集積回路パッケージの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63230315A JP2606316B2 (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | 集積回路パッケージの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63230315A JP2606316B2 (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | 集積回路パッケージの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0277147A true JPH0277147A (ja) | 1990-03-16 |
JP2606316B2 JP2606316B2 (ja) | 1997-04-30 |
Family
ID=16905907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63230315A Expired - Lifetime JP2606316B2 (ja) | 1988-09-13 | 1988-09-13 | 集積回路パッケージの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2606316B2 (ja) |
-
1988
- 1988-09-13 JP JP63230315A patent/JP2606316B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2606316B2 (ja) | 1997-04-30 |
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