JPH0274581A - 耐熱・耐酸化性高強度部材 - Google Patents
耐熱・耐酸化性高強度部材Info
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- JPH0274581A JPH0274581A JP63223758A JP22375888A JPH0274581A JP H0274581 A JPH0274581 A JP H0274581A JP 63223758 A JP63223758 A JP 63223758A JP 22375888 A JP22375888 A JP 22375888A JP H0274581 A JPH0274581 A JP H0274581A
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- 230000003647 oxidation Effects 0.000 title claims abstract description 50
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 title claims abstract description 50
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 111
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 98
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 claims abstract description 96
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims abstract description 16
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims abstract description 16
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract description 12
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 46
- AJXBBNUQVRZRCZ-UHFFFAOYSA-N azanylidyneyttrium Chemical compound [Y]#N AJXBBNUQVRZRCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 45
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 35
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 19
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 239000004063 acid-resistant material Substances 0.000 claims 2
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 abstract description 18
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 18
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 abstract description 10
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 abstract description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 5
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N Furan Chemical compound C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 abstract 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 13
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 12
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 12
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 10
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 9
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 8
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 7
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 7
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 2
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 240000000731 Fagus sylvatica Species 0.000 description 1
- 235000010099 Fagus sylvatica Nutrition 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000000855 fermentation Methods 0.000 description 1
- 230000004151 fermentation Effects 0.000 description 1
- 239000003733 fiber-reinforced composite Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- WHOPEPSOPUIRQQ-UHFFFAOYSA-N oxoaluminum Chemical compound O1[Al]O[Al]1 WHOPEPSOPUIRQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011226 reinforced ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【9.明の目的】
(産業上の利用分野)
本発明は、高強度であって、しかも耐熱性および耐酸化
性にも優れていることが要求される構造体の部分1部品
および製品の素材として好適に利用される耐熱・耐酸化
性高強度部材に関するものである。 (従来の技術) 近年、構造体の部分9部品および製品を構成する素材に
対する要求特性が一段と厳しくなり、従来の金属系の材
料や樹脂系の材料ではこのような要求特性に十分対応し
きれなくなってきており、セラミックス系の材料が盛ん
に開発され、また、繊維強化金属(FRM)やmta強
化セラミックス(FRC)、さらには炭素all/炭素
複合材(C/C材)などの複合材料が開発され、そして
実用に供されるようになってきている。 このC/C材は、軽量でかつ高強度であるため比強度の
点においてすぐれており、また耐熱性および耐酸化性が
比較的良好であって熱による損耗や強度低下が従来の金
属系の材料に比べてかなり少ないものであるので、宇宙
航空機器用部材や原子力設備用部材などのごとく苛酷な
条件下にさらされる用途に適しているものといえる。 このC/C材の製造方法としては、カーボン繊m/フェ
ノールやグラファイト繊維/フェノール、カーボン繊維
/ビー2チやグラファイト繊維/ピッチなどといった素
材を一次焼成により炭化あるいは黒鉛化し、さらに高密
度化するためにビ7チ含浸と焼成とを繰返すレジンφチ
ャー法や、カーボン1a誰もしくはグラファイトm維で
編んだ骨材に炭化水素を熱分解して生成する炭素を蒸着
する蒸着法(CVD法)などがあり、二次元タイプのC
/C材のほか、三次元タイプ、四次元タイプなどのよう
な多次元に繊維が配向したC/C材の開発もなされてい
る。 このように、C/C材は、従来の金属系の材料に比べる
と、軽量で強度的に優れしかも耐熱・耐酸化性が比較的
良好であり、熱による損耗や強度低下が少ないといえる
が、例えば、宇宙往還機などのように宇宙での活動後に
大気圏に再突入するような場合には、とくに空力加熱を
受ける部分でかなりの高温となり、C/C材では800
°C位となったところで表面から酸化消耗してくる。 そこで、C/C材の表面における酸化消耗を抑制、する
ための#酸化表面処理法も開発されている。 この耐酸化表面処理法としては、例えば。 10%アルミナ(Al1203 )、30%珪素(Si
)、60%炭化珪素(SiC)からなる粉末をグラファ
イト製のレトルト内でC/C材のまわりに詰め、アルゴ
ン雰囲気中において約1650℃で加熱してC/C材の
表面をSiCに転化させ、この後の冷却過程で、C/C
材とSiCとの間における熱膨張差によって微少なりラ
ックを生ずるので、この微少なりラックをテトラエチル
オルトシリケート(TE01)で処理して5i02で含
浸するようにした耐酸化表面処理法があった。また、S
iCに生ずる微少なりラックをシリコン改質剤で処理し
て5tO2で含浸するようにした耐酸化表面処理法もあ
った(例えば、TEO3処理に関しては、CERAMI
CBULLETIN VOL、60.No、11(1
981)に記載されている。)。 (発明が解決しようとする課題) このようなC/C材の表面にTEO3処理を行ったSi
C被覆層を設けた場合には、C/C材が空力加熱を受け
て酸化消耗するのを防止し、より高温での使用が可能と
なるが、およそ1400℃位に達すると表面のSiCが
酸化して5i02となり、この5i02がおよそ170
0℃位で溶融して航行中に飛散することにより消耗され
る。 したがって、例えば、空力加熱を受けることによって1
700℃を超えるような温度に加熱されたときでも十分
に耐えうる部材が必要とされる場合には、上記の表面に
TEO3処理を行ったSiC被覆層を設けたC/C材で
は要求を十分に満たすことができないという課題があっ
た。 (発明の目的) 本発明は、このような従来の課題にかんがみてなされた
もので、構造部材として必要な高強度を有していると共
に、耐熱性およびrk4m化性にも優れており1例えば
、空力加熱を受けることによって1800℃を超えるよ
うな温度に加熱されたときでも酸化消耗が少なく十分に
耐えることが可能である軽量な耐熱・耐酸化性高強度部
材を提供することを目的としている。
性にも優れていることが要求される構造体の部分1部品
および製品の素材として好適に利用される耐熱・耐酸化
性高強度部材に関するものである。 (従来の技術) 近年、構造体の部分9部品および製品を構成する素材に
対する要求特性が一段と厳しくなり、従来の金属系の材
料や樹脂系の材料ではこのような要求特性に十分対応し
きれなくなってきており、セラミックス系の材料が盛ん
に開発され、また、繊維強化金属(FRM)やmta強
化セラミックス(FRC)、さらには炭素all/炭素
複合材(C/C材)などの複合材料が開発され、そして
実用に供されるようになってきている。 このC/C材は、軽量でかつ高強度であるため比強度の
点においてすぐれており、また耐熱性および耐酸化性が
比較的良好であって熱による損耗や強度低下が従来の金
属系の材料に比べてかなり少ないものであるので、宇宙
航空機器用部材や原子力設備用部材などのごとく苛酷な
条件下にさらされる用途に適しているものといえる。 このC/C材の製造方法としては、カーボン繊m/フェ
ノールやグラファイト繊維/フェノール、カーボン繊維
/ビー2チやグラファイト繊維/ピッチなどといった素
材を一次焼成により炭化あるいは黒鉛化し、さらに高密
度化するためにビ7チ含浸と焼成とを繰返すレジンφチ
ャー法や、カーボン1a誰もしくはグラファイトm維で
編んだ骨材に炭化水素を熱分解して生成する炭素を蒸着
する蒸着法(CVD法)などがあり、二次元タイプのC
/C材のほか、三次元タイプ、四次元タイプなどのよう
な多次元に繊維が配向したC/C材の開発もなされてい
る。 このように、C/C材は、従来の金属系の材料に比べる
と、軽量で強度的に優れしかも耐熱・耐酸化性が比較的
良好であり、熱による損耗や強度低下が少ないといえる
が、例えば、宇宙往還機などのように宇宙での活動後に
大気圏に再突入するような場合には、とくに空力加熱を
受ける部分でかなりの高温となり、C/C材では800
°C位となったところで表面から酸化消耗してくる。 そこで、C/C材の表面における酸化消耗を抑制、する
ための#酸化表面処理法も開発されている。 この耐酸化表面処理法としては、例えば。 10%アルミナ(Al1203 )、30%珪素(Si
)、60%炭化珪素(SiC)からなる粉末をグラファ
イト製のレトルト内でC/C材のまわりに詰め、アルゴ
ン雰囲気中において約1650℃で加熱してC/C材の
表面をSiCに転化させ、この後の冷却過程で、C/C
材とSiCとの間における熱膨張差によって微少なりラ
ックを生ずるので、この微少なりラックをテトラエチル
オルトシリケート(TE01)で処理して5i02で含
浸するようにした耐酸化表面処理法があった。また、S
iCに生ずる微少なりラックをシリコン改質剤で処理し
て5tO2で含浸するようにした耐酸化表面処理法もあ
った(例えば、TEO3処理に関しては、CERAMI
CBULLETIN VOL、60.No、11(1
981)に記載されている。)。 (発明が解決しようとする課題) このようなC/C材の表面にTEO3処理を行ったSi
C被覆層を設けた場合には、C/C材が空力加熱を受け
て酸化消耗するのを防止し、より高温での使用が可能と
なるが、およそ1400℃位に達すると表面のSiCが
酸化して5i02となり、この5i02がおよそ170
0℃位で溶融して航行中に飛散することにより消耗され
る。 したがって、例えば、空力加熱を受けることによって1
700℃を超えるような温度に加熱されたときでも十分
に耐えうる部材が必要とされる場合には、上記の表面に
TEO3処理を行ったSiC被覆層を設けたC/C材で
は要求を十分に満たすことができないという課題があっ
た。 (発明の目的) 本発明は、このような従来の課題にかんがみてなされた
もので、構造部材として必要な高強度を有していると共
に、耐熱性およびrk4m化性にも優れており1例えば
、空力加熱を受けることによって1800℃を超えるよ
うな温度に加熱されたときでも酸化消耗が少なく十分に
耐えることが可能である軽量な耐熱・耐酸化性高強度部
材を提供することを目的としている。
(課題を解決するための手段)
本発明の第1請求項に係る耐熱・耐酸化性高強度部材は
、炭素繊維/炭素複合材の表面部分の一部ないしは全部
に窒化アルミニウム層を有する構成となっていることを
特徴としており1本発明の第2請求項に係る耐熱・耐酸
化性高強度部材は、炭素[i/炭素複合材の表面部分の
一部ないしは全部に窒化アルミニウム層を有し、前記窒
化アルミニウム層の表面部分の一部ないしは全部に酸化
ハフニウムおよび酸化ジルコニウムのうちから選ばれる
被覆層を有する構成となっていることを特徴としており
、本発明の第3請求項に係る耐熱・耐酸化性高強度部材
は、炭素ia維/炭素複合材の表面部分の一部ないしは
全部に窒化イツトリウム層を有する構成となっているこ
とを特徴としており、本発明の第4請求項に係る耐熱・
耐酸化性高強度部材は、炭素繊維/炭素複合材の表面部
分の一部ないしは全部に窒化イツトリウム層を有し、l
l77記窒化イツトリウム層の表面部分の一部ないしは
全部に酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウムのうちか
ら選ばれる被覆層を有する構成となっていることを特徴
としており、上記のような耐熱・耐酸化性高強度部材の
構成を前述した従来の課題を解決するための手段として
いる。 本発明に係る耐熱・耐酸化性高強度部材において、基材
となる炭素繊m/炭素複合材(C/C材)は、その製造
方法において特に限定されず、例えば、強化材となる炭
素繊維には平織や綾織したものが用いられ、マトリック
ス結合材としてはフェノール系、フラン系、ピッチ系な
どのものが用いられ、カーボン繊維/フェノール、グラ
ファイト繊維/フェノール、カーボン繊m/ピッチ。 グラファイト繊m/ピッチなどといった素材を一次焼成
によって炭化あるいは黒鉛化し、さらに高密度化するた
めにピッチ含浸と焼成を繰り返すレジン・チャー法や、
カーボン繊維またはグラファイト繊維で編んだ骨材に炭
化水素を熱分解して生成する炭素を蒸着する蒸着法や、
それらのMlみ合わせ法などによって製造されたものが
適用され、C/C材の製造方法は特に限定されない。 そして、このC/C材の表面部分の一部ないしは全部に
窒化アルミニウム(A文N)層を有するものとするに際
しては、−実施7h様において、密閉容器内に、C/C
材からなる基材とAINを収容したるつぼとを設置し、
密閉容器内を例えば10−’Torr程度に減圧しそし
てArが電離した雰囲気にして前記C/C基材の表面を
スパッタ洗浄する前処理を行う0次いで、るつぼ内のA
JljNに対しEBガンにより電子ビームを照射して前
記A!lNを蒸発させ、前記スパッタ洗浄しそして予熱
した状yEのC/C;!!材の表面部分り一部ないし全
部にAuNを蒸着させて、例えば、25〜50pm程度
の厚さの窒化アルミニウム層を被覆したものとする手法
を採用することができる。 そして、必要に応じて、N2ガスを加圧源とする熱間等
静圧圧縮(HIP)を行うことによって、例えば200
0℃程度の高温で例えば2000Kgf/cm2程度の
圧力で加圧し、窒素が不足しているアルミニウム中休の
部分が存在している可能性がある窒化アルミニウム層に
N2を供給して、未反応のAnが存在しない窒化アルミ
ニウム層に形成するとともに、C/C材に対する窒化ア
ルミニウム層のなじみをさらに良好なものとする。 このように、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム層
を有するものとすることによって、構造材として必要な
高強度を有し、耐熱性および耐酸化性にも優れたrtI
4熱・耐酸化性高強度部材となる。 また、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム層を有す
るものとする他の実施態様においては前記密閉容器内の
るつぼに、AIHの代わりにAMを入れておくと共に、
密閉容器内でNが電離した状態にし、C/C材の表面部
分をスパッタ洗浄したのち、前記Anに電子ビームを照
射してAIを蒸発させ、このAnが雰囲気中のNと結合
した窒化アルミニウム層をC/C材の表面部分に形成さ
せるようにすることもできる。 この場合、密閉容器内の雰囲気は例えば10″Torr
程度の減圧雰囲気であることから、蒸発したすべてのA
nがAuNに反応しない金属Auを含んだ窒化アルミニ
ウム層がC/C材の表面に形成される可能性があるが、
このようなときには、前述したと同様にしてN2ガスを
加圧源とする熱間等静圧圧縮を行い、金属A見のすべて
を窒化することにより、耐熱・##耐酸化性優れた窒化
アルミニウム層が形成されるようにすることも望ましい
。 さらに、C/C材の表面に窒化アルミニウム層を有する
ものとする他の実施態様においては、C/C材の所要表
面にA見N粉等を置いた状態にすると共に加熱装この内
部を真空、ArまたはN2雰囲気にし、例えば2350
°C位まで誘導加熱を行うことによってAuN粉を溶融
状態とし、凝固後にC/C材の表面部分の一部または全
部に窒化アルミニウム層が形成されているものとするこ
ともできる。この場合、窒化アルミニウム層がC/C材
の少なくとも表面部分に一部浸透しているような形態と
することももちろん
、炭素繊維/炭素複合材の表面部分の一部ないしは全部
に窒化アルミニウム層を有する構成となっていることを
特徴としており1本発明の第2請求項に係る耐熱・耐酸
化性高強度部材は、炭素[i/炭素複合材の表面部分の
一部ないしは全部に窒化アルミニウム層を有し、前記窒
化アルミニウム層の表面部分の一部ないしは全部に酸化
ハフニウムおよび酸化ジルコニウムのうちから選ばれる
被覆層を有する構成となっていることを特徴としており
、本発明の第3請求項に係る耐熱・耐酸化性高強度部材
は、炭素ia維/炭素複合材の表面部分の一部ないしは
全部に窒化イツトリウム層を有する構成となっているこ
とを特徴としており、本発明の第4請求項に係る耐熱・
耐酸化性高強度部材は、炭素繊維/炭素複合材の表面部
分の一部ないしは全部に窒化イツトリウム層を有し、l
l77記窒化イツトリウム層の表面部分の一部ないしは
全部に酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウムのうちか
ら選ばれる被覆層を有する構成となっていることを特徴
としており、上記のような耐熱・耐酸化性高強度部材の
構成を前述した従来の課題を解決するための手段として
いる。 本発明に係る耐熱・耐酸化性高強度部材において、基材
となる炭素繊m/炭素複合材(C/C材)は、その製造
方法において特に限定されず、例えば、強化材となる炭
素繊維には平織や綾織したものが用いられ、マトリック
ス結合材としてはフェノール系、フラン系、ピッチ系な
どのものが用いられ、カーボン繊維/フェノール、グラ
ファイト繊維/フェノール、カーボン繊m/ピッチ。 グラファイト繊m/ピッチなどといった素材を一次焼成
によって炭化あるいは黒鉛化し、さらに高密度化するた
めにピッチ含浸と焼成を繰り返すレジン・チャー法や、
カーボン繊維またはグラファイト繊維で編んだ骨材に炭
化水素を熱分解して生成する炭素を蒸着する蒸着法や、
それらのMlみ合わせ法などによって製造されたものが
適用され、C/C材の製造方法は特に限定されない。 そして、このC/C材の表面部分の一部ないしは全部に
窒化アルミニウム(A文N)層を有するものとするに際
しては、−実施7h様において、密閉容器内に、C/C
材からなる基材とAINを収容したるつぼとを設置し、
密閉容器内を例えば10−’Torr程度に減圧しそし
てArが電離した雰囲気にして前記C/C基材の表面を
スパッタ洗浄する前処理を行う0次いで、るつぼ内のA
JljNに対しEBガンにより電子ビームを照射して前
記A!lNを蒸発させ、前記スパッタ洗浄しそして予熱
した状yEのC/C;!!材の表面部分り一部ないし全
部にAuNを蒸着させて、例えば、25〜50pm程度
の厚さの窒化アルミニウム層を被覆したものとする手法
を採用することができる。 そして、必要に応じて、N2ガスを加圧源とする熱間等
静圧圧縮(HIP)を行うことによって、例えば200
0℃程度の高温で例えば2000Kgf/cm2程度の
圧力で加圧し、窒素が不足しているアルミニウム中休の
部分が存在している可能性がある窒化アルミニウム層に
N2を供給して、未反応のAnが存在しない窒化アルミ
ニウム層に形成するとともに、C/C材に対する窒化ア
ルミニウム層のなじみをさらに良好なものとする。 このように、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム層
を有するものとすることによって、構造材として必要な
高強度を有し、耐熱性および耐酸化性にも優れたrtI
4熱・耐酸化性高強度部材となる。 また、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム層を有す
るものとする他の実施態様においては前記密閉容器内の
るつぼに、AIHの代わりにAMを入れておくと共に、
密閉容器内でNが電離した状態にし、C/C材の表面部
分をスパッタ洗浄したのち、前記Anに電子ビームを照
射してAIを蒸発させ、このAnが雰囲気中のNと結合
した窒化アルミニウム層をC/C材の表面部分に形成さ
せるようにすることもできる。 この場合、密閉容器内の雰囲気は例えば10″Torr
程度の減圧雰囲気であることから、蒸発したすべてのA
nがAuNに反応しない金属Auを含んだ窒化アルミニ
ウム層がC/C材の表面に形成される可能性があるが、
このようなときには、前述したと同様にしてN2ガスを
加圧源とする熱間等静圧圧縮を行い、金属A見のすべて
を窒化することにより、耐熱・##耐酸化性優れた窒化
アルミニウム層が形成されるようにすることも望ましい
。 さらに、C/C材の表面に窒化アルミニウム層を有する
ものとする他の実施態様においては、C/C材の所要表
面にA見N粉等を置いた状態にすると共に加熱装この内
部を真空、ArまたはN2雰囲気にし、例えば2350
°C位まで誘導加熱を行うことによってAuN粉を溶融
状態とし、凝固後にC/C材の表面部分の一部または全
部に窒化アルミニウム層が形成されているものとするこ
ともできる。この場合、窒化アルミニウム層がC/C材
の少なくとも表面部分に一部浸透しているような形態と
することももちろん
【IT能である。
また、誘導加熱の際の雰囲気は当初において真空または
Arとし、途中から例えばl 、5atm程度のN2雰
囲気として、純金Jdj、A!;Lのない窒化アルミニ
ラL・層を形成させるようになすこともできる。 そして、この場合にも、誘導加熱による窒化アルミニウ
ム層の形成後に、N2ガスを加圧源とした熱間等静圧圧
縮を行うようにすることによって、窒化アルミニウム層
のC/C基材に対するなじみ性がより一層良好なものと
なるようにすることも必要装応じて望ましい。 また、A交N粉等の代わりにA9.粉等をC/C2人材
の所要表面部分に置いた状態にすると共に誘導加熱装置
の内部を例えば1.5atm程度のN2’R囲気にして
、誘導加熱を行うことにより、Auを溶融しかつ必要に
応じてC/C3材の表面部分にA見を一部含浸させると
ともにN2と反応させ、これによってC/C材の表面部
分の一部ないしは全部に窒化アルミニウム層が形成され
るようになすこともできる。 この場合、誘導加熱装置の内部をN2雰囲気とせず、誘
導加熱によってC/C材の表面部分にA1層を形成させ
、その後N2ガスを加圧源とする熱間等静圧圧縮によっ
てC/C材の表面部分に窒化アルミニウム層を形成させ
るようにすることもできる。 さらに、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム層を有
するものとする他の実施態様においては、溶融したA2
中にC/C材を浸漬し、その後N2ガスを加圧源とする
熱間等静圧圧縮を行ったり、N2雰囲気中で誘導加熱を
行ったりして、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム
層を形成させるようにすることもできる。 さらにまた、C/C材の表面部分にイオンブレーティン
グによってA1層を形成させ、その後同様にN2ガスを
加圧源とする熱間等静圧圧縮を行ったり、N2雰囲気中
で誘導加熱を行ったりすることにより、C/C材の表面
部分に窒化アルミニウム層を形成させるようにすること
もできる。 このように、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム層
を有するものとすることによって、構造体の強度はC/
C材によって保持されるとともに、#熟・耐酸化性は窒
化アルミニウムによって良好なものとなる。そして、例
えば、1700℃程度の高温において4時間程度の長時
間さらされるようなJi:i j、lにおいては、Au
;LNの一部がAl2O2に変化し、C/C材よりも熱
膨張係数の大きいA l 203が形成されて、熱膨張
係数の差による君離を生ずることもありうるが5例えば
宇宙往還機の再突入の場合のごと<10分ないしは20
分間というような短時間の場合にはさほどの支障はなく
十分に優れたFM熱・耐酸化性を有するものとなってい
る。 次に、前記窒化アルミニウム層の表面部分の一部ないし
は全部に、酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウムのう
ちから選ばれる被覆層を41するものとするに際しては
1例えば、上記酸化ハフニウム(HfOz)および/ま
たは酸化ジルコニウム(ZrO,、)の粉末を用いたプ
ラズマ溶射を行うことによって、例えば、O,l−0,
2mm程度の厚さのHfO2やZrO2よりなる被覆層
を形成させる。 したがって、酸化ハフニウム(HfO2)の融点は約2
800℃、酸化ジルコニウム(Z r 02 ) (7
)融点は約2700℃であッテ、耐熟拳耐酸化性に著し
く優れたものであり、酸素を含有する高温度の雰囲気中
で酸化消耗を生じたときには、酸化ハフニウム粉末およ
び/または酸化ジルコニウム粉末を用いたプラズマ溶射
を再度行うことによって1表面部分に窒化アルミニウム
層を有するC/C材の再使用が可能となる。 次に、C/C材の表面部分の一部ないしは全部に窒化イ
ツトリウム(YN)層を有するものとする実施態様にお
いては、密閉容器内に、C/C材からなる基材とYNを
収容したるつぼとを設置し、密閉容器内を例えば10−
’Torr程度に減圧すると共にArが電離した雰囲気
にして基材表面をスパッタ洗浄し、次いでるつぼ内のY
Nに電子ビームを照射して前記YNIA発させ、基材の
表面部分の一部ないし全部にYNを蒸11′させて。 例えば、25〜50gm程度の窒化イツトリウム層を被
覆したものとする手法を採用することができる。 そして、必要に応じて、N2ガスを加圧源とした熱間等
静圧圧縮を行うことによって、例えば2000℃程度の
高温でかつ2000Kgf/Cm2程度に高温加圧し、
YN分子の安定化をはかるとともに、C/C材に対する
窒化イツトリウム層のなじみをさらに良好なものとする
。 このように、C/C材の表面部分に窒化イツトリウム層
を有するものとすることによって、構造材として必要な
高強度を有し、耐熱性および耐酸化性にも優れた耐熱・
耐酸化性高強度部材となる。 また、C/C材の表面部分に窒化イツトリウム層を有す
るものとする他の実施態様においては、前記密閉容器内
のるつぼに、YNの代わりにYを入れておくとともに、
密閉容器内でNが電離した雰FM気に形成しておき、C
/C材の表面をスパッタ洗浄したのち、前記Yに電子ビ
ームを照射してYを蒸発させ、このYが雰囲気中のNと
結合した窒化イツトリウム層をC/C材の表面部分に形
成させるようにすることもできる。 そして、この場合にも必要に応じてN2ガスを加圧源と
する熱間等静圧圧縮を行うことによって、YN分子構造
の安定化をはかると共に、窒化イツトリウムのC/C材
に対するなじみを良好なものにできるようにすることも
望ましい。 さらに、C/C材の表面に窒化イツトリウム層を有する
ものとする他の実施態様においては、C/C材の所要表
面にYN粉等を置いた状態にすると共に加熱装置の内部
を真空、ArまたはN2雰囲気にして誘導加熱すること
により、YNを溶融状態とし、凝固後にC/C材の表面
部分の一部ないしは全部に窒化イツトリウム層が形成さ
れているものとなすようにすることもできる。この場合
、窒化イツトリウム層がC/C材の少なくとも表面部分
に一部侵透しているような形態とすることももちろん可
能である。また、必要に応じてN2ガスを加圧源とした
熱間等静圧圧縮を行うようにして、窒化イツトリウム層
のC/C材に対するなじみをさらに良好なものとするこ
ともできる。 また、上記実施態様の場合には、YN粉を用いているが
、C/C材の所要表面にY粉を置いた状態にすると共に
加熱装置の内部を例えば1.5atm程度のN2雰囲気
にして、誘導加熱することにより、Yを溶融しかつ必要
に応じてC/C材の表面部分にYを一部含浸させると共
にN2と反応させて、C/C材の表面部分の一部ないし
は全部に窒化イツトリウム層が形成されるようになすこ
ともできる。 この場合1.誘導加熱装置の内部をN2雰囲気とせず、
誘導加熱によってC/C材の表面部分にY層を形成させ
、その後N2ガスを加圧源とする熱間等静圧圧縮を行う
ことによって、C/C材の表面部分に窒化イツトリウム
層を形成させるようにすることもできる。 次に、前記窒化イツトリウム層の表面部分の一部または
全部に、さらに酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウム
のうちから選ばれる被rrJ層を有するものとするに際
しては、例えば、上記酸化ハフニウム(Hf 02 )
の粉末や酸化ジルコニウム(ZrO2)の粉末を用いた
プラズマ溶射を行うことによって、例えば、0.1〜0
.2mm程度の厚さのHfO2やZrO2よりなる被覆
層を形成させる。 そして、この実施態様における耐熱・耐酸化性高強度部
材において、酸化ハフニウム(HfO2)の融点は約2
800℃、酸化ジルコニウム(ZrO2)の融点は約2
700℃であって、+1 熱・耐酸化性に著しく優れた
ものであり高温の酸化雰囲気中においた場合にYが一部
酸化してY2O3となり、このY2O,はZr02(7
)安定化に寄グーするものとなる。また、表層部分の酸
化消耗を生じたときには、酸化ハフニウム粉末および/
または酸化ジルコニウム粉末を用いたプラズマ溶射を再
度行うことによって、表面部分に窒化イツトリウム層を
有するC/C材の14使用が1丁能となる。 (発明の作用) 本発明に係る耐熱・耐醇化性高強度部材は炭末繊維/炭
素複合材(C/C材)の表面部分の一部または全部に、
融点が約2300℃でかつ低熱膨張係数の窒化アルミニ
ウムおよび融点が約2600″Cでかつ低熱膨張係数の
窒化イツトリウムのうちから選ばれる窒化物層を有する
ものであるから、C/C材を基材としていることにより
高強度を有するものとなっており、かつまた表面部分に
高融点でかつ低熱膨張係数の窒化物層を有していること
により耐熱性および耐酸化性が良好であってしかも表層
部分の剥離が生じがたいものとなっている。 また、必要に応じて、前記窒化アルミニウム層および窒
化イツトリウム層のうちから選ばれる窒化物層の表面部
分の一部または全部に、融点が約2800℃の酸化ハフ
ニウムおよび融点が約2700℃の酸化ジルコニウムの
うちから選ばれる被″8!層を有しているものとした場
合に、耐熱性および耐酸化性はより一層優れたものとな
っている。そして、この場合に、C/C材の熱膨張係数
と、酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウムの熱膨張係
数との間に差は存在するが、これらの間に8膨張係数の
小さい窒化アルミニウムや窒化イツトリウムが介在して
いるので、高温時における熱膨張係数の差にもとづ<i
q#のおそれは、著しく小さなものとなる。 (実施例) 次に、本発明に係る耐熱・耐酸化性高強度部材の実施例
を比較例とともに説明する。 実施例1 厚さ1.5mmのC/C材とAiNを収容したるつぼと
を密閉容器内に設置し、この密閉容器内を10−T o
r rノA r’rfl離雰囲気にして、前記C/C
材の表面をスパー、夕洗浄し、EBガンよりるつぼ内の
A!;LNに対して電子ビームを照射することによって
、このAINを蒸発させ、450℃に予熱したC/C材
の表面にAINを401Lmの厚さで付着させ1次いで
熱間等静圧圧縮により温度2000℃、圧力2000K
gf/cm2の条件での加熱加圧を行って、C/C材の
表面部分に窒化アルミニウム層を有する実施例1の耐熱
・耐酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試験に供
した。 及凰Aヱ 実施例1において作製したC/C材の表面部分に窒化ア
ルミニウム層を有する耐熱・耐酸化性高強度部材の表面
部分に、酸化ハフニウム粉末を用いたプラズマ溶射を行
うことによって、窒化アルミニウム層の表面部分に厚さ
0.18mmの酸化ハフニウム層を有する実施例2の耐
熱・耐酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試験に
供した。 実施例3 実施例1において作製したC/C材の表面部分に窒化ア
ルミニウム層を有する耐熱・耐酸化性高強度部材の表面
部分に、酸化ジルコニウム粉末を用いたプラズマ溶射を
行うことによって、窒化アルミニウム層の表面部分に厚
さ0.18mmの酸化ジルコニウム層を有する実施例3
の#熟・耐酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試
験に供した。 実】1九A 厚さ1.5mmのC/C材とYNを収容したるつぼとを
密閉容器内に設置し、この密閉容器内を10−’Tor
rのAr電離雰囲気にして、前記C/C材の表面をスパ
ッタ洗浄し、EBガンよりるつぼ内のYNに対して電子
ビームを照射することによって、このYNを蒸発させ、
450℃に予熱したC/C材の表面にYNを40pmの
厚さで付着させ2次いで熱間等静圧圧縮により温度20
00℃、圧力2000Kgf/cm2の条件での加熱加
圧を行って、C/C材の表面部分に窒化イツトリウム層
を右する実施例4のll1iJ熱・耐酸化性高強度部材
を作製し、後記する評価試験に供した。 実施例5 実施例4において作製したC/C材の表面部分に窒化イ
ツトリウム層を有する耐熱・耐酸化性高強度部材の表面
部分に、酸化ハフニウム粉末を用いたプラズマ溶射を行
うことによって、窒化イツトリウム層の表面部分に厚さ
0.18mmの酸化ハフニウム層を有する実施例5の耐
熱・耐酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試験に
供した。 実施例6 実施例4において作製したC/C材の表面部分に窒化イ
ツトリウム層を有する耐熱・耐酸化性高強度部材の表面
部分に、酸化ジルコニウム粉末を用いたプラズマ溶射を
行うことによって、窒化イツトリウム層の表面部分に厚
さ0.18mmの酸化ジルコニウム層を有する実施例6
の耐熱・N酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試
験に供した。 比較例1 厚さ1.5mmのC/C材を何んら表面被覆することな
く比較例1の供試材として後記する評価試験に供した。 比較例2 密閉容器内で、厚さ1.5mmのC/C材のまわりに、
10%A文20330%5i−60%SiCからなる粉
末を詰め、Ar雰囲気中で1650℃に加熱して、C/
C材の表面をSiCに転化させ、冷却過程でf!J膨張
係数差により発生するクラック中に、テトラエチルオル
トラ9ケー) (TE01)で処理してSiO,+を含
浸させた比較例2の供試材を作製し、後記する評価試験
に供した。 比較例3 厚さ1.5mmのC/C材の表面部分に、酸化ジルコニ
ウム粉末を用いたプラズマ溶射を行うことによって、厚
さ0.18mmの酸化ジルコニウム層を形成させたが、
冷却過程で酸化ジルコニウム層にクラックが生じて剥離
したため、後記する評価試験に供することはできなかっ
た。 11す価試験例 実施例1〜6において作製した供試材と、比較例1.2
において用意した供試材とについて1600℃XIO分
の大気中プラズマトーチ加、9.1700℃×lO分の
大気中プラズマトーチ加熱、および2000’QX10
分の大気中プラズマトーチ加熱を行って、加熱後の酸化
消耗量(1平方メートルあたりの重量減少量)を調べる
ことにより耐熱・耐酸化性を評価した。この結果を第1
表に示す、なお、m1表における( )内の数値は、重
量減少量により算出した板厚減少量を示している。また
、「使用不能」とは、板厚減少h1が1mm以上であっ
たものを示している。 第1表に示すように、C/C材の表面部分に窒化アルミ
ニウム層を有する実施例1および窒化イツトリウム層を
イIする実施例4の場合には、これらの層を有しないC
/C材そのものである比較例1の場合に比べて、耐熱・
耐酸化性がかなり向」−シていることが明らかであり、
窒化アルニミウム層を有する実施例1の場合にはC/C
材表面にSiC被覆およびTEO3処理を施した比較例
2の場合よりも耐熱・耐酸化性に優れていることが認め
られ、窒化アルミニウム層の表面部分にさらに酸化ハフ
ニウム層および酸化ジルコニウム層をそれぞれ被覆した
実施例2および実施例3の場合、ならびに窒化イツトリ
ウム層の表面部分にさらに酸化ハフニウム層および酸化
ジルコニウム層をそれぞれ被覆した実施例5および実施
例6の場合には、耐熱・耐酸化性がさらに向上している
ことが認められ、宇宙往還機の大気圏再突入時において
1900−1950°C程度にまで温度上昇した場合に
も十分に耐え得るものであることが確かめられた。
Arとし、途中から例えばl 、5atm程度のN2雰
囲気として、純金Jdj、A!;Lのない窒化アルミニ
ラL・層を形成させるようになすこともできる。 そして、この場合にも、誘導加熱による窒化アルミニウ
ム層の形成後に、N2ガスを加圧源とした熱間等静圧圧
縮を行うようにすることによって、窒化アルミニウム層
のC/C基材に対するなじみ性がより一層良好なものと
なるようにすることも必要装応じて望ましい。 また、A交N粉等の代わりにA9.粉等をC/C2人材
の所要表面部分に置いた状態にすると共に誘導加熱装置
の内部を例えば1.5atm程度のN2’R囲気にして
、誘導加熱を行うことにより、Auを溶融しかつ必要に
応じてC/C3材の表面部分にA見を一部含浸させると
ともにN2と反応させ、これによってC/C材の表面部
分の一部ないしは全部に窒化アルミニウム層が形成され
るようになすこともできる。 この場合、誘導加熱装置の内部をN2雰囲気とせず、誘
導加熱によってC/C材の表面部分にA1層を形成させ
、その後N2ガスを加圧源とする熱間等静圧圧縮によっ
てC/C材の表面部分に窒化アルミニウム層を形成させ
るようにすることもできる。 さらに、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム層を有
するものとする他の実施態様においては、溶融したA2
中にC/C材を浸漬し、その後N2ガスを加圧源とする
熱間等静圧圧縮を行ったり、N2雰囲気中で誘導加熱を
行ったりして、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム
層を形成させるようにすることもできる。 さらにまた、C/C材の表面部分にイオンブレーティン
グによってA1層を形成させ、その後同様にN2ガスを
加圧源とする熱間等静圧圧縮を行ったり、N2雰囲気中
で誘導加熱を行ったりすることにより、C/C材の表面
部分に窒化アルミニウム層を形成させるようにすること
もできる。 このように、C/C材の表面部分に窒化アルミニウム層
を有するものとすることによって、構造体の強度はC/
C材によって保持されるとともに、#熟・耐酸化性は窒
化アルミニウムによって良好なものとなる。そして、例
えば、1700℃程度の高温において4時間程度の長時
間さらされるようなJi:i j、lにおいては、Au
;LNの一部がAl2O2に変化し、C/C材よりも熱
膨張係数の大きいA l 203が形成されて、熱膨張
係数の差による君離を生ずることもありうるが5例えば
宇宙往還機の再突入の場合のごと<10分ないしは20
分間というような短時間の場合にはさほどの支障はなく
十分に優れたFM熱・耐酸化性を有するものとなってい
る。 次に、前記窒化アルミニウム層の表面部分の一部ないし
は全部に、酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウムのう
ちから選ばれる被覆層を41するものとするに際しては
1例えば、上記酸化ハフニウム(HfOz)および/ま
たは酸化ジルコニウム(ZrO,、)の粉末を用いたプ
ラズマ溶射を行うことによって、例えば、O,l−0,
2mm程度の厚さのHfO2やZrO2よりなる被覆層
を形成させる。 したがって、酸化ハフニウム(HfO2)の融点は約2
800℃、酸化ジルコニウム(Z r 02 ) (7
)融点は約2700℃であッテ、耐熟拳耐酸化性に著し
く優れたものであり、酸素を含有する高温度の雰囲気中
で酸化消耗を生じたときには、酸化ハフニウム粉末およ
び/または酸化ジルコニウム粉末を用いたプラズマ溶射
を再度行うことによって1表面部分に窒化アルミニウム
層を有するC/C材の再使用が可能となる。 次に、C/C材の表面部分の一部ないしは全部に窒化イ
ツトリウム(YN)層を有するものとする実施態様にお
いては、密閉容器内に、C/C材からなる基材とYNを
収容したるつぼとを設置し、密閉容器内を例えば10−
’Torr程度に減圧すると共にArが電離した雰囲気
にして基材表面をスパッタ洗浄し、次いでるつぼ内のY
Nに電子ビームを照射して前記YNIA発させ、基材の
表面部分の一部ないし全部にYNを蒸11′させて。 例えば、25〜50gm程度の窒化イツトリウム層を被
覆したものとする手法を採用することができる。 そして、必要に応じて、N2ガスを加圧源とした熱間等
静圧圧縮を行うことによって、例えば2000℃程度の
高温でかつ2000Kgf/Cm2程度に高温加圧し、
YN分子の安定化をはかるとともに、C/C材に対する
窒化イツトリウム層のなじみをさらに良好なものとする
。 このように、C/C材の表面部分に窒化イツトリウム層
を有するものとすることによって、構造材として必要な
高強度を有し、耐熱性および耐酸化性にも優れた耐熱・
耐酸化性高強度部材となる。 また、C/C材の表面部分に窒化イツトリウム層を有す
るものとする他の実施態様においては、前記密閉容器内
のるつぼに、YNの代わりにYを入れておくとともに、
密閉容器内でNが電離した雰FM気に形成しておき、C
/C材の表面をスパッタ洗浄したのち、前記Yに電子ビ
ームを照射してYを蒸発させ、このYが雰囲気中のNと
結合した窒化イツトリウム層をC/C材の表面部分に形
成させるようにすることもできる。 そして、この場合にも必要に応じてN2ガスを加圧源と
する熱間等静圧圧縮を行うことによって、YN分子構造
の安定化をはかると共に、窒化イツトリウムのC/C材
に対するなじみを良好なものにできるようにすることも
望ましい。 さらに、C/C材の表面に窒化イツトリウム層を有する
ものとする他の実施態様においては、C/C材の所要表
面にYN粉等を置いた状態にすると共に加熱装置の内部
を真空、ArまたはN2雰囲気にして誘導加熱すること
により、YNを溶融状態とし、凝固後にC/C材の表面
部分の一部ないしは全部に窒化イツトリウム層が形成さ
れているものとなすようにすることもできる。この場合
、窒化イツトリウム層がC/C材の少なくとも表面部分
に一部侵透しているような形態とすることももちろん可
能である。また、必要に応じてN2ガスを加圧源とした
熱間等静圧圧縮を行うようにして、窒化イツトリウム層
のC/C材に対するなじみをさらに良好なものとするこ
ともできる。 また、上記実施態様の場合には、YN粉を用いているが
、C/C材の所要表面にY粉を置いた状態にすると共に
加熱装置の内部を例えば1.5atm程度のN2雰囲気
にして、誘導加熱することにより、Yを溶融しかつ必要
に応じてC/C材の表面部分にYを一部含浸させると共
にN2と反応させて、C/C材の表面部分の一部ないし
は全部に窒化イツトリウム層が形成されるようになすこ
ともできる。 この場合1.誘導加熱装置の内部をN2雰囲気とせず、
誘導加熱によってC/C材の表面部分にY層を形成させ
、その後N2ガスを加圧源とする熱間等静圧圧縮を行う
ことによって、C/C材の表面部分に窒化イツトリウム
層を形成させるようにすることもできる。 次に、前記窒化イツトリウム層の表面部分の一部または
全部に、さらに酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウム
のうちから選ばれる被rrJ層を有するものとするに際
しては、例えば、上記酸化ハフニウム(Hf 02 )
の粉末や酸化ジルコニウム(ZrO2)の粉末を用いた
プラズマ溶射を行うことによって、例えば、0.1〜0
.2mm程度の厚さのHfO2やZrO2よりなる被覆
層を形成させる。 そして、この実施態様における耐熱・耐酸化性高強度部
材において、酸化ハフニウム(HfO2)の融点は約2
800℃、酸化ジルコニウム(ZrO2)の融点は約2
700℃であって、+1 熱・耐酸化性に著しく優れた
ものであり高温の酸化雰囲気中においた場合にYが一部
酸化してY2O3となり、このY2O,はZr02(7
)安定化に寄グーするものとなる。また、表層部分の酸
化消耗を生じたときには、酸化ハフニウム粉末および/
または酸化ジルコニウム粉末を用いたプラズマ溶射を再
度行うことによって、表面部分に窒化イツトリウム層を
有するC/C材の14使用が1丁能となる。 (発明の作用) 本発明に係る耐熱・耐醇化性高強度部材は炭末繊維/炭
素複合材(C/C材)の表面部分の一部または全部に、
融点が約2300℃でかつ低熱膨張係数の窒化アルミニ
ウムおよび融点が約2600″Cでかつ低熱膨張係数の
窒化イツトリウムのうちから選ばれる窒化物層を有する
ものであるから、C/C材を基材としていることにより
高強度を有するものとなっており、かつまた表面部分に
高融点でかつ低熱膨張係数の窒化物層を有していること
により耐熱性および耐酸化性が良好であってしかも表層
部分の剥離が生じがたいものとなっている。 また、必要に応じて、前記窒化アルミニウム層および窒
化イツトリウム層のうちから選ばれる窒化物層の表面部
分の一部または全部に、融点が約2800℃の酸化ハフ
ニウムおよび融点が約2700℃の酸化ジルコニウムの
うちから選ばれる被″8!層を有しているものとした場
合に、耐熱性および耐酸化性はより一層優れたものとな
っている。そして、この場合に、C/C材の熱膨張係数
と、酸化ハフニウムおよび酸化ジルコニウムの熱膨張係
数との間に差は存在するが、これらの間に8膨張係数の
小さい窒化アルミニウムや窒化イツトリウムが介在して
いるので、高温時における熱膨張係数の差にもとづ<i
q#のおそれは、著しく小さなものとなる。 (実施例) 次に、本発明に係る耐熱・耐酸化性高強度部材の実施例
を比較例とともに説明する。 実施例1 厚さ1.5mmのC/C材とAiNを収容したるつぼと
を密閉容器内に設置し、この密閉容器内を10−T o
r rノA r’rfl離雰囲気にして、前記C/C
材の表面をスパー、夕洗浄し、EBガンよりるつぼ内の
A!;LNに対して電子ビームを照射することによって
、このAINを蒸発させ、450℃に予熱したC/C材
の表面にAINを401Lmの厚さで付着させ1次いで
熱間等静圧圧縮により温度2000℃、圧力2000K
gf/cm2の条件での加熱加圧を行って、C/C材の
表面部分に窒化アルミニウム層を有する実施例1の耐熱
・耐酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試験に供
した。 及凰Aヱ 実施例1において作製したC/C材の表面部分に窒化ア
ルミニウム層を有する耐熱・耐酸化性高強度部材の表面
部分に、酸化ハフニウム粉末を用いたプラズマ溶射を行
うことによって、窒化アルミニウム層の表面部分に厚さ
0.18mmの酸化ハフニウム層を有する実施例2の耐
熱・耐酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試験に
供した。 実施例3 実施例1において作製したC/C材の表面部分に窒化ア
ルミニウム層を有する耐熱・耐酸化性高強度部材の表面
部分に、酸化ジルコニウム粉末を用いたプラズマ溶射を
行うことによって、窒化アルミニウム層の表面部分に厚
さ0.18mmの酸化ジルコニウム層を有する実施例3
の#熟・耐酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試
験に供した。 実】1九A 厚さ1.5mmのC/C材とYNを収容したるつぼとを
密閉容器内に設置し、この密閉容器内を10−’Tor
rのAr電離雰囲気にして、前記C/C材の表面をスパ
ッタ洗浄し、EBガンよりるつぼ内のYNに対して電子
ビームを照射することによって、このYNを蒸発させ、
450℃に予熱したC/C材の表面にYNを40pmの
厚さで付着させ2次いで熱間等静圧圧縮により温度20
00℃、圧力2000Kgf/cm2の条件での加熱加
圧を行って、C/C材の表面部分に窒化イツトリウム層
を右する実施例4のll1iJ熱・耐酸化性高強度部材
を作製し、後記する評価試験に供した。 実施例5 実施例4において作製したC/C材の表面部分に窒化イ
ツトリウム層を有する耐熱・耐酸化性高強度部材の表面
部分に、酸化ハフニウム粉末を用いたプラズマ溶射を行
うことによって、窒化イツトリウム層の表面部分に厚さ
0.18mmの酸化ハフニウム層を有する実施例5の耐
熱・耐酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試験に
供した。 実施例6 実施例4において作製したC/C材の表面部分に窒化イ
ツトリウム層を有する耐熱・耐酸化性高強度部材の表面
部分に、酸化ジルコニウム粉末を用いたプラズマ溶射を
行うことによって、窒化イツトリウム層の表面部分に厚
さ0.18mmの酸化ジルコニウム層を有する実施例6
の耐熱・N酸化性高強度部材を作製し、後記する評価試
験に供した。 比較例1 厚さ1.5mmのC/C材を何んら表面被覆することな
く比較例1の供試材として後記する評価試験に供した。 比較例2 密閉容器内で、厚さ1.5mmのC/C材のまわりに、
10%A文20330%5i−60%SiCからなる粉
末を詰め、Ar雰囲気中で1650℃に加熱して、C/
C材の表面をSiCに転化させ、冷却過程でf!J膨張
係数差により発生するクラック中に、テトラエチルオル
トラ9ケー) (TE01)で処理してSiO,+を含
浸させた比較例2の供試材を作製し、後記する評価試験
に供した。 比較例3 厚さ1.5mmのC/C材の表面部分に、酸化ジルコニ
ウム粉末を用いたプラズマ溶射を行うことによって、厚
さ0.18mmの酸化ジルコニウム層を形成させたが、
冷却過程で酸化ジルコニウム層にクラックが生じて剥離
したため、後記する評価試験に供することはできなかっ
た。 11す価試験例 実施例1〜6において作製した供試材と、比較例1.2
において用意した供試材とについて1600℃XIO分
の大気中プラズマトーチ加、9.1700℃×lO分の
大気中プラズマトーチ加熱、および2000’QX10
分の大気中プラズマトーチ加熱を行って、加熱後の酸化
消耗量(1平方メートルあたりの重量減少量)を調べる
ことにより耐熱・耐酸化性を評価した。この結果を第1
表に示す、なお、m1表における( )内の数値は、重
量減少量により算出した板厚減少量を示している。また
、「使用不能」とは、板厚減少h1が1mm以上であっ
たものを示している。 第1表に示すように、C/C材の表面部分に窒化アルミ
ニウム層を有する実施例1および窒化イツトリウム層を
イIする実施例4の場合には、これらの層を有しないC
/C材そのものである比較例1の場合に比べて、耐熱・
耐酸化性がかなり向」−シていることが明らかであり、
窒化アルニミウム層を有する実施例1の場合にはC/C
材表面にSiC被覆およびTEO3処理を施した比較例
2の場合よりも耐熱・耐酸化性に優れていることが認め
られ、窒化アルミニウム層の表面部分にさらに酸化ハフ
ニウム層および酸化ジルコニウム層をそれぞれ被覆した
実施例2および実施例3の場合、ならびに窒化イツトリ
ウム層の表面部分にさらに酸化ハフニウム層および酸化
ジルコニウム層をそれぞれ被覆した実施例5および実施
例6の場合には、耐熱・耐酸化性がさらに向上している
ことが認められ、宇宙往還機の大気圏再突入時において
1900−1950°C程度にまで温度上昇した場合に
も十分に耐え得るものであることが確かめられた。
以上説明してきたように、本発明に係る耐熱−耐酸化性
高強度部材は、炭素mm/炭素複合材の表面部分に窒化
アルミニウム層または窒化イツトリウム層を有し、必要
に応じてそれらの上にさらに酸化ハフニウムおよび酸化
ジルコニウムのうちから選ばれる被覆層を有する構成と
なっているものであるから、炭素繊維/炭素複合材を基
材とすることにより高強度が得゛られると共に、熱膨張
係数が炭素mm/炭素複合材の熱膨張係数に近い窒化ア
ルミニウムまたは窒化イツトリウムを表面部分に有して
いることから、高温酸化雰囲気中での炭素縁m/炭素複
合材の酸化消耗を防止して耐熱・耐酸化性の良好なもの
になっていると同時に、熱膨張係数差に起因する窒化ア
ルミニウム層および窒化イツトリウム層のクラッタない
しは剥離の発生を防ぐものになっており、窒化アルミニ
ウム層および窒化イツトリウム層の表面部分にさらに酸
化ハフニウムや酸化ジルコニウムから選ばれる被覆層を
有するものとすることによって、耐熱−耐酸化性はさら
に向上したものにすることが可能であり、炭素繊維/炭
素複合材と酸化ハフニウムや酸化ジルコニウムとの間に
は熱膨張係数に差があるものの、これらの間に前記酸化
ハフニウムや酸化ジルコニウムの熱膨張係数よりも小さ
い熱膨張係数の窒化アルミニウム層や窒化イツトリウム
層が介在されていることとなるので、酸化ノ\フニウム
や酸化ジルコニウムからなる被覆層のクラックないしは
剥離の発生を防ぐことが可能であり、例えば、空力加熱
を受けることによって1800℃を超えるような温度に
加熱されたときでも酸化消耗が著しく少なく十分に耐え
得るものであるという非常に優れた効果がもたらされる
。 特許出願人 日産自動車株式会社 代理人弁理士 小 塩 豊
高強度部材は、炭素mm/炭素複合材の表面部分に窒化
アルミニウム層または窒化イツトリウム層を有し、必要
に応じてそれらの上にさらに酸化ハフニウムおよび酸化
ジルコニウムのうちから選ばれる被覆層を有する構成と
なっているものであるから、炭素繊維/炭素複合材を基
材とすることにより高強度が得゛られると共に、熱膨張
係数が炭素mm/炭素複合材の熱膨張係数に近い窒化ア
ルミニウムまたは窒化イツトリウムを表面部分に有して
いることから、高温酸化雰囲気中での炭素縁m/炭素複
合材の酸化消耗を防止して耐熱・耐酸化性の良好なもの
になっていると同時に、熱膨張係数差に起因する窒化ア
ルミニウム層および窒化イツトリウム層のクラッタない
しは剥離の発生を防ぐものになっており、窒化アルミニ
ウム層および窒化イツトリウム層の表面部分にさらに酸
化ハフニウムや酸化ジルコニウムから選ばれる被覆層を
有するものとすることによって、耐熱−耐酸化性はさら
に向上したものにすることが可能であり、炭素繊維/炭
素複合材と酸化ハフニウムや酸化ジルコニウムとの間に
は熱膨張係数に差があるものの、これらの間に前記酸化
ハフニウムや酸化ジルコニウムの熱膨張係数よりも小さ
い熱膨張係数の窒化アルミニウム層や窒化イツトリウム
層が介在されていることとなるので、酸化ノ\フニウム
や酸化ジルコニウムからなる被覆層のクラックないしは
剥離の発生を防ぐことが可能であり、例えば、空力加熱
を受けることによって1800℃を超えるような温度に
加熱されたときでも酸化消耗が著しく少なく十分に耐え
得るものであるという非常に優れた効果がもたらされる
。 特許出願人 日産自動車株式会社 代理人弁理士 小 塩 豊
Claims (4)
- (1)炭素繊維/炭素複合材の表面部分に窒化アルミニ
ウム層を有することを特徴とする耐熱・耐酸化性高強度
部材。 - (2)炭素繊維/炭素複合材の表面部分に窒化アルミニ
ウム層を有し、前記窒化アルミニウム層の表面部分に酸
化ハフニウムおよび酸化ジルコニウムのうちから選ばれ
る被覆層を有することを特徴とする耐熱・耐酸化性高強
度部材。 - (3)炭素繊維/炭素複合材の表面部分に窒化イットリ
ウム層を有することを特徴とする耐熱・耐酸化性高強度
部材。 - (4)炭素繊維/炭素複合材の表面部分に窒化イットリ
ウム層を有し、前記窒化イットリウム層の表面部分に酸
化ハフニウムおよび酸化ジルコニウムのうちから選ばれ
る被覆層を有することを特徴とする耐熱・耐酸化性高強
度部材。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63223758A JPH0735314B2 (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 耐熱・耐酸化性高強度部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63223758A JPH0735314B2 (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 耐熱・耐酸化性高強度部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0274581A true JPH0274581A (ja) | 1990-03-14 |
JPH0735314B2 JPH0735314B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=16803252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63223758A Expired - Lifetime JPH0735314B2 (ja) | 1988-09-06 | 1988-09-06 | 耐熱・耐酸化性高強度部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0735314B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107460424A (zh) * | 2017-08-23 | 2017-12-12 | 成都森钰泓绿化工程有限公司 | 耐磨耐蚀纳米氮化铝复合涂层 |
-
1988
- 1988-09-06 JP JP63223758A patent/JPH0735314B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107460424A (zh) * | 2017-08-23 | 2017-12-12 | 成都森钰泓绿化工程有限公司 | 耐磨耐蚀纳米氮化铝复合涂层 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0735314B2 (ja) | 1995-04-19 |
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