JPH0269946A

JPH0269946A - 電子部品実装装置

Info

Publication number: JPH0269946A
Application number: JP63221725A
Authority: JP
Inventors: Wataru Shiyuuse; 渡秀瀬
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-09-05
Filing date: 1988-09-05
Publication date: 1990-03-08
Anticipated expiration: 2012-02-05
Also published as: JP2578936B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は電子部品実装装置に係り、殊に電子部品の位置
ずれ補正部材を備えたサブステージ上の電子部品を、マ
ウントヘッドのダイコレットに正しく吸着してティクア
ップするためのダイコレットのθ方向の角度調整手段に
関する。

（従来の技術）電子部品実装装置として、ウェハーやトレイのような電
子部品の供給部からサブステージに電子部品を移送する
サブ移送ヘッドと、サブステージからマウント部に位置
決めされた基板に電子部品を移送するマウントヘッドを
備えたものが知られている（特開昭６１−２６４７９３
号公報）。サブステージは、サブ移送ヘッドにより移送
された電子部品に、位置ずれ補正部材を押当してそのｘ
ｙθ方向の位置ずれを機械的に補正するためのステージ
であり、位置補正された電子部品を、マウントヘッドの
ダイコレットが吸着して、基板に移送するようになって
いる。

電子部品は一般に矩形箱形であり、したがってこれを吸
着するダイコレットの吸着孔も矩形に形成されており、
吸着孔に電子部品を吸着する場合は、吸着孔の４辺は電
子部品の４辺に完全に合致していなければならず、完全
に合致していないときは、ダイコレットをその軸心を中
心に回転させて、θ方向（軸心を中心とする回転方向）
の角度の調整を行わねばならない。

従来、かかるダイコレットのθ方向の角度の調整は、サ
ブステージ上の電子部品をマウントヘッドにより基板に
移送搭載し、実装された電子部品にθ方向の位置ずれが
無いかどうかを観察して、若し有れば、これが無くなる
ようにダイコレットの角度を調整することにより行われ
ていた。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら上記従来手段は、電子部品を実際に基板に
実装してみることにより、ダイコレットの位置ずれを検
知するものであるため、電子部品や基板が無駄になり、
また角度の調整にかなりの手間を要する問題があった。

したがって本発明は、この種ダイコレットのθ方向の位
置ずれを簡単に検知調整できる手段に回転させる。

（実施例）次に、図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。

第１図は電子部品実装装置の斜視図であって、この装置
は、サブ移送ヘッド１．マウントヘッド２．転写ヘッド
３の３つのヘッドを備えている。各ヘッド１〜３は、複
数のノズルを装備したマルチヘッドであり、電子部品の
大きさに対応して、ノズルを選択的に使用する。４．５
゜６．７は、各ヘッド１〜３の下方に設けられた電子部
品の供給部、サブステージ、マウント部。

ボンド供給部である。電子部品の供給部４は、ターンテ
ーブル８と、このターンテーブル８に装着された支持板
９ａ、９ｂがら成っており、支持板９ａ、９ｂには電子
部品が収納されたトレイ１０やウェハー１１が装備され
ている。１２はウェハー１１上の電子部品をビンにより
突き上げるグイエジェクタである。

サブステージ５は、サブ移送ヘッド１によりを提供する
ことを目的とする。

（課題を解決するための手段）このために本発明は、この種電子部品実装装置において
、マウントヘッドに、電子部品を吸着するダイコレット
の昇降装置と、ダイコレットを軸心を中心に回転させる
θ方向回転装置と、ダイコレットの下面がサブステージ
に着地したことを検出する着地検出装置とを設けたもの
である。

（作用）上記構成において、昇降装置を駆動して、マウントヘッ
ドのダイコレットをサブステージへ下降させる。そして
、ダイコレットの下面がサブステージに着地したことを
着地検出装置が検出したならば、ダイコレットの位置に
狂いはないものと判断され、また検出しなかったならば
、ダイコレットは位置ずれ補正部材に着地したものと判
断され、ダイコレットがサブステージへ着地するのを着
地検出装置が検出するまで、θ方向回転装置を駆動して
ダイコレットをθ方向供給部４から移送された電子部品
のｘｙθ方向の位置ずれを、位置ずれ補正部材（後述）
により機械的に補正するステージである。マウント部６
は、テーブル移動袋ｆｉ１３．１４や、クランプ部材１
５等から成り、基板１７を位置決めする。１６は基板１
７の搬出用コンベヤである。

１Ｂは、サブステージ５とマウント部６の間にあって、
マウントヘッド２のノズルに吸着された電子部品を観察
する観察装置である。１９はマウント部６の上方に配設
されたカメラであり、基板１７の印刷パターンの位置ず
れを観察する。

ボンド供給部７は、テーブル２０にボンド皿２１を載置
して構成されている。２２はボンドの液面を平滑するス
キージである。上記３つのヘッド１〜３は、図示しない
駆動手段により横方向に往復動し、サブ移送ヘッドｌは
供給部４の電子部品をサブステージ５に移送し、マウン
トヘッド２はサブステージ２で位置補正された電子部品
を基板１７に移送し、また転写ヘッド３はボンド皿２１
のポンドを基板１７に転写する。

第２図は、上記マウントヘッド２に装備されたダイコレ
ットの上昇状態での要部断面図、第３図は下降状態での
断面図である。２０はダイコレットであって、その下端
部に箱形の吸着部２１を備えており、吸着部２１の下面
には矩形の吸着孔２２が形成されている。２３は上記サ
ブステージ５上に設けられた電子部品Ｐの位置ずれ補正
部材であって、カギ形内辺２３ａを有しており、駆動手
段（図外）に駆動されてｘｙ力方向摺動し、そのカギ形
内辺２３ａが電子部品Ｐの２辺に押当して、そのｘｙθ
方向の位置ずれを補正する。

２５はダイコレット２０が取り付けられたシャフト、２
６はそのガイドパイプ、２７はガイドパイプ２６に摺動
自在に装着されたスリーブ、２８はこのスリーブ２７を
上方に付勢するコイルばねである。２９はシャフト２５
の上部に装着された昇降子、３０はシャフト２５を下方
に付勢するコイルばね、３３はマウントヘッドのフレー
ムである。上記コイルばね２８のばね力回路であり、受
光素子３８から発せられた信号により、モータ３６の駆
動を停止させる。シャフト２５が上昇位置では、発光素
子３７と受光素子３８は昇降子２９に遮られており、し
たがって発光素子３７から発した光は受光素子３８に入
射しないが、シャフト２５が下降し、ダイコレット２０
がサブステージ５に完全に着地すると、発光素子３７か
ら発した光は受光素子３８に入射する。なお第２図にお
いて、サブステージ５は理解しやすいように斜視図とし
て描いている。

本装置は上記のような構成より成り、次にダイコレット
２０のθ方向の角度調整方法を説明する。

補正部材２３をサブステージ５上の所定位置に移動させ
たうえで、マウントヘッド２をサブステージ５上に移動
させ、シャフト２５を下降させる。そこで、発光素子３
７から発した光を受光素子３８が受光すれば、ダイコレ
ット２０の吸着部２１の２辺は補正部材２３のカギ形内
はこのコイルばね３０のばね力よりも大きい。

３１は昇降杆、３２は押圧子である。第１図に示すよう
に、昇降杆３１の上方には、回転シャフト４０に装着さ
れたレバー４１があり、回転シャフト４０が回転すると
、昇降杆３１はレバー４１により下方に押圧され、押圧
子３２が下降してスリーブ２７を押圧することにより、
シャフト２５及びダイコレット２０は下降するものであ
り、これら２５〜３２はダイコレット２０の昇降装置を
構成している。３４はシャフト２５の下部に装着された
ギヤ、３５はこのギヤ３４に噛合するギヤ、３６はこの
ギヤ３５を駆動するパルスモータであり、モータ３６が
駆動すると、シャフト２５は軸心を中心にθ方向に回転
し、ダイコレット２０のθ方向の角度を調整する。した
がってこれら３４〜３６は、θ方向回転装置を構成して
いる。

３７．３８は昇降子２９を挾んで対設されたダイコレッ
ト２０の着地検出装置としての発光素子と受光素子、３
９は上記モータ３６の制御辺２３ａに完全に合致してサ
ブステージ上に着地したものと判断される（第４図及び
第５図想像線参照）。受光素子３８が受光しない場合は
、吸着部２１は補正部材２３上に着地したものと判断さ
れ（第４図、第５図実線参照）、モータ３６は駆動し、
吸着部２１はθ方向に回転し、その２辺が補正部材２３
のカギ形内辺２３ａに合致すると、吸着部２１はサブス
テージに着地し、受光素子３８は受光して、これから発
した信号により、モータ３６の駆動は停止される。

このように本装置によれば、ダイコレット２０の吸着部
２１の２辺が補正部材２３のカギ形内辺２３ａに合致す
るよう、簡単にそのθ方向の角度調整を行うことができ
る。なお、吸着部２１を３６００回転させても、これが
サブステージ５に着地しない場合は、補正部材２３の位
置がかなりずれていることとなり、したがってこの場合
は、補正部材２３の位置調整をやり直す。またダイコレ
ット２０の角度調整方法としては、吸着部２１がサブス
テージ５に着地する迄、モータ３６にパルスを送り、吸
着部２１が着地したならば、パルス送りを停止するよう
にしてもよいものであり、このように本装置の運転方法
は種々考えられる。また上記実施例は、マルチヘッドを
例にとって説明したが、１本のノズルを備えた単一ヘッ
ドでもよい。

（発明の効果）以上説明したように本発明は、この種電子部品実装装置
において、マウントヘッドに、電子部品を吸着するダイ
コレットの昇降装置と、ダイコレットを軸心を中心に回
転させるθ方向回転装置と、ダイコレットの下面がサブ
ステージに着地したことを検出する着地検出装置を設け
ているので、ダイコレットの吸着部の角度調整を簡単に
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は電子
部品実装装置の斜視図、第２図及び第３図はダイコレッ
トの上昇中及び下降時の要部断面図、第４図及び第５図
はダイコレットの位置調整中の平面図及び側面図である
。 ■・・・サブ移送ヘッド２・・・マウントヘッド４・・・電子部品の供給部５・・・サブステージ６・・・マウント部１７・・・基板２０・・・ダイコレット２３・・・位置ずれ補正部材２５〜３２・・・昇降装置３４〜３６・・□・θ方向回転装置３７．３８・・・着地検出装置

Claims

【特許請求の範囲】

電子部品の供給部から電子部品の位置ずれ補正部材を備
えたサブステージに電子部品を移送するサブ移送ヘッド
と、このサブステージからマウント部に位置決めされた
基板に電子部品を移送するマウントヘッドを備えた電子
部品実装装置において、上記マウントヘッドに、電子部
品を吸着するダイコレットの昇降装置と、ダイコレット
を軸心を中心に回転させるθ方向回転装置と、ダイコレ
ットの下面が上記サブステージに着地したことを検出す
る着地検出装置を設けたことを特徴とする電子部品実装
装置。