JPH0269347A

JPH0269347A - 粒子分散強化型非酸化物セラミックス複合材およびその製造方法

Info

Publication number: JPH0269347A
Application number: JP63216858A
Authority: JP
Inventors: Kenji Oshima; 健司大島; Tsugio Ito; 次男伊藤; Yoshiki Katou; 加藤　芳基; Misao Iwata; 美佐男岩田; Takao Yamada; 隆夫山田
Original assignee: Noritake Co Ltd
Current assignee: Noritake Co Ltd
Priority date: 1988-08-31
Filing date: 1988-08-31
Publication date: 1990-03-08
Anticipated expiration: 2013-03-04
Also published as: JP2722516B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は非酸化物セラミックス焼結体を粒子分散により
さらに強化し、特に破壊靭性値を驚異的に向上させ、レ
シプロエンジンのシリンダライナー、ピストンリングあ
るいはガスタービンエンジンのタービン動翼等への応用
が期待されるセラミックス複合材料とその製造方法に関
するものである。

［従来の技術］セラミックスは金属材料よりも優れた耐熱性、耐酸化性
を有し、さらに断熱性にも優れているので、金属に代わ
る耐熱構造材料として注目されてきた。しかしながら、
セラミックスは共有結合やイオン結合で構成されており
、金属材料のように転位によって変形したり伸びること
が出来ず、材料内部の微少な欠陥や表面のきすに応力の
集中が起こり、容易に破壊されるので、非常に脆く、破
壊靭性に劣るという欠点がある。

脆性破壊に対する材料の抵抗性は、一般に破壊靭性値Ｋ
ＩＯにより示されるが、例えば窒化珪素材料のに１゜は
５〜７　Ｍ　Ｎ　／　ｍ”であり、金属材料の中で比較
的脆いと言われるアルミニウム合金の３４ＭＮ／ｍ３′
２に比べても極めて低い、セラミックスをエンジニアリ
ングセラミックスとしてレシプロエンジンあるいはガス
タービンエンジンに応用していくためには、少なくとも
破壊靭性値を１０ＭＮ／ｍ”以上にする必要がある。

そのために、この構造用セラミックスの脆さを改善する
ために、種々の手法が研究されてきたが、その中でもセ
ラミックスマトリックス中にいろいろの粒子を混合分散
させる粒子分散強化法が注目されている０例えば、Ａ　
Ｉ２０３マトリツクス中に単斜晶または正方晶Ｚ「０２
を分散させたもの、あるいはＳｉＣマトリックス中にＴ
ｉＣ粒子を分散させたものが発表されている。

粒子分散によるセラミックスの破壊靭性向上の機構は、
クラック・デフレクション、マイクロクラッキングおよ
び応力誘起変態などが挙げられる。

クラック・デフレクションは、マトリックスと分散相の
靭性や熱膨張率などの違いにより、クラックが分散相の
回りをジグザグに折れ曲がって進むため、クラックの伝
播に必要なエネルギーが消耗され靭性が向上するもので
ある。

マイクロクラッキングは、分散相とマトリックスの熱膨
張の差により、分散相の廻りに歪みが生じ、多数のクラ
ックが発生するため、主クラックの先端が微細クラック
の生じた領域に進むと、微細クラック同志の結合や新た
な発生により、弾性率が低下して、主クラックの先端の
応力が減少するものである。

応力誘起変態は、ＺｒＯ□を分散させた場合クラック先
端の引っ張り応力により誘起されて応力誘起変態が起こ
り、この相変態の際の体積膨張に伴う圧縮応力により、
クラック先端の引っ張り応力が低減するものである。

Ａ　１．０　、マトリックス中に単斜晶または正方晶Ｚ
ｒＯ２を分散させた前者の例では、応力誘起による変態
強化とマイクロクラッキング強化の２つが主として考え
られ、ＳｉＣマトリックス中にＴｉＣ粒子を分散させた
後者の例では、クラック・デフレクションにより強化さ
れるものと考えられる。

［発明が解決しようとする課題］セラミックマトリックスが粒子分散により強化される機
構が以上述べたようなものであるので、この粒子分散強
化を効果的に発生させるためには、多結晶体であるセラ
ミック焼結体の粒界面に分散される粒子ができるだけ微
細でしかも均一に分散されることが望ましいことは明ら
かである。

しかしながら、従来から行なわれている粒子分散の手法
は、粒子混合によるものであり、均一な分散が不可能で
あり、また微細な粒子の調製が困難であった。そのため
従来からセラミックマトリックスに微細な粒子を均一に
分散させる手法の開発が望まれていた。。

本発明は粒子分散強化型セラミックス複合材の前記のご
とき問題点を解決すべくなされたもので、セラミックマ
トリックス中に微細な分散粒子が分散されて、強度およ
び破壊靭性の優れた粒子分散強化型非酸化物セラミック
ス複合材およびその製造方法を提供することを目的とす
る。

［課題を解決するための手段］発明者は前記課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果
、有機金属高分子を使用し、マトリックスどなるセラミ
ックス粒子表面にコーティングし、ついで熱化学反応に
よりセラミック化し、微粒子を分散する手法を着想し、
本発明を完成した。

すなわち、本発明の粒子分散強化型非酸化物セラミック
ス複合材は、非酸化物セラミックマトリックスと、前記
セラミックマトリックス粒界に分散された同種または異
種の超微細セラミックス粒子とからなることを要旨とす
る。

また、本発明の製造方法は、有機金属高分子を溶解した
溶液中にマトリックスとなる非酸化物セラミックス粒子
を分散させ分散液を調製する工程と、前記分散液の溶剤
を揮発させたのち前記分散液中の有機金属高分子を不融
化する工程と、前記工程で得られた混合物を微粉砕して
焼結原料を調製する工程と、前記焼結原料を成形後不活
性ガス中で加圧または常圧で、あるいはホットプレス焼
結法またはＨＩＰ焼結法により焼結する工程とからなる
ことを要旨とする。

セラミックマトリックス中に分散される超微細粒子は、
セラミックマトリックスと異種の粒子でも同種の粒子で
も良い０粒子分散によりマトリックスの強化は、５ｉｚ
Ｎ、−ＴｉＣの知見から予測されるように、２０〜２５
容量％において最大の効果が得られる。

分散される粒子の粒径はクラック・デフレクションの考
え方からすれば、マトリックスの粒界に均一に微細な状
態で存在することが有効である０本発明においてセラミ
ックマトリックスの粒界に分散する超微細セラミック粒
子は少なくとも、サブミクロンのオーダーのものをいう
０分散する粒子がこれ以上大きいと、曲げ強度および破
壊靭性の向上が見られないからである。

粒子分散の手法は、粉末混合法では均一分散が困難であ
り、超微細な粒子の作成が困難であるため、有機金属高
分子の熱分解を利用する方法が最も適切である。すなわ
ち、珪素などセラミックを形作る金属元素を含む有機金
属高分子を不活性雰囲気中で熱分解すると、有機成分が
離脱し、炭化物あるいは窒化物が得られる。有機金属高
分子には、例えばポリシロキサン、ポリシラザン、ポリ
カルボシラン、ポリシラスチレンなとがあり、ポリカル
ボシランは（１）式のように炭化珪素を生成し、ポリシ
ラザンからは（２）式のように窒化珪素が得られる。

（ＳｉＨ（ＣＨｓ）・ＣＨ，）ｎ　　−ＳｉＣ（１）（
ＳｉＲＲ’ＮＨｚ）ｎ　　−４３ＬＮ＜　　　　　　（
２）有機金属高分子はマトリックスとなるセラミックス
粒子表面にコーティングし、ついで熱化学反応によりセ
ラミックス化し微粒子を分散させる手法をとる。そのた
め、有機金属高分子を溶剤（トルエン、キシレン等）に
溶解させ、その中にマトリックスとなるセラミックス粒
子を混合しマトリックス粒子表面に有機金属高分子をコ
ーティングする。この方法によりセラミック粒子の表面
に有機ポリマー層を作成させ、これをセラミック化する
ことで非常に微細かつ均一な分散が可能となった。

有機高分子をコーティングしたセラミック材料は、窒素
ガスあるいはアルゴンガス、あるいは窒素ガスとアンモ
ニアガスの混合ガス気流中７００〜８００℃にて、有機
金属高分子を不融化し、マトリックスとなるセラミック
粒子表面に微細粒子の前段階となるガラス化されたセラ
ミック層を生成させる。

有機金属高分子を不融化した後、混合物は溶剤（トルエ
ン、キシレン、アルコール類等）中において、高純度ア
ルミナ質玉石、窒化珪素質玉石、あるいは炭化珪素玉石
笠を使用し、ボットミルまたはボールミルで微粉砕を行
う、これは不融化処理待固形化した粒子をほぐす工程を
も含んでいる。

はぐしあるいは微粉砕の終了した混合物は、溶剤を含ん
でいるなめ、オーブンあるいはホットプレートあるいは
真空処理により溶剤を揮発させて超微細粒子の付着した
焼結原料が得られる。

焼結原料の成形は、２軸加圧プレス、等方圧プレス（Ｃ
，１，Ｐ）いずれを用いても良い、また、焼結体の焼結
は１．ガス加圧焼結（〜９　、８　ｋｇ／　ｅ＋＊”Ｇ
）、常圧焼結（気流下）、熱間プレス（ホットプレス、
ＨＰ）あるいは熱間等方圧プレス（ＨＩＰ）等の単独あ
るいは組み合わせで行う、その際使用するガスは、通常
窒素ガス、アルゴンガス、特別な場合は（酸化物と酸化
物の組み合わせ）空気雰囲気で操作する場合がある。

焼結原料をそのままの状態で、あるいは予備成形後ホッ
トプレスする場合は、使用する等方性黒鉛内部にＢＮ（
窒化はう素）のコーティングをする。

また、予備焼結後ホットプレスする場合は、予備焼結晶
にＢＮコーティングをして、黒鉛型中に入れて焼結する
と良い。

［作用］本発明の粒子分散強化型非酸化物セラミックス複合体は
、マトリックスセラミックスと同種または異種の超微細
セラミック粒子が粒界に分散しているのでクラック・デ
フレクションが極めて増幅されて起こり、破壊靭性が著
しく向上する。また、極めて微細な分散相の周囲にはク
ラックが多数微細に発生するので、マイクロクラッキン
グによる破壊エネルギーに消耗が極めて効果的に起こり
、曲げ強度および破壊靭性を著しく向上する。

本発明の製造方法では、有機金属高分子を溶解した溶液
中にマトリックスとなる非酸化物セラミックス粒子を分
散させ分散液を調製する工程により、セラミック粒子表
面に有機ポリマー層を作成させ、これをセラミック化す
ることで、非常に均一なコーティングが可能となった。

また、前記分散液の溶剤を揮発させたのち前記分散液中
の有機金属高分子を不融化する工程により、マトリック
スとなるセラミック粒子表面に超微細セラミック粒子の
前段階となるガラス化したセラミック層が生成する。

前記工程で得られた混合物を微粉砕して焼結原料を調製
する工程により、不融化処理時に固形化した粒子をほぐ
すことができる。

焼結は、ガス加圧焼結（〜９　、８　ｋｇ／　ｃｍ２Ｇ
　）、常圧焼結（気流下）、熱間プレス（ホットプレス
。

ＨＰ）あるいは熱間等方圧プレス（ＨＩＰ）等の単独あ
るいは組み合わせで行うことにより、コーティングの熱
化学反応により、ガラス化したセラミック層は超微細な
セラミック粒子となって、マトリックスとなるセラミッ
ク粒子の粒界に分散する。焼結原料はガス加圧焼結また
は常圧焼結でも焼結されるが、マトリックスとなるセラ
ミック粒子には同種または異種の超微細セラミック粒子
が介在するので、難焼結性となっていため、焼結は熱間
プレス（ＨＰ）焼結法により焼結する方が望ましい。

ｆｉ間等方圧プレス焼結を行えば、さらに強靭な焼結体
を得ることができる。

［実施例］本発明の好適な実施例を以下に説明し、本発明をさらに
具体的に明らかにするが、本発明が以下に述べる実施例
の記載によって同等限定解釈されるものではない。

（実施例１）溶剤としてトルエン１１０ｇ中に日本曹達（株）製のポ
リシラスチレン（商品名；ＰＳＳ−４００）４２ｇを溶
解させた。この溶液を別に用意した内容積５００ｃｃの
ポリエチレン製ポットに入れ、窒化珪素粉末（宇部興産
（株）製　商品名；Ｃ−０Ａ＞９８０ｇを添加した０次
いでこれに１２．５ｍ謡φの高アルミナ質シリンダ型玉
石を３００ｇ入れ、ポット蓋を閉じ、ポットを５　Ｏｒ
ｐｍにて回転し、１６時間混合して分散液を調製した。

この分散液をステンレストレイに入れ、このステンレス
トレイを１２０℃に保持したホットプレートに乗せ５時
間かけて大部分の溶剤を揮発させた。さらに、５０℃に
保持されたオーブンに入れ１２時間かけて大部分の有機
溶剤を除去した。

続いてケーキ状になった調合物を不融化処理（熱化学反
応によるセラミック化）処理を行った。不融化処理は窒
素ガス加圧下（〜５　ｋｇ／　ｃ＋ｍ”　Ｇ　）　５℃
／時間の温度勾配で６００℃まで昇温し、完全にガラス
化した。

不融化された調合物は不融化処理により固形化している
ため、プレス成形にかけたり、あるいは焼結したりでき
る状態でないため、５００ｅｅのポリエチレンポットに
トルエン１１０ｇを入れ、その中に不融化した調合物と
１２．５ｆｉＩｌφのシリンダ型高アルミナ質玉石を３
００ｇ入れ、１６時間粉砕を行った。

微粉砕した調合物はステンレストレイに取り出し、１２
０℃に保持されているホットプレートに乗せ、大部分の
有機溶剤を揮発させた。ついで１００℃に保持されてい
るオーブンの中に入れ、１２時間かけて完全に有機溶剤
を揮発させ、成形あるいは焼結用のセラミック原料を得
た。

得られた焼結原料からガス加圧焼結晶を得るため、焼結
原料を２５１１１＃ｌＸ５０１Ｉ１ｍノ金型に４０ｇ投
入し、高さを平均化して２軸加圧プレスで５００ｋｇ／
ｃＩｍ２の加圧にて予備成形した。この成形物をビニー
ル袋に入れ、真空に引っ張ってシープにて密封した。こ
れを等方圧プレス成形用に加圧円筒に入れ、１５００　
ｋｇ／　ｃｍ２Ｇにて加圧し、等方圧プレス成形をし、
焼結用成形品とした。

焼結用成形品はカーボン匣鉢に入れ、カーボン目砂（東
海カーボン（株）製、Ｍ　Ｓ　（＃　８０〜＃１５０）
）に埋めガス加圧炉中にセットした。焼結条件は１５０
℃／時間で、１６５０℃まで昇温し、２時間保持し、そ
の後除冷した。ガス条件は１２００℃まで真空にし、そ
の後アルゴンガス２ｋｇ／ａｎ２Ｇで加圧してガス加圧
焼結体を得た。

次に、ホットプレスによる焼結体を得るため、前記で得
られた焼結原料を２５ｍｍＸ　５０１の金型中に４０ｇ
投入し、高さを平均化して２軸加圧プレスで５００　ｋ
ｇ／　ａｍ２の加圧にて予備成形した。

この成形物をビニール袋に入れ、真空に引っ張ってシー
プにて密封した。これを等方圧プレス成形用に加圧円筒
に入れ、１５００　ｋｇ／　ｃ＋＊２Ｇにて加圧し、等
方圧プレス成形をし、焼結用成形品とした。

続いて、等方性カーボンで作成したホットプレス用型の
内面にＢＮ（窒化硼素）をコーティングし、生成形品を
型中に入れ、型の隙間にカーボン目砂（東海カーボン（
株）製、Ｍ　Ｓ　（＃　８０〜＃１５０））を入れ、上
部より加圧用ダイスをセットしホットプレス炉中に固定
した。

焼結は２５０℃／時間で１６５０℃まで昇温し、２時間
保持し、その後除冷した。ガス条件は、常温でアルゴン
ガスと置換後、常圧で行った。プレス加圧は１５００℃
より３００　ｋｇ／　ａｍ２かけ、降温時１５００℃で
解除した。

次に、熱間等方圧プレスによる焼結体を得るため、ガス
加圧焼結で作成した焼結体を熱同等方圧プレス処理を行
った０条件は５００℃／時間の昇温で１６５０℃まで加
熱し、１時間保持し、冷却をした。ガスおよび加圧条件
は、昇圧先行型とし、常温でアルゴンガス置換後、１．
ＯＯＯａＬｍに昇厚し、その後加熱処理を行った。

得られたガス加圧焼結体、ホットプレス焼結体および熱
間等方圧焼結体について曲げ強度および破壊靭性値ＫＩ
ｃを測定し結果を第１表に示した。

また、焼結によりマトリックスセラミックスの粒子成長
が見られるがどうが顕微鏡にて観察した。

（以　　下　　余　　白　　）第　　　　　　１　　　　　　表第１表より明らかなように、窒化珪素マトリックス界面
に炭化珪素粒子を分散させた粒子分散強化型複合材は、
ガス加圧焼結の場合を除いて、モノリシック素材（曲げ
強度７０　ｋｇ／　Ｍ＠２、Ｋ１ｃ５〜６ＭＮ／ｍ”）
に比較し、曲げ強度およびＫＩＯ共に著しく向上した。

また、特に興味があるのは、粒界に炭化珪素を分散させ
ることで、粒成長が抑制されていることである。これは
、酸化マグネシウムを添加するとアルミナ粒界にスピネ
ル（ＭｇＯ−Ａ　Ｉ２０３）が生成し、マトリックスの
粒成長を抑制するのと同じ機楕ではないかと推察される
。

（実施例２）溶剤としてトルエン８７．４ｇ中にチッソ（株）製のポ
リシラザン（商品名；ＨＣＰ−２００、トルエン溶液６
５％含有品＞６４．６ｉｒを溶解させた。この溶液を別
に用意した内容積５００ｃｃのポリエチレン製ポットに
入れ、窒化珪素粉末（宇部興産（株）製　商品名；ＣＣ
−０Ａ）９８を添加した０次いでこれに１２．５ｍｓφ
の高アルミナ質シリンダ型玉石を３００ｇ入れ、ポット
蓋を閉じ、ポットを５０　ｒｐｍにて回転し、１６時間
混合して分散液を調製した。

以後は実施例１と全く同じ方法で焼結原料を調製し、実
施例１と全く同じ方法でガス加圧焼結体、ホットプレス
焼結体および熱間等方圧プレス焼結体を得た。得られた
焼結体について曲げ強度および破壊靭性ＫＩＯについて
測定した。また、マトリックス粒子の粒成長についても
観察した。測定した結果は第２表に示した。

（以下余白）第表第２表より明らかなように、窒化珪素マトリックス界面
に窒化物粒子を分散させた粒子分散強化型複合材は、ガ
ス加圧焼結の曲げ強度を除いて、モノリシック素材（曲
げ強度７０　ｋｇ／輪−２、Ｋ　Ｉａ　５〜６　Ｍ　Ｎ
　／　ｍ”　）に比較し、曲げ強度およびに＋ｏ共に著
しく向上した。

また、粒界に窒化珪素を分散させることにより、実施例
１と同様にアルミナマトリックスの粒成長が抑制されて
いることが観察された。

（実施例３）溶剤としてトルエン１１０ｇ中に日本曹達（株）製のポ
リシラスチレン（商品名、ＰＳＳ−４００）４２ｇを溶
解させた。この溶液を別に用意した内容積５００ｃｃの
ポリエチレン製ポットに入れ、炭化珪素粉末（イビデン
（株）製、β−ランダム（ウルトラファイン）＞９８ｇ
を添加した０次いでこれに１２．５ｍｍφの高アルミナ
質シリンダ型玉石を３００ｇ入れ、ポット蓋を閉じ、ポ
ットを５０　ｒｐｍにて回転し、１６時間混合して分散
液を調製した。

以後は実施例１と全く同じ方法で焼結原料を調製し、実
施例１と全く同じ方法でガス加圧焼結体、ホットプレス
焼結体および熱間等方圧焼結体を得た。得られた焼結体
について曲げ強度および破壊靭性ＫＩＣについて測定し
た。また、マトリックス粒子の粒成長についても観察し
た。測定した結果は第３表に示した。

（以下余白）第　　　　　　３　　　　　　表第３表より明らかなように、炭化珪素マトリックス界面
に炭化珪素粒子を分散させた粒子分散強化型複合材は、
ガス加圧焼結の場合の曲げ強度を除いて、モノリシック
素材（曲げ強度３８〜４２ｋｇ／ａｍ”、Ｋ＋ｃ１．８
〜２．２ＭＮ／ｍ３′２）に比較し、曲げ強度およびＫ
ＩＯ共に著しく向上した。

また、粒界に炭化珪素を分散させることにより、実施Ｉ
ＭＩと同様にムライトマトリックスの粒成長が抑制され
ていることが観察された。

（実施例４）溶剤としてトルエン８７．４ｇ中にチッソ（株）製のポ
リシラザン（商品名、１−ＩＣＰ−２００、トルエン溶
液６５％含有品）６４．６ｇを溶解させた。この溶液を
別に用意した内容積５００ｃｃのポリエチレン製ポット
に入れ、炭化珪素粉末（イビデン（株）製、β−ランダ
ム（ウルトラファイン））９８．を添加した０次いでこ
れに１２．５鋤輪φの高アルミナ質シリンダ型玉石を３
００ｇ入れ、ポット塁を閏じ、ポットを５Ｑｒｐｍにて
回転し、１６時間混合して分散液を調製した。

以後は実施例１と全く同じ方法で焼結原料を調製し、実
施例１と全く同じ方法でガス加圧焼結体、ホットプレス
焼結体および熱同等方圧焼結体を得た。得られた焼結体
について曲げ強度および破壊靭性ＫＩＯについて測定し
た。また、マトリックス粒子の粒成長についても観察し
た。測定した結果は第４表に示した。

（以下余白）第表クス界面に窒化物粒子を分散させた粒子分散強化型複合
材は、ガス加圧焼結の曲げ強度を除いて、モノリシック
素材（曲げ強度３８〜４２　ｋｇ／　ｍｍ”、Ｋ＋ａ１
．８〜２．２ＭＮ／ｍ”）に比較し、曲げ強度およびＫ
　Ｉｃ共に著しく向上した。

また、粒界に窒化珪素を分散させることにより、実施例
１と同様にムライトマトリックスの粒成長が抑制されて
いることがａ察された。

［発明の効果〕本発明の粒子分散強化型非酸化物セラミックス複合材は
、以上説明したように、マトリックスとなるセラミック
スの粒界にマトリックスと同種または異種の超微細セラ
ミックス粒子を分散させたものであり、超微細セラミッ
ク粒子が粒界に分散しているのでクラック・デフレクシ
ョンが極めて増幅されて起こり、破壊靭性が著しく向上
する。

また、極めて微細な分散相の周囲にはクラックが多数Ｖ
＆細に発生するので、マイクロクラッキングによる破壊
エネルギーに消耗が極めて効果的に起こり、曲げ強度お
よび破壊靭性を著・シく向上する。

また、本発明の粒子分散強化型非酸化物セラミックス複
合材の製造方法では、有機金属高分子をマトリックスと
なるセラミックス粒子にコーティングしたｔＩｉ、不融
化し焼結する工程において、有機金属高分子の熱化学反
応で、マトリックス粒子の表面に超微細なセラミックス
粒子を得るものである。そのため、極めて微細かつ均一
に強化粒子を分散が可能であり、複合材を安定的に製造
できる点で優れたものである。

また、本発明においては焼結界面に異物質が介在するこ
とでマトリックス粒子の異常成長が抑制できるという副
次的な効果があり、これにより曲げ強度および破壊靭性
に寄与すると考えられ、当然のことながら併せて表面硬
さの向上および耐牽耗性向上にも寄与するものである。

このように、本発明の粒子分散強度型非酸化物セラミッ
クス複合材は、破壊靭性が従来のモノリシック材料より
も数段優れたものであるため、レシプロエンジン、ガス
タービンエンジン等の熱機関用の構造材としても極めて
有用である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）非酸化物セラミックマトリックスと、前記セラミ
ックマトリックス粒界に分散された同種または異種の超
微細セラミックス粒子とからなることを特徴とする粒子
分散強化型非酸化物セラミックス複合材。
（２）有機金属高分子を溶解した溶液中にマトリックス
となる非酸化物セラミックス粒子を分散させ分散液を調
製する工程と、前記分散液の溶剤を揮発させたのち前記
分散液中の有機金属高分子を不融化する工程と、前記工
程で得られた混合物を微粉砕して焼結原料を調製する工
程と、前記焼結原料を成形後不活性ガス中で加圧または
常圧で焼結する工程とからなることを特徴とする粒子分
散強化型非酸化物セラミックスの製造方法。
（３）有機金属高分子を溶解した溶液中にマトリックス
となる非酸化物セラミックス粒子を分散させ分散液を調
製する工程と、前記分散液の溶剤を揮発させたのち前記
分散液中の有機金属高分子を不融化する工程と、前記工
程で得られた混合物を微粉砕して焼結原料を調製する工
程と、前記焼結原料を成形後熱間プレス（ＨＰ）焼結法
により焼結する工程とからなることを特徴とする粒子分
散強化型非酸化物セラミックスの製造方法。
（４）有機金属高分子を溶解した溶液中にマトリックス
となる非酸化物セラミックス粒子を分散させ分散液を調
製する工程と、前記分散液の溶剤を揮発させたのち前記
分散液中の有機金属高分子を不融化する工程と、前記工
程で得られた混合物を微粉砕して焼結原料を調製する工
程と、前記焼結原料を成形後熱間等方圧プレス（ＨＩＰ
）焼結法により焼結する工程とからなることを特徴とす
る粒子分散強化型非酸化物セラミックスの製造方法。