JPH0259705A

JPH0259705A - 斜入射反射型光学装置およびその光ビームの位置合せ方法

Info

Publication number: JPH0259705A
Application number: JP21071588A
Authority: JP
Inventors: Izumi Wake; 和気　泉; Yasuharu Hirai; 平井　康晴
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1988-08-26
Filing date: 1988-08-26
Publication date: 1990-02-28
Anticipated expiration: 2013-10-15
Also published as: JP2810058B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

［産業上の利用分野］本発明は、斜入射反射型光学素子と、光ビームとの位置
合せ法に係わり、特に、シンクロトロン放射光等の真空
紫外線〜Ｘ線領域（波長５０ｎｍ〜０．０１ｎｍ）　　
での高輝度光源にて使用される、斜入射反射型光学素子
に好適な位置合せ法に関する。

【従来の技術】

真空紫外線〜Ｘ線領域（波長５０ｎｍ〜０．０１ｎｍ）
　　では、ミラー・回折格子等の反射型光学素子として
、入射角が〜８０度以上の斜入射型のものが使用される
。　斜入射型光学系では、光ビームの断面積に比べて反
射面（光が反射する面）の断面積が極めて大きくなる。例えば、８９度入射の場合、１／ｃｏｓ８９’＝５７倍
にもなる。従って、光学素子が大きくなりやすく、また
、必要最小限の大きさに留める場合が多い。従って、正
確な位置合せが必要となる。従来、このような斜入射反射型光学素子と光ビームとの
位置合せは、反射光の位置を蛍光板等にてモニタするか
、入射光の位置・形状を光センサーにてモニターする方
式が取られている。後者の方式は、ニュークリアー　イ
ンスッルメンツ　アンド　メソッヅ、Ａ２４６　（１９
８６年）、第３８９頁から第３９３頁（Ｎｕｃｌｅａｒ
　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓａｎｄ　Ｍｅｔｈｏｄｓ　Ａ
２４６（１９８６）、ｐｐ３８９−３９３）及び二二一
クリアー　インスツルメンツ　アンド　メソッヅ、Ａ２
４６　（１９８６年）、第４１１頁から第４１２頁（Ｎ
ｕｃｌｅａｒ　Ｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ　ａｎｄ　Ｍｅ
ｔｈｏｄｓＡ２４６（１９８６）；ｐｐ４１１−４１２
）にて論じられているように、真空容器内にて、二つの
電極をスリット状に配置し、入射光ビームをそのスリッ
トの隙間から通す。その際、光ビームの一部分が二つの
電極に当り、電極から光電子電流が流れる。画電極の光
電子電流の大小関係より、スリット状電極中心と光ビー
ムとの位置関係がわかる。前照て、スリット状電極とこ
の後方の光学素子とを位置合せしておけば、光ビームと
スリット状電極の位置合せをすることにより、光ビーム
と光学素子の位置合せができることになる。

【発明が解決しようとする課題１反射光の位置・形状を蛍光板等でモニタする方式は、光
ビームの全てが光学素子よりはずれている場合はわかる
が、一部分が光学素子よりはずれている場合は、わかり
にくい。また、入射光をスリット状電極等の位置モニタにて位置
合せする方式では、位置モニタと光学素子との位置合せ
という煩雑な作業が予め、必要となる。しかも、入射光
の入射方向や、入射角度の変更などの光学的配置を変更
したい場合は、この位置合せを繰り返す必要があるため
、光学的配置の変更は行ないにくい。さらには、入射光
の位置・方向を連続的に変化させつつ、同時に斜入射反
射型光学素子の位置決めを制御することは極めて難しく
なる。本発明の目的は、光ビームと斜入射反射型光学素子の位
置合せを、簡単に精度良く行なうことにある。また、入
射光・反射光の方向・位置等の光学的配置の変更、ある
いは、連続的に変化させる場合にも適用可能な、位置モ
ニタの再調整の必要のない位置合せ法を提供することに
ある。【課題を解決するための手段】上記目的は、複数の光センサーを、その光感応部分が、
斜入射反射型光学素子の反射面と同一面内にあるように
、その光学素子反射面の周囲に配置することにより達成
される。簡便な光センサとしては、金属電極からの光電子電流を
検出する方式、蛍光板からの蛍光を目視する方式などが
ある。入射ビームベクトルと反射面法″線ベクトルとが張る面
（入射面）内での位置合せのためには、光学素子反射面
の入射側端に一個と出射側に一個のセンサを配置する。入射面と垂直方向での位置合せのためには、光学素子反
射面の入射面に垂直方向の両端に一個づつのセンサを配
置する。【作用１入射光ビームが斜入射反射型光学素子より外れると、そ
の外れる方向に配置しである光センサに光が照射し、セ
ンサからの信号が増大する。これにより、光が光学素子
より外れていること、及びその方向がわかる。光センサは反射面と同一面内にあるため、光ビームが光
学素子に当ることを光センサが遮ったり、光ビームが光
センサに当ることを光学素子が遮ることは無い。（実施例］以下、本発明の一実施例を、第一図により説明する。真空容器４の中に、入射スリット３、斜入射ミラー１、
電極２，３が設置されている。斜入射ミラー１はガラス
基板１９と金属蒸着反射面１８とからなる。電極２，３
は反射面１８と共通の基板上に、反射面１８とは電気的
に絶縁した蒸着金属により構成され、リード線８，９が
取付けられており、真空容器外にて電池１０，１１によ
り−１０〜−１００ボルトのバイアスがかけられている
。電極２，３から光電子が放出すると、電流計１２．１
３にて読み取れる。シンクロトロン放射光を光源とする
入射ビーム６が入射スリット４を通して装置に入り、斜
入射ミラー１により反射され、出射ビーム７となって装
置より出ていく。ミラー１の反射面と電極２，３の反射面は、同一面内に
あり、両者は同一ホルダに収められて、駆動機構１６に
より、一体と成って真空容器外から位置、傾きを調整で
きる。また、スリット４も駆動機構１７により、位置を
調整できる。この実施例にては、スリットを通過した入射ビーム６が
すべて斜入射ミラーに照射している場合には、電流計１
２．１３には電流は流れない（１ピコアンペア以下）。しかし、もし、ミラー１が入射ビーム６に対して上側に
ずれていると電極１２に１０〜１００ピコアンペアの電
流が流れる。同様に、下側にずれていると、電流計１３に電流が流れ
る。また、ミラー１と電極２，３とが同一ホルダにあること
により、スリット４を駆動機構１７により、ミラー１を
駆動機構１６により、それぞれ動かして１反射ビーム７
の出射方向や位置を調整する場合でも、常に、電流計１
２．１３をモニタすることにより、ミラー１に入射ビー
ム６がすべて照射した状態を確認しつつ、位置決めでき
る。従って、電流計１２．１３の信号を駆動機構１６゜
１７に帰還しながらの、反射ビーム７の出射方向・位置
の自動連続制御も可能である。斜入射ミラー１は、回折格子、多層膜ミラー結晶、及び
他の斜入射反射型光学素子であってもよい。電極２，３
は、その表面が、反射面１８と同一面にあるかぎり、反
射面１８と同一基板上にある必要はない、たとえば、電
極２，３のかわりに、蛍光版を置いて、蛍光を目視によ
りモニタしてもよい。又は、他のセンサであってもよい
。入射ビーム６の光源はシンクロトロン放射光以外の真
空紫外線〜Ｘ線光源であってもよい。【発明の効果］本発明によれば、斜入射反射型光学素子と光ビームとの
位置合せを容易に精度良く行なうことができる。また、
入射・反射ビームの位置、方向の変更等の光学的配置の
変更や連続変化の際にも、位置モニタには手を加えるこ
と無く、・光学素子の正確・迅速な位置合せを可能とし
、また、装置設計の自由度も拡大する効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の斜入射ミラー装置の縦断
面図である。１・・・・・・・・・・・・・・・　斜入射ミラー２．
３・・・・・・・・・４・・・・・・・・・・・・・・・５・・・・・・・・・・・・・・・６・・・・・・・・・・・・・・・７・・・・・・・・・・・・・・・８．９・・・・・・・・・１０、　１１・・・１２．１３・・・１４、　１５・・・１６・・・・・・・・・・・・１７・・・・・・・・・・・・１８　・・・・・・・・・・・１９・・・・・・・・・・・・電極入射スリット真空容器入射光ビーム出射光ビームリード線電池電流計接地ミラー駆動機構スリット駆動機構斜入射反射ミラー反射面斜入射反射ミラー基板！冷／　図

Claims

【特許請求の範囲】１、斜入射反射型光学素子の光ビーム反射面の周囲に、
光センサーを設置し、該光センサーからの光信号を位置
ずれ信号とすることを特徴とする上記斜入射反射型光学
素子と光ビームとの位置合せ法。２、上記斜入射反射型光学素子の光ビーム反射面と同一
面内に、上記光センサーの光敏感部を設置することを特
徴とする請求項１に記載の斜入射反射型光学素子と光ビ
ームとの位置合せ法。