JPH0257957U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0257957U JPH0257957U JP13643388U JP13643388U JPH0257957U JP H0257957 U JPH0257957 U JP H0257957U JP 13643388 U JP13643388 U JP 13643388U JP 13643388 U JP13643388 U JP 13643388U JP H0257957 U JPH0257957 U JP H0257957U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sputtering
- substrate
- substrate holder
- space
- facing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図aは本考案に係る薄膜形成装置の要部を
示す平面図、第1図bは第1図aA―A線に沿う
断面図、第2図aは本考案に係る薄膜形成装置の
他の実施例を示す平面図、第2図bは第2図aB
―B線に沿う断面図、第3図aは本考案に係る薄
膜形成装置の更に他の実施例を示す平面図、第3
図bは第3図aC―C線に沿う断面図、第4図a
,bは夫々シヤツター及び冷却水容器の配置を示
す斜面図、第5図aは基板ホルダー内に冷却水通
路を設けた例を示す断面図、第5図bは第5図a
D―D線に沿う断面図、第6図及び第7図は基板
上の膜厚分布を説明する図、第8図は従来の薄膜
形成装置の構成を示す断面図である。 1……真空容器、2……ターゲツト、3……基
板、4……基板ホルダー、41……取付面、6…
…シヤツター。
示す平面図、第1図bは第1図aA―A線に沿う
断面図、第2図aは本考案に係る薄膜形成装置の
他の実施例を示す平面図、第2図bは第2図aB
―B線に沿う断面図、第3図aは本考案に係る薄
膜形成装置の更に他の実施例を示す平面図、第3
図bは第3図aC―C線に沿う断面図、第4図a
,bは夫々シヤツター及び冷却水容器の配置を示
す斜面図、第5図aは基板ホルダー内に冷却水通
路を設けた例を示す断面図、第5図bは第5図a
D―D線に沿う断面図、第6図及び第7図は基板
上の膜厚分布を説明する図、第8図は従来の薄膜
形成装置の構成を示す断面図である。 1……真空容器、2……ターゲツト、3……基
板、4……基板ホルダー、41……取付面、6…
…シヤツター。
Claims (1)
- スパツター空間10を挾んで一対のターゲツト
2,2を対向配備し、該スパツター空間10に面
して配置した基板3の表面に、スパツタリングに
よる薄膜を形成する装置に於いて、スパツター空
間10の全周を包囲して基板ホルダー4が配備さ
れ、該基板ホルダー4には、両ターゲツト2,2
の中心を結ぶスパツター空間10の中心軸から等
距離の位置に、複数の基板取付面41が夫々前記
中心軸に向けて形成され、該取付面41に固定し
た複数の基板3に対して同時に成膜が施されるこ
とを特徴とする薄膜形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13643388U JPH0257957U (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13643388U JPH0257957U (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0257957U true JPH0257957U (ja) | 1990-04-26 |
Family
ID=31396939
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13643388U Pending JPH0257957U (ja) | 1988-10-19 | 1988-10-19 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0257957U (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58133376A (ja) * | 1982-01-26 | 1983-08-09 | マテリアルズ・リサ−チ・コ−ポレ−シヨン | 反応性膜析出方法及び装置 |
JPS58199863A (ja) * | 1982-05-19 | 1983-11-21 | Hitachi Ltd | 薄膜形成装置 |
JPS6153426A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-17 | Nissan Motor Co Ltd | ガスタ−ビンエンジンの制御装置 |
-
1988
- 1988-10-19 JP JP13643388U patent/JPH0257957U/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58133376A (ja) * | 1982-01-26 | 1983-08-09 | マテリアルズ・リサ−チ・コ−ポレ−シヨン | 反応性膜析出方法及び装置 |
JPS58199863A (ja) * | 1982-05-19 | 1983-11-21 | Hitachi Ltd | 薄膜形成装置 |
JPS6153426A (ja) * | 1984-08-20 | 1986-03-17 | Nissan Motor Co Ltd | ガスタ−ビンエンジンの制御装置 |