JPH0257029U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0257029U JPH0257029U JP13504988U JP13504988U JPH0257029U JP H0257029 U JPH0257029 U JP H0257029U JP 13504988 U JP13504988 U JP 13504988U JP 13504988 U JP13504988 U JP 13504988U JP H0257029 U JPH0257029 U JP H0257029U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- line width
- semiconductor base
- measuring resistor
- bridge part
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図ａ，ｂは本考案によるマイクロブリツジ
フローセンサの一実施例を示す斜視図、そのＢ―
Ｂ′線断面図、第２図ａ，ｂ，ｃは従来のマイク
ロブリツジフローセンサの構成を説明するそれぞ
れの斜視図、そのＢ―Ｂ′線の断面図、電圧出力
に対する流速の関係を示す特性図である。 １……半導体基台、２，３……開口、４……貫
通孔、５……橋絡部、６……保護膜、７′……ヒ
ータエレメント、８，９……測温抵抗エレメント
、１０……周囲測温抵抗エレメント。
フローセンサの一実施例を示す斜視図、そのＢ―
Ｂ′線断面図、第２図ａ，ｂ，ｃは従来のマイク
ロブリツジフローセンサの構成を説明するそれぞ
れの斜視図、そのＢ―Ｂ′線の断面図、電圧出力
に対する流速の関係を示す特性図である。 １……半導体基台、２，３……開口、４……貫
通孔、５……橋絡部、６……保護膜、７′……ヒ
ータエレメント、８，９……測温抵抗エレメント
、１０……周囲測温抵抗エレメント。
Claims (1)
- 半導体基台の表面に被検出気体が流通する開口
部を該半導体基台から空間的に離隔して形成させ
る橋絡部を有して連通させる貫通孔が形成され、
該橋絡部上に熱的に絶縁された発熱体および測温
抵抗体からなる検出部を有し、該測温抵抗体の抵
抗値変化から流速を検出するマイクロブリツジフ
ローセンサにおいて、前記発熱体の線幅を測温抵
抗体の線幅よりも大きくしたことを特徴とするマ
イクロブリツジフローセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13504988U JPH0257029U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13504988U JPH0257029U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0257029U true JPH0257029U (ja) | 1990-04-25 |
Family
ID=31394340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13504988U Pending JPH0257029U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0257029U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003035580A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-02-07 | Denso Corp | フローセンサ |
-
1988
- 1988-10-18 JP JP13504988U patent/JPH0257029U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003035580A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-02-07 | Denso Corp | フローセンサ |