JPH0257028U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0257028U JPH0257028U JP13504888U JP13504888U JPH0257028U JP H0257028 U JPH0257028 U JP H0257028U JP 13504888 U JP13504888 U JP 13504888U JP 13504888 U JP13504888 U JP 13504888U JP H0257028 U JPH0257028 U JP H0257028U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor base
- flow sensor
- temperature
- measuring resistor
- bridge
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
Description
第1図は本考案によるマイクロブリツジフロー
センサの一実施例を示す要部拡大平面図、第2図
〜第4図は本考案によるマイクロブリツジフロー
センサの他の実施例を示す要部拡大平面図、第5
図a,b,cは従来のマイクロブリツジフローセ
ンサの構成を説明する斜視図、そのB―B′線の
断面図、電圧出力に対する流速の関係を示す特性
図、第6図は従来のマイクロブリツジフローセン
サの検出部の構成を示す要部拡大平面図である。 1……半導体基台、2,3……開口、4……貫
通孔、5′,5″……橋絡部、5A,5B……端
部、6……保護膜、7……ヒータエレメント、8
,9……測温抵抗エレメント、12,13,14
,15,16,17……開口。
センサの一実施例を示す要部拡大平面図、第2図
〜第4図は本考案によるマイクロブリツジフロー
センサの他の実施例を示す要部拡大平面図、第5
図a,b,cは従来のマイクロブリツジフローセ
ンサの構成を説明する斜視図、そのB―B′線の
断面図、電圧出力に対する流速の関係を示す特性
図、第6図は従来のマイクロブリツジフローセン
サの検出部の構成を示す要部拡大平面図である。 1……半導体基台、2,3……開口、4……貫
通孔、5′,5″……橋絡部、5A,5B……端
部、6……保護膜、7……ヒータエレメント、8
,9……測温抵抗エレメント、12,13,14
,15,16,17……開口。
Claims (1)
- 半導体基台の表面に該半導体基台から空間的に
離隔して一体形成される橋絡部を有して左右の開
口部を連通する貫通孔が設けられ、該橋絡部の表
面に熱的に絶縁された発熱体および測温抵抗体か
らなる検出部が形成され、該測温抵抗体の抵抗値
変化から流速を検出するマイクロブリツジフロー
センサにおいて、前記橋絡部の半導体基台との接
続部を、該橋絡部の中央部分よりも幅を小さくし
たことを特徴とするマイクロブリツジフローセン
サ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13504888U JPH0257028U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13504888U JPH0257028U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0257028U true JPH0257028U (ja) | 1990-04-25 |
Family
ID=31394338
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13504888U Pending JPH0257028U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0257028U (ja) |
-
1988
- 1988-10-18 JP JP13504888U patent/JPH0257028U/ja active Pending