JPS6286513U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6286513U JPS6286513U JP17875785U JP17875785U JPS6286513U JP S6286513 U JPS6286513 U JP S6286513U JP 17875785 U JP17875785 U JP 17875785U JP 17875785 U JP17875785 U JP 17875785U JP S6286513 U JPS6286513 U JP S6286513U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal mass
- mass flowmeter
- pipe
- fluid
- pair
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 2
Description
第１図は本考案になる熱式質量流量計の第１実
施例を説明するための分解斜視図、第２図は第１
図に示す熱式質量流量計を適用した流量制御装置
の縦断面図、第３図はセンサパイプの近傍に複数
の隔壁を配設した状態の正面図、第４図Ａは第３
図中Ａ―Ａ線に沿う断面図、第４図Ｂは第３
図中Ｂ―Ｂ線に沿う断面図、第５図は本考案
の第２実施例を説明するための分解斜視図である
。 ２……流量計測部、１１……センサパイプ、１
２，１３……感熱抵抗体、１４……収納ケース、
１４ａ，１４ｂ……ケース半体、１８，１８１，
…，１８ｎ……隔壁。
施例を説明するための分解斜視図、第２図は第１
図に示す熱式質量流量計を適用した流量制御装置
の縦断面図、第３図はセンサパイプの近傍に複数
の隔壁を配設した状態の正面図、第４図Ａは第３
図中Ａ―Ａ線に沿う断面図、第４図Ｂは第３
図中Ｂ―Ｂ線に沿う断面図、第５図は本考案
の第２実施例を説明するための分解斜視図である
。 ２……流量計測部、１１……センサパイプ、１
２，１３……感熱抵抗体、１４……収納ケース、
１４ａ，１４ｂ……ケース半体、１８，１８１，
…，１８ｎ……隔壁。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ケース内に収納され被測流体の一部が通過
するパイプと、前記パイプに設けられた一対の感
熱抵抗体とを有し、前記一対の感熱抵抗体の温度
差より前記被測流体の流量を計測する熱式質量流
量計において、前記一対の感熱抵抗体近傍のケー
ス内に複数の隔壁を前記パイプと直交する向きで
設け、かつ、複数の隔壁と前記パイプとは排接触
である熱式質量流量計。 (2) 前記複数の隔壁は夫々互いに一体に形成さ
れてなる実用新案登録請求の範囲第１項記載の熱
式質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17875785U JPS6286513U (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17875785U JPS6286513U (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6286513U true JPS6286513U (ja) | 1987-06-02 |
Family
ID=31121191
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17875785U Pending JPS6286513U (ja) | 1985-11-20 | 1985-11-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6286513U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013221753A (ja) * | 2012-04-12 | 2013-10-28 | Horiba Stec Co Ltd | 流体制御用機器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61159110A (ja) * | 1984-12-29 | 1986-07-18 | Nippon Tairan Kk | 質量流量制御装置 |
-
1985
- 1985-11-20 JP JP17875785U patent/JPS6286513U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61159110A (ja) * | 1984-12-29 | 1986-07-18 | Nippon Tairan Kk | 質量流量制御装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013221753A (ja) * | 2012-04-12 | 2013-10-28 | Horiba Stec Co Ltd | 流体制御用機器 |