JPH0257066U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0257066U JPH0257066U JP13504788U JP13504788U JPH0257066U JP H0257066 U JPH0257066 U JP H0257066U JP 13504788 U JP13504788 U JP 13504788U JP 13504788 U JP13504788 U JP 13504788U JP H0257066 U JPH0257066 U JP H0257066U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- semiconductor base
- flow sensor
- measuring resistor
- resistor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案によるマイクロブリツジフロー
センサの一実施例を示す斜視図、第２図は本考案
によるマイクロブリツジフローセンサの他の実施
例を示す斜視図、第３図ａ，ｂ，ｃは従来のマイ
クロブリツジフローセンサの構成を説明するそれ
ぞれの斜視図、そのＢ―Ｂ′線断面図、電圧出力
に対する流速の関係を示す特性図である。 １′，１″……半導体基台、１ａ……平行辺、
１ｂ……上流辺、１ｃ……下流辺、２，３……開
口、４……貫通孔、５……橋絡部、６……保護膜
、７……ヒータエレメント、８，９……測温抵抗
エレメント。
センサの一実施例を示す斜視図、第２図は本考案
によるマイクロブリツジフローセンサの他の実施
例を示す斜視図、第３図ａ，ｂ，ｃは従来のマイ
クロブリツジフローセンサの構成を説明するそれ
ぞれの斜視図、そのＢ―Ｂ′線断面図、電圧出力
に対する流速の関係を示す特性図である。 １′，１″……半導体基台、１ａ……平行辺、
１ｂ……上流辺、１ｃ……下流辺、２，３……開
口、４……貫通孔、５……橋絡部、６……保護膜
、７……ヒータエレメント、８，９……測温抵抗
エレメント。
Claims (1)
- 半導体基台の表面に該半導体基台から空間的に
離隔して一体形成される橋絡部を有して左右の開
口部を連通する貫通孔が設けられ、該橋絡部の表
面に熱的に絶縁された発熱体および測温抵抗体か
らなる検出部が形成され、該測温抵抗体の抵抗値
変化から流速を検出するマイクロブリツジフロー
センサにおいて、前記半導体基台に前記発熱体お
よび測温抵抗体の長さ方向とほぼ平行となる少な
くとも一辺を設けたことを特徴とするマイクロブ
リツジフローセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13504788U JPH0257066U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13504788U JPH0257066U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0257066U true JPH0257066U (ja) | 1990-04-25 |
Family
ID=31394336
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13504788U Pending JPH0257066U (ja) | 1988-10-18 | 1988-10-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0257066U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5618381A (en) * | 1979-07-25 | 1981-02-21 | Ricoh Kk | Electric heater |
-
1988
- 1988-10-18 JP JP13504788U patent/JPH0257066U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5618381A (en) * | 1979-07-25 | 1981-02-21 | Ricoh Kk | Electric heater |