JPH0466578U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0466578U JPH0466578U JP10901990U JP10901990U JPH0466578U JP H0466578 U JPH0466578 U JP H0466578U JP 10901990 U JP10901990 U JP 10901990U JP 10901990 U JP10901990 U JP 10901990U JP H0466578 U JPH0466578 U JP H0466578U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- pattern
- flow velocity
- velocity sensor
- heating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案による流速センサの一実施例に
よる構成を示す平面図、第２図は第１図の要部拡
大平面図、第３図ａ〜ｉはダイアフラム部の形成
方法を説明する要部拡大断面図、第４図は従来の
流速センサの構成を示す平面図である。 １……半導体基板、２……空隙部、３ａ……ダ
イアフラム部、４……ヒータエレメント、５……
上流側測温抵抗エレメント、６……下流側測温抵
抗エレメント、８……矢印方向、１１……スリツ
ト、１１１，１１２，１１３，１１４……スリツ
ト部、１２……平面領域、１３１，１３２……矢
印方向パターン。
よる構成を示す平面図、第２図は第１図の要部拡
大平面図、第３図ａ〜ｉはダイアフラム部の形成
方法を説明する要部拡大断面図、第４図は従来の
流速センサの構成を示す平面図である。 １……半導体基板、２……空隙部、３ａ……ダ
イアフラム部、４……ヒータエレメント、５……
上流側測温抵抗エレメント、６……下流側測温抵
抗エレメント、８……矢印方向、１１……スリツ
ト、１１１，１１２，１１３，１１４……スリツ
ト部、１２……平面領域、１３１，１３２……矢
印方向パターン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基台と、前記基台の一部に空間を設けて薄
肉状に形成されたダイアフラム部と、前記ダイア
フラム部に形成された発熱体と、前記発熱体の両
側に形成された測温抵抗体と、前記基台に形成さ
れた気体の流れる方向を規制するパターンとを設
けたことを特徴とする流速センサ。 (2) 請求項１において、前記気体の流れる方向
を規定するパターンは目視可能なパターンとした
ことを特徴とする流速センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10901990U JPH0466578U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10901990U JPH0466578U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0466578U true JPH0466578U (ja) | 1992-06-11 |
Family
ID=31856175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10901990U Pending JPH0466578U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0466578U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60142268A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-27 | 株式会社山武 | 流速センサ |
| JPS63122963A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-26 | フアオ・デ−・オ−・ア−ドルフ・シントリング・アクチエンゲゼルシヤフト | 流動方向測定装置 |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP10901990U patent/JPH0466578U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60142268A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-27 | 株式会社山武 | 流速センサ |
| JPS63122963A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-26 | フアオ・デ−・オ−・ア−ドルフ・シントリング・アクチエンゲゼルシヤフト | 流動方向測定装置 |