JPH0466578U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0466578U JPH0466578U JP10901990U JP10901990U JPH0466578U JP H0466578 U JPH0466578 U JP H0466578U JP 10901990 U JP10901990 U JP 10901990U JP 10901990 U JP10901990 U JP 10901990U JP H0466578 U JPH0466578 U JP H0466578U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- pattern
- flow velocity
- velocity sensor
- heating element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
Description
第1図は本考案による流速センサの一実施例に
よる構成を示す平面図、第2図は第1図の要部拡
大平面図、第3図a〜iはダイアフラム部の形成
方法を説明する要部拡大断面図、第4図は従来の
流速センサの構成を示す平面図である。 1……半導体基板、2……空隙部、3a……ダ
イアフラム部、4……ヒータエレメント、5……
上流側測温抵抗エレメント、6……下流側測温抵
抗エレメント、8……矢印方向、11……スリツ
ト、111,112,113,114……スリツ
ト部、12……平面領域、131,132……矢
印方向パターン。
よる構成を示す平面図、第2図は第1図の要部拡
大平面図、第3図a〜iはダイアフラム部の形成
方法を説明する要部拡大断面図、第4図は従来の
流速センサの構成を示す平面図である。 1……半導体基板、2……空隙部、3a……ダ
イアフラム部、4……ヒータエレメント、5……
上流側測温抵抗エレメント、6……下流側測温抵
抗エレメント、8……矢印方向、11……スリツ
ト、111,112,113,114……スリツ
ト部、12……平面領域、131,132……矢
印方向パターン。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 基台と、前記基台の一部に空間を設けて薄
肉状に形成されたダイアフラム部と、前記ダイア
フラム部に形成された発熱体と、前記発熱体の両
側に形成された測温抵抗体と、前記基台に形成さ
れた気体の流れる方向を規制するパターンとを設
けたことを特徴とする流速センサ。 (2) 請求項1において、前記気体の流れる方向
を規定するパターンは目視可能なパターンとした
ことを特徴とする流速センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10901990U JPH0466578U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10901990U JPH0466578U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0466578U true JPH0466578U (ja) | 1992-06-11 |
Family
ID=31856175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10901990U Pending JPH0466578U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0466578U (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60142268A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-27 | 株式会社山武 | 流速センサ |
JPS63122963A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-26 | フアオ・デ−・オ−・ア−ドルフ・シントリング・アクチエンゲゼルシヤフト | 流動方向測定装置 |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP10901990U patent/JPH0466578U/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60142268A (ja) * | 1983-12-27 | 1985-07-27 | 株式会社山武 | 流速センサ |
JPS63122963A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-26 | フアオ・デ−・オ−・ア−ドルフ・シントリング・アクチエンゲゼルシヤフト | 流動方向測定装置 |