JPH0255689A - レーザ装置用の産業用多関節ロボットにおける関節構造 - Google Patents

レーザ装置用の産業用多関節ロボットにおける関節構造

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JPH0255689A
JPH0255689A JP63203875A JP20387588A JPH0255689A JP H0255689 A JPH0255689 A JP H0255689A JP 63203875 A JP63203875 A JP 63203875A JP 20387588 A JP20387588 A JP 20387588A JP H0255689 A JPH0255689 A JP H0255689A
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JP
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laser
robot arm
arm
hollow
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JP63203875A
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Nobutoshi Torii
信利 鳥居
Susumu Ito
進 伊藤
Akihiro Terada
彰弘 寺田
Yasuo Sasaki
康夫 佐々木
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Fanuc Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/0869Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction
    • B23K26/0876Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions
    • B23K26/0884Devices involving movement of the laser head in at least one axial direction in at least two axial directions in at least in three axial directions, e.g. manipulators, robots
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0025Means for supplying energy to the end effector
    • B25J19/0029Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements
    • B25J19/0037Means for supplying energy to the end effector arranged within the different robot elements comprising a light beam pathway, e.g. laser

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、産業用多関節ロボットの関節構造に関し、特
にレーザ装置用のロボットとして用いられる多関節型ロ
ボットの2つの枢着腕間に設けられた関節の改良構造に
関する。
〔従来の技術〕
最近、レーザ装置を利用した溶接、切断、パリ取り等を
産業用多関節ロボットにより実行可能にしたレーザ装置
搭載型の産業用多関節ロボットが提供されている。この
従来のレーザ装置搭載型の産業用多関節ロボットは、第
4図−に典型例を図示のごとく、ロボット機体10の第
1ロボット腕12、第2ロボット腕14の外部に、パイ
プ手段や光学系から成るレーザ光路手段16を、上記第
1及び第2ロボット腕12.14の旋回動作と一体化し
て旋回可能に装備してロボット手首18の部分に設けた
レーザ出力部18aヘレーザ光源からレーザを導入する
外付は形の構造、又は、第5図に図示のように、ロボッ
ト機体10の第1ロボット腕12、第2ロボット腕14
の内部にレーザ光路手段16を内蔵させ、代わりに、第
1、第2ロボット腕12.14の駆動モータの配線類1
7を外部に配線した外付は構造を有している。
〔発明が解決すべき課題〕 然しなから、上述した従来のレーザ装置搭載型産業用ロ
ボットの構造では、レーザ光路手段16と配線類17の
何れかがロボット機体10の外部に露出した構造で存在
することから、レーザ装置の使用現場で、ロボット周囲
の他機種の機器、作業対象、工場付属設備等の周囲物件
と接触干渉を起こす危惧がある。周囲自由空間を予め充
分に確保しなければならない不利がある。加えて、レー
ザ光路手段や配線ケーブル類が外部へ露出した構造では
、作業現場の環境的な影響を受けてこれらのレーザ光路
手段や配線ケーブルの素材が徐々に劣化し、破損や故障
の原因となる。特に、レーザ光路手段の劣化は安全面の
観点からも厄介な問題となる。
依って、本発明は、このうような従来のレーザ装置搭載
型の産業用多関節ロボットにおける問題点を一気に解決
すべく、レーザ光路形成手段をロボット機体内に内蔵す
ると共にロボット可動部の駆動源を形成する駆動モータ
への電力供給や制御信号の授受、圧力空気の供給管等の
ケーブル類をロボット機体内にコンパクトに収納し、し
かも関節部においてケーブル絡みを巧みに防止するよう
に処理した構造を有するレーザ装置用の産業用多関節ロ
ボットを提供せんとしたものである。
〔解決手段と作用〕
すなわち、本発明によれば、第1と第2の旋回性ロボッ
ト腕が互いに関節を介して枢着結合されると共に第2ロ
ボット腕の先端にロボット手首により保持されたレーザ
装置を有し、前記第1、第2ロボット腕内に配置された
レーザ光路用の導管と光学系とを介してレーザ光を上記
レーザ装置に導くようにしたレーザ装置用の多関節ロボ
ットにおいて、前記関節は、前記第1、第2のロボット
腕の相対旋回軸心に該第1ロボット腕から立設されたレ
ーザ光路用導管を形成する中空固定軸を具備し、該中空
固定軸の内部筒状空間がレーザ光路用導管を形成すると
共に軸外周を配線ケーブルのつる巻き処理面として形成
したレーザ装置用の多関節ロボットにおける関節構造が
提供され、レーザ光路形成用のレーザ導管は、光学系と
共に第1、第2ロボット腕、ロボット手首等のロボット
可動部内に収納してレーザ光をロボット機体内部を経由
してレーザ出力部に導くから、安全性の確保が可能とな
り、また、関節を構成する中空軸は内部管路をレーザ光
路に、また、軸外周をケーブルの巻き付は面に形成した
ことにより、コンパクトで且つケーブル絡みの無い関節
構造が得られるのである。
以下、本発明を添付図面に示す実施例に基づいて更に、
詳細に説明する。
〔実施例〕
第1図は、本発明によるレーザ装置用の産業用多関節ロ
ボット(以下、単にレーザロボットと記載する。)の構
成を示す断面図である。
同第1図を参照すると、本発明の実施例として水平関節
型ロボットに構成されたレーザロボット20は、使用現
場の床面に設置される固定ベース22を有し、この固定
ベース22上には旋回性または上下可動性の可動要素或
いは、所望に応じて静止要素として形成されるコラ11
24が立設されている。このコラム24の頂部には水平
面内で旋回可能(θ軸回転)な第1ロボット腕26の末
端26aが取付けられている。また、この第1ロボット
腕26の先端26b側には同じく水平面内で旋回可能(
U軸回転)な第2のロボット腕28が枢着されている。
この第2ロボット腕28の先端部28aにはロボット手
首30が取付けられ、そのロボット手首30には、集光
レンズ32を具備したレーザ出力部34が後述のように
、縦軸(2軸)方向に上下動可能に装着されている。こ
こで、第1ロボット腕26のθ旋回を駆動する駆動モー
タMθは、近時、ロボット産業と共に発展の著しい直接
駆動型モータ(DDモータ)で形成されて、コラム24
の最頂部24aに軸受38を介して枢着、係合した第1
ロボット腕26の末端26Hのフランジ内に装着され、
該駆動モータMθの回転要素側が第1ロボット腕26と
共に回転する構成にある。上記駆動モータMθの固定要
素の中心は中空孔36が形成され、後述する第2ロボッ
ト腕28の駆動モ、−タMUやロボット手首30の駆動
モーフMzに対するケーブルがロボットベース22、コ
ラノ・24から第1ロボット腕26へ通過している。第
2ロボット腕28の駆動モータMUもDDモータにより
形成され、第1ロボット腕26の先端26bにモータ固
定要素側を結合し、回転要素側を第2ロボット腕28の
末端28bに結合させ、以て第1ロボット腕28のU軸
回転を駆動するように成っている。この駆動モータMU
に対する駆動電力、制御信号授受を行う配線は、上記の
駆動モータMθの中空孔36を通過してロ第10ボット
腕26内に配線された電気配線40により達成される。
また、第2ロボット腕28の中間部分には、ロボット手
首30に保持された前記のレーザ出力部34の上下動駆
動源となる駆動モータMzが取付けられている。この駆
動モーフMzは通常の交流ザーボモークから成り、出力
軸の軸端を第2ロボット腕28内で下向きに突出させる
ように取付、固定されており、その出力軸に装着された
プーリ42から伝動ベルト44を介して回転力がロボッ
ト手首30側へ伝達される。すなわち、ロボット手首3
0のボールナツト要素66に取付けられたプーリ64を
回転させ、該ポールナツト要素66に係合したレーザ出
力部34の中空構造を有したボールねじ軸34aを作動
させることにより、該レーザ出力部34自体を上下方向
に動作させ、レーザを利用した被作業対象であるワーク
(図示なし)ヘレーザ出力部34を接近させ、また、離
反させるのである。上記中空構造のボールねじ軸34a
は、その内部円筒空間がレーザ光路を成すものである。
ここで、手首駆動用の駆動モータMzに対する電力供給
用及び制御信号の授受用のケーブル41は前述の第2ロ
ボット腕28の駆動モータMUのケーブル40と同様に
ロボットベース22から駆動モータMθの中空孔36を
経て第1ロボット腕26内に導入され、次いで、第2図
に図示のように、該第1ロボット腕26の中央部から外
部に弓き出され、MS 1ロボット腕26から第2ロボ
ット腕28内に立設された後述の固定中空軸54へ架設
されたケーブルガイド45の保持、案内で第2ロボット
腕28の末端28bへ導かれ、そこから第2ロボット腕
28内に一旦入る。ことき、外部に引き出されたケーブ
ル部分は、ケーブルガイド45に取着したケーブルカバ
ー452により、保護されている。次にケーブル41は
、第1ロボット腕26と第2ロボット腕28との関節結
合部に設けられた関節軸の構成要素である前記固定中空
軸54の軸外周面に適宜回数に渡り、つる巻き状に巻回
されてから、駆動モータMzに結線されている。このと
き、上記中空軸54の外周部には中空ブラケット58が
後述のように、レーザ光路のミラー固定ブラケッ)46
cを支持する支持ブラケットとして軸受60を介して旋
回可能に設けられ、この中空ブラケット58の上端側か
ら中空軸54に巻き付き、つる巻状に周回してから中空
ブラケット58の下方から第2ロボット腕28内の空間
に出て、そこから、駆動モータMzに達して結線されて
いる。このとき、上記中空軸54の外周面でのつる巻き
回数は、第2ロボット腕28の旋回量に応じて適宜に設
計、選定されるもので、第2ロボット腕28の旋回に従
って、ケーブル41が中空軸54の外周面に巻き付き或
いは、巻き解き作用をおこない、無理な引っ張り力が掛
かるケーブルにことなく、かつ、不必要なケーブル弛み
が無いように配線されるのである。つまり、コンパクト
なケーブル処理が関節軸を形成する中空軸54の周囲に
達成されるのである。
さて、本発明によるレーザロボット20は、レーザ光源
80から適宜のレーザ導管路を経て、導かれたレーザを
、ロボット20の第1ロボット腕26内に設けられたブ
ラケッ)46aに軸受82を介して立設されたレーザ人
力導管50によりロボッ)1体内に導入される。次いで
、レーザは、上記ブラケッ)46a内に固定された反射
ミラー84でレーザ進路を略直角に変更され、第1ロボ
ット腕26内の略中心部に末端側から先端側に向けて固
定状態で延設されたレーザ導管52内を進む。更に、レ
ーザ導管52を出たレーザは第1ロボット腕26の先端
26 b側のブラゲッ)46b内に固定された反射ミラ
ー86によって前記中空軸54内部の管路に進路を略直
角に変更され、該中空軸54内を進む。レーザは次いで
中空軸54の外側に配設された前述の中空1造の筒状支
持ブラケット58の上部に取付は固定されたブラケット
46C内に固定された反射ミラー88で再び進路を略直
角に変更され、第2ロボット腕28内のレーザ導管90
内を前方に向けて進む。該レーザ導管90の先端にはブ
ラケット92内に固定保持された反射ミラー94が設け
られ、このミラー94により、ロボット手首30のレー
ザ出力部34における中空構造の前記ボールねじ軸34
a内を進み、集光レンズ32で集光され、手首の下方か
ら被作業対象であるワークへ出力される。レーザ光によ
る作業内容はワークの切断、または、溶接やパリ取り等
が有る。
以上の記載から明らかなように、本例のレーザロボット
20では外部のレーザ光源80から導かれたレーザは、
ロボット20の機体内、つまり、第1、第2ロボット腕
26.28の内部及びロボット手首30を経て出力され
るレーザ導管配置を有していることにより、高エネルギ
ーのレーザ光光路手段がロボット機体内に内蔵された構
成になり、従って、レーザ光の利用における安全性が著
しく向上するのである。
ここで第3図を参照すると、同図は、上記の第2ロボッ
ト腕28内に設けられた旋回性の中空ブラケット58と
、この中空筒形ブラケット58上に支持されたミラー固
定用ブラケッ)46cの形状、構造とを示したものであ
り、特に中空筒形ブラケット58は上方にケーブル41
の入口58aを(1stえ、また、下方には上記導入口
58aと略180°隔てた位置にケーブル41の出口5
8bを備えていることを示している。上記人口58aか
ら導入されたケーブル41が中空固定軸54の外周面に
つる巻状に巻回され、次いで、出口58bから第2ロボ
ット腕28内の空間に出°C1最短距離で駆動モータM
zに配線されるのである。この中空筒形ブラケット58
は下端のフランジにより第2ロボット腕28の末端28
aに固定され、上端は回転軸受60 (第1図参照)を
介して中空固定軸54の上部に係合している。そして、
上方部にブラケット46cを支持し、このブラケット4
6C内にレーザ光の反射ミラー88がレーザ入射光に対
して定角度を維持した状態で固定、支持されているので
ある。
以上、本発明を典型的な水平多関節型口ボットノ構成を
有したレーザロボットに関して説明したが、特に、レー
ザ光路の内蔵構成は、円筒座標型ロボットにも適用可能
なことは容易に理解できよう。
〔発明の効果〕
以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明に
よれば、レーザ装置用の産業ロボットにおいて、ロボッ
トベース側から順次に先端に連接配置される夫々のロボ
ット可動部の駆動源に対する電力供給、制御信号授受を
行うケーブルを可効要岩、特に、第1、第2のロボット
腕の関節結合部においC、コンパクトに巻回処理して、
第1、第2ロボット腕間の相互旋回時にゲーブルに無理
な張力や余分な弛みを生ぜしめることなく配線した構成
を有し、しかも、レーザ光路手段をロボット機体内に確
保する構成としたから、レーザ光路をも完全にロボット
機体内に内蔵して、安全性の向上を達成できたのである
。よって、その結果、安全で作用信頼性の高いコンパク
トなレーザロボットが提供されることに成ったのである
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明によるレーザ装置用の産業用多関節ロ
ボットの実施例の構成を示す断面図、第2図は、同第1
rAの■−■線による矢視図、第3図は第1図に示した
レーザロボットの内部に段けられた中空筒形支持ブラケ
ットの構成を示す斜視図、第4と第5図とは、従来のレ
ーザ装置搭載型の産業用多関節ロボットの典型例を示す
略示機構図。 20・・・レーザロボット、 2・・・ロボットベース、 4・・・コラノ・、 6・・・第1ロボット腕、 訃・・第2ロボット腕、 0・・・ロボット手首、 4・・・レーザ出力部、 0.52.90・・・レーザ導管、 4・・・中空固定軸、 8・・・中空筒形支持ブラケット、 3 a、 58 b−人口、出口、 0.41・・・配線、 0・・・レーザ光源、 θ、MUSMz・・・駆動モータ。 レーザ入力 第 図 第 図 第 凶 −り 千 べ^ J・ニー1 手 続 補 正 書 (方式) 補正の対象 (1)明細書の 「発明の名称」 の欄。 昭和63年12月7日

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、第1と第2の旋回性ロボット腕が互いに関節を介し
    て枢着結合されると共に第2ロボット腕の先端にロボッ
    ト手首により保持されたレーザ装置を有し、前記第1、
    第2ロボット腕内に配置されたレーザ光路用の導管と光
    学系とを介してレーザ光を上記レーザ装置に導くように
    したレーザ装置用の多関節ロボットにおいて、前記関節
    は、前記第1、第2のロボット腕の相対旋回軸心に該第
    1ロボット腕から立設されたレーザ光路用導管を形成す
    る中空固定軸を具備し、該中空固定軸の内部筒状空間が
    レーザ光路用導管を形成すると共に軸外周を配線ケーブ
    ルのつる巻き処理面として形成したことを特徴としたレ
    ーザ装置用の多関節ロボットにおける関節構造。 2、前記関節は、前記中空固定軸の周囲に前記第2ロボ
    ット腕と共に旋回する中空筒形ブラケットを軸受を介し
    て設け、該中空筒形ブラケットの頂部に前記中空固定軸
    内のレーザ光路用導管を通過したレーザ光の進路変更用
    ミラーから成る光学系を固定した構成から成る特許請求
    の範囲1、項に記載のレーザ装置用の多関節ロボットに
    おける関節構造。 3、前記配線ケーブルは前記第1ロボット腕からケーブ
    ルガイドの案内で前記第1ロボット腕内に導入され、前
    記中空筒形ブラケットの入口から前記中空固定軸の外周
    面に巻回され、更に前記中空筒形ブラケットの出口から
    第2ロボット腕内の駆動モータに配線、結合されたこと
    を特徴とした特許請求の範囲2、に記載のレーザ装置用
    の多関節ロボットにおける関節構造。
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0471855A1 (en) * 1990-03-08 1992-02-26 Fanuc Ltd. Industrial robot with cable arrangement system
JPH0540094A (ja) * 1991-08-07 1993-02-19 Sumitomo Metal Ind Ltd 溶融金属の成分分析装置
US8168545B2 (en) 2006-12-12 2012-05-01 Solarworld Innovations Gmbh Solar cell fabrication using extruded dopant-bearing materials
US8426724B2 (en) 2008-09-09 2013-04-23 Palo Alto Research Center Incorporated Interdigitated back contact silicon solar cells with separating grooves
US8846431B2 (en) 2011-03-03 2014-09-30 Palo Alto Research Center Incorporated N-type silicon solar cell with contact/protection structures
CN104440937A (zh) * 2013-09-20 2015-03-25 株式会社不二越 工业机器人
US9150966B2 (en) 2008-11-14 2015-10-06 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell metallization using inline electroless plating
CN105127600A (zh) * 2015-09-16 2015-12-09 陈旭东 一种模具激光雕刻机
CN105127589A (zh) * 2015-09-08 2015-12-09 上海嘉强自动化技术有限公司 一种内部可通激光束的类scara机器人
CN106041383A (zh) * 2016-06-30 2016-10-26 江苏捷帝机器人股份有限公司 一种安全型自动焊接机械手
CN106078026A (zh) * 2016-06-30 2016-11-09 江苏捷帝机器人股份有限公司 一种智能型自动焊接机械手
CN106733942A (zh) * 2016-12-23 2017-05-31 武汉金顿激光科技有限公司 一种基于柔性光路的激光清洗装置

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0471855A4 (en) * 1990-03-08 1992-11-11 Fanuc Ltd. Industrial robot with cable arrangement system
EP0471855A1 (en) * 1990-03-08 1992-02-26 Fanuc Ltd. Industrial robot with cable arrangement system
JPH0540094A (ja) * 1991-08-07 1993-02-19 Sumitomo Metal Ind Ltd 溶融金属の成分分析装置
US8168545B2 (en) 2006-12-12 2012-05-01 Solarworld Innovations Gmbh Solar cell fabrication using extruded dopant-bearing materials
US9054237B2 (en) 2008-09-09 2015-06-09 Palo Alto Research Center Incorporated Interdigitated back contact silicon solar cells fabrication using diffusion barriers
US8426724B2 (en) 2008-09-09 2013-04-23 Palo Alto Research Center Incorporated Interdigitated back contact silicon solar cells with separating grooves
US9150966B2 (en) 2008-11-14 2015-10-06 Palo Alto Research Center Incorporated Solar cell metallization using inline electroless plating
US8962424B2 (en) 2011-03-03 2015-02-24 Palo Alto Research Center Incorporated N-type silicon solar cell with contact/protection structures
US8846431B2 (en) 2011-03-03 2014-09-30 Palo Alto Research Center Incorporated N-type silicon solar cell with contact/protection structures
CN104440937A (zh) * 2013-09-20 2015-03-25 株式会社不二越 工业机器人
CN105127589A (zh) * 2015-09-08 2015-12-09 上海嘉强自动化技术有限公司 一种内部可通激光束的类scara机器人
CN105127600A (zh) * 2015-09-16 2015-12-09 陈旭东 一种模具激光雕刻机
CN106041383A (zh) * 2016-06-30 2016-10-26 江苏捷帝机器人股份有限公司 一种安全型自动焊接机械手
CN106078026A (zh) * 2016-06-30 2016-11-09 江苏捷帝机器人股份有限公司 一种智能型自动焊接机械手
CN106733942A (zh) * 2016-12-23 2017-05-31 武汉金顿激光科技有限公司 一种基于柔性光路的激光清洗装置

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