JPH0251289A - レーザー光線による複合圧電素子材料の製作方法 - Google Patents
レーザー光線による複合圧電素子材料の製作方法Info
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- JPH0251289A JPH0251289A JP63201874A JP20187488A JPH0251289A JP H0251289 A JPH0251289 A JP H0251289A JP 63201874 A JP63201874 A JP 63201874A JP 20187488 A JP20187488 A JP 20187488A JP H0251289 A JPH0251289 A JP H0251289A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、プラスチックスのマトリックスに蕪機圧１体
を配置する複合圧電素子材料の製作方法に関し、詳しく
は、簡単な手段で短時間のうちに複合圧電素子材料をつ
くることができる複合圧電素子材料の製作方法に関する
。
を配置する複合圧電素子材料の製作方法に関し、詳しく
は、簡単な手段で短時間のうちに複合圧電素子材料をつ
くることができる複合圧電素子材料の製作方法に関する
。
本発明により製作された複合圧Ｎ：Ｉｅ子材料は、圧電
圧効果を利用する圧電素子、待に超音波の受波および感
圧センサーとして利用するのに適している。
圧効果を利用する圧電素子、待に超音波の受波および感
圧センサーとして利用するのに適している。
本発明の複合圧電素子材料の製作方法は、製作コス１−
が低床で遺産をすることができる複合圧電素子材料の製
作に利用することができる。
が低床で遺産をすることができる複合圧電素子材料の製
作に利用することができる。
Ｃ技術の背景および従来技術の説明〕
チタン酸バリウムまたはＰＺＴ （チタン酸ジルコン
酸鉛）などの無機セラミックス圧電体は、電気機械結合
係数は大きいが、圧電電圧定数は、ｑ機高分子圧電体よ
りも小さい。また有機高分子圧電体は、圧電性があって
も、電気機械結合係数が小さい。
酸鉛）などの無機セラミックス圧電体は、電気機械結合
係数は大きいが、圧電電圧定数は、ｑ機高分子圧電体よ
りも小さい。また有機高分子圧電体は、圧電性があって
も、電気機械結合係数が小さい。
圧電圧効果を利用する圧電材料、すなわち超音波の受信
素子または感圧センサーは、軟らかくて、電気機械結合
係数および圧電電圧定数の大きい圧基材料が要望されて
いて、チタン酸バリウムやＰＺＴなどの無機セラミック
ス圧電材料とｑ機高分子材料を複合させて、電気機械結
合係数および圧電電圧定数の大きい圧電材料を製作する
ことが試みられている。
素子または感圧センサーは、軟らかくて、電気機械結合
係数および圧電電圧定数の大きい圧基材料が要望されて
いて、チタン酸バリウムやＰＺＴなどの無機セラミック
ス圧電材料とｑ機高分子材料を複合させて、電気機械結
合係数および圧電電圧定数の大きい圧電材料を製作する
ことが試みられている。
米国のニューハムらは、細いＰＺＴのファイバーをつく
り、これを有機物と複合化して、分極処理を施している
。〔ジャーナル・オブ・ジ・アメリカン・セラミック・
ソサイエテイ（Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆＴｈｅ Ａｍｅ
ｒｉｃａｎ Ｃｅｒａｍｉｃ ５ｏｃｉｅｔｙ ）
第６４ 巻 ｇ＋号ｆＭ５〜８０〕しかしながら、
この方法は、ＰＺＴと９機物の電気特性が異なるために
、その複合材料に、−様に高電圧を印加することが難か
しい。そこで性向らは、分極処理を施したＰＺＴの薄板
を切断加工して同様な構！（１，３−結合構造）の複合
圧電素子材料を製作した。（特願昭５８−２１８８３号
公報）また板状の無機圧電体にダイヤモンド刃による切
り込みを入れ、その（２）の刃状の無機圧１体の薄板を
、基板の上に、所定の間隔をおいて平行に並べ、接着し
て、棚の刃状の無機圧電体が規則正しく配列した基板を
つくり、この櫛の刃状の無機圧電体が規則正しく配列し
た基板を成形型に入れ、その成形型にｑ機高分子材料を
充填し、硬化した後、柵の刃状の無機圧電体の連通ずる
部分およびこれに１ｇ：着する基板の部分を、切り落し
て有機高分子のマトリックスに無機圧電体の角柱が規則
正しく配列する複合圧電素子材料の製作方法が提案され
た。（特願昭６１−２５６９７０号）しかしながら、チ
タン酸バリウムやチタン酸ジルコン酸鉛などのセラミッ
クス系の無機圧電体のダイヤモンド刃による機械的な切
削加工の際に、無機圧電体に大きな力が加わるために、
小さい無機圧電体を切削加工する場合は、無機圧電体を
固定することが難かしく、またその切削加工に長時間を
要する。
り、これを有機物と複合化して、分極処理を施している
。〔ジャーナル・オブ・ジ・アメリカン・セラミック・
ソサイエテイ（Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆＴｈｅ Ａｍｅ
ｒｉｃａｎ Ｃｅｒａｍｉｃ ５ｏｃｉｅｔｙ ）
第６４ 巻 ｇ＋号ｆＭ５〜８０〕しかしながら、
この方法は、ＰＺＴと９機物の電気特性が異なるために
、その複合材料に、−様に高電圧を印加することが難か
しい。そこで性向らは、分極処理を施したＰＺＴの薄板
を切断加工して同様な構！（１，３−結合構造）の複合
圧電素子材料を製作した。（特願昭５８−２１８８３号
公報）また板状の無機圧電体にダイヤモンド刃による切
り込みを入れ、その（２）の刃状の無機圧１体の薄板を
、基板の上に、所定の間隔をおいて平行に並べ、接着し
て、棚の刃状の無機圧電体が規則正しく配列した基板を
つくり、この櫛の刃状の無機圧電体が規則正しく配列し
た基板を成形型に入れ、その成形型にｑ機高分子材料を
充填し、硬化した後、柵の刃状の無機圧電体の連通ずる
部分およびこれに１ｇ：着する基板の部分を、切り落し
て有機高分子のマトリックスに無機圧電体の角柱が規則
正しく配列する複合圧電素子材料の製作方法が提案され
た。（特願昭６１−２５６９７０号）しかしながら、チ
タン酸バリウムやチタン酸ジルコン酸鉛などのセラミッ
クス系の無機圧電体のダイヤモンド刃による機械的な切
削加工の際に、無機圧電体に大きな力が加わるために、
小さい無機圧電体を切削加工する場合は、無機圧電体を
固定することが難かしく、またその切削加工に長時間を
要する。
本発明者らは、チタン酸バリウムやチタン酸ジルコン酸
鉛に、レーザー３′！：１線を当てると、これらの材料
を短時間に切削加工することができることを知見し、こ
の知見に基づいて本発明に到達した。
鉛に、レーザー３′！：１線を当てると、これらの材料
を短時間に切削加工することができることを知見し、こ
の知見に基づいて本発明に到達した。
本発明の目的は、有機高分子のマトリックスの所望の位
ｎに無機圧電体が配列する複合圧電素子材料の製作方法
を提供することにあり、詳しくは、ｑ機高分子のマトリ
ックスの所望の位置にｉｆｌ圧′圧電１１体列する複合
圧電素子材料を開帳に製作することができる方法を提供
することにあり、さらに詳しくは、有機高分子の所望の
位置に無機圧電体が正確に配列する複合圧＠素子材料を
開帳に製作することができる方法を提供することにある
。
ｎに無機圧電体が配列する複合圧電素子材料の製作方法
を提供することにあり、詳しくは、ｑ機高分子のマトリ
ックスの所望の位置にｉｆｌ圧′圧電１１体列する複合
圧電素子材料を開帳に製作することができる方法を提供
することにあり、さらに詳しくは、有機高分子の所望の
位置に無機圧電体が正確に配列する複合圧＠素子材料を
開帳に製作することができる方法を提供することにある
。
本発明は、基板に接着した無機圧電体に、互に直交する
三方向の平行な切り込みを形成し、その切り込み部分の
空所に、有機高分子材料を充填し、硬化した後、基板お
よびこれに接着する無機圧電体の連通ずる部分を切り落
して、有機高分子材料のマトリックスに無機圧電体が独
立して配列する複合圧電素子材料を製作する方法におい
て、基板に接着した無機圧電体に、レーザー光線を互に
直交する二方向の各方向に平行に照射して、それぞれの
方向の切り込みを入れ、それによって基板に接着した無
機圧電体に、互に独立して規則正しく配列する無機圧１
体の柱状体を形成することを特徴とする複合圧電素子材
料の製作方法である。
三方向の平行な切り込みを形成し、その切り込み部分の
空所に、有機高分子材料を充填し、硬化した後、基板お
よびこれに接着する無機圧電体の連通ずる部分を切り落
して、有機高分子材料のマトリックスに無機圧電体が独
立して配列する複合圧電素子材料を製作する方法におい
て、基板に接着した無機圧電体に、レーザー光線を互に
直交する二方向の各方向に平行に照射して、それぞれの
方向の切り込みを入れ、それによって基板に接着した無
機圧電体に、互に独立して規則正しく配列する無機圧１
体の柱状体を形成することを特徴とする複合圧電素子材
料の製作方法である。
本発明により製作された複合圧電素子材料は、イｆＲ高
分子材料のマトリックスに、その両面に達する無機圧電
体が独立して規則正しく配列しているものである。
分子材料のマトリックスに、その両面に達する無機圧電
体が独立して規則正しく配列しているものである。
本発明により製作された複合圧電素子材料において、有
機高分子材料のマトリックスに配列する無機圧電体は、
無機圧電体が有機高分子材料に配列する面と直交する方
向に分極処理されたものであることが好ましく、このよ
うに分極処理された複合圧ｆａｆｆｉ子材料を基材料る
には、基板に接着した無機圧電体が、その！ｆｐ、着以
前に、その接着面と直交する方向に分極処理されたもの
であることを必要とする。
機高分子材料のマトリックスに配列する無機圧電体は、
無機圧電体が有機高分子材料に配列する面と直交する方
向に分極処理されたものであることが好ましく、このよ
うに分極処理された複合圧ｆａｆｆｉ子材料を基材料る
には、基板に接着した無機圧電体が、その！ｆｐ、着以
前に、その接着面と直交する方向に分極処理されたもの
であることを必要とする。
本発明による複合圧＠素子材料の製作を図面を参考にし
て説明する。
て説明する。
先ず最初に無機圧電体１を基板２に接着して、第１図に
示すとおりの基板２に接着ｆｆ１ｌＯを介して接着され
た無機圧電体ｌを製作する。基板２にＷＩ！着された無
機圧電体ｌに、レーザー光線を、第２図の３に示す方向
に平行に照射して、第２図に示すとおりの基板２に接着
された無機圧電体１を製作する。次に、これにレーザー
光線を、第３図の４に示す方向に平行にＭ射して、第３
図に示すとおりの基板２に接着された耶機圧電体１を製
作するが、この段階では無機圧電体ｌは、その上面に互
に独立して規則正しく配列する無機圧電体の柱状体１１
を形成する。
示すとおりの基板２に接着ｆｆ１ｌＯを介して接着され
た無機圧電体ｌを製作する。基板２にＷＩ！着された無
機圧電体ｌに、レーザー光線を、第２図の３に示す方向
に平行に照射して、第２図に示すとおりの基板２に接着
された無機圧電体１を製作する。次に、これにレーザー
光線を、第３図の４に示す方向に平行にＭ射して、第３
図に示すとおりの基板２に接着された耶機圧電体１を製
作するが、この段階では無機圧電体ｌは、その上面に互
に独立して規則正しく配列する無機圧電体の柱状体１１
を形成する。
次に、無機圧電体の柱状体１１を形成した無機圧電体ｌ
を接着する基板２の無機圧電体ｌの切り込み部分にＨ機
高分子材料を充填し、硬化して、第４図に示すとおりの
有機高分子材料のマトリックス５を形成し、第４図のＡ
−Ａ線の面で切断し、基板２およびこれに接着する棚の
刃状の無機圧電体ｌの連通ずる部分を切り落して、第５
図に示すとおりの複合圧電素子材料を製作する。この複
合圧電素子材料が本発明の製作物であって、有機高分子
材料のマトリックス５に無機圧電体の柱状物１１が互に
独立して規則正しく配列しており、無機圧電体の柱状物
１１は複合圧電素子材料の両面に達している。
を接着する基板２の無機圧電体ｌの切り込み部分にＨ機
高分子材料を充填し、硬化して、第４図に示すとおりの
有機高分子材料のマトリックス５を形成し、第４図のＡ
−Ａ線の面で切断し、基板２およびこれに接着する棚の
刃状の無機圧電体ｌの連通ずる部分を切り落して、第５
図に示すとおりの複合圧電素子材料を製作する。この複
合圧電素子材料が本発明の製作物であって、有機高分子
材料のマトリックス５に無機圧電体の柱状物１１が互に
独立して規則正しく配列しており、無機圧電体の柱状物
１１は複合圧電素子材料の両面に達している。
本発明により製作された複合圧電素子材料は、第６図に
示すとおりにその両面に電極６．６を形成し、このｆｌ
ｔ極６．６に交流常圧を印加すると、無機圧電体の柱状
物１１およびｑ機高分子材料が振動して交流電圧のサイ
クルに応じた振動を発生し、またこのｆ［を極６．６に
振動が与えられると、その振動数に応じたサイクルの交
流電圧が？３極６．６に生じる。
示すとおりにその両面に電極６．６を形成し、このｆｌ
ｔ極６．６に交流常圧を印加すると、無機圧電体の柱状
物１１およびｑ機高分子材料が振動して交流電圧のサイ
クルに応じた振動を発生し、またこのｆ［を極６．６に
振動が与えられると、その振動数に応じたサイクルの交
流電圧が？３極６．６に生じる。
本発明により製作された複合圧電素子材料は、第６図に
示すとおりの電極６．６を形成して、振動のセンサー、
超音波の発振子または超音波の検出素子などの用途に使
用する。
示すとおりの電極６．６を形成して、振動のセンサー、
超音波の発振子または超音波の検出素子などの用途に使
用する。
本発明の複合圧ＳＲ子材料の製作における無機圧電体ｌ
はチタン酸バリウム、チタン酸鉛またはチタン酸ジルコ
ン酸鉛（ＰＺＴ ）を使用することができるが、チタン
酸ジルコン酸鉛を使用するのが好ましい。
はチタン酸バリウム、チタン酸鉛またはチタン酸ジルコ
ン酸鉛（ＰＺＴ ）を使用することができるが、チタン
酸ジルコン酸鉛を使用するのが好ましい。
また有Ｎ？、”Ｅ分子材料は、シリコンゴムまたはウレ
タンゴムを使用するこ七ができるが、ウレタンゴムを使
用するのが好ましい。
タンゴムを使用するこ七ができるが、ウレタンゴムを使
用するのが好ましい。
またレーザー光線は、その光顕によって炭酸ガスレーザ
ーおよびＹＡＧレーザーがある。炭酸ガスレーザーは出
力は大きいが、光線束が太く、またＹＡＧレーザーは出
力は小さいが、光線束が細いので、ＹＡＧレーザーのレ
ーザー光線を使用するのが好ましい。
ーおよびＹＡＧレーザーがある。炭酸ガスレーザーは出
力は大きいが、光線束が太く、またＹＡＧレーザーは出
力は小さいが、光線束が細いので、ＹＡＧレーザーのレ
ーザー光線を使用するのが好ましい。
以下において実施例により本発明をさらに詳しく説明す
る。
る。
実施例１
（ＰＺＴ−ジルコニア複合板の調製）
ＰＺＴ （チタン酸ジルコン酸鉛）板［１０Ｍ（長す
）ＸＩＯｆｌ（郵）×１朋（厚す）〕を厚す方向に分極
処理した後、このＰＺＴ板に、ジルコニア板〔１ＯＩＩ
ＩＩＣ長す）ＸＩＱ龍（幅）×５順（厚す）］を、接着
剤（尚品名ニアロンアルファ、東亜合成化学社製品）に
より接着して、ＰＺＴ−ジルコニア複合板を調製した。
）ＸＩＯｆｌ（郵）×１朋（厚す）〕を厚す方向に分極
処理した後、このＰＺＴ板に、ジルコニア板〔１ＯＩＩ
ＩＩＣ長す）ＸＩＱ龍（幅）×５順（厚す）］を、接着
剤（尚品名ニアロンアルファ、東亜合成化学社製品）に
より接着して、ＰＺＴ−ジルコニア複合板を調製した。
（ＹＡＧレーザー光線による加エン
ＰＺＴ−ジルコニア複合板のＰＺＴ板の面の長す方向に
、ＹＡＧレーザー摸瞠（ＬＡＹ −６１５Ｂ、東芝社製
）よりＹＡＧレーザー光線を、５００１＋のピッチで１
１６射して、深す４９０ｐの平行な＠２４本を形成し、
さらにこのＰＺＴ−ジルコニア複合板のＰＺＴ板の面の
幅方向（長すカ向と直交する方向２に、このＹＡＧレー
ザー光線を５００μのピッチで照射して、深す４９０μ
の平行な溝２４本を形成し、このＰＺＴ−ジルコニア複
合板のＰＺＴ板の面に、規則正しく配列した角柱６２５
本（２５Ｘ２５）を形成して、ＰＺＴ （角柱）−ジル
コニア複合板を形成した。このＰＺＴ Ｉ角柱）−ジ
ルコニア複合板は、ＰＺＴの角柱（３７０ｐ Ｘ３７０
ｐ （上底） 、４９０ｐ Ｘ ４９０ｐ（下底）お
よび４９０μ Ｃ？：ＩＪす’） ） ６２５本がＰＺ
Ｔ基板（厚す：５１０ｐ）上に規則正しく配列するＰＺ
Ｔ角柱仮がジルコニア板にｆｆｌ’Ｗされたものであっ
た。
、ＹＡＧレーザー摸瞠（ＬＡＹ −６１５Ｂ、東芝社製
）よりＹＡＧレーザー光線を、５００１＋のピッチで１
１６射して、深す４９０ｐの平行な＠２４本を形成し、
さらにこのＰＺＴ−ジルコニア複合板のＰＺＴ板の面の
幅方向（長すカ向と直交する方向２に、このＹＡＧレー
ザー光線を５００μのピッチで照射して、深す４９０μ
の平行な溝２４本を形成し、このＰＺＴ−ジルコニア複
合板のＰＺＴ板の面に、規則正しく配列した角柱６２５
本（２５Ｘ２５）を形成して、ＰＺＴ （角柱）−ジル
コニア複合板を形成した。このＰＺＴ Ｉ角柱）−ジ
ルコニア複合板は、ＰＺＴの角柱（３７０ｐ Ｘ３７０
ｐ （上底） 、４９０ｐ Ｘ ４９０ｐ（下底）お
よび４９０μ Ｃ？：ＩＪす’） ） ６２５本がＰＺ
Ｔ基板（厚す：５１０ｐ）上に規則正しく配列するＰＺ
Ｔ角柱仮がジルコニア板にｆｆｌ’Ｗされたものであっ
た。
（シリコンゴム−ＰＺＴ複合圧Ｘ８体の調製）ＰｚＴ（
角柱）−ジルコニア複合板の周囲に型枠板をはめ込んで
、成形型を形成し、この成形型に、シリコンゴム（ＫＥ
−１２、信越シリコン社製品）を充填し、シリコンゴム
を硬化した後、型枠板を外してシリコンゴム−ＰＺＴ
（角柱）−ジルコニア複合板を調製した。
角柱）−ジルコニア複合板の周囲に型枠板をはめ込んで
、成形型を形成し、この成形型に、シリコンゴム（ＫＥ
−１２、信越シリコン社製品）を充填し、シリコンゴム
を硬化した後、型枠板を外してシリコンゴム−ＰＺＴ
（角柱）−ジルコニア複合板を調製した。
シリコンゴム−１’ＺＴ （角柱）−ジルコニア複合
板のＰＺＴの角柱部分を残して、ジルコニア板およびＰ
ＺＴの基板の部分を切り落して、シリコンゴムの７１〜
リツクスに、ＰＺＴの角柱６２５本が規則正しく配列し
たシリコンゴム−ＰＺＴ複合圧電体〔寸法：ｌｃｌ＋ｍ
（長す）×ｌＯ龍（鄭） Ｘ Ｏ，４９ｌ＋＋＋＋ （
厚す）、シリコンゴム／ ＰＺＴの体積分−４’（：４
１１５９）を調製した。
板のＰＺＴの角柱部分を残して、ジルコニア板およびＰ
ＺＴの基板の部分を切り落して、シリコンゴムの７１〜
リツクスに、ＰＺＴの角柱６２５本が規則正しく配列し
たシリコンゴム−ＰＺＴ複合圧電体〔寸法：ｌｃｌ＋ｍ
（長す）×ｌＯ龍（鄭） Ｘ Ｏ，４９ｌ＋＋＋＋ （
厚す）、シリコンゴム／ ＰＺＴの体積分−４’（：４
１１５９）を調製した。
実施例２
（ＹＡＧレーザー光線による加工およびシリコンゴム−
ＰＺＴ複合圧電体の調製） 実施例１におけるレーザー光線を、３６０μのピッチで
照射し、深す４００μの平行な溝２６本を形成したこと
、およびそのＰＺＴ （角柱）−ジルコニア複合板は
、ＰＺＴ （７）角柱（３２０１＋ Ｘ ３２０ｕ
（上１２Ｅ）、３５８μＸ３５８１＋（下底）および４
００μ ｃ高す）〕７２９本がＰＺＴ基板（厚す６００
１＋）上に規則正しく配列するＰＺＴ角柱板がジルコニ
ア板に接着されたものであること以外は、実施例１と同
様にして、シリコンゴム−ＰＺＴ複合圧電体〔寸法：Ｉ
Ｑ＋ｌＩｍ（長す）Ｘ１０＋ａｍ（齢）Ｘｏ、４朋（厚
す）、シリコンゴム／ ＰＺＴの体積分率：４２１５８
）を調製しｌこ 。
ＰＺＴ複合圧電体の調製） 実施例１におけるレーザー光線を、３６０μのピッチで
照射し、深す４００μの平行な溝２６本を形成したこと
、およびそのＰＺＴ （角柱）−ジルコニア複合板は
、ＰＺＴ （７）角柱（３２０１＋ Ｘ ３２０ｕ
（上１２Ｅ）、３５８μＸ３５８１＋（下底）および４
００μ ｃ高す）〕７２９本がＰＺＴ基板（厚す６００
１＋）上に規則正しく配列するＰＺＴ角柱板がジルコニ
ア板に接着されたものであること以外は、実施例１と同
様にして、シリコンゴム−ＰＺＴ複合圧電体〔寸法：Ｉ
Ｑ＋ｌＩｍ（長す）Ｘ１０＋ａｍ（齢）Ｘｏ、４朋（厚
す）、シリコンゴム／ ＰＺＴの体積分率：４２１５８
）を調製しｌこ 。
参考例
（ダイヤモンド刃による加工）
実施例１と同様にして調製したＰＺＴ−ジルコニア複合
板のＰＺＴ板の面の長す方向に、厚す１００μのダイヤ
モンド刃を用いて、５００μのピッチで深す５００１１
の平行な溝１９本を形成し、さらにこの［’ＺＴ−ジル
コニア複合板のＰＺＴ板の面の幅方向（長す方向と直交
する方向）に、同じ厚す１００μのダイヤモンド刃を用
いて、５００１１のピッチで深す５００μの平行な溝１
９本を形成し、このＰＺＴ −ジルコニア複合板の而に
、規則正しく配列した角柱４００本（２０Ｘ２０）！５
−形成シテ、ＰＺＴ （角柱）−ジルコニア複合板を
調製した。このＰＺＴ （角柱）−ジルコニア複合板
は、ＰＺＴの角柱〔３５０μ×３５０ｐ Ｘ５００ｐ
（高す） ） ４００本がＰＺＴ （ｉ’）基板（厚
す：５００μ）上に規則正しく配列するＰＺＴ角柱板が
ジルコニア仮に接着されたものであった。
板のＰＺＴ板の面の長す方向に、厚す１００μのダイヤ
モンド刃を用いて、５００μのピッチで深す５００１１
の平行な溝１９本を形成し、さらにこの［’ＺＴ−ジル
コニア複合板のＰＺＴ板の面の幅方向（長す方向と直交
する方向）に、同じ厚す１００μのダイヤモンド刃を用
いて、５００１１のピッチで深す５００μの平行な溝１
９本を形成し、このＰＺＴ −ジルコニア複合板の而に
、規則正しく配列した角柱４００本（２０Ｘ２０）！５
−形成シテ、ＰＺＴ （角柱）−ジルコニア複合板を
調製した。このＰＺＴ （角柱）−ジルコニア複合板
は、ＰＺＴの角柱〔３５０μ×３５０ｐ Ｘ５００ｐ
（高す） ） ４００本がＰＺＴ （ｉ’）基板（厚
す：５００μ）上に規則正しく配列するＰＺＴ角柱板が
ジルコニア仮に接着されたものであった。
（シリコンゴム−ｐｚｒｓｆ合圧？Ｉｔ体の調製）上記
のＩ）ＺＴ （角柱）−ジルコニア複合板を使用しｔ
ここと以外は、実施例１と同様にして、シリコンゴム−
ＰＺＴ複合圧電体〔寸法：１０關（長す）ＸＩＯ關（幅
）Ｘｏ、５朋（厚す）、シリコンゴム／ ＰＺＴの体積
分率：５１／４’ｌ）を調製した。
のＩ）ＺＴ （角柱）−ジルコニア複合板を使用しｔ
ここと以外は、実施例１と同様にして、シリコンゴム−
ＰＺＴ複合圧電体〔寸法：１０關（長す）ＸＩＯ關（幅
）Ｘｏ、５朋（厚す）、シリコンゴム／ ＰＺＴの体積
分率：５１／４’ｌ）を調製した。
試験例
（圧電諸定数の計測）
実施例１１実施例２および参考例のシリコンゴム−ＰＺ
Ｔ Ｗ合圧電体を使用し、これらのシリコンゴム−ＰＺ
Ｔ複合圧電体の両面に、電極として導電性銀ラッカー（
６２９０−０２７５、ＤＥＭＥＴＲＯＮ社製品）を室毎
し、測定装置（ＩＧＰＡ ４１９４Ａ ５ＹＩＩＰ社製
品）１−−よりｆｊＳｔ表に示す圧電諸定数を測定した
。
Ｔ Ｗ合圧電体を使用し、これらのシリコンゴム−ＰＺ
Ｔ複合圧電体の両面に、電極として導電性銀ラッカー（
６２９０−０２７５、ＤＥＭＥＴＲＯＮ社製品）を室毎
し、測定装置（ＩＧＰＡ ４１９４Ａ ５ＹＩＩＰ社製
品）１−−よりｆｊＳｔ表に示す圧電諸定数を測定した
。
ＦＥｔＢ諸定数の測定の結果は第１表に示すとおりであ
った。
った。
（＋）加工時間を短縮することができる。
（２）材料に機械的な力がかからず、材料を固定する心
安がなく、その作業の効率が大きい。
安がなく、その作業の効率が大きい。
（３）精密な加工をすることができる。（曲線状の加工
が可能である）
が可能である）
第１図は、本発明による複合圧Ｗ＆素子材料の製作にお
ける原材料の斜視図、第２図は、第１の中間製作物の斜
視図、第３図は、第２の中間製作物の斜視図、第４図は
、第３の中間製作物の斜視図、第５図は、本発明により
製作された複合圧電素子＋イ料の斜視図、そして第６図
は、本発明により製作された複合圧電素子材料の使用状
態を示す製作品の２−シ視図である。 出願人 積水化成品工業株式会社
ける原材料の斜視図、第２図は、第１の中間製作物の斜
視図、第３図は、第２の中間製作物の斜視図、第４図は
、第３の中間製作物の斜視図、第５図は、本発明により
製作された複合圧電素子＋イ料の斜視図、そして第６図
は、本発明により製作された複合圧電素子材料の使用状
態を示す製作品の２−シ視図である。 出願人 積水化成品工業株式会社
Claims (1)
- （１）基板に接着した無機圧電体に、互に直交する二方
向の平行な切り込みを形成し、その切り込み部分の空所
に有機高分子材料を充填し、硬化した後、基板およびこ
れに接着する無機圧電体の連通する部分を切り落して、
有機高分子材料のマトリックスに、無機圧電体が独立し
て配列する複合圧電素子材料を製作する方法において、
基板に接着した無機圧電体における互に直交する二方向
の平行な切り込みが、レーザー光線の照射により形成さ
れることを特徴とする複合圧電素子材料の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63201874A JPH0251289A (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | レーザー光線による複合圧電素子材料の製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63201874A JPH0251289A (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | レーザー光線による複合圧電素子材料の製作方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0251289A true JPH0251289A (ja) | 1990-02-21 |
| JPH0533836B2 JPH0533836B2 (ja) | 1993-05-20 |
Family
ID=16448304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63201874A Granted JPH0251289A (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | レーザー光線による複合圧電素子材料の製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0251289A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6873090B2 (en) | 2001-01-25 | 2005-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezocomposite, ultrasonic probe for ultrasonic diagnostic equipment, ultrasonic diagnostic equipment, and method for producing piezocomposite |
| US6919668B2 (en) | 2001-12-06 | 2005-07-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Composite piezoelectric element |
| US6984922B1 (en) | 2002-07-22 | 2006-01-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Composite piezoelectric transducer and method of fabricating the same |
| US7009326B1 (en) * | 1999-10-28 | 2006-03-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ultrasonic vibration apparatus use as a sensor having a piezoelectric element mounted in a cylindrical casing and grooves filled with flexible filler |
| DE10012284B4 (de) * | 1999-03-15 | 2014-10-30 | Lg Information & Communications, Ltd. | Pilotsignale für die Synchronisation und/oder Kanalschätzung |
| CN111246354A (zh) * | 2018-11-29 | 2020-06-05 | 乐金显示有限公司 | 振动产生装置和包括该振动产生装置的电子设备 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821883A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-08 | Hitachi Medical Corp | 複合圧電材料の製造方法 |
| JPS60170314A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-09-03 | ルネ レフエ−ヴル | レ−ザ加工を用いて小型圧電装置を製造する方法及びこの方法によつて作られた装置 |
| JPS6384174A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-14 | Toyota Motor Corp | 電歪効果素子の製造方法 |
| JPS63168061A (ja) * | 1987-01-01 | 1988-07-12 | Sekisui Plastics Co Ltd | 複合圧電材料およびその製作方法 |
-
1988
- 1988-08-15 JP JP63201874A patent/JPH0251289A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5821883A (ja) * | 1981-08-03 | 1983-02-08 | Hitachi Medical Corp | 複合圧電材料の製造方法 |
| JPS60170314A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-09-03 | ルネ レフエ−ヴル | レ−ザ加工を用いて小型圧電装置を製造する方法及びこの方法によつて作られた装置 |
| JPS6384174A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-14 | Toyota Motor Corp | 電歪効果素子の製造方法 |
| JPS63168061A (ja) * | 1987-01-01 | 1988-07-12 | Sekisui Plastics Co Ltd | 複合圧電材料およびその製作方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10012284B4 (de) * | 1999-03-15 | 2014-10-30 | Lg Information & Communications, Ltd. | Pilotsignale für die Synchronisation und/oder Kanalschätzung |
| US7009326B1 (en) * | 1999-10-28 | 2006-03-07 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ultrasonic vibration apparatus use as a sensor having a piezoelectric element mounted in a cylindrical casing and grooves filled with flexible filler |
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| US7424771B2 (en) | 2001-01-25 | 2008-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of producing a piezocomposite |
| US6919668B2 (en) | 2001-12-06 | 2005-07-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Composite piezoelectric element |
| US6984922B1 (en) | 2002-07-22 | 2006-01-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Composite piezoelectric transducer and method of fabricating the same |
| CN111246354A (zh) * | 2018-11-29 | 2020-06-05 | 乐金显示有限公司 | 振动产生装置和包括该振动产生装置的电子设备 |
| CN111246354B (zh) * | 2018-11-29 | 2021-11-30 | 乐金显示有限公司 | 振动产生装置和包括该振动产生装置的电子设备 |
| US11596980B2 (en) | 2018-11-29 | 2023-03-07 | LG Display Co,. Ltd. | Vibration generating device and electronic apparatus including the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0533836B2 (ja) | 1993-05-20 |
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