JPH0251242A - 半導体装置組立方法 - Google Patents
半導体装置組立方法Info
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- JPH0251242A JPH0251242A JP20235288A JP20235288A JPH0251242A JP H0251242 A JPH0251242 A JP H0251242A JP 20235288 A JP20235288 A JP 20235288A JP 20235288 A JP20235288 A JP 20235288A JP H0251242 A JPH0251242 A JP H0251242A
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- resin
- sealing resin
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 47
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 47
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 43
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 5
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 8
- 239000011800 void material Substances 0.000 abstract description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 2
- 239000006260 foam Substances 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は半導体装置組立方法に係り、特には、配線基板
等にＩＣチップを直接実装し、電気的接続を行った後、
板片状に打錠した封止用樹脂体を載置し、該封止用樹脂
体を溶融、硬化させて封止を行うことにより半導体装置
の組立を行う半導体装置組立方法の改良に関するもので
ある。
等にＩＣチップを直接実装し、電気的接続を行った後、
板片状に打錠した封止用樹脂体を載置し、該封止用樹脂
体を溶融、硬化させて封止を行うことにより半導体装置
の組立を行う半導体装置組立方法の改良に関するもので
ある。
〈従来の技術〉
基板等にＩＣチップを直接実装し、電気的接続を行った
後、樹脂で封止する場合の従来技術として、板片状に打
錠した封止用樹脂体を封止部分に載置し、該樹脂体を溶
融、硬化させて封止する方法がある。この場合、樹脂体
の溶融粘度が板片内で均一のため、その樹脂の溶融時流
れ性（溶融樹脂と基板等とのヌレ性）によっては、樹脂
が流れすぎ、（１）封止樹脂エリアから、はみ出し、不
良となったり（第２図（ａ） ） 、（２１封脂樹脂厚
が不均一となり、ＩＣチップと基板を接続する配線材が
はみ出したり、ＩＣチップが露出し、不良となる（第２
図（ｂ））。また、高粘度、高チタン（チクソトロピー
）性にすると、気泡が抜けにくく、ボイド不良となる。
後、樹脂で封止する場合の従来技術として、板片状に打
錠した封止用樹脂体を封止部分に載置し、該樹脂体を溶
融、硬化させて封止する方法がある。この場合、樹脂体
の溶融粘度が板片内で均一のため、その樹脂の溶融時流
れ性（溶融樹脂と基板等とのヌレ性）によっては、樹脂
が流れすぎ、（１）封止樹脂エリアから、はみ出し、不
良となったり（第２図（ａ） ） 、（２１封脂樹脂厚
が不均一となり、ＩＣチップと基板を接続する配線材が
はみ出したり、ＩＣチップが露出し、不良となる（第２
図（ｂ））。また、高粘度、高チタン（チクソトロピー
）性にすると、気泡が抜けにくく、ボイド不良となる。
基板等にＩＣチップを直接実装する方式は、薄型、小型
を１指した高密度実装パッケージである。
を１指した高密度実装パッケージである。
したがって、ｒｃチップを封止する樹脂の厚み、領域を
一定の範囲に納めることは非常に重要なこととなる。そ
のため、従来技術の一つとして、封止枠を置き、ダムと
して設け、封止樹脂の厚み、領域を制御するようにした
ものがある（第３図参照）。
一定の範囲に納めることは非常に重要なこととなる。そ
のため、従来技術の一つとして、封止枠を置き、ダムと
して設け、封止樹脂の厚み、領域を制御するようにした
ものがある（第３図参照）。
〈発明が解決しようとする課題〉
しかしながら、上記の方法では、枠の貼付工程、枠コス
ト等に問題があり、低コストで、しかも軽薄短小の実装
が困難となる。
ト等に問題があり、低コストで、しかも軽薄短小の実装
が困難となる。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、上記封
止枠を不要とし、低コストにて薄型、小型の高密度実装
パッケージを実現できる半導体装置組立方法を提供する
ことを目的とするものである。
止枠を不要とし、低コストにて薄型、小型の高密度実装
パッケージを実現できる半導体装置組立方法を提供する
ことを目的とするものである。
く課題を解決するための手段〉
基板等にＩＣチップを直接実装し、電気的接続と行った
後、板片状に打錠した封止用樹脂体全載置し、該封止用
樹脂体を溶融、硬化させて封止を行うことにより半導体
装置の組立を行う半導体装置の組立方法に於いて、上記
封止用樹脂体として、中央部の溶融粘度を低くし、周囲
部の溶融粘度を高くした封止用樹脂体を用いる。
後、板片状に打錠した封止用樹脂体全載置し、該封止用
樹脂体を溶融、硬化させて封止を行うことにより半導体
装置の組立を行う半導体装置の組立方法に於いて、上記
封止用樹脂体として、中央部の溶融粘度を低くし、周囲
部の溶融粘度を高くした封止用樹脂体を用いる。
く作用〉
上記本発明の構成とすることにより、封止後（溶融、硬
化後）の形状を均一にし、封止後の樹脂厚、領域を一定
の範囲内に納めることが容易にでき、これに伴う余分な
工程等が無い為、低加工費、低コストにて、薄型、小型
の高密度実装パッケージが実現できる。また、ボイド不
良の発生も低減でき、高信頼性パッケージとなる。
化後）の形状を均一にし、封止後の樹脂厚、領域を一定
の範囲内に納めることが容易にでき、これに伴う余分な
工程等が無い為、低加工費、低コストにて、薄型、小型
の高密度実装パッケージが実現できる。また、ボイド不
良の発生も低減でき、高信頼性パッケージとなる。
〈実施例〉
以下、詳細に説明する。
ｒｃチップを基板に直接実装した後の封止用樹脂体とし
て、板片状に打錠したものを用いることは従来から行わ
れているが、これは秤量後（定量）打錠しである為、均
一量の樹脂を容易にボッティングするには最良の方法で
ある。本発明は、板片ヌレに〈〈シ、溶融時粘度を高く
し、チタン性を持たせ、打錠時の形状を、溶融時、硬化
後も保持できるようにする。さらに、中央部は、これと
は反対に溶融時粘度を下げ、ＩＣチップ／基板間接続用
配線等の立体的障害物下に流れ込み易くし、封止時の巻
き込み気泡や基板等からの封止時アウトガスを容易に抜
は易くし、封止後、封止樹脂中ボイド、被封止物と封止
樹脂間の間隙を無くすことができる。この中央部樹脂は
溶融粘度が低Ａため、通常であれば基板上を流れ過ぎ、
形状が不均一で、封止エリアをはみ出し、被封止物を完
全に被うことができないが、本発明に於いては、２重溶
融粘度特性を持つ封止樹脂の為、溶融粘度の低い中央部
樹脂は、溶融粘度が高く、チタン性を有し、打錠詩形状
を保持する周囲部樹脂に保持され、均一形状のまま硬化
され、硬化後、必要な封止樹脂厚、封止エリア（サイズ
）が確保され、薄型、小型の高密度実装が容易に実現で
きる。なお、周囲部の溶融粘度の高い所は、立体障害が
無いため、巻き込み気泡等の発生も少ない。さらに、Ｉ
Ｃチップ近傍にボイド等がある場合、信頼性、特に耐湿
特性、耐熱ストレス性（ヒートサイクル等）が低下する
が、この方式によると、均一形状で封止でき、中央部の
ＩＣチップ近傍にはボイド等もない為、よシ高い信頼性
を有する高密度、小型・薄型、低加工費拳低コストのパ
ッケージが実現可能となる。
て、板片状に打錠したものを用いることは従来から行わ
れているが、これは秤量後（定量）打錠しである為、均
一量の樹脂を容易にボッティングするには最良の方法で
ある。本発明は、板片ヌレに〈〈シ、溶融時粘度を高く
し、チタン性を持たせ、打錠時の形状を、溶融時、硬化
後も保持できるようにする。さらに、中央部は、これと
は反対に溶融時粘度を下げ、ＩＣチップ／基板間接続用
配線等の立体的障害物下に流れ込み易くし、封止時の巻
き込み気泡や基板等からの封止時アウトガスを容易に抜
は易くし、封止後、封止樹脂中ボイド、被封止物と封止
樹脂間の間隙を無くすことができる。この中央部樹脂は
溶融粘度が低Ａため、通常であれば基板上を流れ過ぎ、
形状が不均一で、封止エリアをはみ出し、被封止物を完
全に被うことができないが、本発明に於いては、２重溶
融粘度特性を持つ封止樹脂の為、溶融粘度の低い中央部
樹脂は、溶融粘度が高く、チタン性を有し、打錠詩形状
を保持する周囲部樹脂に保持され、均一形状のまま硬化
され、硬化後、必要な封止樹脂厚、封止エリア（サイズ
）が確保され、薄型、小型の高密度実装が容易に実現で
きる。なお、周囲部の溶融粘度の高い所は、立体障害が
無いため、巻き込み気泡等の発生も少ない。さらに、Ｉ
Ｃチップ近傍にボイド等がある場合、信頼性、特に耐湿
特性、耐熱ストレス性（ヒートサイクル等）が低下する
が、この方式によると、均一形状で封止でき、中央部の
ＩＣチップ近傍にはボイド等もない為、よシ高い信頼性
を有する高密度、小型・薄型、低加工費拳低コストのパ
ッケージが実現可能となる。
第１図に、本発明によった半導体装置の構成図（封止後
）を示す。
）を示す。
図に於いて、１は配線基板、２はＩＣチップ、３はチッ
プ・マウント材、４ばｒＣチップ／基板接続用配線材、
８は封止樹脂周囲部、９は同中央部である。
プ・マウント材、４ばｒＣチップ／基板接続用配線材、
８は封止樹脂周囲部、９は同中央部である。
〈発明の効果〉
以上詳細に説明したように、本発明によれば、低コスト
にて、高い信頼性を有する薄型、小型の高密度実装パッ
ケージを実現できる極めて有用な半導体装置組立方法を
提供することができるものである。
にて、高い信頼性を有する薄型、小型の高密度実装パッ
ケージを実現できる極めて有用な半導体装置組立方法を
提供することができるものである。
第１図は本発明によった半導体装置の構成図、第２図（
ａ）及び（ｂ）は従来技術によって生じる不良を示す図
、第３図は従来技術によった半導体装置の構成図である
。 符号の説明 １：配線基板、ｚ：ｒｃチップ、３：チップ・マウント
材、 ：配線材、 ：封止樹脂周囲部、 ：封止樹脂中央部。
ａ）及び（ｂ）は従来技術によって生じる不良を示す図
、第３図は従来技術によった半導体装置の構成図である
。 符号の説明 １：配線基板、ｚ：ｒｃチップ、３：チップ・マウント
材、 ：配線材、 ：封止樹脂周囲部、 ：封止樹脂中央部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基板等にＩＣチップを直接実装し、電気的接続を行
った後、板片状に打錠した封止用樹脂体を載置し、該封
止用樹脂体を溶融、硬化させて封止を行うことにより半
導体装置の組立を行う半導体装置組立方法に於いて、 上記封止用樹脂体として、中央部の溶融粘度を低くし、
周囲部の溶融粘度を高くした封止用樹脂体を用いる構成
としたことを特徴とする半導体装置組立方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20235288A JPH0251242A (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | 半導体装置組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20235288A JPH0251242A (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | 半導体装置組立方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0251242A true JPH0251242A (ja) | 1990-02-21 |
Family
ID=16456103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20235288A Pending JPH0251242A (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 | 半導体装置組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0251242A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1301360C (zh) * | 2001-02-13 | 2007-02-21 | W·洛夫特斯有限公司 | 玻璃混凝土复合板 |
-
1988
- 1988-08-12 JP JP20235288A patent/JPH0251242A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1301360C (zh) * | 2001-02-13 | 2007-02-21 | W·洛夫特斯有限公司 | 玻璃混凝土复合板 |
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