JPH02500576A - 工作物の仕上げ加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 工作物の仕上げ加工装置 発明の分野 本発明は一般に砥粒加工に関し、特に工作物の仕上げ加工装置に関するものであ る。

発明の背景 部品の信頼性とより長い寿命とに対する要求事項が増々拡大している現在、かか る部品の加工品質に対する要求がより切迫したものとなっている。従って、かか る要求を満すことになっている工作物の加工に関連した細々した点で、前加工作 業時に生じた表面欠陥を１０・・・２０ｓｋｍの深さまで除去することが要求さ れる。また表面うねりや表面凹凸は０．１・・・０．５ｓｋｍを越えず、その一 方で表面粗さはＲａ　＝０．０４・・・０．０２ｍｋｍ以内であることを要求さ れる。

加工された部品の品質に対するかかる切迫した要求を満たすには新しい仕上げ加 工方法の使用が要求される。

精密部品の仕上げ加工の大幅な発展で開発されたのが超仕上げ、すなわちマイク ロストーニング（＋ｅｉｃｒｏｓｔｏｎｉｎｇ）である。

この仕上げ作業は砥石を回転する丸い工作物の表面に押し当てた状態で強くこす り、その工作物の母線に沿って砥石を繰返し往復させるものである。この工程は 前段作業において残った著しい表面凹凸を除去するための工程であってその表面 凹凸のある状態でグリッド（ｇｒｉｔ）だけを確実に切削する。これは超仕上げ の基本的な欠点の１つであって、ストック（ｓｔｏｋ）の除去が２・・・６ｓｋ −に制限される。このように切削が不十分であると、初期の表面粗さが大きい場 合には１回のパスでその表面粗さを除くことは不可能である、あるいは液状部の 凹みにおける表面うねりや表面粗さを除去することができない。

更には、元々限られているストック除去の低さのため研削時に生じ、表面から深 さ１０・・・２０ｍｋ−に存在する表面欠陥を修正することもできない。砥石の 当り面と工作物とが密着させられるので、加工の最初の数秒間において潤滑／冷 却剤が加工領域から破砕グリッドやチップを洗い去ることが防止される。

スライム（ｓｌｉｍｅ）層の厚みは同層の形成速度、加工領域からのスライムの 流失、工程の運動学、適用比圧力、砥石の寸法および特性、潤滑／冷却剤の品質 と組成、加工している工作物のマクロ幾何学的形状によって左右され、このため 仕上げ加工の結果が不安定となってしまう、砥石が工作物に与える比圧力（すな わち、Ｐ＝０．３・・−５ｋｇ／ａｍ２）が低いために超仕上げの第３の欠点が 生じてしまう。特に、仕上げ加工の第２最終段階における塑性変形ｌ＼の第１加 工段階において著しい表面凹凸が生じる可能性がある。

更に進んだ加工がマイクロストーニング、すなわちマクロ仕上げとして知られる 仕上げ加工（例：　ＳＯ、Ａ　、　３４２　、７５３）である。回転体の形をし た工作物の加工は処理中の工作物の母線とは合致しない経路に沿って往復する研 摩用砥石によって行なわれる。直線母線（例：　ＳＯ、Ａ　、　１８２　、０１ ５＞を有する工作物を加工する場合、上記経路は工作物の母線に対して角度をな す直線であり得る。玉軸受の軌道輪を加工する場合、砥石は、軌道輪の弯曲中心 を通る軸線を中心として揺動させられ、また軌道輪の輪郭に接する線に平行な方 向に往復させられる等して複雑な経路に沿って移動させられる（例：ＳＵ、Ａ、 ２７８゜４５３）　。

例えば回転する円筒形工作物を、同工作物の母線に対して角度をなして往復する 研摩砥石によって加工する場合、その砥石の当り面は被加工面の半径に等しい半 径をもった側方円筒形部分と、中心部分、すなわち、実質上平らな表面とから形 成される。往復動作の端位置においては、砥石の当り面の側部は加工される工作 物の表面に衝合して砥石グリッドの主要部分が自然に研摩される。これによって 、連続的に切削がなされると共に効率的に平滑化され、更には表面欠陥、長手方 向および横方向の表面うねりが除かれ、また真円度の部分的補正がなされる。砥 石の平坦部分のグリッドは工作物の母線上を摺動し、そして側部分のグリッドに よって生じさせられる著しい表面凹凸に対して角度をなして衝突することも切削 に寄与する。こうして表面粗さが小さくなり、また研摩砥石の粒度にもよるがＲ ｍ　＝０．３２・・・０．１６＋ｋｍという完べきな表面が得られる。加工の最 終段階においては、砥石の往復動作の大きさが低下するのでその側部分が下降し て被加工工作物表面に衝合する。砥石の当り面の中心部を占める砥粒のみが工作 物に接触したまま残り、鈍化しそして研摩される。砥石が線に沿って工作物と接 触するので、切削に続いてマイクロストーニング、その次に残った著しい表面凹 凸部分の塑性変形が行なわれる。これは、初期加工段階における実質的ストック 除去と相臭って、最終段階においてＲｚ　＝０．０１ｍｋｍを越えない極めて低 い表面粗さをもたらす。研摩砥石と工作物との係合がこのように不連続でありし かも砥石の平坦部分と工作物との接触が直線的であるので加工領域からスライム やチップを効率的に除去して、安定した加工結果を得ることができる。

更に、クランクシャフトの首部を超仕上げする装置も知られている（例：　ＳＵ 　、　Ａ　、　２０５　、８３６）。この装置のハウジングは２本の４リンク・ チェーン、この場合は平行なリンク機構、特に１つの主リンク機構と補助リンク 機構とを収納している。

補助平行リンク機構の１つのリンクは工作物を仕上げ”３工作機械に取付けられ 、主平行リンク機構の１つのリンクは振動駆動部の電機子に枢着されている。研 摩砥石は主平行リンク機構の遊動リンクの１つに枢着されているアームまたはレ バーの端部に固締されていて、被加工工作物の母線に沿って砥石が往復移動させ られる。

平行リンク機構の枢軸は工作物の軸と平行になっており、振動駆動部はローラを 介して工作物の円筒面に取付けられる。

しかしこの装置には多数の不具合がある。例えば、研摩砥石は工作物の軸線に対 して角度をなして往復しないで、超仕上げ、すなわちマイクロストーニングと比 べより広い範囲の加工が可能なマクロ仕上げ、すなわちマイクロストーニングが 行なえない。平行リンク機構の軸を被加工面の軸と平行に配置するので砥石の往 復路の工作物の軸に対する傾斜角度を変えることができない。更には、この装置 は工作物の横断面のひずみの原因となる有害な揺動を助長する動的特性がより大 きい、つまり、振動駆動部が被加工工作物に対しローラを介して取付けられるこ とや、装置のハウジングとこの装置の振動駆動部とが別々の個体であって、ハウ ジングのほうはローラに、また振動駆動部は工作機械のキャリ５．ジに、とそれ ぞれ配置されることが上記の要因となっている。これはとりもなおさず被加工工 作物表面の品質に影響を及ぼす。また装置を工作機械のキャリッジから離すショ ック・アブソーバがないのでキャリッジの振動は研摩砥石に伝えられ、これまた 被加工面の品質に影響を及ぼす。

発明の要約 本発明は、連接された４リンク・チェーンとこのチェーンに接続されて研摩砥石 と担持するアームとが被加工工作物の母線とは合致しない経路に沿って上記研摩 砥石を移動させる一方で仕上げ加工中その砥石の当り面の形状を不変に保持する ように配設されている工作物仕上げ加工装置を提供することを目的とする。

本発明の工作物仕上げ加工装置は、工作機械の主軸台と心押台との間に取付は可 能であって、１つのリンクが工作機械に固締される連接形４リンク・チェーンと 、電機子が上記連接形４リンク・チェーンのもう１つのリンクに枢着される振動 駆動部と、連接形４リンク・チェーンの遊動リンクに固締される研摩砥石とから なっており、上記連接形４リンク・チェーンの工作機械に固締される上記リンク に接続されたリンクのうち少なくとも１つのリンクが加工の際に工作物が研摩砥 石の当り面の中心部と接触する線と合致する同工作物の母線に直交する平面に対 して角度をなして配設され、上記４リンク・チェーンの枢軸が被加工工作物に接 しかつ上記母線を通る平面に実質上直交して配設され、一方で上記アームの枢軸 が上記の母線と平行に延びると共に、上記工作物の接しかつ上記母線を通る平面 上に実質上存在することを特徴とするものである。

本発明の装置においては、研摩砥石は工作物の表面に接する平面上でその工作物 の母線とは合致しない経路に沿って移動させられる。研摩砥石のかかる移動経路 のために、工作物を部分的に抱きかつ、被加工工作物の形に合致した側部と、こ れらの側部どうじの間の中心部とを有する上記研摩砥石の当り面が形成し易い。

この研摩砥石の当り面の側部が被加工工作物と衝突すると砥石グリッドが連続的 に研削されて連続切削が確実に行なわれる。これにより、前段作業において生じ た表面欠陥を除去するに十分な程度にストックが除かれ、また初期表面凹凸が除 去されると共に長手方向の表面うねり、また部分的にではあるが真円度が補正さ れる。また研摩砥石の往復移動の大きさが低減されるので、砥石の当り面側部が 工作物から離脱することがない、更には、砥石の当り面の中心部にある砥粒のみ が工作物に係合する。従って切削が終了する。工作物の母線に係合する砥粒は鈍 化し、かつ研摩されるのでマイクロストーニングが行なわれ、続いて、初期加工 段階において生じた著しい表面凹凸の塑性変形が行なわれる。

研摩砥石を担持する枢軸は工作物の母線と平行に配設されるので、慶耗しても砥 石の当り面の形状を保持することができ、結果、工作物の表面うねりあるいは表 面凹凸を実質的に小さくすることができる。

本発明の好適な実施例においては、工作機械に固締される連接形４リンク・チェ ーンのリンクは向い合ったリンクの位置を変えないで高さを変えることができる 。かかる変形形感によれば、工作物のｔ線に対する砥石の往復経路の傾斜角度を 滑らかに変えることができ、このため表面硬さや粗さの相異なる様々な工作物を 仕上げ加工できるものである。

好ましくは、平行リンク機構を上記の４リンク・チェーンとして使用することで ある。この機構を使用すれば、研摩砥石のいずれの直線部をその砥石自体と平行 に移動させても砥石を直進させることができ、これにより、細長い工作物を加工 する場合でも安定した加工パラメータを得ることができる。

また、研Ｍ砥石はアームに枢着され、枢軸は、実質的には、工作物に接しかつ上 記母線を通る平面上において工作物の上記母線と直交して配設される。これによ り研摩砥石は工作物表面の母線に沿って自動調心されるため、工作物表面の長さ 方向のうねりや粗さが低減され、結果としてこうして加工された工作物表面の品 質が高いものとなる。

図面の簡単な説明 以下、添付図面に従い１本発明を更に詳しく説明する。

第１図は本発明の工作物仕上げ加工装置の概略図、第２図は研摩砥石のホルダー がアームに堅く取り付けられ第３図は、マイクロストーニングの際の研摩砥石の 空間位置と略示しており、 第４図は工作機械に対する本発明装置の固締方法を示しており、 第５図は研摩砥石のホルダーがアームに堅く取り付けられている本発明の装置の 横断面図、 第６図はマイクロストーニングの実行時間ｔに対する表面粗さＲａと切削δの依 存度を示すグラフ、第７図、第８図、第９図はマイクロストーニング中における 表面うねりや表面凹凸の除去の際の研摩砥石の当り面の係合部分の概略図、 第１０図は、４リンク・チェーンが平行四辺形の形をなしている、本発明の装置 を示す。

発明を実施するための最良の形懸 先ず第１図について見れば、本発明の装置はベース１からなり、このベース１に は連接形４リンク・チェーン２と振動駆動部３とが取付けられている。工作物４ を仕上げ加工する工作機械（図示せず）は同軸の主軸５と心押台６とを含んでお り、工作物４は、それらの中心間に固締される。上記の連接形４リンク・チェー ン２はリンク７．８，９．１０を含んでおり、これらのリンクはピボット１１　 、１２　、１３　、１４により接続されている。

上記回動可能の４リンク・チェーン２の上記リンク９にピボット１５によってア ーム１６が固締されており、このアーム１６は元の上端部に研摩砥石１７を担持 しており、この砥石１７を締着しているのがホルダー１７′（第２図参照）であ る、上記研摩砥石１７の当り面１８は側部１９　、２０と中心部２５とで構成さ れている。上記側部１９　、２０は被加工工作物４の表面の形に応じた形をして いる０円筒状表面を処理する場合、当り面１８の側部１９　、２０は工作物４の 半径Ｒと等しい半径Ｒをもちかつ外接用中心２２　、２３を有する円筒形となる 。これらの中心点どうしの間の距ｌＷｌは研摩砥石１７の当り面１８の中心部２ １の長さに等しい。この当り面１８は工作物４の加工に先立っであるいはその加 工中においても形成できる。

上記４リンク・チェーン２の下部リンク７は上記ベース１に対して角度γをなし て係止し、かつスペーサ部材２４を介してベース１に取付けられる。リンク７に 接続されるリンク８．１０のうち少なくとも１つのリンク（この変形側において はリンク８，１０の両方）が、研摩砥石１７の当り面１８の中心部２１と被加工 工作物４が接触する線と合致する工作物４のｔａ１２５に対して直交する平面Ｍ （第３図参照）に対して角度をなしている。上記連接形４リンク・チェーンのピ ボット１１　、１２　、１３　、１４の軸線は、工作物４に接しかつ母線２５を 通る平面Ｎに対して実質上直交して配設されている。アーム１６のピボット１５ の軸線は母線２５と平行になっている。

上記振動駆動部３（第１図参照）はリンク２６′と２つのピボット２７　、２８ とによって上記連接形４リンク・チェーン２のリンク１０′に接続されたｔ機子 ２６を含んでいる。研摩砥石１７のホルダー１７′と共にアーム１６の背後の上 記リンク９にはブラケット２９（第２図参照）が設けられている。まなこのブラ ケット２９とホルダー１７′との間には、研摩砥石１７を備えたホルダー１７′ を工作物４に対して押圧する圧縮ばね３０等の弾性部材が配設されている。

上記ブラケット２９の下端部は空圧シリンダ等の駆動部３１に接続されている。

上記リンク７は向い合ったリンク９の位置を変えないで高さを変えることができ るようにベース１に固締されている。

第４図は本発明の別の変形例を示しており、この例においては研摩砥石２７のホ ルダー１７′がピボット３２　、３３を介してアーム１６に取付けられている。

それらピボット３２　、３３の軸線は工作物４の母線２５に直交し、かつ実質上 平面Ｎ上に存在している。

ベース１は工作物４を処理する工作機械の横方向スライダー３５にショック・ア ブソーバ３４〈第５図参照）を介して係止し、スタッド３６、ナツト３７および 弾性スペーサ３８によって所定位置に固定される。上記ショック・アブソーバ３ ４はビン３９によって２面を所定位置に固定されている。

工作機械の横方向スライダー３５は、工作機械の主軸台５および心神台６の中心 を通る軸！４１（第１図参照）と直交する方向に往復移動自在に工作機械の長手 方向キャリッジ４０に取付けられる。

上記長手方向キャリッジ４０は軸線４１に沿って往復動できる。

本発明を実施した装置の動作は下記の通りである。

駆動部３１が動作して矢印４２で示すように軸線１らを中心としてアーム１６を 回転させると領域１７を担持するホルダー１７′が加工領域から離れさせられる 。工作物４は、工作機械の主軸台５および心神台６を通る工作機械の軸線に工作 物４の軸線を心合せさせるその工作機械の主軸台５および心神台６の中心どうし の間に位置させられる。

被加工工作物４の材料およびその形状に応じて、上記連接形４リンク・チェーン ２の側方リンク８．１０の傾斜角度β７．β２は、工作物４の母ｖＡ２５に対す る研摩砥石４の往復経路の傾斜角度α、を指定するようにセットされる。

次にアーム１６のピボット１５が、その軸線が工作物４のｔ！２５と平行になる ように連接形４リンク・チェーン２のリンク９にセットされる。この後、横方向 スライダー３５が移動させられてピボット１５の上記軸線が平面Ｎ内に置かれる 。

工作物４の長さおよび所要精度に応じて、研摩砥石１７のホルダー１７′がアー ム１６に堅く取り付けられている（第２図）もしくは回動自在に（第４図）固締 される。

上記作業実行後、工作物４は矢印４３の示すように工作機械の軸線４１を中心と して回転させられてマクロ仕上げされる。

駆動部３１は初期位置ノ＼戻り、アーム１６のほうは研摩砥石１７が工作物４と 接触するまではね３０によって強制されて矢印４４で示すように回転する。工作 物４の長さが研摩砥石１７の長さを上まわる場合は、工作機械のキャリッジ４０ が軸線４１に沿って送られる。ここで振動駆動部３が付勢されてその電機子２６ が矢印４５　、４６で示すように往復動する。

揺動もしくは往復動はリンク２６′を通じてリンク１０へ、従って連接した４リ ンク・チェーン２のリンク９，８へ伝えられる。これと共に、側方リンク８．１ ０が工作物４の母線２５に実質上直交する平面Ｍに対して角度をなしていて軸線 １１　、１４を中心として揺動するので、リンク９が母線２５に合致しない経路 に沿って揺動する。従って、この揺動はピボット１５、アーム１６、ホルダー１ ７′を通じて研摩砥石１７へ与えられ、この砥石１７が、同砥石１７の揺動の中 間位置において接線が工作物４の母線２５に対して角度α１をなす経路に沿って 移動する。

砥石１７の揺動または動揺の結果、同砥石１７の当り面１８のグリッドの砥粒が 工作物４の表面に係合する往復動の端位置における砥石１７の当り面１８の側部 １９　、２０の砥粒は工作物４に衝突し、これにより、主要な砥粒が破壊しかつ 鋭角化する。砥粒のこうして鋭角化された頂部は回転する工作物４の表面に噛み 込み、これにより切削が行なわれる。かかる衝突は研摩砥石１７の揺動の各期間 において生じるので、砥粒鋭角化および従って切削は第６図に示す処理時間に対 する表面粗さＲａと切削８の変化を示すグラフ（曲ｔｉＫ、部分Ｏ）で示すよう に連続的に生じる。砥石１７の当り面１８の中心部２１の砥粒の鋭角化も砥石１ ７の当り面１８の側部１９゜２０の砥粒によって生じる噛込みに対して角度をな して衝突する時に生じ、これによっても切削が行なわれる。

仕上げ面の粗さＲａ（第６図、曲線Ｈ）は初期加工段階（部分ｏａ）においては 高速で低減し、その粗さは第１段階を通じて不要のままとなる（部分ａｂ）　、 深さ１０〜２０轡ｋｅｎの表面傷を除去でき切削速度に達すると、振動駆動部３ の電機子２６の揺動の大きさが縮小する結果砥石１７の往復動が縮小する。従っ て側部１９とは工作物４と衝突しなくなり、研摩砥石１７の当り面１８の中心部 ２１の砥粒による更なる処理が行なわれる。工作物４に接する平面Ｎにおいて、 すなわち工作物４の仕上げ面と接して中心部２１の砥粒が移動すると、先ず砥粒 頂部が鈍化し、切削に続いてマイクロストーニング（第６図、部分ｂｅ）が行な われる。これと共に、切削が次第に終了し、これに供なって表面粗さＲａが低減 する（曲線Ｈ）。その後、領域の当り面１８の中心部２１の砥粒が研摩され、切 削が終了する一方で、砥石１７の当り面１８の中心部２１が工作物４と接触する 線の上の研摩された主要な砥粒に加えられる高負荷のために、マイクロストーニ ングで生じた表面凹凸（曲線Ｈの部分ｂｃ）の山部が塑性変形（曲ｉＨの部分ｃ ｄ）させられる、こうして加工された表面の粗さはＲａ＝０．０５・・・０．０ １ｍｋｍまで低減可能である。

砥石１７の当り面１８の側部１９　、２０が回転工作物４の表面に交番衝突しく 第７図、第８図）また第１処理段階において連続切削が行なわれるので、表面う ねりや工作物４の中心を中心とし、かつこの中心から工作物４の凹凸面の最深溝 部までの距離に等しい半径をもった円周４７の上に突出する表面凹凸が平滑化さ れる。また砥石１７の当り面１８の中心部２１（第９図）と回転工作物４のうね り面あるいは凹凸面の突出部分とが互いに作用し合うので連続した仕上げ加工時 にそれらの部分が除去される。これによって側部の表面うねりや表面凹凸の噛込 パターンを初期の１０ＩＩｌｋＩＩから０．１ｍｋ＋ａに低減させることができ る。

所要切削および所望表面粗さに達すると、マクロ仕上げ作業が終了させられる。

これは矢印４２で示すように駆動部３１でアーム１６を回転させて砥石１７を工 作物４から引き離すことによって行なわれる。

様々な材料で作られた各種形状の工作物を加工する賜金、千面へ１に対するリン ク８．９の傾斜角度β１．β２が変えられる。第１図の細線は連接形４リンク・ チェーン２の第２位置を示す。上記目的では、上記リンク９の位置を固定したま ま、下部リンク７がベースから切り離され、スペーサ部材２４が取外され、また リンク８．ｌＯが平面Ｍに対して角度βコ　。

β４になるまでリンク７が垂直方向に移動させられる。

次にリンク７は別のスペーサ部材４つを介して再びベース１へ取付けられる。連 接形４リンク・チェーン２に揺動が加えられると、砥石１７は工作物４の母線２ ５と合致しない経路、すなわち、往復動の申開位置において工作物４のｔ線２５ に対して角度α２をなす接線を中心に往復動する。

ここで第１０図を参照して説明する。図示のものは連接形４リンク・チェーン２ の別変形例であり、この例では平行リンク機構の形をしており、その下部リンク ７はスペーサ部材２４を介してベース１に固締され、工作物４のｔ！２４と平行 になっている。この平行リンク機構の動作原理は連接形４リンク・チェーン２に 関して、上記に述べたところと同様である。。

平行リンク機構を使用すれば研摩砥石１７を直進させることができ、この動作中 に平行四辺形の各直線部は平行四辺形自体と平行に移動する。また、この直進の 際に、砥石１７の当り面１８の中心部２１は矩形状となるので、このため被加工 工作物４の長手方向マクロ幾何学的偏向が改善される。

試験結果の示すところによれば本発明の装置は直径１００ｍｍ、長さ２５１の工 作物の硬化表面を加工して、３０秒で１５・・・２０ｍｋｍの切削を行ない、横 方向表面うねりを０．５ｍｋｍ　、表面粗さをＲａ　＝０．０４・・・０．０２ ｍｋ−とすることができる。

産業上の利用分野 本発明はころ軸受や正軸受の軌道幅、コンロッドや主クランクシャフトの円筒面 、偏心軸の首部、ギヤ形ポンプのロータ等を仕上げ加工することができる。

本発明の装置の上記とは別の利用分野は、抄紙機の精密ローラ、磁気テープ、高 精密切削用工作機械のスピンドル等の仕上げ加工である。

ｈｕ７ Ｆ広Ｉｇ 国際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．１つのリンクが工作機械に固締される連接形４リンク・チェーンと、電機子 が上記連接形４リンク・チェーンのもう１つのリンクに枢着される振動駆動部と 、連接形４リンク・チェーン遊動リンクに固締される研摩砥石とからなっている 、工作機械の主軸台と心押台との間に取付け可能な、工作物仕上げ加工装置にお いて、上記連接形４リンク・チェーン（２）の工作機械に固締される上記リンク （７）に接続されたリンク（Ｓ，１０）のうち、少なくとも１つのリンクが加工 の際に上記工作物（４）が上記研摩砥石（１７）の当り面（１８）の中心部と接 触する線と合致する上記工作物（４）の母線（２５）に直交する平面（Ｍ）に対 して角度をなして配設され、上記４リンク・チェーン（２）の枢軸（１１，１２ ，１３，１４）が被加工工作物（４）に接しかつ上記母線（２５）を通る平面（ Ｎ）に実質上直交して配設され、一方で上記アーム（１６）の枢軸（１５）が上 記の母線（２５）と平行に延びると共に、上記工作物（４）に接しかつ上記母線 （２５）を通る平面（Ｎ）とに実質上存在する工作物仕上げ加工装置。 ２．工作機械に固締される上記連接形４リンク・チェーン（２）の上記リンク（ ７）がその相向するリンク（ａ）の位置を変えずに高さを変え得るようにした、 上記請求の範囲第１項に記載の工作物仕上げ加工装置。 ３．上記４リンク・チェーン（２）が平行リンク機構である、上記請求の範囲第 １項、第２項に記載の工作物仕上げ加工装置。 ４．上記研摩砥石（１７）が上記アーム（１６）に固締されており、枢軸（３２ ，３３）が、実質的には、上記工作物（４）に接しかつ上記母線（２５）を通る 上記平面（Ｎ）の上で上記工作物（４）の上記母線（２５）に直交して配設され ている、上記請求の範囲第１項に記載の工作物仕上げ加工装置。