JPH0246830B2 - Kokimitsuseiryutaitsugite - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、ガスケツトの損傷を防止して、高度
の気密性を付与した袋ナツト締め流体継手に関す
るものである。

「従来技術及びその問題点」 近年技術革新のハイスピード化に伴い、超LSI
とか超々LSIにみれるように、飛躍的に大規模な
集積回路を製造する必要性が生じてきている。こ
のような大規模集積回路を製造するには、シラ
ン、アルシン、ホスフインのような超毒性ガス、
自然発火性ガス流体の使用や、超高真空化に於け
る高純度の被膜形成の必要性があることから、そ
の半導体製造装置には必然的に高度の気密性が要
求されてきている。

しかして、このような装置の流路形成要素を連
結するには、全てを熔接によるのは不可能であ
り、メカニカルに結合し、しかも優れた気密性を
有する流体継手がなければ装置を完成させること
は出来ない。このような目的に使用する継手とし
ては、信頼性が高いという理由で主として外国製
のものが使用されており、各種のものがあるが、
その代表的なものとしては第３図に示すような、
２つのスリーブ１，２をガスケツト３を介し連結
してなり、この連結締付けをスリーブ１に嵌着さ
せた外周にねじ部を形成したグランド４に、他方
のスリーブ２に嵌装させたナツト５を螺合させる
ことによつて行なう流体継手が挙げられる。一
方、ガスケツトとして、第２図に示すように、比
較的細い螺旋状コイルバネの両端つないで円形に
したコイルスプリング１９を、金属製被覆材２０
で、外側の中心が空くように被覆することにより
構成されてなるものが、開発されてきた。このガ
スケツトは、低い締付力のもとで使用できる等の
利点があることから、本発明者は、このガスケツ
トを上記継手に使用することを想到し、非常に良
好な結果を得た。しかして、このガスケツトは高
価なため、できるだけ繰り返し使用し得ることが
望ましいが、過締をすると多くの回数使用できな
くなるし、繰り返し使用した場合、低い締付力で
は高度の気密性が維持できないという問題点があ
つた。

本発明者は、この点に着目し、鋭意研究の結
果、ボデーとスリーブとのガスケツトを介して当
接する面にロールバニシング処理することによ
り、上記ガスケツトの損傷を防止し、繰り返し使
用による高度の気密性が維持できるこを見出し、
本発明に到達した。

「問題点を解決するための手段」 即ち、本発明はボデーとスリーブとのガスケツ
トを介して当接する面にロールバニシング処理面
を形成すると共に、前記ガスケツトとしてコイル
スプリングを金属製被覆材で被覆してなるガスケ
ツトを使用したことを特徴とする。

ロールバニシング処理自体は、公知の方法であ
るが、従来、ガスケツトを介して当接するボデー
とスリーブとの面にロールバニシング処理するこ
とは全く知られていない。即ち、従来のようなガ
スケツトにあつては、繰り返し使用する必要がな
いので、ガスケツトの損傷を防止するという目的
すらなかつたからである。

本発明の効果の原因は、ロールバニシング処理
することにより、表面硬度が向上し、そのためこ
の処理面に傷がつきにくくなり、その結果ガスケ
ツトに気密性劣化の原因となる微細線状傷が形成
され難くなるためと考えられる。

「実施例」 次に、本発明の実施例を図面に基ずいて説明す
る。

第１図に於いて、１１はボデーであり、１２は
スリーブであり、１３は袋ナツトであり、袋ナツ
ト１３はスリーブ１２に嵌装されている。

ボデー１１とスリーブ１２とのガスケツト１５
と当接する面には、ロールバニシング処理面３
０，３１が形成されている。

ロールバニシング処理は、回転するローラー
を、それぞれボデートスリーブとのガスケツトの
当接面に当てる方法により行なえばよい。例えば
上記実施例の流体継手のシール面3.2S粗度の旋削
とし、これにロールバニシング処理を施せば、１
〜２秒間の加工時間で容易に約0.8S粗度の鏡面が
得られる。このバニシング処理によつて、表面硬
度が向上し（ステンレスの場合母材硬度180HB
硬度のものが、300HB以上の硬度となる。）、そ
の為シール面に傷が形成され難くなる。

本発明に使用するガスケツト１５は、第３図に
示すように、比較的細い螺旋状コイルバネの両端
をつないで円形にしたコイルスプリング１９を、
金属製被覆材２０で、外側の中心が空くように被
覆することにより構成されている。コイルスプリ
ング１９の材質としては、例えば、ステンレス若
しくはインコネル材等が、被覆材２０の材質とし
ては、アルミニウム、ニツケル、銅、モネル等が
好適に使用される。

このように、本発明のガスケツトは、コイルス
プリングを内装しているので、従来のメタルＯリ
ングやメタルＣリングと比較してはるかに弾性が
強く、その為このガスケツト１５に圧力がかかる
とその圧力に抗する強い反発力がはたらくことか
ら、高度の気密性が得られる。

上記構成を有する流体継手に、その機能を更に
十分発揮させるため、上記実施例に於いては、ボ
デイ１１のねじ１４側の端面には環状の凹み部２
１を設け、スリーブ１２のガスケツト１５に当接
する面には該凹み部２１に嵌合する凸起部２２を
設けている。ガスケツト１５は、この凹み部２１
に嵌入され、凸起部２２で圧接される。この凹み
２１の深さと、凸起部２２の高さとは、ガスケツ
トを有効弾性圧縮量まで圧接した時、凸起部２２
の段部２３がボデイの端面２４に止るように設定
しておく。

従来の外国製の流体継手は、ガスケツトの有効
圧縮量をナツトの締付け回転数で表示している
が、この回転数はガスケツトの設定位置とか材質
等によつて、実際の作業上に於いては一定となら
ないケースが生じる。その為、リークタイトを気
にする余り、過締をすることになるが、その結果
ガスケツトが損傷したり破断したりする問題があ
つた。このようにガスケツトが損傷すると、例え
それが僅かのものであつても、接触部の平面性が
損われることになつて、気密性が悪化する。しか
して、上記実施例に於いては、凸起部の段部によ
つて、ガスケツトは有効圧縮量以上は圧縮されな
いようにしているので、ガスケツトが損傷し易い
という従来のガスケツトの欠点は除去される。

「効果」 以上述べた如く、本発明の流体継手は、特殊の
ガスケツトを使用し、しかもにシール面をロール
バニシング処理しているので、シール面に傷が形
成され難く、その結果ガスケツトにも微細な線状
傷が形成され難くなるので、低い締付力で高度の
気密性が得られ、その結果ガスケツトを多くの回
数繰返し使用することができる。しかも、本発明
の流体継手は、気密性が抜群によく、熟練者でな
くても、ヘリウムリークレートで10^-10atm.c.c.／
secの高気密性の流体継手を容易に得ることが出
来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例を示す半断面図、第
２図は、本発明のガスケツトの一部切欠斜視図、
第３図は従来の流体継手を示す断面図である。 図中、１５……ガスケツト、１９……コイルス
プリング、２０……金属製チユーブ（金属製被覆
材）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ボデーとスリーブとのガスケツトを介して当
   接する面にロールバニシング処理面を形成すると
   共に、前記ガスケツトとしてコイルスプリングを
   金属製被覆材で被覆してなるガスケツトを使用し
   たことを特徴とする高気密性袋ナツト締め流体継
   手。