JPH0245771A - 半導体装置テスタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置テスタに係り、特にその測定条件設
定をプログラムで制御するテスタに関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のテスタにおいてプログラムで制御される
半導体装置のもつテスタ制御用の定数は、単に電圧、電
流、タイミング等の数値定数やピン定数２文字定数等で
、テスタそのものを識別できるような定数は設定されて
いなかった。

〔発明が解決しようとするｖＡ題〕

前述したような従来の半導体装置テスタにおいては、プ
ログラム上で装置の識別ができなかったため、例えば同
一機種の装置でも微妙に異なるスキューの調整データが
必要な場合など、装置ごとに別々のプログラムを必要と
していた。

また、測定装置が特定されている場合など、プログラム
上でその装置で測定してよいかどうかを確認することは
できなかった。

本発明の目的は、前記欠点が解決され、プログラム上で
装置の識別ができるようにした半導体装置テスタを提供
することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の半導体装置テスタの構成は、半導体装置の電気
的な特性を、プログラム制御手段によって、測定する半
導体装置テスタにおいて、前記プログラム制御手段が、
テスタ自体を識別できるようにしたテスタ制御定数を備
えていることを特徴とする。

〔実施例〕

次に図面を参照しなから本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の半導体装置テスタのプ
ログラム制御の流れ図である。同図において、本実施例
では、スキューの互いに異なる同一装置が３台ある場合
、それらを１つのプログラムで制御する場合が示されて
いる。まず第１の工程１において、装置を識別できるハ
ードウェア定数Ａをテスタ内よシ参照し、次に第２の工
程２において、もしＡ＝１ならば、装置１のスキニー調
整データをリードし、Ａ−２であれば装置２のスキニー
調整データをリードし、Ａ＝３であれば装置３のデータ
をリードするようにしている。次に第３の工程３におい
て、半導体装置の測定が行われる。

第２図は本発明の第２の実施例の半導体装置テスタのプ
ログラム制御の流れ図である。本実施例では測定装置が
特定されている場合のプログラムフローチャートの一部
が示されている。まず、第１の工程１において、測定開
始前にノ・−ドウニア定数人を参照する。次に第２の工
程２において。

Ａ＝１であれば特定されたテスタであるということで第
３の工程３で測定にすすむが、Ａが１でないときテスタ
が異なることを表示して測定は実行されない。尚、定数
の設定には例えばＥＥＰＲＯＭなどを利用して読み出し
／書き込み可能にし、変数として扱ってもよい。

前記第１．第２の実施例の半導体装置テスタは、半導体
装置の電気的な特性を測定するテスタのうち特にプログ
ラム制御によって測定を実施するテスタにおいて、この
テスタをプログ２ム上で識別できるようなテスタ制御用
の定数をもっている。

即ち、本半導体装置テスタは、初期的にある値に設定さ
れたハードウェア定数とそれを参照することのできるプ
ログラムを有している。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明は、半導体装置用テスタを
識別できるハードウェア定数を設けることによシ、これ
までに出来なかったプログラム上でのテスタの選択が可
能となシ、プログ２ムの一本化や誤使用等を防止できる
という効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１の実施例の半導体装置テスタのプ
ログラム制御の流れ図、第２図は本発明の第２の実施例
の半導体装置テスタのプログラム制御の流れ図である。 １．２．３・・・工程。 代理人　弁理士　　内　原　　　晋

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体装置の電気的な特性を、プログラム制御手段によ
   って、測定する半導体装置テスタにおいて、前記プログ
   ラム制御手段が、テスタ自体を識別できるようにしたテ
   スタ制御定数を備えていることを特徴とする半導体装置
   テスタ。