JPH0244519A - 薄膜磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
薄膜磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH0244519A JPH0244519A JP19491288A JP19491288A JPH0244519A JP H0244519 A JPH0244519 A JP H0244519A JP 19491288 A JP19491288 A JP 19491288A JP 19491288 A JP19491288 A JP 19491288A JP H0244519 A JPH0244519 A JP H0244519A
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、固定磁気ディスク装置に用いられる、強磁
性金属薄膜からなる磁性層を備えた薄膜磁気記録媒体の
製造方法に関する。
性金属薄膜からなる磁性層を備えた薄膜磁気記録媒体の
製造方法に関する。
薄膜磁気記録媒体は、通常、非磁性基体上に非磁性金属
下地層、磁性層、保護層、潤滑層がそれぞれ薄膜で順次
積層された層構成である。非磁性基体としてはＡ１合金
基板に無電解めっきでＮ１−Ｐ合金層が形成されたもの
が用いられる。Ｎ１−Ｐ合金層はその上に積層される各
薄膜の機械的強度を補強するために設けられる。非磁性
金属下地層は磁気特性を高めるために設けられるもので
、一般にはＣｒが用いられ、スパッタ法で形成される。
下地層、磁性層、保護層、潤滑層がそれぞれ薄膜で順次
積層された層構成である。非磁性基体としてはＡ１合金
基板に無電解めっきでＮ１−Ｐ合金層が形成されたもの
が用いられる。Ｎ１−Ｐ合金層はその上に積層される各
薄膜の機械的強度を補強するために設けられる。非磁性
金属下地層は磁気特性を高めるために設けられるもので
、一般にはＣｒが用いられ、スパッタ法で形成される。
磁性層は一般にＣｏ系合金１例えばＣｏ−Ｎｉ合金が用
いられ、スパッタ法で形成される。保護層は耐食性。
いられ、スパッタ法で形成される。保護層は耐食性。
耐磨耗性を向上させるために設けられるもので、一般に
アモルファスカーボン（ａ−Ｃ）または５ｉｎ２が用い
られ、スパッタ法などで形成される。潤滑層は耐磨耗性
などを高めるために設けられるもので、液体潤滑剤また
は固体潤滑剤を塗布して形成される。
アモルファスカーボン（ａ−Ｃ）または５ｉｎ２が用い
られ、スパッタ法などで形成される。潤滑層は耐磨耗性
などを高めるために設けられるもので、液体潤滑剤また
は固体潤滑剤を塗布して形成される。
上述の液体潤滑剤を潤滑層として塗布する方法としては
、デイツプ法、スピンコード法、スプレーバフ法などが
ある。しかしながら、どの方法を用いても、単に塗布し
ただけでは充分満足できる性能を備えた潤滑層とはなり
得す、媒体の信頼性試験において、機械的特性を評価す
るためのコンタクト・スタート・ストップ（以下、Ｃ８
Ｓと称する）テスト、吸着力試験で摩擦係数が増加し、
実使用に際しても、Ｃ８Ｓの繰り返しで摩擦係数が増大
したり、磁気ヘッドの媒体表面への吸着が発生したりす
る問題点があった。
、デイツプ法、スピンコード法、スプレーバフ法などが
ある。しかしながら、どの方法を用いても、単に塗布し
ただけでは充分満足できる性能を備えた潤滑層とはなり
得す、媒体の信頼性試験において、機械的特性を評価す
るためのコンタクト・スタート・ストップ（以下、Ｃ８
Ｓと称する）テスト、吸着力試験で摩擦係数が増加し、
実使用に際しても、Ｃ８Ｓの繰り返しで摩擦係数が増大
したり、磁気ヘッドの媒体表面への吸着が発生したりす
る問題点があった。
この発明は、上述の問題点を解消して、実使用に際して
Ｃ８Ｓが繰り返されても摩擦係数が増大せず、媒体表面
への磁気ヘッドの吸着も生じにくい、耐久性に優れた、
信頼性の高い薄膜磁気記録媒体の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
Ｃ８Ｓが繰り返されても摩擦係数が増大せず、媒体表面
への磁気ヘッドの吸着も生じにくい、耐久性に優れた、
信頼性の高い薄膜磁気記録媒体の製造方法を提供するこ
とを目的とする。
上記の目的を達成するために、この発明によれよ、強磁
性金属薄膜からなる磁性層の上に保護層を形成し、この
保護層上にフロロカーボン系の液体潤滑剤を塗布して潤
滑層を形成する薄膜磁気記録媒体の製造方法において、
前記液体潤滑剤を塗布したのち、さらに、その表面に布
でバフを行って膜厚の均一な連続膜の潤滑層とする。
性金属薄膜からなる磁性層の上に保護層を形成し、この
保護層上にフロロカーボン系の液体潤滑剤を塗布して潤
滑層を形成する薄膜磁気記録媒体の製造方法において、
前記液体潤滑剤を塗布したのち、さらに、その表面に布
でバフを行って膜厚の均一な連続膜の潤滑層とする。
保護層上にフロロカーボン系の液体潤滑剤を塗布した状
態では、第２図の媒体の要部部分断面図に示すように、
保護層ｌの表面に潤滑剤２が島状に付着していると思わ
れる。このような塗布面を布でバフを行うことにより、
第１図の媒体の要部部分断面図に示すように潤滑剤２が
膜厚の厚い箇所から薄い箇所へ膜厚ばらつきを補正する
ように流動し、保護層１上に膜厚均一な連続膜として潤
滑剤２からなる潤滑層が形成できることになる。
態では、第２図の媒体の要部部分断面図に示すように、
保護層ｌの表面に潤滑剤２が島状に付着していると思わ
れる。このような塗布面を布でバフを行うことにより、
第１図の媒体の要部部分断面図に示すように潤滑剤２が
膜厚の厚い箇所から薄い箇所へ膜厚ばらつきを補正する
ように流動し、保護層１上に膜厚均一な連続膜として潤
滑剤２からなる潤滑層が形成できることになる。
潤滑層をこのような連続膜とすることにより、Ｃ８Ｓテ
スト、吸着力試験における摩擦係数を低減でき、磁気ヘ
ッドの媒体への吸着を防ぐことができる。
スト、吸着力試験における摩擦係数を低減でき、磁気ヘ
ッドの媒体への吸着を防ぐことができる。
へ！合金からなるディスク状基板に無電解めっきでＮ１
−Ｐ合金層を形成し、その表面に鏡面加工チフスチア加
工を施した後、その上にスパッタ法によりＣｒからなる
非磁性金属下地層、 Ｃｏ−Ｎｉ合金からなる磁性層、
ａ−Ｃからなる保護層を順次積ツし、さらに、この
上に、フロロカーボン系の液体潤滑剤を０．４重量％含
有した溶剤をデイツプ法により塗布した。このディスク
を回転数１１００ｒｐで回転させながら潤滑剤塗布面に
布（研磨性のものではなく、例えばワイピングクロス）
を押しあててバフを行って液体潤滑剤の均一な連続膜の
潤滑層ををする媒体を作製した。媒体面に布を押しあて
る面圧を１．０．１．５．２．０．２．５ｋｇ／ ｃａ
ｔと変えて作製した媒体について、吸着力試験を行った
。吸着力試験は媒体と磁気ヘッドとを接触させた状態で
温度３３℃、相対湿度８０％の３囲気中に１日間放置し
、その後静止摩擦係数を測定し、所定の規格値。
−Ｐ合金層を形成し、その表面に鏡面加工チフスチア加
工を施した後、その上にスパッタ法によりＣｒからなる
非磁性金属下地層、 Ｃｏ−Ｎｉ合金からなる磁性層、
ａ−Ｃからなる保護層を順次積ツし、さらに、この
上に、フロロカーボン系の液体潤滑剤を０．４重量％含
有した溶剤をデイツプ法により塗布した。このディスク
を回転数１１００ｒｐで回転させながら潤滑剤塗布面に
布（研磨性のものではなく、例えばワイピングクロス）
を押しあててバフを行って液体潤滑剤の均一な連続膜の
潤滑層ををする媒体を作製した。媒体面に布を押しあて
る面圧を１．０．１．５．２．０．２．５ｋｇ／ ｃａ
ｔと変えて作製した媒体について、吸着力試験を行った
。吸着力試験は媒体と磁気ヘッドとを接触させた状態で
温度３３℃、相対湿度８０％の３囲気中に１日間放置し
、その後静止摩擦係数を測定し、所定の規格値。
例えば０．４以下を満足するかどうかで良否を判定した
。その結果、第３図に示したように面圧２，０゜２．５
ｋｇ／ｃｎｌで良と判定され、面圧２．Ｏｋｇ／ＣＩ＋
ｆ以上で吸着が生じに＜＜、静摩擦係数が小さく良好で
あることが判る。ところが、面圧が３．０ｋｇ／ｃｎｌ
を超えると、バフを行うときに潤滑剤の離脱が生じたり
、布の融着が起きたりする問題が発生する。従って、バ
フを行うときの面圧は２．０ｋｇ／ｃｏ！以上３．０ｋ
ｇ／Ｃｒｊ以下の範囲であることが必要であり、より好
ましくは２．０ｋｇ／ｃｍ以上２．５ｋｇ／ｃｆｆｌ以
下の範囲である。
。その結果、第３図に示したように面圧２，０゜２．５
ｋｇ／ｃｎｌで良と判定され、面圧２．Ｏｋｇ／ＣＩ＋
ｆ以上で吸着が生じに＜＜、静摩擦係数が小さく良好で
あることが判る。ところが、面圧が３．０ｋｇ／ｃｎｌ
を超えると、バフを行うときに潤滑剤の離脱が生じたり
、布の融着が起きたりする問題が発生する。従って、バ
フを行うときの面圧は２．０ｋｇ／ｃｏ！以上３．０ｋ
ｇ／Ｃｒｊ以下の範囲であることが必要であり、より好
ましくは２．０ｋｇ／ｃｍ以上２．５ｋｇ／ｃｆｆｌ以
下の範囲である。
また、面圧２．５ｋｇ／ＣＩＩｔでバフを行って作製し
た媒体と、バフを行わなかった媒体とについてＣ８Ｓテ
ストを行った。Ｃ８Ｓサイクルと摩擦係数との関係を第
４図の線図に示す。第４図よりバフを行った媒体はＣ８
Ｓを繰り返しても摩擦係数は増加せず、バフなしの媒体
より優れていることは明らかである。
た媒体と、バフを行わなかった媒体とについてＣ８Ｓテ
ストを行った。Ｃ８Ｓサイクルと摩擦係数との関係を第
４図の線図に示す。第４図よりバフを行った媒体はＣ８
Ｓを繰り返しても摩擦係数は増加せず、バフなしの媒体
より優れていることは明らかである。
バフを行って作製した媒体と、同様に作製してバフのみ
を行わなかった媒体について、媒体の表面粗さと液体潤
滑剤からなる潤滑層の膜厚との関係を調べた。その測定
結果を第５図の線図に示す。
を行わなかった媒体について、媒体の表面粗さと液体潤
滑剤からなる潤滑層の膜厚との関係を調べた。その測定
結果を第５図の線図に示す。
ここで、表面粗さは媒体表面の粗さのアボットの相対負
荷曲線の１０％の深さから１％の深さを引いた差の値で
示した。バフを行った媒体の方がバフを行わなかった媒
体に比べて潤滑層の膜厚が厚く、また、表面粗さを示す
数値が大きい程両者の膜厚の差が大きくなっていること
より、液体潤滑剤がバフ前では第２図に示したように島
状に付着していたものが、バフを行うことにより第１図
に示したような膜厚の均一な連続膜となったものと考え
られる。
荷曲線の１０％の深さから１％の深さを引いた差の値で
示した。バフを行った媒体の方がバフを行わなかった媒
体に比べて潤滑層の膜厚が厚く、また、表面粗さを示す
数値が大きい程両者の膜厚の差が大きくなっていること
より、液体潤滑剤がバフ前では第２図に示したように島
状に付着していたものが、バフを行うことにより第１図
に示したような膜厚の均一な連続膜となったものと考え
られる。
以上の実施例については、保護層がａ−ｃからなる媒体
について述べたが、５ｉ０２など他の材質の保護層の場
合でもこの発明は同様に有効である。
について述べたが、５ｉ０２など他の材質の保護層の場
合でもこの発明は同様に有効である。
この発明によれば、薄膜磁気記録媒体の製造方法におい
て、保護層の上にフロロカーボン系の液体潤滑剤を塗布
した後、その塗布表面を布を用いてバフを行うこととす
る。このようなバフを行うことにより、膜厚均一な液体
潤滑剤の連続膜からなる潤滑層が形成できることになり
、Ｃ３Ｓが繰り返されても摩擦係数が増大せず、媒体表
面への磁気ヘッドの吸着も生じにくいい潤滑性が良好で
、耐久性に優れた、信頼性の高い薄膜磁気記録媒体を製
造することが可能となる。
て、保護層の上にフロロカーボン系の液体潤滑剤を塗布
した後、その塗布表面を布を用いてバフを行うこととす
る。このようなバフを行うことにより、膜厚均一な液体
潤滑剤の連続膜からなる潤滑層が形成できることになり
、Ｃ３Ｓが繰り返されても摩擦係数が増大せず、媒体表
面への磁気ヘッドの吸着も生じにくいい潤滑性が良好で
、耐久性に優れた、信頼性の高い薄膜磁気記録媒体を製
造することが可能となる。
第１図はこの発明に係わるバフを行う製造方法による媒
体の潤滑層の要部部分断面図、第２図は従来の製造方法
による媒体の潤滑層の要部部分断面図、第３図はバフに
際して布を押しあてる面圧と吸着力テスト良否との関係
を示す関係図、第４図はバフ工程のあり、なしの媒体に
ついてＣ８Ｓサイクルと摩擦係数との関係を示す線図、
第５図は同じ（バフ工程のあり、なしの媒体について、
表面粗さと潤滑層膜厚との関係を示す線図である。 １ 保護層、２ 液体潤滑剤。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ６ 図 第５図 第 ４ 図
体の潤滑層の要部部分断面図、第２図は従来の製造方法
による媒体の潤滑層の要部部分断面図、第３図はバフに
際して布を押しあてる面圧と吸着力テスト良否との関係
を示す関係図、第４図はバフ工程のあり、なしの媒体に
ついてＣ８Ｓサイクルと摩擦係数との関係を示す線図、
第５図は同じ（バフ工程のあり、なしの媒体について、
表面粗さと潤滑層膜厚との関係を示す線図である。 １ 保護層、２ 液体潤滑剤。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ６ 図 第５図 第 ４ 図
Claims (1)
- １）強磁性金属薄膜からなる磁性層の上に保護層を形成
し、この保護層上にフロロカーボン系の液体潤滑剤を塗
布して潤滑層を形成する薄膜磁気記録媒体の製造方法に
おいて、前記液体潤滑剤を塗布したのちさらにその表面
に布でバフを行って膜厚の均一な連続膜の潤滑層とする
ことを特徴とする薄膜磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63194912A JPH0758545B2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63194912A JPH0758545B2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0244519A true JPH0244519A (ja) | 1990-02-14 |
| JPH0758545B2 JPH0758545B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=16332407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63194912A Expired - Lifetime JPH0758545B2 (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0758545B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0283823A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-23 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク媒体の製造方法 |
| US7297362B2 (en) | 2003-04-23 | 2007-11-20 | Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. | Magnetic recording medium and the method of manufacturing the same |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6383921A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1988
- 1988-08-04 JP JP63194912A patent/JPH0758545B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6383921A (ja) * | 1986-09-29 | 1988-04-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0283823A (ja) * | 1988-09-19 | 1990-03-23 | Fujitsu Ltd | 磁気ディスク媒体の製造方法 |
| US7297362B2 (en) | 2003-04-23 | 2007-11-20 | Fuji Electric Device Technology Co., Ltd. | Magnetic recording medium and the method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0758545B2 (ja) | 1995-06-21 |
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Legal Events
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