JPH0244071Y2 - - Google Patents

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JPH0244071Y2
JPH0244071Y2 JP14468487U JP14468487U JPH0244071Y2 JP H0244071 Y2 JPH0244071 Y2 JP H0244071Y2 JP 14468487 U JP14468487 U JP 14468487U JP 14468487 U JP14468487 U JP 14468487U JP H0244071 Y2 JPH0244071 Y2 JP H0244071Y2
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JP
Japan
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chamber
cylinder
temperature
uranium hexafluoride
hexafluoride gas
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JP14468487U
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、六弗化ウランガスを取り扱う往復動
真空ポンプの運転管理装置に関する。
六弗化ウランガスは、空気と接触すると弗化水
素を生じて人体に有害であると共に、腐食性も激
しい。このために、六弗化ウランガスを取り扱う
往復動真空ポンプでは、シリンダ内の六弗化ウラ
ンガスが、軸封部を経てクランクケース内に漏洩
して大気と接触するのを、絶対に、防止しなけれ
ばならない。
このために、六弗化ウランガスを取り扱う往復
動真空ポンプは、最終段シリンダとクランクケー
スとの間に密封箱を形成したデイスタンスピース
を3室設けて、デイスタンスピースの第1室を最
終段シリンダの吸入弁の入口側に連通して、その
室内真空度をシリンダの吸入弁の入口側の真空度
と同一になるようにし、また、デイスタンスピー
スの第2室に活性炭フイルタを介して別に設けた
真空ポンプに連通して、その真空度を第1室の真
空度より僅かに低くできるようにし、さらに、デ
イスタンスピースの第3室を不活性ガス供給源に
連通して、その室内圧力を大気圧より僅か高くで
きるようにしていた。
六弗化ウランガスは、昇華温度が56.4℃(常圧
下)であり、この温度以下になると、気体から固
体に凝固する。従つて、前述の六弗化ウランガス
を取り扱う真空ポンプでは、機内の六弗化ウラン
ガスが常に気体であることを確認してから運転し
なければ、動力部を破損して運転不能になる危険
があつた。
そこで、本考案者は鋭意研究の結果、真空ポン
プの最終段シリンダ内の六弗化ウランガスの一部
をシリンダに隣接したデイスタンスピースの第1
室に導いて、温度を常時測定できるようにし、第
1室に導かれた六弗化ウランガスが一定温度以下
になつたとき、真空ポンプの運転を停止できるよ
うにして、六弗化ウランガス用真空ポンプの事故
防止を計ることに成功した。
すなわち、本考案の六弗化ウランガス用真空ポ
ンプの運転管理装置は、六弗化ウランガスの最終
段シリンダ11からクランクケース17への漏洩
を防止するために、シリンダ11とクランクケー
ス17との間に密封箱を形成したデイスタンスピ
ースを3室設けて、デイスタンスピースの第1室
14をシリンダ11の吸込弁111の入口側に連
通して、その室内真空度をシリンダ11の吸込弁
111の入口側の真空度と同一となるようにし、
また、デイスタンスピースの第2室15を活性炭
フイルタ311を介して別に設けた真空ポンプ3
1に連通して、その室内真空度を第1室14の真
空度より僅かに低くできるようにし、さらに、デ
イスタンスピースの第3室16を不活性ガス供給
源21に連通して、その室内圧力を大気圧より僅
かに高くできるようにした六弗化ウランガス用真
空ポンプの運転管理装置において、シリンダ11
と第1室14との間の隔壁140の軸封部141
の近くに感温部51を挿入した温度スイツチ50
と、第1室14と第2室15との間の隔壁150
の軸封部151の近くに感温部61を挿入した温
度スイツチ60とを設けて、感温部51及び感温
部61により第1室内の六弗化ウランガスの温度
を常時測定できるようにし、一定温度以下になつ
たとき、温度スイツチ50及び60が作動して、
運転を停止できるようにしたものである。
以下、本考案の一実施例を図面に基ずいて説明
する。
1は六弗化ウランガス用往復動真空ポンプの一
例で、11は最終段シリンダ、12はピストン、
13はピストンロツド、14はシリンダ11に隣
接して密封箱を形成したデイスタンスピースの第
1室、15は第1室14に隣接して密封箱を形成
したデイスタンスピースの第2室、16は第2室
15に隣接して密封箱を形成したデイスタンスピ
ースの第3室、17は第3室16に隣接するクラ
ンクケース、141はシリンダ11と第1室14
との間の隔壁140に設けた軸封部、151は第
1室14と第2室15との間の隔壁150に設け
た軸封部、161は第2室15と第3室16との
間の隔壁160に設けた軸封部、171は第3室
16とクランクケース17との間の隔壁170に
設けた軸封部である。
142は第1室14と最終段シリンダ11の吸
込弁111の入口側とを連通する連通管、31は
連通管312により吸着剤入りフイルタ311を
経て第2室に連通する真空ポンプ、21は連通管
412により減圧弁20及び常開弁41を経て第
3室16に連通する窒素ガスボンベ、422は外
気に通じる常開弁42と第3室16とを連通する
連通管、50及び60は各温度スイツチである。
温度スイツチ50及び60は、それぞれ筒内に
有機液体を充満し筒先を軸封部141及び151
近くまで隔壁140及び150内に挿入された感
温部51及び61と、前記有機液体の通路である
導管部52及び62と、前記導管部に連結するブ
ルドン管(図示しない)と、前記ブルドン管先の
移動量の拡大機構(図示しない)を経てデジタル
又はアナログ表示する目盛部(図示しない)と、
前記ブルドン管先の一定移動量以上又は以下によ
つて電気的に開路又は閉路する接点部TS1及び
TS2を含む指示部53及63とからなる。
70は動力制御回路で、THX1,THX2
THY1,THY2及びEXは各補助リレー、OL1
びOL2は各表示ランプ、PBRはリセツト用押し
ボタン、PB1及びPB2は運転起動用及び運転停止
用押しボタンスイツチ、MS3はモーター80の電
磁接触器である。
いま、真空ポンプ1を運転して、最終段シリン
ダ11の吸込弁111の入口側で真空度40トー
ル、吐出弁112の出口側で760トールを示すと
すれば、第1室14は、吸込弁111の入口側と
連通しているので、室内真空度は40トールの均圧
を示し、第2室15は、真空ポンプ31により絶
えず真空引きされて室内真空度30トールとなるよ
うに調整され、第3室16は、クランクケース1
7内の大気圧より若干高い室内圧力790トールと
なるように窒素ガスボンベ21から窒素ガスが供
給される。従つて、第1室14から軸封部151
を通じて第2室15に洩入する六弗化ウランガス
は、連通管312を通りフイルタ311に吸収さ
れる。
第2室15は第1室14の室内真空度より低圧
であるので、窒素ガスは第2室15から第1室1
4に軸封部151を通じて洩入することはなく、
また、第3室16は、クランクケース17内の大
気圧より若干高い室内圧力となつているので、ク
ランクケース17内の空気が軸封部171を通じ
て第3室16に洩入することはない。また、第3
室16内の窒素ガスは、軸封部161を通じて第
2室15に洩入しても真空ポンプ31に吸引され
て排出される。
シリンダ11内、第1室14内及び第2室15
内は六弗化ウランガスが存在し、室内圧力条件も
真空引き時、起動時を勘案すれば大気圧も考慮す
る必要があるから、これらの室内の六弗化ウラン
ガスの凝固温度は上限として約60℃に設定する必
要があり、この温度以下になつたときは、温度ス
イツチ50及び60がスイツチオフして、動力制
御回路70を介して電動機80の運転を速やかに
停止させる。詳言すると、温度スイツチ50の接
点TS1が開くと、リレTHX1が無励磁になり、リ
レーTHX1の接点が閉じられリレーTHY1に電流
が流れリレーTHY1の自己保持回路ができ、表示
ランプOL1を点灯する。これと同時にリレー
THY1のA接点が閉じられてリレーEXを励磁し、
電磁接触器MS3の前のリレーEXの接点が開かれ
て電磁接触器MS3が無励磁となる。電磁接触器
MS3が無励磁となると、これと連動する電動機8
0の運転が停止する。同様に、温度スイツチ60
の接点TS2が開くと、リレーTHX2が無励磁にな
り、リレーTHX2のB接点が閉じられ、リレー
THY2を励磁し、リレーTHY2の自己保有回路が
でき、表示ランプOL2を点灯する。同時にリレー
THY2の信号がリレーEXにきてリレーEXを励磁
し、電磁接触器MS3の前のリレーEXの接点が開
かれて電磁接触器MS3が無励磁となり、電動機8
0の運転を停止する。
本考案によれば、比較的簡単な構造で、六弗化
ウランガスの温度を常時測定することができ、ま
た、温度スイツチの感温部が六弗化ウランガス用
真空ポンプのシリンダと第1室との間の隔壁の軸
封部及び第1室と第2室との間の隔壁の軸封部の
近くに挿入されているので、第1室内の六弗化ウ
ランガスの温度を正確に知ることができ、六弗化
ウランガスの凝固による事故を確実に防止するこ
とができるようになつた。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に使用する六弗化ウランガス用
真空ポンプの一例を示す概略説明図、第2図は第
1図の六弗化ウランガス用真空ポンプの一部を切
り欠いて断面で示した平面図、第3図は動力制御
回路の配線図である。 1……六弗化ウランガス用真空ポンプ、11…
…最終段シリンダ、111……吸込弁、14……
第1室、140……隔壁、141……軸封部、1
5……第2室、150……隔壁、151……軸封
部、16……第3室、21……不活性ガス供給
源、31……真空ポンプ、311……活性炭フイ
ルタ、50……温度スイツチ、51……感温部、
60……温度スイツチ、61……感温部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 六弗化ウランガスの最終段シリンダ11からク
    ランクケース17内への漏洩を防止するために、
    シリンダ11とクランクケース17との間に密封
    箱を形成したデイスタンスピースを3室設けて、
    デイスタンスピースの第1室14をシリンダ11
    の吸込弁111の入口側に連通して、その室内真
    空度をシリンダ11の吸込弁111の入口側の真
    空度と同一となるようにし、また、デイスタンス
    ピースの第2室15を活性炭フイルタ311を介
    して別に設けた真空ポンプ31に連通して、その
    室内真空度を第1室14の真空度より僅かに低く
    できるようにし、さらに、デイスタンスピースの
    第3室16を不活性ガス供給源21に連通して、
    その室内圧力を大気圧より僅かに高くできるよう
    にした六弗化ウランガス用真空ポンプの運転管理
    装置において、シリンダ11と第1室14との間
    の隔壁140の軸封部141の近くに感温部51
    を挿入した温度スイツチ50と、第1室14と第
    2室15との間の隔壁150の軸封部151の近
    くに感温部61を挿入した温度スイツチ60とを
    設けて、感温部51及び感温部61により第1室
    内の六弗化ウランガスの温度を常時測定できるよ
    うにし、一定温度以下になつたとき、温度スイツ
    チ50及び60が作動して、運転を停止できるよ
    うにしたことを特徴とする六弗化ウランガス用真
    空ポンプの運転管理装置。
JP14468487U 1987-09-22 1987-09-22 Expired JPH0244071Y2 (ja)

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JPS6367683U JPS6367683U (ja) 1988-05-07
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