JPH0754283Y2 - 真空装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は薄膜製造装置あるいはスパッタリング装置等の
真空装置に関する。

〈従来の技術〉 薄膜製造装置等の真空装置においては、チャンバ内で所
定の処理を行った後などにおいてチャンバ内を真空から
大気圧に戻す必要がある。その操作としては、従来、チ
ャンバ内部に連通するリークバルブを開いてその内部に
N₂ガスあるいは空気等を強制的に導入し、チャンバの圧
力が大気圧になった時点でリークバルブを閉じるという
方法が採られており、このようなリークバルブの開閉制
御には、通常圧力スイッチが用いられている。

〈考案が解決しようとする課題〉 ところで、上述のリーク法によれば、圧力スイッチの構
造が複雑で高価であるばかりでなく、何らかの理由によ
って圧力スイッチが動作しなかったり、あるいはリーク
バルブへの電気信号系統の断線等が生じた際、チャンバ
内にN₂ガス等が強制的に導入され、チャンバ内が過大圧
になり非常に危険であった。これを回避するには、安全
装置などを別途に設ける必要があり、このため装置が複
雑かつコスト高となるいった問題があった。

〈課題を解決するための手段〉 上記の従来の問題点を解決するために、本考案では、実
施例に対応する第１図に示すように、チャンバ壁体1a
に、そのチャンバ内部と外部とを仕切るよう装着され、
かつ、チャンバ１の内圧が真空状態のときと大気圧のと
きとでは形状が変化するフォイル２と、そのフォイル２
の形状変化を検出する手段（例えば発光・受光素子3a,3
bを備えた光電スイッチ３）を設けている。そして、そ
の検出結果をチャンバ１の内圧が大気圧であるか否かを
判別するための情報として供するよう構成している。

〈作用〉 フォイル２は、例えば第２図に示すように、チャンバ１
内部が真空状態のときにはチャンバ１内方へと湾曲し、
一方チャンバ１内が大気圧状態のときには平坦な状態に
戻る。そこで、このフォイル２の形状変化を、例えば光
学的に検出することで、チャンバ１内部が大気圧である
か否かを知ることができる。ここで、何らかの異常によ
り、チャンバ１内の圧力が高圧になったときには、フォ
イル２が破れて、チャンバ１内部は大気に開放される。

〈実施例〉 本考案の実施例を、以下、図面に基づいて説明する。

第１図は本考案実施例の構成図である。

チャンバ１には真空ポンプ（図示せず）が接続されてお
り、その内部を真空引きすることができる。

チャンバ１の壁体1aには、貫通穴1bが開口されており、
この貫通孔1bを塞ぐようにフォイル２が、フランジ６お
よびボルト７…７によって壁体1aの外部面に固着されて
いる。フォイル２と壁体1aとの当接面には、チャンバ１
内の気密を保つためのＯリング８が嵌め込まれている。
なお、フォイル２の材質としては例えばアルミニウムや
ステンレス等、気密性の高いものを用いる。

また、チャンバ１には、その内部にリークバルブ４を介
して連通するN₂ボンベ５が接続されており、リークバル
ブ４を開とすることによってチャンバ１内にN₂ガスを強
制的に導入することができる。

一方、チャンバ１外部には、フォイル２に対向して光電
スイッチ３が設置されている。この光電スイッチ３は、
フォイル２が平坦な状態のときに、その発光素子3aから
の光はフォイル２表面によって反射されて受光素子3bに
入射するように位置決めされている。

光電スイッチ３の出力信号は開閉制御回路９に入力され
る。この開閉制御回路９は光電スイッチ３からの信号お
よびリーク開始信号に基づいて、後述するリークバルブ
４の駆動制御を行うよう構成されている。

次に、本考案実施例の作用を述べる。第２図はその作用
説明図である。

まず、チャンバ１内が真空状態のときには、（ａ）に示
すように、フォイル２は、チャンバ１内外の圧力差によ
ってチャンバ内方へと湾曲する。この状態では、フォイ
ル２による反射光は受光素子3bに入射しないので、その
出力信号は例えばＬレベルでリークバルブ４は閉の状態
が保たれる。

次に、開閉制御回路９にリーク開始信号が入力される
と、リークバルブ４が開きチャンバ１内にN₂ガスが強制
的に導入される。そしてチャンバ１内の圧力が大気圧に
達すると、フォイル２形状は（ｂ）に示すにようにフラ
ットな状態となり、この時点でフォイル２による反射光
が受光素子3bに入射し、その出力信号がＨレベルとなっ
てリークバルブ４が閉じてリーク操作が完了する。

ここで、光電スイッチ３の故障やその電気信号系統の断
線等の異常が生じたときには、リーク操作時にチャンバ
１内の圧力が大気圧に達したのにもかかわらず、リーク
バルブ４が閉じず、チャンバ１の内圧が上昇し続けて過
大圧になることがあるが、フォイル２の材質や膜厚なら
びに貫通孔1bの径等を適宜に選定して、チャンバ１の内
圧が許容値に達する直前でフォイル２がバーストするよ
うにしておくことで、装置に重大な影響が及ぶことを防
止できる。

なお、以上の実施例においては、チャンバ１の内圧が大
気圧のときに、フォイル２による反射光が受光素子3bに
入射するように光電スイッチ３を位置決めしているが、
これに限られることなく、チャンバ１内が真空状態のと
きに反射光が受光素子3bに入射するようにしてもよい。

また、以上の実施例においては、フォイル２の形状変化
を光学的に検出しているが、これに限定されることな
く、例えばフォイルを磁性膜にしてその磁場を検出して
もよいし、あるいはフォイルの電気的容量変化を検出す
るよう構成しても本考案は実施可能である。

〈考案の効果〉 以上説明したように、本考案によれば、チャンバ壁体に
フォイルを装着し、このフォイルの形状変化を検出し
て、その検出結果をチャンバの内圧が大気圧になったか
否かを判別するための情報として供するよう構成したか
ら、装置にフォイルと例えば発光・受光素子等を設ける
だけで簡単な構造のもとに、リーク完了時のリークガス
導入停止を指令するための信号を得ることできる。しか
も電気信号系統の断線等の異常が生じてチャンバ内が過
大圧になったときには、フォイルが破れてチャンバ内は
外部に開放されるので、装置に重大な影響を及ぶことを
防止できる。これによって安全装置等を別途に設ける必
要がなくなり、コストの低減化をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案実施例の構成図で、第２図はその実施例
の作用説明図である。 １……チャンバ 1a……チャンバ壁体 ２……フォイル ３……光電スイッチ 3a……発光素子 3b……受光素子 ４……リークバルブ ５……N₂ボンベ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】真空ポンプ等によってチャンバ内を真空に
   する装置において、上記チャンバ壁体に、そのチャンバ
   内部と外部とを仕切るよう装着され、かつ、上記チャン
   バの内圧が真空状態のときと大気圧のときとでは形状が
   変化するフォイルと、そのフォイルの上記形状変化を検
   出する手段を備え、その検出結果を上記チャンバの内圧
   が大気圧であるか否かを判別するための情報として供す
   るよう構成したことを特徴とする真空装置。