JPH0243595B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0243595B2
JPH0243595B2 JP59032476A JP3247684A JPH0243595B2 JP H0243595 B2 JPH0243595 B2 JP H0243595B2 JP 59032476 A JP59032476 A JP 59032476A JP 3247684 A JP3247684 A JP 3247684A JP H0243595 B2 JPH0243595 B2 JP H0243595B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser beam
laser
axis
swinging
workpiece
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59032476A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS60177987A (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP59032476A priority Critical patent/JPS60177987A/ja
Publication of JPS60177987A publication Critical patent/JPS60177987A/ja
Publication of JPH0243595B2 publication Critical patent/JPH0243595B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/08Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
    • B23K26/082Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、レーザ加工装置にかかるものであ
り、特にレーザビームの走査を行うことによつて
対象物例えば生地、皮などを加工するレーザ加工
装置に関するものである。
〔従来技術〕
第1図には、従来のレーザ加工装置の一例が示
されている。この図において、裁断コンベヤ10
の左方には、生地を巻回した原反ロール12のセ
ツトされた延反装置14が配置されている。ま
た、裁断コンベヤ10の右方には、裁断後のスク
ラツプを収容処理するスクラツプ処理装置16が
配置されている。加工の対象となる生地18は、
図の矢印F1の如く延反装置14から裁断コンベ
ア10上に送り出され、スクラツプは矢印F2の
如くスクラツプ処理装置16に収容される。裁断
コンベア10の略中央付近には、レーザヘツド2
0を走査するための駆動機構22が配置されてい
る。この駆動機構22は、第1の駆動体24と、
第2の駆動体26とによつて構成されている。第
1の駆動体24は、裁断コンベア10の両側部に
一組設けられており、これに対して第2の駆動体
26が矢印F3方向に移動可能に架設されてい
る。すなわち第2の駆動体26は、第1の駆動体
24によつて矢印F3の方向に駆動される。この
矢印F3の方向は、生地18の表面に想定される
座標軸Xに一致する。
第2の駆動体26には、キヤリツジ28が装着
されており、このキヤリツジ28は、第2の駆動
体26によつて図の矢印F4の方向に駆動され
る。この矢印F4の方向は、生地18の表面に想
定される座標軸Yに一致する。キヤリツジ28に
は、レーザヘツド20が固着されている。すなわ
ち、レーザヘツド20は、第1の駆動体24によ
つて座標軸Xの方向に走査され、第2の駆動体2
6によつて座標軸Yの方向に走査される。
更に、裁断コンベヤ10の近辺には、レーザ発
振器30が配置されており、前述した第2の駆動
体26には、プリズムないしはミラーからなる光
学手段32が配置されている。また、レーザ発振
器30には、導光手段34が設けられている。こ
の導光手段34から出たレーザ光は、光路L1を
通過して光学手段32に入射し、ここで光路が変
更された後光路L2を通過してレーザヘツド20
に達する。光路L1の方向は、光学手段32の移
動方向すなわち第2の駆動体26の矢印F3の移
動方向に一致する。また、光路L2の方向は、レ
ーザヘツド20の移動方向すなわちキヤリツジ2
8の矢印F4の移動方向に一致する。従つて、レ
ーザヘツド20がどのように移動しても、レーザ
発振器30から出力されるレーザ光は良好にレー
ザヘツド20に達することができる。
次に上記従来例の動作について説明すると、生
地18は、裁断コンベヤ10の動作とともに移送
され、レーザヘツド20の部分を通過する。レー
ザヘツド20は、駆動機構22によつて走査移動
され、これに伴つてレーザ光が生地18上で一定
パターンを描きながら走査が行なわれることとな
る。
しかしながら、以上のような従来のレーザ加工
装置においては、駆動機構22の大きさは、裁断
するパターンの大きさに比例して大きくなり、配
置スペースも十分とる必要が生ずる。このため、
レーザ加工装置特に裁断コンベヤ10の長さが大
となる。また、駆動機構22の動作に伴う騒音あ
るいは振動も相当大とならざるを得ない。
更に、レーザヘツド20の移動範囲は、裁断パ
ターンと一致するため、高速で裁断加工を行うこ
とが困難であるという不都合もある。
〔発明の概要〕
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであ
り、高速でシヤープな加工を行うことができると
ともに、騒音あるいは振動を低減し得るレーザ加
工装置を提供することをその目的とし、コンベヤ
から成る支持台上に支持された被加工物に対し、
レーザ光を2次元的に走査しつつ照射することに
よつて被加工物を加工するレーザ加工装置におい
て、該装置はレーザ発振器から出力されたレーザ
光を被加工物に対して集光照射する光学手段と、
レーザ光の焦点を調整する焦点調整装置とを含
み、前記光学手段は前記レーザ発振器から出力さ
れたレーザ光の径を拡大するビーム拡大手段と、
該ビーム拡大手段によつて拡大されたレーザ光の
集光を行う集光手段と、該集光手段を通過して集
光途中にあるレーザ光の反射を行う反射手段と、
該反射手段を揺動させる揺動手段とを含み、該揺
動手段は前記反射手段を揺動させるための第1の
軸と、この第1の軸と直交して組付けられ前記反
射手段を前記揺動方向に直交する方向に揺動させ
るための第2の軸と、前記第1の軸を駆動する第
1のミラー駆動部と、前記第2の軸を駆動する第
2のミラー駆動部とを備え、かつ、第1又は第2
の軸の一方は、前記集光手段の光軸と一致させて
設け、該揺動手段により前記反射手段を揺動させ
てレーザ光の走査を行うとともに、前記焦点調整
装置により前記集光手段を光軸方向に移動させて
走査時の被加工物におけるレーザ光の焦点調整を
行うよう構成したことを特徴としている。
〔発明の実施例〕
以下、本発明にかかるレーザ加工装置を第2図
ないし第5図に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。
第2図には、本発明にかかるレーザ加工装置の
一実施例が示されており、この装置の正面から見
た概略の構成が第3図に示されている。これら第
2図及び第3図において、加工対象の生地100
が支持される支持台であるスラツトコンベヤ10
2の左方には、生地100の延反装置104が配
置されている。この延反装置104には、生地1
00が巻回された原反ロール106がセツトされ
ており、この原反ロール106に巻回された生地
100は、延反装置104によつてスラツトコン
ベヤ102上に送り出されるようになつている。
スラツトコンベヤ102の右方には、スクラツプ
処理装置108が配置されており、加工終了後の
残余のスクラツプが収容されるようになつてい
る。
スラツトコンベヤ102の中央付近適宜位置に
は、略コ字状のフレーム110が配置されてお
り、更にフレーム110の水平部の略中央には、
レーザヘツド112が固定されている。このレー
ザヘツド112は、例えば反射手段であるミラー
126を揺動させるための第1の軸(以下軸PX
という)と、軸PXと直交して組付けられミラー
126を軸PXによる揺動方向とは直交する方向
に揺動させるための第2の軸(以下軸PYという)
と、軸PXを駆動する第1のミラー駆動部114
と、軸PYを駆動する第2のミラー駆動部116
とから成る自在継手状のミラー駆動装置、及び集
光手段118とから構成されている。レーザヘツ
ド112の光学系の一例は、第4図に示されてい
る。この図に示すふうに、レーザ光は、図の一点
鎖線の如く凸面鏡120、凹面鏡122から成る
ビーム拡大手段を介してビーム径が拡大された後
集光手段118であるレンズ124に入射し、更
にはミラー126によつて反射され、生地100
に入射するようになつている。つまり、レーザ光
はビーム拡大手段によつてビーム径が拡大された
後、レンズ124によつて集光されるが、この集
光されるレーザ光はレンズ124直後に配置した
ミラー126によつて集光途中で光路が変更され
た後、生地100上に集光されるようになつてい
る。
第1のミラー駆動部114は、ミラー126を
軸PXを中心として第3図の矢印FA又は第4図の
矢印FBの如く揺動駆動するものであり、この軸
PXは、集光手段118のレンズ124の光軸と
一致している。
第2のミラー駆動部116は、ミラー126
を、軸PYを中心として第3図の矢印FC又は第4
図の矢印FDの如く揺動するものである。
すなわち、レーザ光RB(第2図参照)は、凸
面鏡120、凹面鏡122及びレンズ124によ
つて焦点が生地100上となるように合わせられ
るとともに、第1のミラー駆動部114によつて
生地100上に想定される座標X方向に走査さ
れ、第2のミラー駆動部116によつて生地10
0上に想定される座標Y方向に走査されるように
なつている。
なお、凸面鏡120及び凹面鏡122から成る
ビーム拡大手段は、生地100上におけるレーザ光
RBのスポツト径dを絞るためのものである。す
なわち、スポツト径dは、レンズ124の焦点距
離F、レンズ124に入射するレーザ光のビーム
径D、定数kに対して d=kF/D で表わされる。従つて焦点距離Fを大きくとる場
合であつても、スポツト径dを一定にしようとす
ると、ビーム径DもFに比例して大きくする必要
がある。本発明においては、レンズ124の焦点
距離Fを大きくし、レーザヘツド112と生地1
00との距離を大とする方がミラー126の揺動
を小さくすることができるため、かかるビーム拡
大手段を設置した。
次に、スラツトコンベヤ102あるいは延反装
置104の近辺には、レーザ発振器128が配置
されており、更に、フレーム110の一方の肩1
10Aには、プリズム、ミラーなどから成る光学
手段130が、配置固定されている。レーザ発振
器128と光学手段130の間には、プリズム、
ミラーあるいはオプチカルフアイバーなどから成
る伝送体132が設けられており、光学手段13
0と集光手段118の間には同様の伝送体134
が設けられている。すなわち、伝送体132,1
34及び光学手段130によつてレーザ発振器1
28によつて出力されるレーザ光をレーザヘツド
112に導く伝送手段が構成されている。
次に、スラツトコンベヤ102は、一部が円弧
状にわん曲しており、これによつて加工わん曲部
102Aが形成されている。この加工わん曲部1
02Aは、ミラー126の軸PXの回転中心を中
心点とした半径Rの円周の一部となるように構成
されている(第3図参照)。このため、第1のミ
ラー駆動部114によりミラー126を軸PXに
対して回転することによつてレーザ光RBを座標
軸X方向に走査する場合にあつては、ミラー12
6と生地100との光学的距離が変化しないた
め、焦点がずれるおそれがない。
しかし、第2のミラー駆動部116によりミラ
ー126を軸PYに対して回転することによつて
レーザ光RBを座標軸Y方向に走査する場合は、
ミラー126と生地100との光学的距離が変化
し、焦点がずれる。このような不都合を、本実施
例では、ビーム拡大手段によりレンズ124に入
射するビーム径を大きくしてレンズ124の焦点
距離Fを大きくしたことで無視できる程度まで低
減させているとともに、これによつても僅かに発
生する焦点ずれは後述する加工制御装置200の
焦点調整装置412により調整するようになつて
いる。
次に、第2図に示すように、スラツトコンベヤ
102の側部であつてスクラツプ処理装置108
の近辺には、加工制御装置200が配置されてお
り、その構成例は、第5図に示されている。
この第5図において、加工制御装置200は、
生産管理、パターンメーキング、グレーデイング
あるいはマーキングの処理を行う前段の処理装置
300と、その他の直接的な加工処理を行う後段
の処理装置400とによつて構成されている。処
理装置300には、紙テープなどのデータ入力手
段202が接続されている。
処理装置300は、生産管理部302、パター
ンメーキング・グレーデイング部(以下単に
「PG部」と略称する)304及びマーキング部3
06によつて構成されている。これらのうち、生
産管理部302は、加工作業全体の生産数量、種
類など生産管理に必要なデータを基礎として加工
処理を指令する機能を有する。PG部304では、
生産管理部302から入力されるデータに基づい
てパターンメーキング及びグレーデイングの作業
を行い、具体的なパターンに関するデータを算定
する。パターンメーキングとは、具体的な加工の
パターンの作成であり、グレーデイングとは、標
準のパターンから各サイズに応じたバリエーシヨ
ンのパターンを作成することである。このPG部
304のデータは、マーキング部306に入力さ
れる。マーキング部306では、入力されたデー
タに基づいて、パターンを生地100上に歩留り
よく配列する処理が行なわれる。このマーキング
部306のデータは、後段の処理装置400に入
力される。処理装置400では、マーキング部3
06から入力されたデータに基づいてレーザ光の
走査が行なわれ、生地100の裁断加工が行なわ
れる。
次に、後段の処理装置400について説明す
る。この処理装置400は、裁断制御部402を
中心に構成されており、裁断制御部402は、発
振器操作盤404、ヘツド駆動操作盤406及び
サーボコントローラ408に各々接続されてい
る。また、裁断制御部402は、延反装置10
4、スクラツプ処理装置108及びコンベヤ駆動
装置410にも各々接続されている。これらのう
ち、発振器操作盤404は、レーザ発振器128
に接続されており、これによつてレーザ発振器1
28のレーザ発振動作が制御される。発振器操作
盤404は、裁断制御部402による指令の他、
オペレータのマニユアルによる操作によつてもレ
ーザ発振器128を動作させることができるよう
になつている。
ヘツド駆動操作盤406及びサーボコントロー
ラ408は、焦点調整装置412によつて接続さ
れている。この焦点調整装置412は、第4図に
示すレンズ124を、光軸方向に移動せしめ、こ
れによつて、レーザ光RBの走査時におけるY方
向(第2図参照)の焦点ずれが調整されるように
なつている。なお、ヘツド駆動操作盤406は、
裁断制御部402による指令の他、オペレータの
マニユアルによる操作によつても焦点調整装置4
12すなわちレンズ124を動作させることがで
きるようになつている。
コンベヤ駆動装置410は、スラツトコンベヤ
102を駆動するためのものである。このコンベ
ヤ駆動装置410、延反装置104及びスクラツ
プ処理装置108は、裁断制御部402の指令に
基づき、一定の対応をもつて動作し、生地100
が加工の程度に応じてスラツトコンベヤ102上
に送り出されるようになつている。
次に、上記実施例の全体的動作について説明す
る。
まず、処理装置300から入力されるデータに
基づき裁断制御部402は、延反装置104及び
コンベヤ駆動装置410を動作させ、これによつ
てスラツトコンベヤ102上に原反ロール106
から生地100が送り出される。
他方、裁断制御部402から発振器操作盤40
4に動作指令が出力され、レーザ発振器128が
発振動作を開始し、レーザ光は、伝送体132,
134を介してレーザヘツド112に達する。レ
ーザ光は、前述したビーム拡大手段及びレンズ1
24を通過するとともに、ミラー126によつて
生地100上に焦点が合うように反射される。
このとき、裁断制御部402からヘツド駆動操
作盤406及びサーボコントローラ408に各々
動作指令が出力され、焦点調整装置412が駆動
される。すなわち、レンズ124が、レーザ光
RBの第1及び第2のミラー駆動装置走査に対応
して光軸方向に移動し、該レンズ124と生地1
00との光学的距離が一定となるように制御され
る。これによつて、生地100は、焦点が合つた
状態においてすなわちレーザ光RBのスポツト径
が最小の状態で裁断されることとなる。
以上の動作により生地100が裁断され、生地
100は、スラツトコンベヤ102によつてスク
ラツプ処理装置108の方向に送られる。このと
き、裁断制御部402の動作指令に基づいてスク
ラツプ処理装置108が駆動される。裁断された
生地100A,100Bは、オペレータによつて
スラツトコンベヤ102上から収集され、スクラ
ツプは、スクラツプ処理装置108内に収容され
る。
なお、上記実施例では、第1及び第2のミラー
駆動部114,116によつてレーザ光RBを直
交する座標軸X,Y方向に走査することとした
が、レーザ光RBを平面的ないしは2次元的に走
査できれば十分である。
また、上記実施例では、生地100を座標軸X
の方向にわん曲させたが、これをY方向にわん曲
させるようにしてもよい。この場合には、焦点調
整装置412によるレンズ124の移動制御をX
方向に対応するようにする。更に、生地100を
第1図に示すようにわん曲させない場合には、
X,Y両方向のレーザ光RBの走査に対応するよ
うにレンズ124の移動制御を行うようにする。
更に、加工対象物としては生地、皮等の他、金
属、プラスチツクなどでもよいが、上記実施例で
は、可とう性のあるものが好ましいことはいうま
でもない。このような性質を有しない場合には、
スラツトコンベヤ102を第1図に示すように平
担に構成することとなる。更に、加工対象物が比
較的小面積のものであるときは、直接スラツトコ
ンベヤ102上に載せるようにする。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、コンベ
ヤから成る支持台上に支持された被加工物に対
し、レーザ光を2次元的に走査しつつ照射するこ
とによつて被加工物を加工するレーザ加工装置に
おいて、該装置はレーザ発振器から出力されたレ
ーザ光を被加工物に対して集光照射する光学手段
と、レーザ光の焦点を調整する焦点調整装置とを
含み、前記光学手段は前記レーザ発振器から出力
されたレーザ光の径を拡大するビーム拡大手段
と、該ビーム拡大手段によつて拡大されたレーザ
光の集光を行う集光手段と、該集光手段を通過し
て集光途中にあるレーザ光の反射を行う反射手段
と、該反射手段を揺動させる揺動手段とを含み、
該揺動手段は前記反射手段を揺動させるための第
1の軸と、この第1の軸と直交して組付けられ前
記反射手段を前記揺動方向に直交する方向に揺動
させるための第2の軸と、前記第1の軸を駆動す
る第1のミラー駆動部と、前記第2の軸を駆動す
る第2のミラー駆動部とを備え、かつ、第1又は
第2の軸の一方は、前記集光手段の光軸と一致さ
せて設け、該揺動手段により前記反射手段を揺動
させてレーザ光の走査を行うとともに、前記焦点
調整装置により前記集光手段を光軸方向に移動さ
せて走査時の被加工物におけるレーザ光の焦点調
整を行うよう構成したので、レーザ光の焦点距離
を大きくすることができ、これにより反射手段と
被加工物との光学的距離が変化して焦点がずれる
のを無視できる程度まで低減し得るとともに、僅
かに発生する焦点ずれも調整することができ、高
速でシヤープな加工の実現が可能となり、騒音あ
るいは振動が低減されるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のレーザ加工装置の一例を示す斜
視図、第2図は本発明にかかるレーザ加工装置の
一実施例を示す斜視図、第3図は第2図に示す装
置の簡略化した正面図、第4図はレーザヘツドの
構成例を示す説明図、第5図は加工制御装置の一
実施例を示すブロツク図である。 図において、100は生地、102はスラツト
コンベヤ、112はレーザヘツド、114は第1
のミラー駆動部、116は第2のミラー駆動部、
118は集光手段、120は凸面鏡、122は凹
面鏡、124はレンズ、126はミラー、128
はレーザ発振器、102Aはわん曲部、200は
加工制御装置、412は焦点調整装置、PXは軸
(第1の軸)、PYは軸(第2の軸)、RBはレーザ
光である。なお、各図中同一符号は、同一又は相
当部分を示すものとする。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 コンベヤから成る支持台上に支持された被加
    工物に対し、レーザ光を2次元的に走査しつつ照
    射することによつて被加工物を加工するレーザ加
    工装置において、該装置はレーザ発振器から出力
    されたレーザ光を被加工物に対して集光照射する
    光学手段と、レーザ光の焦点を調整する焦点調整
    装置とを含み、前記光学手段は前記レーザ発振器
    から出力されたレーザ光の径を拡大するビーム拡
    大手段と、該ビーム拡大手段によつて拡大された
    レーザ光の集光を行う集光手段と、該集光手段を
    通過して集光途中にあるレーザ光の反射を行う反
    射手段と、該反射手段を揺動させる揺動手段とを
    含み、該揺動手段は前記反射手段を揺動させるた
    めの第1の軸と、この第1の軸と直交して組付け
    られ前記反射手段を前記揺動方向に直交する方向
    に揺動させるための第2の軸と、前記第1の軸を
    駆動する第1のミラー駆動部と、前記第2の軸を
    駆動する第2のミラー駆動部とを備え、かつ、第
    1又は第2の軸の一方は、前記集光手段の光軸と
    一致させて設け、該揺動手段により前記反射手段
    を揺動させてレーザ光の走査を行うとともに、前
    記焦点調整装置により前記集光手段を光軸方向に
    移動させて走査時の被加工物におけるレーザ光の
    焦点調整を行うよう構成したことを特徴とするレ
    ーザ加工装置。 2 前記支持台は、前記第1又は第2の軸の中心
    に対する円弧を形成するわん曲部を含む支持台で
    あり、前記焦点調整装置は、該支持台のわん曲部
    のわん曲方向と直交する方向に対してレーザ光の
    焦点を調整する焦点調整装置である特許請求の範
    囲第1項記載のレーザ加工装置。
JP59032476A 1984-02-24 1984-02-24 レ−ザ加工装置 Granted JPS60177987A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59032476A JPS60177987A (ja) 1984-02-24 1984-02-24 レ−ザ加工装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59032476A JPS60177987A (ja) 1984-02-24 1984-02-24 レ−ザ加工装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60177987A JPS60177987A (ja) 1985-09-11
JPH0243595B2 true JPH0243595B2 (ja) 1990-09-28

Family

ID=12360029

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59032476A Granted JPS60177987A (ja) 1984-02-24 1984-02-24 レ−ザ加工装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60177987A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0559087U (ja) * 1992-01-17 1993-08-03 株式会社協成 スパイラルフレキシブルパイプの継手

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL2001212C2 (nl) 2008-01-24 2009-07-27 Iai Bv Werkwijze en inrichting voor het door middel van laser bewerken van een beweegbaar substraat.
CN109848574A (zh) * 2017-11-29 2019-06-07 大族激光科技产业集团股份有限公司 进结速度与送料速度匹配的控制方法、装置以及存储介质

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS509198A (ja) * 1973-05-30 1975-01-30
JPS51135492A (en) * 1975-05-20 1976-11-24 Mitsubishi Electric Corp Laser material processing unit

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4830492U (ja) * 1971-08-17 1973-04-13
JPS52141695U (ja) * 1976-04-22 1977-10-27

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS509198A (ja) * 1973-05-30 1975-01-30
JPS51135492A (en) * 1975-05-20 1976-11-24 Mitsubishi Electric Corp Laser material processing unit

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0559087U (ja) * 1992-01-17 1993-08-03 株式会社協成 スパイラルフレキシブルパイプの継手

Also Published As

Publication number Publication date
JPS60177987A (ja) 1985-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5910260A (en) Laser cutter and method for cutting sheet material
JPH0647575A (ja) 光走査型レーザ加工機
JPH04327394A (ja) 光移動型レーザ加工機
JPH0243594B2 (ja)
JPH0243595B2 (ja)
JP2000071088A (ja) レ−ザ加工機
JPH0243593B2 (ja)
JPH03180294A (ja) レーザ切断加工機
JPS60106686A (ja) レ−ザ・マ−キング装置
JPH0243598B2 (ja)
JPH0243592B2 (ja)
JPH0243596B2 (ja)
JPH0247317B2 (ja)
JPH0155076B2 (ja)
JPH0557474A (ja) レーザ加工装置
JPH0243599B2 (ja)
JPS61145882A (ja) レ−ザ加工装置
JPH0314554B2 (ja)
JPH0243597B2 (ja)
WO2020075632A1 (ja) レーザ加工機及びレーザ加工方法
JPS6127158B2 (ja)
JPH04187393A (ja) レーザ加工装置
JPS61242783A (ja) レ−ザ加工装置
JPS63230287A (ja) レ−ザ加工における加工誤差補正方法
JP2000343265A (ja) レーザ加工方法およびその装置

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term