JPH0241167Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、ウエハーの真空蒸着に使用される蒸
着用蒸発源装置に関する。

〈従来の技術〉 従来から、ウエハーの裏メタル工程において
は、第３図に示すような蒸着用蒸発源装置を使用
してウエハーに各種材料を蒸着している。このよ
うな蒸着用蒸発源装置２０は、ハース２１とハー
スデツキ２２により構成されている。ハース２１
は縦軸回りに回転可能に設けられ、その上面には
各種の蒸着材料を保持する複数の蒸発源用るつぼ
２３を有している。また、ハースデツキ２２は該
ハース２１の上面と間隙部２４を隔てた定位置で
該ハース２１を覆うように固定されている。そし
てハースデツキ２２は蒸発源用るつぼ２３に合致
し、必要な蒸着材料のみを蒸発させる開口部２５
を１つ有している。該開口部２５は第２図に示す
ように、その一端部に方形の切欠部を有する逆円
錐台形状とされている。さらに、蒸着用蒸発源装
置２０は電子ビーム２６を発生するフイラメント
２７と、該電子ビーム２６の方向を変える偏向電
極２８とを具備している。

このような蒸着用蒸発源装置２０を真空容器３
０内に設置し、その上方にウエハー３５を設置す
る。そして、ハース２１を回転させて、蒸着に必
要な蒸着材料を保持している蒸発源用るつぼ２３
をハースデツキ２２の開口部２５の下に移動させ
る。つぎに、フイラメント２７により電子ビーム
２６を発生させる。発生した電子ビーム２６を偏
向電極２８により偏向させて該蒸着材料に照射す
る。これにより、蒸着材料が蒸発してウエハー３
５が蒸着される。

〈考案が解決しようとする問題点〉 前述のように、蒸着用蒸発源装置では蒸着に必
要な蒸着材料を保持している蒸発源用るつぼ２３
のすぐ上にハースデツキ２２の開口部２５が位置
している。そのため、蒸発した蒸着材料はウエハ
ー３５に蒸着するほか、ハースデツキ２２の開口
部２５の内側面に蒸着し、また、間隙部２４に侵
入する。間隙部２４に侵入した蒸着材料は、ハー
ス２１の上面やハースデツキ２２の下面に蒸着す
る。したがつて、開口部２５や間隙部２４のクリ
ーニングが度々必要になるとともに、クリーニン
グしなければ間隙部２４に蒸着材料がつまつてし
まい、ハース２１が回転できなくなるという問題
点があつた。

本考案は、上述の問題点に鑑みてなされたもの
であつて、ハースデツキの開口部に蒸着材料が蒸
着せず、また、間隙部に蒸着材料が侵入しない蒸
着用蒸発源装置を提供することを目的としてい
る。

〈問題点を解決するための手段〉 本考案は上記問題点を解決するため、ハースデ
ツキの開口部に該開口部の内側面を覆う板状の蒸
着防止具を着脱自在に装着した。

〈作用〉 本考案によれば、ハースデツキの開口部の内側
面が蒸着防止具で覆われるので、蒸発した蒸着材
料はこの蒸着防止具に蒸着する。したがつて、ハ
ースデツキの内側面には蒸着せず、ハースとの間
隙部にも侵入しない。

〈実施例〉 第１図は本考案の一実施例に係る蒸着用蒸発源
装置の側断面図であり、第２図は蒸着防止具とハ
ースデツキとの関係を示す斜視図である。本考案
の蒸着用蒸発源装置２０は、第１図に示すように
ハースデツキ２２の開口部２５に蒸着防止具１０
を装着した以外は第３図の従来例と異ならない。
したがつて、第１図の説明は第３図に示す従来例
のものと同様であるから、第１図において第３図
と対応する部分には同一の符号を付し、その同一
の符号部分についての説明は省略する。

第２図において、１０は蒸着防止具であり、鋼
板、ステンレス板、特に好ましくは石英板により
構成されている。この蒸着防止具１０の形状はハ
ースデツキ２２の開口部２５の逆円錐台形部分に
装着できる外径を有する逆円錐台形であつて、か
つ電子ビーム２６が通過する一側面は開放部１１
とされている。なお、この開放部１１は孔状であ
つてもよい。

そして、蒸着防止具１０は外向きに折り返され
た上端突出縁１２と、内向きに折り返された下端
突出縁１３とを備えている。上端突出縁１２は、
蒸着防止具１０をハースデツキ２２の開口部２５
に装着したときに、ハースデツキ２２の上面に係
合するようになつている。この係合により、蒸着
防止具１０がその取付位置から脱落することが防
止される。また、蒸着防止具１０の下端突出縁１
３は、ハース２１の上面とハースデツキ２２の下
面との間隙部２４を閉鎖するような位置に形成さ
れている。この下端突出縁１３の閉鎖構造によ
り、蒸発した蒸着材料が間隙部２４に侵入するこ
とが有効に防止される。

なお、蒸着防止具１０の形状は逆円錐台形に限
定されず、ハースデツキ２２の開口部２５の形状
に応じた形状であればよく、例えば円筒状や角柱
状などであつてもよい。また、蒸着防止具１０は
１枚の板から構成されたものとしているが、複数
枚の板から構成されたものであつてもよい。特
に、蒸着防止具１０を石英板とするときは、複数
枚の板で構成する方が開口部２５への着脱が容易
である。

つぎに、第１図および第２図に基づいて、蒸着
防止具１０のハースデツキ２２の開口部２５への
装着について説明する。

蒸着防止具１０の装着時にその開放部１１を、
ハースデツキ２２に設けられた開口部２５の方形
切欠部に一致させておく。蒸着防止具１０の装着
により、開口部２５の内側面が蒸着防止具１０に
よつて覆われ、また、ハース２１の上面とハース
デツキ２２の下面との間隙部２４の位置にはその
下端突出縁１３が配置される。

この状態で蒸着に必要な蒸着材料に電子ビーム
２６を照射する。これにより、該蒸着材料が蒸発
してウエハー３５に蒸着するとともに、蒸着防止
具１０に蒸着する。

なお、図示例ではいずれも電子ビーム２６を発
生するフイラメント２７をハース２１の下側位置
に設けたが、フイラメント２７等の電子ビーム発
生源をより上方に設けてもよい。

また、本考案は単一の蒸発源用るつぼからなる
ハースについても適用することができる。

〈考案の効果〉 以上のように本考案ではハースデツキの開口部
の内側面が蒸着防止具によつて覆われているた
め、蒸発した蒸着材料は蒸着防止具に蒸着するこ
ととなり、ハースデツキの開口部の内側面に蒸着
したり、間隙部に侵入したりすることがない。し
たがつて、蒸着防止具を取り替えることにより、
開口部や間隙部のクリーニングを済ませることが
でき、従来のように面倒なクリーニングの必要は
ないという効果がある。そして、間隙部に蒸着材
料がつまることによるハースの回転不良がなくな
るという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例に係る蒸着用蒸発源
装置の側断面図、第２図は蒸着防止具とハースデ
ツキとの関係を示す斜視図、第３図は従来例の蒸
着用蒸発源装置を示す側断面図である。 １０……蒸着防止具、２０……蒸着用蒸発源装
置、２１……ハース、２２……ハースデツキ、２
４……ハースの上面とハースデツキの上面との間
隙部、２５……ハースデツキの開口部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 縦軸回りに回転可能で上面に蒸発源用るつぼを
   有するハースと、該ハース上の定位置に固定され
   て蒸発源用るつぼに合致する１つの開口部を有す
   るハースデツキとを備えた蒸着用蒸発源装置にお
   いて、 前記ハースデツキの開口部に該開口部の内側面
   を覆う板状の蒸着防止具を着脱自在に装着したこ
   とを特徴とする蒸着用蒸発源装置。