JPH0239729Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、レンズや水晶振動子などの研磨装置
における被加工材のチヤツク装置に関する。

従来、例えば水晶振動子用水晶片にコンベツク
ス加工を施すため水晶片に球面研磨を行う場合、
水晶片を精度よく球面研磨するため水晶片のチヤ
ツク具とこれを回転駆動する軸との間に自在継手
を設けている。このためチヤツク具と軸とはある
程度自由に傾斜することが可能である。しかしな
がら傾斜状態にあると、まず水晶片の角部分が研
磨皿に接触するため、その部分が割れてしまうと
いう欠点があつた。

そこで本考案は、チヤツク具と軸との間に自在
継手が介されていて被加工材が傾斜している場合
でも、被加工材が加工面に接触する前にチヤツク
具の姿勢を矯正し、被加工材が加工面に全面で均
一に接触するようにして被加工材の割れを防ぐこ
とを目的とするものである。

以下、本考案の一実施例を図面を参照して詳細
に説明する。

第１図は本考案のチヤツク装置を用いた水晶片
の研磨装置の慨略図を示している。同図におい
て、１は研磨皿であり、加工面として研磨皿１ａ
が形成してある。研磨面１ａは曲率半径Ｒの球面
で形成されており、研磨面には砥粒が注がれる。
研磨皿１は軸２の上端にねじ止めされている。軸
２は曲率半径Ｒの中心Ｃを中心として二点鎖線に
示すように揺動可能である。また軸２は回転駆動
させるものでもよい。

研磨装置の軸３は、図示しない駆動手段によつ
て回転運動と上下動運動とが行なわれるものであ
る。軸３の軸心には、真空ポンプなどの減圧手段
（図示せず。）に連通する中空部３ａが設けてあ
る。軸３の下端には被加工材をチヤツクするチヤ
ツク装置４が設けてあり、被加工材はチヤツク装
置４を介して研磨面１ａに押圧され、研磨加工さ
れる。

ここで第２〜３図を参照し、チヤツク装置４に
ついて詳述する。

軸３の下方には中空部３ａから軸外周に連通す
る連通孔３ｂが形成してあり、その下方に駆動ピ
ン５が固着してある。軸３の下端が半球状部３ｃ
細軸となつている。軸３の下端部には後述するチ
ヤツク具の姿勢矯正部材として作用するカバー体
６が上下動可能に若干の間隙をもつて傾斜可能に
支持されている。

このカバー体６は、連通孔３ｂに連通可能であ
る下端開口の内隙６ａを有しており、駆動ピン５
により軸３からの離脱が防止され、駆動ピン５と
接しているときは第３図示のように連通孔３ｂを
閉塞するものである。

チヤツク具７には、下面に被加工材である水晶
片８を嵌合する凹部７ａが形成してあり、凹部７
ａからチヤツク具上面に達する細孔７ｂ，７ｂが
穿設してある。このため細孔７ｂ，７ｂと連通孔
３ｂとは内隙６ａを介して連通している。チヤツ
ク具７の上面中央には円錐穴７ｃが形成されてお
り、軸３の下端の半球状部３ｃと水平方向の間隙
を有して接合し、自在継手を構成している。チヤ
ツク具７の上面に植設された従動ピン９，９は、
駆動ピン５と係合してチヤツク具７を軸３に連動
回転させるものである。

ところで、チヤツク具７は、この実施例では、
カバー体６の下端開口に密接し、減圧手段を作動
させることにより吸着されるようになつている。
カバー体６は軸３に若干の関隙をもつて上下動可
能に支持されているため、チヤツク具７が半球状
部３ｃと円錐穴７ｃとの自在継手部にて多少傾い
ても、チヤツク具７の上面とカバー体６の下面と
に密接するようになつている。このような自在継
手部分にて傾斜が自由になつているため、水晶片
８はその全周にて均一に研磨面１ａに接すること
ができる。

軸３に上下動可能にかつ傾斜可能に支持されて
いるガイド体１０は、カバー体６およびチヤツク
具７を覆う下端が開口した形状をしている。ガイ
ド体１０のガイド部１０ａは、研磨加工中以外は
水晶片８より下方に位置するように設定してあ
り、これによりガイド部１０ａが水晶振動子８よ
り先に研磨面１ａに接触するようになつている。
また、ガイド体１０の内面には空隙１０ｂが形成
してあり、この空隙と軸３の中空部３ａとを連通
させる連通孔３ｄが軸３に穿設してある。空隙１
０ｂは減圧手段によりカバー体６とガイド体１０
とを吸着させるものである。なお第３図示のよう
に駆動ピンとカバー体６とが接し、カバー体６と
ガイド部材１０とが接している状態では連通孔３
ｂはガイド体１０により閉塞される。

つぎに動作について説明する。

第３図の状態より減圧手段を作動させると中空
部３ａが減圧される。しかし連通孔３ｂ，３ｄは
それぞれカバー体６、ガイド体１０により閉じら
れているため、これらの間隙よりわずかな空気が
中空部３ａに吸い込まれる。つぎにチヤツク具７
の凹部７ａに水晶片８を嵌合させ、チヤツク具７
をガイド体１０の下方より挿入し、カバー体６と
チヤツク具７とを接触させる。半球状部３ｃに円
錐穴７ｃが接触する位置までチヤツク具７や上方
へ押すと、連通孔３ｂと内隙６ａとが連通して内
隙６ａが減圧される。そのため、細孔７ｂ，７ｂ
を介して水晶片８はチヤツク具７に吸着される。
この状態が第４図であり、駆動ピン５と従動ピン
９，９とが係合する位置関係にある。そして空隙
１０ｂは連通孔３ｄにより減圧され、ガイド体１
０はカバー体６に弱く吸引される。

つぎに軸３を回転させながら下降させると、第
４図示のようにまずガイド部１０ａが二点鎖線で
示した研磨面１ａに接触し、さらに軸３を下降さ
せるとガイド体１０は軸３に対し上昇し、水晶振
動子８が研磨面１ａに接触する。これが第２図の
状態であり、研磨面１ａに砥粒を注ぎ研磨を行
う。このとき研磨皿１も回転させてもよい。

ところで、第５図示のように軸３に対しチヤツ
ク具７が傾斜した状態のとき軸３を下降させる
と、研磨面１ａとガイド部１０ａの左側とが接近
しているため最初に接触し、軸３の下降にともな
つてガイド体１０を水平に矯正し、ガイド部１０
ａの左右が研磨面１ａに接するようになる。ガイ
ド体１０が水平に矯正されると、カバー体６はガ
イド体１０に空隙１０ｂにより吸引されているた
め、ガイド体１０に追随したカバー体６が水平状
態に矯正される。そしてチヤツク具７もカバー体
６に追随して水平状態となる。このため水晶片８
は全周にて研磨面１ａに接触するため、割れたり
欠けたるすることは皆無となる。

第６図示の水晶片８は研磨加工により第７図示
のように一面が球面８ａに形成される。この球面
８ａは、外周が欠けたりすることがなく、また軸
下端の半球状態３ｃと円錐穴７ｃとによる自在継
手による研磨面１ａに均等に押圧され研磨される
ため均一な球面となる。このため水晶振動子用水
晶片のような非加工材を精密に所望形状に研磨す
ることができる。

なお、この実施例では、チヤツク具は軸の下端
に着脱自在に取り付けられるようにしているが、
自在継手部分で着脱不能に取り付けるようにする
ことも可能である。

以上述べたように本考案によれば、被加工材が
加工面に接触するとき均一に接触するため、被加
工材が割れたり欠けたりすることが皆無となり、
被加工材の歩留りを向上させることができるとい
う多大な効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のチヤツク装置を用いた研磨装
置の一部断面正面図、第２図は要部拡大断面図、
第３図は要部の展開図、第４〜５図は動作説明
図、第６図は被加工材の拡大断面図、第７図はそ
の加工後の拡大断面図である。 １ａ……加工面、３……軸、３ａ……中空部、
３ｂ……連通孔、３ｄ……連通孔、４……チヤツ
ク装置、６……カバー体、６ａ……内隙、７……
チヤツク具、７ａ……凹部、７ｂ……細孔、８…
…被加工材、１０……ガイド体、１０ａ……ガイ
ド部、１０ｂ……空隙。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 加工面１ａと対向する研磨装置の上下動する軸
   ３の下端部には、被加工材８のチヤツク具７が自
   在継手を介して取り付けてあり、 上記チヤツク具には、上記被加工材が嵌合する
   凹部７ａが下面に形成してある一方、当該凹部か
   ら上面に連通する複数の細孔７ｂが形成してあ
   り、 上記チヤツク具の上面に載置されかつ内隙６ａ
   を有する下端開口筒状のカバー体６が、上記軸を
   貫通遊合して設けてあり、 上記カバー体の上面に当接する内面を有するガ
   イド体１０が、上記軸に上下動自在にかつ傾斜可
   能に取り付けてあり、 上記ガイド体は、常態において上記チヤツク具
   の外側位置で上記チヤツク具の下面よりも下方に
   垂下して上記被加工材よりも先に上記加工面に当
   接するガイド部１０ａを有しており、 上記ガイド体の上記内面には、上記軸の外周部
   を囲む空隙１０ｂが形成してあり、 上記軸には、その中心部を延長しかつ減圧手段
   に連通する中空部３ａと、この中空部から上記内
   隙と上記空隙とにそれぞれ連通する連通孔３ｂ，
   ３ｄとが形成してあり、 減圧された上記内隙を介して上記非加工材が上
   記チヤツク具の上記凹部に吸着保持されるととも
   に、減圧された上記空隙により上記カバー体と上
   記ガイド体とが密着し、 上記軸が降下するとき、上記被加工材が上記加
   工面に接触する前に上記ガイド部材の上記ガイド
   部が上記加工面に当接し、上記チヤツク具の姿勢
   が、上記ガイド部材に吸着した上記カバー体を介
   して上記ガイド部材の姿勢に追従矯正されるよう
   にした ことを特徴とする研磨装置の被加工材チヤツク装
   置。