JPH0238756U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0238756U JPH0238756U JP11682288U JP11682288U JPH0238756U JP H0238756 U JPH0238756 U JP H0238756U JP 11682288 U JP11682288 U JP 11682288U JP 11682288 U JP11682288 U JP 11682288U JP H0238756 U JPH0238756 U JP H0238756U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- electronic device
- stepped portion
- melting point
- low melting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案の一実施例を示し
たもので、第１図は逆スタガー型薄膜トランジス
タの断面図、第２図はそのソース、ドレイン配線
の形成工程図である。第３図および第４図は本考
案の他の実施例を示したもので、第３図は逆スタ
ガー型薄膜トランジスタの断面図、第４図はその
ソース、ドレイン配線の形成工程図である。 Ｔ……薄膜トランジスタ、１……絶縁基板、２
……ゲート配線、３……ゲート絶縁膜、４……半
導体層、５……コンタクト層、６……ソース配線
、７……ドレイン配線、ａ……低融点金属膜、ｂ
……低抵抗金属膜。
たもので、第１図は逆スタガー型薄膜トランジス
タの断面図、第２図はそのソース、ドレイン配線
の形成工程図である。第３図および第４図は本考
案の他の実施例を示したもので、第３図は逆スタ
ガー型薄膜トランジスタの断面図、第４図はその
ソース、ドレイン配線の形成工程図である。 Ｔ……薄膜トランジスタ、１……絶縁基板、２
……ゲート配線、３……ゲート絶縁膜、４……半
導体層、５……コンタクト層、６……ソース配線
、７……ドレイン配線、ａ……低融点金属膜、ｂ
……低抵抗金属膜。
Claims (1)
- 段差部を有する電子デバイスの配線を低融点金
属材料により形成し、その段差部を熱処理により
なだらかにしたことを特徴とする電子デバイスの
配線。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11682288U JPH0238756U (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11682288U JPH0238756U (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0238756U true JPH0238756U (ja) | 1990-03-15 |
Family
ID=31359714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11682288U Pending JPH0238756U (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0238756U (ja) |
-
1988
- 1988-09-07 JP JP11682288U patent/JPH0238756U/ja active Pending
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