JPH0234941A - 半導体装置の搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体装置の搬送装置に関するものである
。

〔従来の技術〕

第７図は従来の半導体装置の搬送装置を示す断面図であ
り、図において、１は半導体装置、２．３は上記半導体
装置を収納案内する下レールおよび上レールテ、上レー
ル３はボルト３ａにて下レール２に位置決め固定されて
いる。４は上記下レール２および上レール３を載荷保持
する台座、５は上記台座４の貫通孔４ａと摺動自在に嵌
合し、この台座４を案内するガイド軸、６は上記台座４
を矢印ＰＱ力方向往復連動させるベルトで、保持板４ｂ
にて台座４に固定されている。７は上記部品より構成さ
れたシャトルである。

次に動作について説明する。下レール２と上し＝ル３内
に収納位置決めされた半導体装置１は、駆動袋＠（図示
省略）により往復運動するベルト６により、シャフト５
を案内としてＰ方向に所定量摺動する台ｆｆ１４の移動
分だけ搬送される。

次いで、半導体装Ｈｔは、図示省略した排出装置により
次工程へと排出されると、台座４はベルト６によりＱ方
向に移動し、所定位置まで戻る。

すなわち、シャトル７は次の半導体装置１を受ける状態
で待機する。

上記動作をくり返すことで、半導体装置ｌは順次微速さ
れる。

（発明が解決しようとする課題〕 従来の半導体装置の搬送装置は以上のように構成されて
いるので、シャトルの往復連動で半導体装置を順次搬送
するため、次の半導体装置を受は取りに行く復動作時は
、シャトル内が空状態となり搬送のロスタイムとなる問
題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、搬送のための移送を１方向でかつエンドレス
にできる搬送装置を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係る半導体装置の搬送装置は、半導体装置を
案内、収納する保持具を係合、装着し、搬送方向に定ピ
ンチで所定数連結されたブロックチェーンを設けるとと
もに、上記ブロックチェーンをスプロットにより、搬送
方向に定ピッチで、かつエンドレスに駆動するようにし
たものである。

〔作用〕

この発明における半導体装置の搬送装置は、搬送方向に
のみ定ピンチでエンドレスに移送することにより、所定
位置で受取った半導体装置をｒ日次搬送することができ
る。

（実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図ないし第５図において、１１は半導体装置１を案内収
納する保持具、枝は上記保持具１１と係合する＠１２ａ
を有し、上記保持具１１を着脱自在に保持装着するとと
もに、搬送方向に延ひ、隣接する相手と互いに係合する
各１対の第１および第２のアーム１２ｂ、１２ｃを有し
、定ピッチで連結のための貫通孔１３ｄを設けたブロッ
クチェーン、１３は上記プロツクチェーン球の貫通孔１
２ｄと着脱回転自在に嵌合し、上記ブロックチェーンセ
を搬送方向に連結するシャフト、１４ハ上記シヤフト肪
と嵌合し、上記プロツクチェーン球の両側面にリング１
４＆により回転自在に係止された第１のローラ゛、ｂは
上記ブロックチェーンシ上面に保持固定されたピン、１
６は上記ビン１５と回転自在に嵌合し、リングｌａｇに
より回転自任に係止された第２のローラ、１７は上記保
持具１１を上記ブロックチェーン１２に保持固定するボ
ルト、凪は上記第１のローラ１４と係合し、ブロックチ
ェーン化をピンチ８つつ搬送方向に間欠的かつエンドレ
スに駆動するスプロケットである。

次に動作について説明する。第１図ないし第５図におい
て、所定数エンドレスに連結されたブロックチェーンじ
と、このブロックチェーンレに保持固定された保持具１
１は、第５図に示すように一方のローラ１４が駆動側ス
プロケッ）１８に、また他方のローラ１４が従動側スプ
ロケット（図示省略）に、それぞれ係合し、かつ所定の
張力が加えられている。駆動側スプロケツ）１８と従動
側スプロケット間は、第４崗に示すように、第１のロー
ラ１４と係合しブロックチェーンしないし保持具１１を
上下方向に位置決めし案内する第１の案内板１４１によ
り保持され、また第２のローラ】６と係合し、ブロック
チェーン１２ないし保持具１１を前後方向に位置決めし
案内する第２の案内板１６１により保持されている。こ
の状態において、所定位置で停止した所望の保持具１１
内に、前工程より移送されてきた半導体装置ｌが案内収
納される。次いで駆動側スプロケット迅によりＢピッチ
だけ搬送方向にプロツクチェーン丘が送られ停止すると
、次の保持具ｌｌ内にさらに半導体９ｆｆｆｌが送り込
まれ、さらに上記動作をくり返し、半導体装置ｌは次々
と搬送され、所定位置にきた半導体装ｉｆ　１は保持具
ｌｌ内より次工程へと払い出されていく。

なお、上記実施例では保持具１１にて半導体装置１を案
内収納するもの３示したが、第６図に示すように、保持
具Ｉｌｌに下ガイド田および上ガイド１１３をそれぞれ
ポル）１込、１１３ａで着脱自任に保持固定し、半導体
装置ｌを案内収納してもよい。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、搬送方向をｌ方向で、
かつエンドレスに出来るようにしたので、ロスタイムの
ない搬送か得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による半導体装置の搬送装
置を示す正面図、第２図はその側面図、第８図はその一
部を断面で示す平面図、第４図のその動作様態を示す側
面図、第５図はその動作様態を示す正面図、第６図はこ
の発明の他の実施例を示す正面図、第７図は従来の半導
体装置の搬送装置を示す正面図である。 図中、■は半導体装置、１１．１１１は保持具、皮はブ
ｏ７クチエーン、１２１）Ｘｔ２０　Ｇ；ｊアーム、１
２ｄはＷ通孔、Ｂはシャフト、１４は第１のローラ、１
６は第２のローラ、１８はスプロケット、１１２は下ガ
イド、１Ｘ３は上ガイド°、１４１は第′１の案内板、
１６１は第２の案内板である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体装置を収納し、搬送する搬送装置において、半導
   体装置を案内・収納する保持具、該保持具を着脱交換自
   在に係合、装着し、搬送方向に延び隣接する相手と互い
   に係合する各１対の第１及び第２のアームを有し、これ
   らアームに定ピッチの貫通孔を設けたブロックチェーン
   、該ブロックチェーンの貫通孔と嵌合し着脱回転自在に
   連絡するシャフト、上記ブロックチェーンの両側面に位
   置し、ブロックチェーンの上・下方向を位置決め案内す
   る第１のローラ、上記ブロックチェーンの上部に位置し
   ブロックチェーンの前・後方向を位置決め案内する第２
   のローラ、及び上記第１のローラと係合し、上記ブロッ
   クチェーンを駆動するスプロケットを備えたことを特徴
   とする半導体装置の搬送装置。