JPH05320990A - 表面処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】表面処理装置において設置スペースの節約を図
りつつ被処理物を選択処理する方法を開示する。 【構成】治具１９に取り付けられた被処理物はタクト搬
送手段と移行用レール１１との協働により処理槽２をタ
クト搬送されて所定処理される。この際選択手段８１に
よって移行用レール１１の任意の処理位置１２対応部分
を他の部分に対して退避させる。処理位置１２対応部分
と対応する治具１９は移行用レール１１を上昇させても
上昇されず、タクト搬送されない。空の治具１９を上限
位置ＵＬよりも上方に配置されたコンベヤ６１によっ多
数保持し、適時第１リフト７１を利用して空の治具１９
を下限位置ＬＬに位置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、表面処理装置に関す
る。詳しくは、めっき処理装置や電着レジスト処理装置
等の表面処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、電着レジスト処理装置は、電着
レジスト処理槽等の各処理槽を被処理物を搬送しつつ所
定処理して、その表面にレジスト被膜を形成するもので
ある。

【０００３】ここで、被処理物を搬送する方法として
は、大別してキャリア式とプッシャータクト式とがあ
る。キャリア式は、キャリアに被処理物を取り付け、処
理槽上部に設けられた個別の搬送駆動装置を用いて当該
キャリアを搬送するものである。また、プッシャータク
ト式は、被処理物を保持した治具（ラック）をプッシャ
ーで押してタクト搬送するもので、治具のストック部が
処理槽に対して平面配置されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したキ
ャリア式では、個別の搬送駆動装置を備える関係上、設
備が大型化する不都合を有する。

【０００５】また、プッシャータクト式では、治具のス
トック部を平面配置するために設置スペースの節約を図
るのが困難である。また、被処理物を選択処理できない
不都合を有している。

【０００６】本発明の目的は、上記事情に鑑み、設置ス
ペースの節約を図りつつ被処理物を選択処理することが
できる表面処理装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る表面処理装
置は、処理槽上方の下限位置および上限位置間で昇降可
能かつ被処理物が取り付けられた治具をスライド可能に
保持する移行用レールと、上限位置において移行用レー
ルに保持された治具を所定移送方向にタクト搬送可能に
設けられたタクト搬送手段と、上限位置よりも上方に配
設され被処理物が取り外された治具を所定移送方向と逆
方向に移送可能かつ多数の治具を保持可能に形成された
コンベヤと、このコンベヤの移送方向の下流側に配設さ
れたストップアンドフィーダと、コンベヤの移送方向下
流側と下方の上限位置および下限位置との間を昇降可能
に設けられた第１リフタと、コンベヤの移送方向上流側
と下方の上限位置との間を昇降可能に設けられた第２リ
フタとを含み、移行用レールの各処理位置対応部分を他
の部分に対して分割出入り可能に形成し、下限位置にお
いて移行用レールの各処理位置対応部分を他の部分に対
して選択的に退避させる選択手段を設けたことを特徴と
する。

【０００８】

【作用】上記構成による本発明では、治具に取り付けら
れた被処理物はタクト搬送手段と移行用レールとの協働
によって処理槽をタクト搬送されて所定処理される。

【０００９】この際、選択手段によって、移行用レール
の任意の処理位置対応部分を他の部分に対して退避させ
ることにより、当該処理位置対応部分と対応する治具は
移行用レールを上昇させても上昇されずタクト搬送され
ない。このように、被処理物を選択処理することができ
る。

【００１０】また、空の治具を上限位置よりも上方に配
設されたコンベヤによって多数保持（ストック）し、適
時、第１リフタを利用して空の治具を下限位置に位置決
めすることができるので、高さ方向のスペースの有効利
用を図りつつ被処理物の受け渡しを円滑に行える。これ
により、被処理物の円滑な受け渡しを確約しつつ設置ス
ペースの節約を図ることができる。

【００１１】以上より、設置スペースの節約を図りつつ
被処理物を選択処理することができる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。本実施例に係る表面処理装置は、図１に示す如
く、電着レジスト処理槽２を有する電着レジスト処理装
置に適用されており、移行用レール１１，レール昇降手
段２１，タクト搬送手段３１，コンベヤ６１，第１およ
び第２リフタ７１，７５ならびに選択手段８１を含み構
成されている。

【００１３】ここで、電着レジスト処理槽２内には、所
定処理液が収容されているとともに、複数の電極３が配
設されている。また、電着レジスト処理槽２の前側に
は、前処理槽２Ａ，ラッキング部２Ｂ等が配設されてお
り、後側には後処理槽２Ｃ，アンラッキング部２Ｄおよ
び治具剥離槽２Ｅ等が配設されている。また、電着レジ
スト処理槽２の各処理位置の両上緑部には、それぞれ一
対の治具受け２ｇ，２ｇが設けられている（なお、図４
では治具受け２ｇを１個のみ図示する。）。

【００１４】また、移行用レール１１は、電着レジスト
処理槽２等の各処理槽上方の下限位置ＬＬおよび上限位
置ＵＬ間で昇降可能かつ被処理物が取り付けられた治具
（本実施例ではラック１９）をスライド可能に保持する
構成とされている。より具体的には、移行用レール１
１，１１は、図２に示す如く、上下動可能なレール昇降
手段２１の昇降フレーム２２，２２に取り付けられてい
る。

【００１５】また、レール昇降手段２１は、移行用レー
ル１１を下限位置ＬＬおよび上限位置ＵＬ間で昇降させ
る手段である。本実施例では、レール昇降手段２１は、
図５に示す如く、昇降フレーム２２，２２，昇降駆動モ
ータ２３および伝達機構（スプロケット２４ａ，２４
ｂ，チェーン２４ｃ，回転軸２５ａ，２５ｂ，スプロケ
ット２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅ，２６
ｆ，紐部材としてのチェーン２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，
２７ｄ，カウンターウェイト２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，
２８ｄ）等から構成されている。

【００１６】より具体的には、レール昇降手段２１を構
成する回転軸２５ａ，２５ｂは、矢印Ｅ，Ｆ方向に平行
配設されている。また、回転軸２５ａは、昇降駆動モー
タ２３の回転動力をスプロケット２４ａ，２４ｂ，チェ
ーン２４ｃを介して受けて回転される構成とされてい
る。回転軸２５ａの両端には、スプロケット２６ａ，２
６ｂ，２６ｄ，２６ｅが装着されている。一方、回転軸
２５ｂの一端部には、スプロケット２６ｃがスプロケッ
ト２６ｂと対応して装着されているとともに、他端部に
はスプロケット２６ｆがスプロケット２６ｅと対応して
装着されている。

【００１７】また、スプロケット２６ａには、チェーン
２７ａが掛けられている。チェーン２７ａの一端部は、
図５中奥行側の昇降フレーム２２に連結されており、他
端部にはカウンターウェイト２８ａが吊下されている。
同様に、スプロケット２６ｄには、一端部が昇降フレー
ム２２に連結され他端部にカウンターウェイト２８ｃが
吊下されたチェーン２７ｃが掛けられている。

【００１８】また、スプロケット２６ｂ，２６ｃには、
チェーン２７ｂが掛けられている。チェーン２７ｂの一
端部は、図５中手前側の昇降フレーム２２に連結されて
おり、他端部にはカウンターウェイト２８ｂが吊下され
ている。同様に、スプロケット２６ｅ，２６ｆには、一
端部が昇降フレーム２２に連結され他端部にカウンター
ウェイト２８ｄが吊下されたチェーン２７ｄが掛けられ
ている。

【００１９】しかして、昇降駆動モータ２３を駆動して
回転軸２５ａを回転させると、昇降フレーム２２，２２
は移行用レール１１，１１とともに上昇（又は下降）さ
れる。

【００２０】タクト搬送手段３１は、上限位置ＵＬにお
いて移行用レール１１，１１に保持された治具（ラック
１９）をタクト搬送可能に設けられている。本実施例に
おいては、タクト搬送手段３１は、搬入用タクト搬送機
構３２，搬出用タクト搬送機構４２および単独槽用タク
ト搬送機構５２等から構成されている。なお、各タクト
搬送機構３２，４２，５２等は、図３に示す如く、上限
位置ＵＬの上方に平行配設されたベース３９，３９に設
置されている。

【００２１】搬入用タクト搬送機構３２は、図３に示す
如く、被処理物が取り付けられたラック１９を前処理槽
２Ａから電着レジスト処理槽２へ搬入するための搬送機
構で、搬入用プッシャー３３，３３，支持部材３４，駆
動モータ３５および伝導機構（歯付きベルト用プーリ３
６ａ，３６ｂ，３６ｃ，歯付きベルト３７ａ，３７ｂ，
回転軸３８等）等から構成されている。搬入用プッシャ
ー３３，３３は、支持部材３４を介してベース３９，３
９に矢印Ｅ，Ｆ方向に移動自在に支持されている。この
搬入用プッシャー３３，３３は、伝導機構（歯付きベル
ト用プーリ３６ａ，３６ｂ，３６ｃおよび歯付きベルト
３７ａ，３７ｂ等）を介して駆動モータ３３によって矢
印Ｆ，Ｒ方向に所定ストローク移動される構成とされて
いる。

【００２２】また、搬出用タクト搬送機構４２は、電着
レジスト処理槽２から被処理物が取り付けられたラック
１９を搬出するための機構で、搬出用プッシャー４３，
４３，支持部材４４，駆動モータ４５および伝導機構
（歯付きベルト用プーリ４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，歯付
きベルト４７ａ，４７ｂ，回転軸４８等）等から構成さ
れている。搬出用プッシャー４３，４３は、支持部材４
４を介してベース３９，３９に矢印Ｆ，Ｒ方向に移動自
在に支持されている。ベース３９の上部には、駆動モー
タ４５が設けられている。搬出用プッシャー４３，４３
は、伝導機構（４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４７ａ，４７
ｂ等）を介して駆動モータ４５によって矢印Ｆ，Ｒ方向
に所定ストローク移動駆動される構成とされている。

【００２３】また、単独槽用タクト搬送機構５２は、単
独槽（本実施例では前処理槽２Ａ等の単独槽）に対して
被処理物をタクト搬送する機構で、複数の単独槽移行用
プッシャー５３，支持部材５４，５４，駆動モータ５
５，伝導機構（歯付きベルト用プーリ５６ａ，５６ｂ，
歯付きベルト５６ｃ，ピニオン５７，回転軸５８および
ラック５９等）から構成されている。

【００２４】単独槽移行用プッシャ５３は、支持部材５
４に所定の間隔で複数個取り付けられている。支持部材
５４は、矢印Ｆ，Ｒ方向に伸延しており、連結ローラ部
材５４ａを介してベース３９に矢印Ｅ，Ｆ方向に移動自
在に支持されている。支持部材５４の所定部分には、ラ
ック（直線状歯車）５９が取り付けられており、このラ
ック５９と噛合されているピニオン５７を伝導機構（歯
付きベルト用プーリ５６ａ，５６ｂ，歯付きベルト５６
ｃ，回転軸５８）を介して駆動モータ５５によって回転
させることにより、支持部材５４（したがって単独槽移
行用プッシャー５３）は矢印Ｆ，Ｒ方向に所定ストロー
クだけ移動される構成とされている。

【００２５】また、コンベヤ６１は、図１に示す如く、
上限位置ＵＬよりも上方に配設され、被処理物が取り外
された治具（ラック１９）を所定移送方向（Ｆ方向）と
逆方向（Ｒ方向）に移送可能かつ多数の治具（１９）を
保持可能に形成されている。このコンベヤ６１の移動方
向（Ｒ方向）の下流側には、治具（１９）切離し用のス
トップアンドフィーダ６５が設けられている。本実施例
においては、コンベヤ６１は、ベルトコンベヤとされて
いる。

【００２６】また、第１リフタ７１は、コンベヤ６１の
移送方向下流側と下方の上限位置ＵＬおよび下限位置Ｌ
Ｌとの間を昇降可能に設けられている。本実施例では、
第１リフタ７１は、コンベヤ６１の移送方向下流側と相
応する位置まで上昇され、ストップアンドフィーダ６５
から排出されたラック１９をラック送り込み機構７４を
介して受けとる構成とされている。また、第２リフタ７
５は、コンベヤ６１の移送方向上流側と相応する位置ま
で上昇され、移行用レール１１から受け渡されたラック
１９をラック送り出し機構７９を介してコンベヤ６１の
上流側へ送り出す構成とされている。

【００２７】ここで、本電着レジスト処理装置は、被処
理物を選択的にタクト搬送可能なるように、図４に示す
如く、移行用レール１１の各処理位置対応部分（すなわ
ち、電着レジスト処理槽２の各処理位置と対応する部
分）１２が他の部分に対して分離出入り可能に形成さ
れ、下限位置ＬＬにおいて移行用レール１１の各処理位
置対応部分１２を他の部分に対して選択的に退避させる
選択手段８１を含み構成されている。

【００２８】選択手段８１は、出入り駆動用エアーシリ
ンダ８２および連結部材８３を含み構成されている。各
出入り駆動用エアーシリンダ８２は、昇降フレーム２１
の所定部分（すなわち、移行用レール１１の各処理位置
対応部分１２と対向する部分）に固設されており、その
各ピストンロッド８２ａには各連結部材８３を介して移
行用レール１１の各処理位置対応部分１２が連結されて
いる。

【００２９】しかして、出入り駆動用エアーシリンダ８
２を駆動してピストンロッド８２ａを後退させると、図
４に示す如く、移行用レール１１の処理位置対応部分１
２は他の部分に対して抜き出される。したがって、昇降
フレーム２２を上昇させても、図４に示すラック１９は
移行用レール１１の処理位置対応部分１２によって保持
されず上昇されない。

【００３０】なお、上記した場合とは反対に、出入り駆
動用エアーシリンダ８２のピストンロッド８２ａを突出
させて移行用レール１１の処理位置対応部分１２を他の
部分と同列に整合すれば、図４に示すラック１９を当該
部分１２によって保持して昇降フレーム２２とともに上
昇させることができる。なお、ラック１９の両端部に
は、スライド部材１５，１５が取り付けられている。

【００３１】次に、作用について説明する。前工程から
送られてきた被処理物は、ラッキング部２Ｂにおいて第
１リフタ７１に支持されたラック１９に取り付けられ
る。次に、第１リフタ７１によって、被処理物が取り付
けられたラック１９は上限位置ＵＬまで上昇される。そ
の状態で、単独槽用タクト搬送機構５２の駆動モータ５
５が駆動されると、図１中最左方の第１番目の単独槽移
行用プッシャー５３によって第１リフタ７１に支持され
たラック１９は押され移行用レール１１上に受け渡され
る。

【００３２】次に、昇降駆動モータ２３が駆動されて昇
降フレーム２２が移行用レール１１とともに下限位置Ｌ
Ｌまで降下されると、移行用レール１１に載置されたラ
ック１９も降下し前処理槽２Ａ内に浸漬される。所定処
理後に、昇降フレーム２２を上昇させると、移行用レー
ル１１もラック１１を保持した状態で上昇し上限位置Ｕ
Ｌに位置決めされる。

【００３３】その状態で、単独槽用タクト搬送機構５２
の駆動モータ５５が駆動されると、各単独槽移行用プッ
シャー５３が所定ストロークだけ図１中右方向に移動さ
れる。その結果、移行用レール１１上のラック１９は、
図１中最左方のプッシャー５３より数えて第２番目のプ
ッシャー５３によって押されて前処理槽２Ａの次の処理
位置相当部分までスライドされる。その状態で、昇降フ
レーム２２を下降させて移行用レール１１を下限位置Ｌ
Ｌに位置決めすると、ラック１９は前処理槽２Ａの次の
処理位置に位置決め保持される。

【００３４】このように、ラック１９をタクト搬送する
ことにより、前処理槽２Ａ，電着レジスト処理槽２，後
処理槽２Ｃ等において所定処理することができる。

【００３５】なお、電着レジスト処理槽２に対するタク
ト搬送は、搬入用タクト搬送機構３２および搬出用タク
ト搬送機構４２によりなされる。

【００３６】ここで、電着レジスト処理槽２において
は、選択手段８１を用いて被処理物を選択的に処理でき
る。例えば、ラック１９を介して電着レジスト処理槽２
内まで搬送された被処理物がサイズ等の違いにより特に
処理に時間を要する場合には、当該ラック１９と対応す
る出入り駆動用エアーシリンダ８２を駆動して、移行用
レール１１の処理位置相当部分１２を退避させる。これ
により、昇降フレーム２２を上昇させても当該ラック１
９は上昇されず、処理が続行される。

【００３７】電着レジスト処理槽２等における処理が終
了し、アンラッキング部２Ｄで被処理物が取り外された
空のラック１９は、単独槽用タクト搬送機構５２によっ
て第２リフタ７５へ受け渡される。次に、第２リフタ７
５は、コンベヤ６１の上流側と整合する高さ位置に位置
決めされる。

【００３８】この状態で、空のラック１９は、ラック送
り出し機構７９によってコンベヤ６１の上流側へ送り出
される。そして、空のラック１９は、コンベヤ６１によ
ってＲ方向へ移送されストップアンドフィーダ６５の手
前部分へ保持（ストック）される。そして、前工程の被
処理物排出に合わせて、空のラック１９が、ストップア
ンドフィーダ６５から排出されラック送り込み機構７４
によって第１リフタ７１に受け渡される。この第１リフ
タ７１は、空のラック１９を保持した状態で下限位置Ｌ
Ｌまで降下され、次の被処理物搬送に備える。

【００３９】以上、述べたのように、ラック１９を上限
位置ＵＬよりも上方に配設されたコンベヤ６１によって
多数保持し、適時、第１リフタ７１を利用して、ラック
１９を下限位置ＬＬに位置決めして被処理物の取り付け
を行えるので、被処理物の円滑な受け渡しを確約しつつ
高さ方向のスペースを有効利用できる。これにより、設
置スペースの節約を図ることができる。また、選択手段
８１によって被処理物を選択処理することができる。

【００４０】

【発明の効果】本発明によれば、処理槽上方の下限位置
および上限位置間で昇降可能かつ被処理物が取り付けら
れた治具をスライド可能に保持する移行用レールと、上
限位置において移行用レールに保持された治具を所定移
送方向にタクト搬送可能に設けられたタクト搬送手段
と、上限位置よりも上方に配設され被処理物が取り外さ
れた治具を所定移送方向と逆方向に移送可能かつ多数の
治具を保持可能に形成されたコンベヤと、このコンベヤ
の移送方向の下流側に配設されたストップアンドフィー
ダと、コンベヤの移送方向下流側と下方の上限位置およ
び下限位置との間を昇降可能に設けられた第１リフタ
と、コンベヤの移送方向上流側と下方の上限位置との間
を昇降可能に設けられた第２リフタとを含み、移行用レ
ールの処理槽処理位置と対応する部分を他の部分に対し
て分割出入り可能に形成し、下限位置において移行用レ
ールの処理槽処理位置対応部分を他の部分に対して選択
的に退避させる選択手段を設けた構成としたので、高さ
方向のスペースの有効利用が図られることになり、設置
スペースの節約を図ることができる。また、被処理物を
選択処理することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す図である。

【図２】一実施例の主要構成部品の位置関係を示す斜視
図である。

【図３】一実施例のタクト搬送手段を説明するための斜
視図である。

【図４】一実施例の選択手段によるラック選択を説明す
るための斜視図である。

【図５】一実施例のレール昇降手段を説明するための斜
視図である。

【符号の説明】

１１ 移行用レール １４ ラック（治具） ３１ タクト搬送手段 ６１ コンベヤ ７１ 第１リフタ ７５ 第２リフタ ８１ 選択手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理槽上方の下限位置および上限位置間
   で昇降可能かつ被処理物が取り付けられた治具をスライ
   ド可能に保持する移行用レールと、 上限位置において移行用レールに保持された治具を所定
   移送方向にタクト搬送可能に設けられたタクト搬送手段
   と、 上限位置よりも上方に配設され被処理物が取り外された
   治具を所定移送方向と逆方向に移送可能かつ多数の治具
   を保持可能に形成されたコンベヤと、 このコンベヤの移送方向の下流側に配設されたストップ
   アンドフィーダと、 コンベヤの移送方向下流側と下方の上限位置および下限
   位置との間を昇降可能に設けられた第１リフタと、 コンベヤの移送方向上流側と下方の上限位置との間を昇
   降可能に設けられた第２リフタとを含み、 移行用レールの各処理位置対応部分を他の部分に対して
   分割出入り可能に形成し、 下限位置において移行用レールの各処理位置対応部分を
   他の部分に対して選択的に退避させる選択手段を設けた
   ことを特徴とする表面処理装置。