JPH05320991A - 表面処理装置の被処理物選択搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】選択槽の小型化を図りつつ被処理物を選択処理
することができるようにする。 【構成】選択槽（２）上方の下限位置（ＬＬ）および上
限位置（ＵＬ）間で昇降可能かつ被処理物が取り付けら
れた治具（１９）をスライド可能に保持する移行用レー
ル（１１）と、上限位置（ＵＬ）において移行用レール
（１１）に保持された被処理物を所定移送方向にタクト
搬送可能に設けられたタクト搬送手段（３１）とを含
み、移行用レール（１１）の各処理位置対応部分（１
２）を他の部分に対して分割出入り可能に形成し、下限
位置（ＬＬ）において移行用レール（１１）の各処理位
置対応部分（１２）を他の部分に対して選択的に退避さ
せる選択手段（８１）を設けた構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、表面処理装置（めっき
処理装置や電着レジスト処理装置等）の被処理物選択搬
送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、電着レジスト処理装置は、電着
レジスト処理槽等の各処理槽を被処理物を搬送しつつ所
定処理して、その表面にレジスト被膜を形成するもので
ある。

【０００３】ここで、被処理物を搬送する方法として、
プッシャータクト式がある。このプッシャータクト式
は、被処理物を保持した治具（ラック）をプッシャーで
押してタクト搬送するもので、キャリヤを利用して被処
理物を搬送する方法よりも設備の小型化を容易に図るこ
とができるものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したプ
ッシャータクト式では、サイズの異なる被処理物を処理
する場合、各被処理物を一括してタクト搬送するので、
各被処理物に最適な処理条件を与えることが困難で品質
の向上を図るのが困難である。

【０００５】また、搬送装置のサイクル時間以上の浸潰
時間が必要な場合、被処理物を選択槽としての電着レジ
スト処理槽内にて移送させなければならない。そのた
め、電着レジスト処理槽内の各電極を、移送方向に対し
平行に配置する必要があり、板状の被処理物（例えばプ
リント回路基板）を処理する処理槽にあっては、移送方
向に長くなり大型化してしまう欠点を有している。

【０００６】本発明の目的は、上記事情に鑑み、選択槽
の小型化を図りつつ被処理物を選択処理することができ
る表面処理装置の被処理物選択搬送装置を提供すること
にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る表面処理装
置の被処理物選択搬送装置は、選択槽上方の下限位置お
よび上限位置間で昇降可能かつ被処理物が取り付けられ
た治具をスライド可能に保持する移行用レールと、上限
位置において移行用レールに保持された治具を所定移送
方向にタクト搬送可能に設けられたタクト搬送手段と、
を含み、移行用レールの各処理位置対応部分を他の部分
に対して分割出入り可能に形成し、下限位置において移
行用レールの各処理位置対応部分を他の部分に対して選
択的に退避させる選択手段を設けたことを特徴とする。

【０００８】

【作用】上記構成による本発明では、治具に取り付けら
れた被処理物はタクト搬送手段と移行用レールとの協働
によって選択槽をタクト搬送されて所定処理される。

【０００９】この際、選択手段によって、移行用レール
の任意の処理位置対応部分を他の部分に対して退避させ
ることにより、当該処理位置対応部分と対応する治具は
移行用レールを上昇させても上昇されずタクト搬送され
ない。したがって、被処理物を選択槽にて選択処理する
ことができる。

【００１０】また、上記した如く、被処理物を選択処理
できるので、選択槽内に設置される各電極は被処理物の
移送方向に対して直交するように配設することができ
る。したがって、板状の被処理物（例えばプリント回路
基板）を処理する選択槽であっても、移送方向に長くな
ることはなく容易に小型化を図ることができる。

【００１１】以上より、選択槽の小型化を図りつつ被処
理物を選択処理することができる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を参照して説
明する。本実施例に係る表面処理装置の被処理物選択搬
送装置は、図１および図２に示す如く、電着レジスト処
理槽２を有する電着レジスト処理装置に適用されてお
り、移行用レール１１，レール昇降手段２１，タクト搬
送手段３１および選択手段８１を含み構成されている。
また、本電着レジスト処理装置には、治具（１９）をス
トック・返送するためのコンベヤ６１，第１および第２
リフタ７１，７５等が設けられている。

【００１３】ここで、電着レジスト処理槽２内には、所
定処理液が収容されているとともに、複数の電極３が配
設されている。各電極３は、選択手段８１等によって被
処理物の浸潰時間を延長可能であることより、被処理物
の移送方向（矢印Ｆ方向）に対して直交するように配設
されている。

【００１４】また、電着レジスト処理槽２の前側には、
前処理槽２Ａ，ラッキング部２Ｂ等が配設されており、
後側には後処理槽２Ｃ，アンラッキング部２Ｄおよび治
具剥離槽２Ｅ等が配設されている。また、電着レジスト
処理槽２の各処理位置の両上緑部には、それぞれ一対の
治具受け２ｇ，２ｇが設けられている（なお、図４では
治具受け２ｇを１個のみ図示する。）。

【００１５】また、移行用レール１１は、電着レジスト
処理槽２等の各処理槽上方の下限位置ＬＬおよび上限位
置ＵＬ間で昇降可能かつ被処理物が取り付けられた治具
（本実施例ではラック１９）をスライド可能に保持する
構成とされている。より具体的には、移行用レール１
１，１１は、図１に示す如く、上下動可能なレール昇降
手段２１の昇降フレーム２２，２２に取り付けられてい
る。

【００１６】また、レール昇降手段２１は、移行用レー
ル１１を下限位置ＬＬおよび上限位置ＵＬ間で昇降させ
る手段である。本実施例では、レール昇降手段２１は、
図５に示す如く、昇降フレーム２２，２２，昇降駆動モ
ータ２３および伝達機構（スプロケット２４ａ，２４
ｂ，チェーン２４ｃ，回転軸２５ａ，２５ｂ，スプロケ
ット２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄ，２６ｅ，２６
ｆ，紐部材としてのチェーン２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，
２７ｄ，カウンターウェイト２８ａ，２８ｂ，２８ｃ，
２８ｄ）等から構成されている。

【００１７】より具体的には、レール昇降手段２１を構
成する回転軸２５ａ，２５ｂは、矢印Ｅ，Ｆ方向に平行
配設されている。また、回転軸２５ａは、昇降駆動モー
タ２３の回転動力をスプロケット２４ａ，２４ｂ，チェ
ーン２４ｃを介して受けて回転される構成とされてい
る。回転軸２５ａの両端には、スプロケット２６ａ，２
６ｂ，２６ｄ，２６ｅが装着されている。一方、回転軸
２５ｂの一端部には、スプロケット２６ｃがスプロケッ
ト２６ｂと対応して装着されているとともに、他端部に
はスプロケット２６ｆがスプロケット２６ｅと対応して
装着されている。

【００１８】また、スプロケット２６ａには、チェーン
２７ａが掛けられている。チェーン２７ａの一端部は、
図５中奥行側の昇降フレーム２２に連結されており、他
端部にはカウンターウェイト２８ａが吊下されている。
同様に、スプロケット２６ｄには、一端部が昇降フレー
ム２２に連結され他端部にカウンターウェイト２８ｃが
吊下されたチェーン２７ｃが掛けられている。

【００１９】また、スプロケット２６ｂ，２６ｃには、
チェーン２７ｂが掛けられている。チェーン２７ｂの一
端部は、図５中手前側の昇降フレーム２２に連結されて
おり、他端部にはカウンターウェイト２８ｂが吊下され
ている。同様に、スプロケット２６ｅ，２６ｆには、一
端部が昇降フレーム２２に連結され他端部にカウンター
ウェイト２８ｄが吊下されたチェーン２７ｄが掛けられ
ている。

【００２０】しかして、昇降駆動モータ２３を駆動して
回転軸２５ａを回転させると、昇降フレーム２２，２２
は移行用レール１１，１１とともに上昇（又は下降）さ
れる。

【００２１】タクト搬送手段３１は、上限位置ＵＬにお
いて移行用レール１１，１１に保持された治具（ラック
１９）をタクト搬送可能に設けられている。本実施例に
おいては、タクト搬送手段３１は、搬入用タクト搬送機
構３２，搬出用タクト搬送機構４２および単独槽用タク
ト搬送機構５２等から構成されている。なお、各タクト
搬送機構３２，４２，５２等は、図３に示す如く、上限
位置ＵＬの上方に平行配設されたベース３９，３９に設
置されている。

【００２２】搬入用タクト搬送機構３２は、図３に示す
如く、被処理物が取り付けられたラック１９を前処理槽
２Ａから電着レジスト処理槽２へ搬入するための搬送機
構で、搬入用プッシャー３３，３３，支持部材３４，駆
動モータ３５および伝導機構（歯付きベルト用プーリ３
６ａ，３６ｂ，３６ｃ，歯付きベルト３７ａ，３７ｂ，
回転軸３８等）等から構成されている。搬入用プッシャ
ー３３，３３は、支持部材３４を介してベース３９，３
９に矢印Ｅ，Ｆ方向に移動自在に支持されている。この
搬入用プッシャー３３，３３は、伝導機構（歯付きベル
ト用プーリ３６ａ，３６ｂ，３６ｃおよび歯付きベルト
３７ａ，３７ｂ等）を介して駆動モータ３３によって矢
印Ｆ，Ｒ方向に所定ストローク移動される構成とされて
いる。

【００２３】また、搬出用タクト搬送機構４２は、電着
レジスト処理槽２から被処理物が取り付けられたラック
１９を搬出するための機構で、搬出用プッシャー４３，
４３，支持部材４４，駆動モータ４５および伝導機構
（歯付きベルト用プーリ４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，歯付
きベルト４７ａ，４７ｂ，回転軸４８等）等から構成さ
れている。搬出用プッシャー４３，４３は、支持部材４
４を介してベース３９，３９に矢印Ｆ，Ｒ方向に移動自
在に支持されている。ベース３９の上部には、駆動モー
タ４５が設けられている。搬出用プッシャー４３，４３
は、伝導機構（４６ａ，４６ｂ，４６ｃ，４７ａ，４７
ｂ等）を介して駆動モータ４５によって矢印Ｆ，Ｒ方向
に所定ストローク移動駆動される構成とされている。

【００２４】また、単独槽用タクト搬送機構５２は、単
独槽（本実施例では前処理槽２Ａ等の単独槽）に対して
被処理物をタクト搬送する機構で、複数の単独槽移行用
プッシャー５３，支持部材５４，５４，駆動モータ５
５，伝導機構（歯付きベルト用プーリ５６ａ，５６ｂ，
歯付きベルト５６ｃ，ピニオン５７，回転軸５８および
ラック５９等）から構成されている。

【００２５】単独槽移行用プッシャ５３は、支持部材５
４に所定の間隔で複数個取り付けられている。支持部材
５４は、矢印Ｆ，Ｒ方向に伸延しており、連結ローラ部
材５４ａを介してベース３９に矢印Ｅ，Ｆ方向に移動自
在に支持されている。支持部材５４の所定部分には、ラ
ック（直線状歯車）５９が取り付けられており、このラ
ック５９と噛合されているピニオン５７を伝導機構（歯
付きベルト用プーリ５６ａ，５６ｂ，歯付きベルト５６
ｃ，回転軸５８）を介して駆動モータ５５によって回転
させることにより、支持部材５４（したがって単独槽移
行用プッシャー５３）は矢印Ｆ，Ｒ方向に所定ストロー
クだけ移動される構成とされている。

【００２６】また、コンベヤ６１は、図１に示す如く、
上限位置ＵＬよりも上方に配設され、被処理物が取り外
された治具（ラック１９）を所定移送方向（Ｆ方向）と
逆方向（Ｒ方向）に移送可能かつ多数の治具（１９）を
保持可能に形成されている。このコンベヤ６１の移動方
向（Ｒ方向）の下流側には、治具（１９）切離し用のス
トップアンドフィーダ６５が設けられている。本実施例
においては、コンベヤ６１は、ベルトコンベヤとされて
いる。

【００２７】また、第１リフタ７１は、コンベヤ６１の
移送方向下流側と下方の上限位置ＵＬおよび下限位置Ｌ
Ｌとの間を昇降可能に設けられている。本実施例では、
第１リフタ７１は、コンベヤ６１の移送方向下流側と相
応する位置まで上昇され、ストップアンドフィーダ６５
から排出されたラック１９をラック送り込み機構７４を
介して受けとる構成とされている。また、第２リフタ７
５は、コンベヤ６１の移送方向上流側と相応する位置ま
で上昇され、移行用レール１１から受け渡されたラック
１９をラック送り出し機構７９を介してコンベヤ６１の
上流側へ送り出す構成とされている。

【００２８】ここで、本電着レジスト処理装置は、被処
理物を選択的にタクト搬送可能なるように、図４に示す
如く、移行用レール１１の各処理位置対応部分（すなわ
ち、電着レジスト処理槽２の各処理位置と対応する部
分）１２が他の部分に対して分離出入り可能に形成さ
れ、下限位置ＬＬにおいて移行用レール１１の各処理位
置対応部分１２を他の部分に対して選択的に退避させる
選択手段８１を含み構成されている。

【００２９】選択手段８１は、出入り駆動用エアーシリ
ンダ８２および連結部材８３を含み構成されている。各
出入り駆動用エアーシリンダ８２は、昇降フレーム２１
の所定部分（すなわち、移行用レール１１の各処理位置
対応部分１２と対向する部分）に固設されており、その
各ピストンロッド８２ａには各連結部材８３を介して移
行用レール１１の各処理位置対応部分１２が連結されて
いる。

【００３０】しかして、出入り駆動用エアーシリンダ８
２を駆動してピストンロッド８２ａを後退させると、図
４に示す如く、移行用レール１１の処理位置対応部分１
２は他の部分に対して抜き出される。したがって、昇降
フレーム２２を上昇させても、図４に示すラック１９は
移行用レール１１の処理位置対応部分１２によって保持
されず上昇されない。

【００３１】なお、上記した場合とは反対に、出入り駆
動用エアーシリンダ８２のピストンロッド８２ａを突出
させて移行用レール１１の処理位置対応部分１２を他の
部分と同列に整合すれば、図４に示すラック１９を当該
部分１２によって保持して昇降フレーム２２とともに上
昇させることができる。なお、ラック１９の両端部に
は、スライド部材１５，１５が取り付けられている。

【００３２】次に、作用について説明する。前工程から
送られてきた被処理物は、ラッキング部２Ｂにおいて第
１リフタ７１に支持されたラック１９に取り付けられ
る。次に、第１リフタ７１によって、被処理物が取り付
けられたラック１９は上限位置ＵＬまで上昇される。そ
の状態で、単独槽用タクト搬送機構５２の駆動モータ５
５が駆動されると、図２中最左方の第１番目の単独槽移
行用プッシャー５３によって第１リフタ７１に支持され
たラック１９は押され移行用レール１１上に受け渡され
る。

【００３３】次に、昇降駆動モータ２３が駆動されて昇
降フレーム２２が移行用レール１１とともに下限位置Ｌ
Ｌまで降下されると、移行用レール１１に載置されたラ
ック１９も降下し前処理槽２Ａ内に浸漬される。所定処
理後に、昇降フレーム２２を上昇させると、移行用レー
ル１１もラック１１を保持した状態で上昇し上限位置Ｕ
Ｌに位置決めされる。

【００３４】その状態で、単独槽用タクト搬送機構５２
の駆動モータ５５が駆動されると、各単独槽移行用プッ
シャー５３が所定ストロークだけ図２中右方向に移動さ
れる。その結果、移行用レール１１上のラック１９は、
図２中最左方のプッシャー５３より数えて第２番目のプ
ッシャー５３によって押されて前処理槽２Ａの次の処理
位置相当部分までスライドされる。その状態で、昇降フ
レーム２２を下降させて移行用レール１１を下限位置Ｌ
Ｌに位置決めすると、ラック１９は前処理槽２Ａの次の
処理位置に位置決め保持される。

【００３５】このように、ラック１９をタクト搬送する
ことにより、前処理槽２Ａ，電着レジスト処理槽２，後
処理槽２Ｃ等において所定処理することができる。

【００３６】なお、電着レジスト処理槽２に対するタク
ト搬送は、搬入用タクト搬送機構３２および搬出用タク
ト搬送機構４２によりなされる。

【００３７】ここで、電着レジスト処理槽２において
は、選択手段８１を用いて被処理物を選択的に処理でき
る。例えば、ラック１９を介して電着レジスト処理槽２
内まで搬送された被処理物がサイズ等の違いにより特に
処理に時間を要する場合には、当該ラック１９と対応す
る出入り駆動用エアーシリンダ８２を駆動して、移行用
レール１１の処理位置相当部分１２を退避させる。これ
により、昇降フレーム２２を上昇させても当該ラック１
９は上昇されず、処理が続行される。

【００３８】電着レジスト処理槽２等における処理が終
了し、アンラッキング部２Ｄで被処理物が取り外された
空のラック１９は、単独槽用タクト搬送機構５２によっ
て第２リフタ７５へ受け渡される。次に、第２リフタ７
５は、コンベヤ６１の上流側と整合する高さ位置に位置
決めされる。

【００３９】この状態で、空のラック１９は、ラック送
り出し機構７９によってコンベヤ６１の上流側へ送り出
される。そして、空のラック１９は、コンベヤ６１によ
ってＲ方向へ移送されストップアンドフィーダ６５の手
前部分へ保持（ストック）される。そして、前工程の被
処理物排出に合わせて、空のラック１９が、ストップア
ンドフィーダ６５から排出されラック送り込み機構７４
によって第１リフタ７１に受け渡される。この第１リフ
タ７１は、空のラック１９を保持した状態で下限位置Ｌ
Ｌまで降下され、次の被処理物搬送に備える。

【００４０】以上、述べたように、選択手段８１によっ
て、移行用レール１１の任意の処理位置対応部分１２を
他の部分に対して退避させることにより、当該処理位置
対応部分１２と対応するラック１９は当該レール１１を
上昇させても上昇されずタクト搬送されない。したがっ
て、被処理物を選択槽としての電着レジスト処理槽２に
て選択処理することができる。

【００４１】また、このように被処理物を選択処理でき
るので、電着レジスト処理槽２内に設置される各電極３
を被処理物の移送方向（Ｆ方向）に対して直交するよう
に配設することができる。したがって、板状の被処理物
（例えばプリント回路基板）を処理する処理槽２であっ
ても、移送方向に長くなることはなく容易に小型化を図
ることができる。

【００４２】その結果、電着レジスト処理槽２の小型化
を図りつつ被処理物を選択処理することができる。

【００４３】また、ラック１９の両端にスライド部材１
５を設けた構成としたので、当該ラック１９を安定して
移行用レール１１上をスライドさせてタクト搬送でき
る。

【００４４】さらに、搬入用タクト搬送機構３２と搬出
用タクト搬送機構４２とを別個に設けた構成としたの
で、ラック１９の電着レジスト処理槽２に対する搬入と
排出とを同一サイクル内でかつ任意の処理位置で行え
る。

【００４５】

【発明の効果】本発明によれば、選択槽上方の下限位置
および上限位置間で昇降可能かつ被処理物が取り付けら
れた治具をスライド可能に保持する移行用レールと、上
限位置において移行用レールに保持された治具を所定移
送方向にタクト搬送可能に設けられたタクト搬送手段と
を含み、移行用レールの各処理位置対応部分を他の部分
に対して分割出入り可能に形成し、下限位置において移
行用レールの各処理位置対応部分を他の部分に対して選
択的に退避させる選択手段を設けた構成としたので、選
択槽の小型化を図りつつ被処理物を選択処理することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部を示す斜視図である。

【図２】一実施例が適用される電着レジスト処理装置の
全体構成を示す図である。

【図３】一実施例のタクト搬送手段を説明するための斜
視図である。

【図４】一実施例の選択手段によるラック選択を説明す
るための斜視図である。

【図５】一実施例のレール昇降手段を説明するための斜
視図である。

【符号の説明】

１１ 移行用レール １４ ラック（治具） ３１ タクト搬送手段 ８１ 選択手段

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 選択槽上方の下限位置および上限位置間
   で昇降可能かつ被処理物が取り付けられた治具をスライ
   ド可能に保持する移行用レールと、 上限位置において移行用レールに保持された治具を所定
   移送方向にタクト搬送可能に設けられたタクト搬送手段
   と、を含み、 移行用レールの各処理位置対応部分を他の部分に対して
   分割出入り可能に形成し、下限位置において移行用レー
   ルの各処理位置対応部分を他の部分に対して選択的に退
   避させる選択手段を設けたことを特徴とする表面処理装
   置の被処理物選択搬送装置。