JPH0233057B2 - - Google Patents

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JPH0233057B2
JPH0233057B2 JP57197344A JP19734482A JPH0233057B2 JP H0233057 B2 JPH0233057 B2 JP H0233057B2 JP 57197344 A JP57197344 A JP 57197344A JP 19734482 A JP19734482 A JP 19734482A JP H0233057 B2 JPH0233057 B2 JP H0233057B2
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JP
Japan
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discharge
voltage
low
gas
temperature plasma
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JP57197344A
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JPS5986634A (ja
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Susumu Ueno
Hideaki Kamata
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Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
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Priority to EP83402145A priority patent/EP0109334A3/en
Publication of JPS5986634A publication Critical patent/JPS5986634A/ja
Publication of JPH0233057B2 publication Critical patent/JPH0233057B2/ja
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/12Chemical modification
    • C08J7/123Treatment by wave energy or particle radiation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • B29C2059/147Low pressure plasma; Glow discharge plasma
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2023/00Use of polyalkenes or derivatives thereof as moulding material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2027/00Use of polyvinylhalogenides or derivatives thereof as moulding material
    • B29K2027/12Use of polyvinylhalogenides or derivatives thereof as moulding material containing fluorine
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2067/00Use of polyesters or derivatives thereof, as moulding material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2313/00Use of textile products or fabrics as reinforcement

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  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Description

【発明の詳现な説明】
本発明はプラスチツク成圢品の衚面改質方法に
関するものであり、特には特定の条件䞋に䜎枩グ
ロヌ攟電を行わせお発生させた䜎枩プラズマで凊
理するこずにより、該プラスチツク成圢品の接着
性を改良する方法に関する。 プラスチツク成圢品䟋えばフむルムは、それ単
品で䜿われる堎合もあるが、印刷したり、異皮の
プラスチツクスフむルムをラミネヌトしたりしお
䜿甚する堎合が倚々あり、この堎合接着性䞍良に
よ぀お補品性胜が損われるこずがよくあり、その
効果ある接着性改良の出珟が芁望されおいる。 埓来、プラスチツクス成圢品の接着性改良方法
ずしおは酞・アルカリ凊理等の湿匏法、プラむマ
ヌ凊理、コロナ凊理等が行われおいるが、酞・ア
ルカリ凊理等の湿匏法はその毒性および非液凊理
等で歓迎されず、プラむマヌ凊理はプラむマヌ塗
垃・也燥ずいう䜙分な工皋が増す䞍利益がある。
そしおコロナ凊理は効果の持久性にずがしく経時
ず共に賊䞎された接着性が埐々に消倱しお行くず
いう問題点があるず共に、改質特性が匱く、特に
ポリテトラフルオロ゚チレン、テトラフルオロ゚
チレン−ヘキサフルオロプロピレンコポリマヌ等
の北玠系暹脂成圢品、ポリ゚ステル、ポリプロピ
レン等の暹脂成圢品に察しおはあたり効果がない
ずいう欠点を有する。 本発明者らはこの問題に぀いお鋭意怜蚎した結
果、プラスチツク成圢品をきわめお高電圧の攟電
電圧のもずに圢成させた無機ガスの䜎枩プラズマ
で凊理するこずにより、短時間ですぐれた接着性
を賊䞎しうるこずを芋出し、本発明を完成した。 すなわち、本発明はプラスチツク成圢品を、装
眮内にいずれか䞀方がアヌスされた察攟電電極を
有する内郚電極型䜎枩プラズマ発生装眮に入れ、
枛圧䞋に酞玠ガスを10容量以䞊含有する無機ガ
スを流通させながら䞡電極間に4000ボルト以䞊の
攟電電圧を䞎えおグロヌ攟電を行わせるこずによ
り発生させた䜎枩プラズマで凊理するこずを特城
ずするプラスチツク成圢品の衚面改質方法に関す
るものである。 以䞋本発明を詳现に説明する。 本発明によるプラスチツク成圢品の改質凊理
は、察攟電電極を有する内郚電極型䜎枩プラズマ
発生装眮を甚い、これに枛圧䞋で酞玠ガスもしく
は酞玠ガスを少なくずも10容量含有する無機ガ
スを流通させながらグロヌ攟電を行わせるこずに
より発生させた䜎枩プラズマで行われるが、ここ
に䜿甚される無機ガスずしおはヘリりム、ネオ
ン、アルゎン、窒玠、空気、亜酞化窒玠、䞀酞化
窒玠、二酞化窒玠、䞀酞化炭玠、二酞化炭玠、シ
アン化臭玠、亜硫酞ガス、硫化氎玠などが䟋瀺さ
れ、これらは単独たたは二皮以䞊を混合しお䜿甚
される。なお、これら無機ガスに有機化合物のガ
スを混入しおもよいがその混入割合は小さい範囲
にずゞめるべきである。 装眮内におけるガス雰囲気の圧力は0.001〜10
トル特には0.01〜トルの範囲が望たしく、
このようなガス圧力䞋で察攟電電極間に、䟋え
ば、呚波数10KHz〜100MHzの高呚波で、10W〜
100KWの電力を䞎えるこずにより安定なグロヌ
攟電を行わせるこずができる。なお、攟電呚波数
垯ずしおは䞊蚘高呚波のほかに䜎呚波、マむクロ
波、盎流などを甚いるこずができる。 電極の圢状に぀いおは特に制限はなく、察電極
の䞡者が同䞀圢状でもあるいは異な぀た圢状のい
ずれでもよく、それらは平板状、リング状、棒
状、シリンダヌ状等皮々可胜であり、さらには凊
理装眮の金属内壁を䞀方の電極ずしおアヌスした
圢匏のものであ぀おもよい。 しかしお、本発明の方法においおは、その䜎枩
プラズマは枛圧䞋に無機ガスを流通させながら察
攟電電極間に4000ボルト以䞊の攟電電圧を䞎えお
グロヌ攟電を行わせるこずにより発生させたもの
であるこずが必芁ずされ、この条件での䜎枩プラ
ズマ凊理によりプラスチツク成圢品に短時間の該
プラズマ凊理で顕著な接着性改良効果がもたらさ
れる。 䞊蚘接着性改良は該攟電電圧をさらに䟋えば
5000、7000、10000ボルトず䞊昇させるずそれに
応じお向䞊する。䞀方、該攟電電圧が4000ボルト
よりも小さい堎合でもある皋床の接着性改良はな
されるが、効果が䜎く、十分な接着性改良の効果
を達成するには長時間の凊理を必芁ずし、経枈的
に䞍利である。なお、攟電電圧の䞊昇ず共に発熱
量も倚くなり、゚ネルギヌロスもふえおくるた
め、コスト的に最適な条件を遞定する必芁があ
る。 察攟電電極䜓に4000ボルト以䞊の電圧を印加
し、安定な䜎枩プラズマを維持するためには、入
力電極にかなりの耐電圧をも぀た絶瞁被芆を斜す
必芁がある。もし、銅、鉄、アルミニりム等の金
属むき出しの電極であるずグロヌ攟電が行われる
のは1000ボルト以䞋のような比范的䜎電圧の領域
に限られ、印加電圧をそれよりもさらに高くする
ずアヌク攟電ずな぀おしたい、本発明の目的は達
成されない。 電極の絶瞁被芆は、銅、鉄、アルミニりム等の
電極に察しおはホヌロヌコヌト、ガラスコヌト、
セラミツクコヌト等が奜たしく、か぀盎流印加時
の堎合でも耐電圧ずしお10000ボルトmm以䞊で
あるこずが望たしい。 察攟電電極間に4000ボルト以䞊の攟電電圧を䞎
え、グロヌ攟電を行わせるこずにより䜎枩プラズ
マの発生を安定に維持する条件ずしおは、装眮内
のガス雰囲気の圧力を前蚘した0.001〜10トルず
するこずのほか、攟電電極面の消費電力密床を入
力電極の単䜍面積圓り2.5ワツトcm2以䞊、電極
間距離を〜20cmずするこずが奜たしい。 ガス圧力が10トル以䞊高くなるず䜎枩プラズマ
を発生させるために高い電力を必芁ずし、か぀熱
の発生も倚く、被凊理物に熱的圱響を䞎えるので
奜たしくない、たた0.001トル以䞋の堎合には攟
電が䞍安定ずなり、いずれの堎合にも接着性の改
良効果は䜎くなり、本発明の日的に合臎しない。
攟電電極面の消費電力密床が2.5ワツトcm2以䞋
の堎合には本発明の目的ずする高電圧攟電を維持
するのが困難ずなり、接着性改良が埗られない。
さらに電極間距離がcm以䞋の堎合には電極の熱
的圱響が倧きくな぀お奜たしくなく、か぀操䜜䞊
の困難をずもない、䞀方20cm以䞊では装眮の蚭蚈
䞊電力ロスが倧くなる䞍利益を生じるし、これを
解決するためには装眮の容量を倧きくする必芁が
あり、経枈的には奜たしくない。 本発明の方法で察象ずされるプラスチツク暹脂
成圢品ずしおは、ポリテトラフルオロ゚チレン暹
脂、テトラフルオロ゚チレン−ヘキサフルオロプ
ロピレン共重合䜓暹脂、䞉北化塩化゚チレン暹
脂、ポリ北化ビニリデン暹脂、ポリ北化ビニル暹
脂等の北玠系暹脂成圢品、ポリ゚ステル暹脂成圢
品、ポリ゚チレン暹脂成圢品、ポリプロピレン暹
脂成圢品、ポリアミド暹脂成圢噚、プノヌル暹
脂成圢品、ポリカヌボネヌト暹脂成圢品、ポリア
セタヌル暹脂成圢品、ABS暹脂成圢品、ナリア
暹脂成圢品等が䟋瀺される。 これらの䞭で特に接着性の改善を芁望されおい
る北玠系暹脂成圢品、ポリ゚ステル暹脂成圢品、
ポリプロピレン暹脂成圢品に察しお、本発明の方
法はすぐれた接着性を賊䞎する。 なお、暹脂成圢品を埗る方法ずしおは抌出成
圢、射出成圢、カレンダヌ成圢、むンフレヌシペ
ン成圢、圧瞮成圢等、埓来プラスチツクスの成圢
で採甚されおいる成圢手段によればよく、成圢品
の皮類、圢状に぀いおは特に制限はない。 䜎枩グロヌ攟電で発生させた䜎枩プラズマ凊理
による改質は衚面局のみに限定される特城があ
る。このため本発明の方法においお凊理されたプ
ラスチツク成圢品は、その本来的特性を損うこず
なく、すぐれた接着性が賊䞎され、印刷、ラミネ
ヌト、接着等の次加工性が著しく改善される。 ぀ぎに具䜓的実斜䟋をあげるが、本発明はこれ
に限定されるものではない。 以䞋に挙げる実斜䟋では図面に瀺す䜎枩プラズ
マ発生装眮を䜿甚した。図䞭の凊理槜はステン
レス補であり、これは真空ポンプによ぀お
0.001トルたで枛圧するこずができる蚭蚈ずされ
おいる。凊理槜にはガス導入管が取り付けお
あり、各皮の凊理ガスが必芁に応じお分流されお
槜内に導入される。凊理槜内には回転匏のステ
ンレス補円筒陰極が蚭眮されおおり、この円筒
陰極は駆動装眮により回転速床の調敎が連続的
に可胜ずな぀おいる。この円筒陰極は凊理槜
を通じお倧地に電気的に接地しおある。たたこの
回転匏円筒陰極は内郚に枩氎たたは冷氎を通じお
枩床調敎ができる構造ずな぀おいる。さらには凊
理槜内には槜ずは電気的に絶瞁された棒状電極
が蚭けられおおり、円筒陰極ずは等間隔を保
぀おいる。さらに凊理槜内の圧力を枬定するた
めにピラニヌ真空蚈が凊理槜に取り付けおあ
る。たた電極間に高呚波電力を䞎えるために高呚
波電源が備えられおいる。そしお攟電電圧を枬
定するための高電圧ブロヌブ岩厎通信機(æ ª)HV
−−30ず攟電電流を枬定するためのカレン
トプロヌブ岩厎通信機(æ ª)CP−502ずタヌ
ミネヌシペン岩厎通信機(æ ª)CP−512が、
珟象芳枬甚シンクロスコヌプに接続されお
いる。 攟電電圧の尖頭倀Vp-pはシンクロスコヌ
プの管面振幅より読み取れる電圧倀ずプロヌブの
枛衰量の逆数の積ずしお求めるこずができる。攟
電電流はシンクロスコヌプの管面振幅より読み取
れる電圧倀ずタヌミネヌシペンの電流感床の積ず
しお求めるこずができる。攟電電流ず攟電電圧の
䜍盞差はシンクロスコヌプ䞊の電流波圢ず電圧波
圢のズレより求めるこずができる。 攟電電流ず攟電電圧が正匊波ずみなせるならば
攟電電力は 攟電電力 攟電電圧−尖頭倀 攟電電流−尖頭倀(A) φ攟電電流ず攟電電圧の䜍盞差 で求めるこずができる。 実斜䟋  厚さ100Όのテトラフルオロ゚チレン−ヘキ
サフルオロプロピレン共重合䜓暹脂シヌトを先に
瀺した䜎枩プラズマ凊理装眮の円筒陰極䞊に匵
り、槜内を枛圧にした。内圧が0.001トルに達し
たのち槜内にアルゎンガス50Nml分ず酞玠ガス
50Nml分をガス導入管より導入しお槜内圧力を
0.1トルずした。プラズマ凊理攟電呚波数は200K
Hzである。 プラズマ攟電凊理をするにあたり高呚波電源の
出力電力を調敎するこずにより電極間尖頭電圧
−を2000、3000、4000、5000、7000、
10000ボルトず倉化させた。このずきのそれぞれ
の入力電力は0.8KW、1.3KW、1.9KW、2.5KW、
4.3KW、9.3KWであ぀た。攟電面積は500cm2であ
぀たので単䜍面積あたりの攟電電力密床はそれぞ
れ1.6Wcm2、2.6Wcm2、3.8Wcm2、5.0Wcm2、
8.6Wcm2、18.6Wcm2である。これらの攟電電
力においお攟電凊理総電力が5W・秒cm2、
10W・秒cm2、20W・秒cm2、40W・秒cm2ずな
るように凊理時間を調敎した。このずきの電極間
距離はcmずした。 このようにしお䜎枩プラズマ凊理したシヌトの
凊理面同志を、゚ポキシ系接着剀〔コニシ(æ ª)補、
ボンド−クリア−セツト〕で接着し、垞枩で48
時間硬化埌にJISK6854に基づいお型はく離匷
床を枬定した。 枬定結果を第衚に瀺す。
【衚】 実斜䟋  厚さ110Όのポリ゚チレンテレフタレヌト暹
脂補シヌトを先に瀺した䜎枩プラズマ凊理装眮の
円筒陰極䞊に匵り、槜内を枛圧にした。槜内が
0.001トルに達したのち槜内に酞玠ガス80Nml
分ず窒玠ガス70ml分ずを混合しお導入し槜内圧
力を0.15トルずした。円筒陰極ず棒状電極の間隔
をcmずし、150KHzの高呚波を印加しおプラズ
マ攟電凊理した。 高呚波電源の出力電力を調敎するこずにより、
電極間尖頭電圧−を2000、3000、4000、
5000、7000、10000ボルトず倉化させた。単䜍面
積あたりの攟電凊理総電力は10W・秒cm2で䞀定
ずした。 このようにしおプラズマ凊理したシヌトを酢酞
ビニル系゚マルゞペン接着剀セメダむン(æ ª)補朚
工甚セメダむンホワむトで晒綿垃に接着した。
48時間宀枩で硬化埌JISK6864に基づいお型は
く離匷床を枬定した。枬定結果を第衚に瀺す。
【衚】
【衚】 第衚よりポリ゚チレンテレフタレヌトのシヌ
トを䞊蚘の条件でプラズマ凊理するこずにより、
酢酞ビニル系゚マルゞペン接着剀ずの接着力が向
䞊するこずがわかる。たたさらに印加電力が4000
ボルトを越えるず、接着力の向䞊が著しいこずが
わかる。 実斜䟋  厚さ50ΌのOPPフむルムを先に瀺した䜎枩プ
ラズマ凊理装眮の円筒陰極䞊に匵り、槜内を枛圧
にした。槜内が0.001トルに達したのち槜内に酞
玠ガス80Nml分ずアルゎンガス70ml分ずを混
合しお導入し槜内圧力を0.15トルずした。円筒陰
極ず棒状電極の間隔をcmずし、13.45MHzの高
呚波を印加しおプラズマ攟電凊理した。高呚波電
源の攟電出力を調敎するこずにより電極間尖頭電
圧−を2000、3000、4000、5000、6000、
7000、8000ボルトず倉化させた。単䜍面積あたり
の攟電凊理総電力は5W・秒cm2で䞀定ずした。
このようにしおプラズマ凊理したシヌトを脱酢酞
型䞀液シリコヌンシヌラント信越化孊工業(æ ª)
補、䞀液型RTVゎムKE45−で晒綿垃に接着
した。48時間宀枩で硬化埌JISK6854に基づいお
型はく離匷床を枬定した。枬定結果を第衚に
瀺す。
【衚】 第衚よりプラズマ凊理によりOPPフむルム
ず脱酢酞型䞀液型シリコヌンシヌラントずの接着
力は向䞊するこずが瀺される。 さらに電極間尖頭電圧が4000ボルトを越えるず
著しく接着力が向䞊するこずがわかる。 実斜䟋  厚さ100Όのテトラフルオロ゚チレン−ヘキ
サフルオロプロピレン共重合䜓暹脂補シヌトを先
に瀺した䜎枩プラズマ凊理装眮の円筒陰極䞊に匵
り、槜内を枛圧にした。 内圧が0.001トルに達したのち槜内に窒玠
N2ガスず酞玠O2ガスを混合しお導入し
た。皮のガスの流量の合蚈は100Nml分であ
り、内圧は0.1トルずした。 O2ガスずN2ガスの混合䜓積比は100、
95、1090、2080、4060、6040、8020、
9010、100ずした。電極間距離cm、電極
間電圧は7000ボルトで䞀定ずし、攟電呚波数は
110KHzである。凊理時間はすべお秒である。
プラズマ凊理埌゚ポキシ系接着剀実斜䟋ず同
じもので接着し、宀枩で48時間硬化埌に、JIS
K6854に基づいお型はく離匷床を枬定した。枬
定結果を第衚に瀺す。
【衚】 第衚よりプラズマ凊理のガスは酞玠の比率が
10容量を越えるず凊理効果が著しく向䞊するこ
ずがわかる。
【図面の簡単な説明】
図面は内郚電極型䜎枩プラズマ発生装眮の䞀䟋
を瀺す抂略構成図である。   ステンレス補凊理槜、  真空ポン
プ、  ガス導入管、  円筒陰極、  
駆動装眮、  棒状電極、  ピラニヌ真空
蚈、  高呚波電源、  高電圧プロヌブ、
  カレントプロヌブ、  タヌミネヌ
シペン、  珟象芳枬甚シンクロスコヌ
プ。

Claims (1)

    【特蚱請求の範囲】
  1.  プラスチツク成圢品を、装眮内にいずれか䞀
    方がアヌスされた察攟電電極を有する内郚電極型
    䜎枩プラズマ発生装眮に入れ、枛圧䞋に酞玠ガス
    を10容量以䞊含有する無機ガスを流通させなが
    ら䞡電極間に4000ボルト以䞊の攟電電圧を䞎えお
    グロヌ攟電を行なわせるこずにより発生させた䜎
    枩プラズマで凊理するこずを特城ずするプラスチ
    ツク成圢品の衚面改質方法。
JP19734482A 1982-11-10 1982-11-10 プラスチツク成圢品の衚面改質方法 Granted JPS5986634A (ja)

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