JPH02307212A - 試料ホルダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は試料ホルダーに関し、特に半導体集積回路パタ
ーンを描画するための電子ビーム露光装置等に用いる試
料ホルダーに関する。

〔従来の技術〕

電子ビーム露光装置による半導体集積回路パターンの描
画は、主にホトマスク製造のために石英等の基板の上に
行なわれている。第３図は従来の一例を示す試料ホルダ
ーの斜視図である。この試料ホルダーは、試料２１が一
端から挿入される試料板２２と、この試料２１が一方向
に挿入させ、定位置に位置決めする位置決めピン２３と
、試料２１を取外すときに試料２１を押し上げる押し上
げピン２４と、上に持上げられたときに、試料２１が上
に行き過ぎないようにするための上面規制板２５とで構
成されている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の試料ホルダーにおいては、石英等の硬い
試料が水平方向位置決めピンに押し当てられたままの状
態で、上に持ち上げられるため、位置決めビンを削るこ
とがある。このビンが削られると、摩擦係数の増大によ
り試料とビンとの引っ掛かりが発生し、試料にたわみが
起こる。このたわみは、位置決めされた試料の試料面全
体の高さにばらつきを生じさせ、描画すべき半導体集積
回路パターンの寸法精度を低下させる欠点がある。電子
ビーム露光装置の場合、例えば、その焦点深度は１０μ
ｍ程度あることが知られるが、実際に、試料面の高さが
１０μｍばらつくと、０．１μｍ程度のパターン寸法バ
ラツキが生じることになる。このような不都合を無くす
ために、例えば、水平方向位置決めのための接点を持た
ない試料ホルダーも用いられている試料ホルダーがある
。しかし、水平方向が規制されていないこの種のホルダ
ーにおいては、装置への装填時の衝撃による試料の水平
方向での位置ずれ事故が頻敏に報告されている。本発明
の目的は、かかる問題を解消する試料ホルダーを提供す
ることにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の試料ホルダーは、半導体集積回路パターンの描
画を行なう電子ビーム露光装置等に用いる試料を位置決
め保持する試料板を有する試料ホルダーにおいて、前記
試料板に設けられるとともに前記試料の端面を押し水平
方向位置を決めるための接点あるいは接触面を有し、前
記電子ビーム露光装置に装填した後に前記試料の端面前
記接点あるいは接触面を離す位置決め機能を備え構成さ
れる。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す試料ホルダーの斜視図
である。この試料ホルダーは、同図に示すように、試料
板２２に軸付きピン２を設けたことである。また、試料
板２２に挿入された試料２１の端面は、この軸付きピン
２の外側面２ａに押し当てて位置決めされ、押し上げピ
ン２４により持ち上げられ、上面規制板１に接する。さ
らに、この偏心した軸付きピン２は矢印５の方向に引張
られることにより試料板２２に固定される。

ここでこの試料ホルダーの使用方法を説明すると、まず
、試料２１を試料板２２に挿入する。なお、軸付きピン
４はバネ性を有しているので、その弾性力で試料２１を
押し当てている。次に、試料２１を保持した状態で露光
装置に装填する。次に、装填が完了し、その後大きな衝
撃が加わる恐れが無い段階で、装置側に備えられた回転
ピン（不図示）を用いて軸付きピン２を回転させ、その
外側面２ａを試料２１から離す。これにより、たとえ試
料２１にたわみが発生していてもたわみを除去すること
が可能である。

第２図は本発明の他の実施例を示す試料ホルダー位置決
め機構の斜視図である。この試料ホルダーは、同図に示
すように、試料板２２に前述の実施例で示した軸付きピ
ンの代りに回転こま３３からなる位置決め機構を設けた
ことである。次に、この試料ホルダーの使用方法を説明
すると、まず、従来と同様に試料を試料板２２に挿入す
る。

このとき、回転こま３３は、押し上げロッド３４で一方
向に回転され、その位置決め面３１で試料２２の端面を
押し当てる。なお、この回転こま３３は、試料板２２に
、ばね付きピン３２が取付けられているので、位置決め
面は弾性力で試料２２を固定している。次に、試料ホル
ダーを装置に装填後、装置側に備えられた押し上げロッ
ド３４で回転こま３３を回転させ試料１の端面から位１
決め面３１が離れる。電子ビーム露光装置で描画するパ
ターンは０．０５〜０．１μｍの寸法精度が要求される
。本発明の試料ホルダーを用いることにより、試料高さ
バラツキが原因となって発生する寸法誤差を０．０５μ
ｍ以下に抑えられることが出来た。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、試料ホルダーの水平方向
位置を決定するための接点或いは接触面をホルダーを装
置に装填した後に試料の端面から離れるようにすること
により、水平方向はもちろん、水垂方向の試料位置の誤
差を小さく抑えることが可能となる試料ホルダーが得ら
れるという効果がある。

図面の簡単な説明 第１図は本発明の一実施例を示す試料ホルダーの斜視図
、第２図は本発明の池の実施例を示す試料ホルダーの位
置決め機構の斜視図、第３図は従来の一例を示す試料ホ
ルダーの斜視図である。

１．２５・・・上面規制板、２・・・軸付きピン、２ａ
・・・外側面、２１・・・試料、２２・・・試料板、２
３・・・位置決めピン、２４・・・押し上はピン、３１
・・・位置決め面、３２・・・バネつきピン、３３・・
・回転体、３４・・・押し上げロッド。

代理人　弁理士　　内　原　　晋 ５　矢印　　　　　　　イ辺１ミ史りと°ン第１図 茅　２　図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体集積回路パターンの描画を行なう電子ビーム露光
   装置等に用いる試料を位置決め保持する試料板を有する
   試料ホルダーにおいて、前記試料板に設けられるととも
   に前記試料の端面を押し水平方向位置を決めるための接
   点あるいは接触面を有し、前記電子ビーム露光装置に装
   填した後に前記試料の端面前記接点あるいは接触面を離
   す位置決め機能を備えることを特徴とする試料ホルダー
   。