JPH0230436B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、板状物を加熱炉内に連続的に送り込
んで加熱する板状物の連続加熱装置に関する。

従来の技術及び発明が解決しようとする問題点 従来、例えばガラス製の基板の表面に酸化錫等
の薄膜を形成する場合には、耐熱金属製のネツト
コンベヤを敷設してその上に基板を載せ、または
左右一対のチエーンコンベヤを敷設して基板を耐
熱性のトレーに詰めて左右のチエーンコンベヤに
跨がつて載置し、ネツトコンベヤまたはチエーン
コンベヤの走行により、基板を加熱炉内に搬送し
つつ加熱し、塩化錫のガスを吹き付けて薄膜の形
成を行なうようになつていたが、ネツトコンベ
ヤ、チエーンコンベヤ等の自走式のコンベヤで基
板を搬送すると成膜部分において、下方あるいは
上方から吹きつけられた原料がコンベヤに回り込
み腐食の発生を引き起こしていた。またチエーン
コンベヤにおいてはトレーを用いるためにトレー
の基板面以外の縁にも成膜されることや、ネツト
コンベヤにおいては基板と基板の隙間やネツトコ
ンベヤの端部より原料が回り込むことにより原料
を無駄に消費するといつた欠点があつた。

発明の目的 本発明は板状物同士の間に隙間が生じないよう
にしてこのような欠点を除くことを目的とする。

実施例 以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて
説明する。

図において、１はトンネル状の炉体２の両側の
内壁に略Ｌ字形断面の一対のレール３，３が互い
に対応して炉体２の全長にわたつて敷設された加
熱炉であつて、内部に夫々図示しないマツフル式
の加熱室と塩化錫のガスを噴出する噴出装置が設
けられている。加熱路１の入口４には、被処理物
であるガラス製の基板ａを送り込む送り込み装置
５が設置されている。この送り込み装置５は、水
平な基台６の左右両側に垂直な支持壁７，８が対
設され、その高さ方向の中央部には、７本の下部
軸９が前後方向に等間隔で水平に差し渡されて軸
受けにより回転自由に支持されており、各軸９の
左右両側には、上面が加熱炉１のレール３，３の
支承面３ａ，３ａの高さに一致するゴム製の下部
ローラ１０，１０が固定されて下部軸９と一体的
に回転するようになつている。支持壁７，８の上
部には、前記下部軸９の加熱炉１側（送り出し
側）の５本に対応する位置に上部軸１１が各下部
軸９と平行に差し渡されて軸受けにより回転自由
に支持されており、各上部軸９には、対応する各
下部ローラ１０との間隙が基板ａの厚さより少し
小さくなる直径のゴム製の上部ローラ１２，１２
が固定されている。各下部軸９の一端は、一方の
支持壁８を貫いてその外側へ突出し、その突出端
に等径の従動プーリ１３が固定されており、送り
出し側の４個の従動プーリ１３の間の下方と、受
入側の３個の従動プーリ１３の間の下方には、
夫々、３個と２個のテンシヨンプーリ１４が図示
しないばねの弾力により下方へ付勢されて支持壁
８に取り付けられている。送り出し側の３個のテ
ンシヨンプーリ１４の下方には駆動プーリ１５が
支持壁８を貫通する駆動軸１７に固定され、ま
た、受入側の２個のテーシヨンプーリ１４の下方
には送り出し側の駆動プーリ１５より直径の大き
い駆動プーリ１６が同じく支持壁８を貫通する駆
動軸１８に固定されており、両駆動軸１７，１８
は、基台６の下面に設置された図示しないモータ
の出力軸に歯車列を介して連結され、そのモータ
の駆動により同速度で同方向へ回転するようにな
つており、送り出し側の４個の従動プーリ１３と
その間の３個のテンシヨンプーリ１４及び駆動プ
ーリ１５には無端ベルト１９が掛け渡され、ま
た、受入側の３個の従動プーリ１３とその間の２
個のテンシヨンプーリ１４及び駆動プーリ１６に
は別の無端ベルト２０が掛け渡されていて、送り
出し側の４対の下部ローラ１０の群と受入側の３
対の下部ローラ１０の群とは駆動系が別になつて
おり、受入側の３対の下部ローラ１０は、送り出
し側の４対の下部ローラ１０に比べて駆動プーリ
１６が大きく、増速比が大きいことから、高い速
度で回転するようにセツトされている。

次に、本実施例の作用を説明する。

被処理物であるガラス製の基板ａは、送り込み
装置５の受入側の群の対応する上部ローラのない
１番目と２番目の左右の下部ローラ１０，１０に
差し渡すように載置すると、その回転により送り
出し側へ一定速度で送られ、３番目のローラ１０
では上下から挟持されて、送り出し側の群の下部
ローラーによつて送り出される。送り出し側の群
は受入側の群に比べ低速度で回転しており、しか
も、受入側の群のローラー１０は基板に対する搬
送力が小さく、基板の一部が送り出し側のローラ
ーによつて挟持され制動されていると、受入側ａ
ローラーに跨がつた部分ではすべりを起こす。次
の基板を受入側のローラーに載置する場合は受入
側のローラー１０と送り出し側のローラー１０の
搬送速度に対応した一定以上の間隔を開けないよ
うにしてローラー上に乗せることになる。順次同
様な手順で基板を供給すれば送り出し側から一定
速度で連続的に搬送することが可能となる。この
ように、送り込み装置５によつて前後の隙間なく
連続して送られる基板ａは加熱炉１の入口４に入
つてレール３，３に載置され、後から搬送される
基板ａにより押され、レール３，３の支承面３
ａ，３ａ上を滑つて加熱炉１内を出口に向つて走
行し、途中で加熱室内を通ることにより所定の温
度に加熱され、吹き付け装置の下方を通る際に塩
化錫のガスが吹き付けられて表面にその薄膜が形
成された後、出口から送り出されるようになつて
いる。

本実施例においては、送り込み装置５が搬送力
が小さく高速回転する受入側の群と搬送力が大き
く低速回転する送り出し側の群の２群の下部ロー
ラ１０と上部ローラ１２で挟持して加熱炉１へ送
り込むようにしたから、挿入時に前後の基板ａの
間に隙間をあけて載置することができるため自動
的に基板を供給ローラー上に乗せる場合、先に供
給ローラー上に乗せた基板と一定の範囲内の間隔
を保つて、アクチユエーターにより基板をローラ
ー上に載置することにより、基板と基板、基板と
アクチユエーターの衝突による基板のカケ等の事
故を防ぐことができる。そして送り込み装置５内
において後から挿入した基板ａが前の基板ａに追
いついて当接し、加熱炉１へ前後の隙間なく送り
込まれて加熱炉１内においては停止することなく
一定の速度で連続的に搬送されるのである。

なお、送り込み装置５は、上下一対の無端ベル
トで基板ａを挟持して加熱炉１内へ送り込むよう
にしてもよく、また、加熱炉１内のレール３は、
ローラまたは耐熱金属製のプレート等の非自走式
の走行路に換えてもよい。

上記実施例によつて具体的に説明したように、
本発明の板状物の連続加熱装置は、非自走式の走
行路を、加熱室内を通して貫設した加熱炉の前記
走行路の入口側に、板状物をローラで挟持して該
ローラの回転により板状物を送り込む送り込み装
置を設け、該送り込み装置のローラは受入側と送
り出し側の２組からなり、受入側のローラは送り
出し側のローラに比べて搬送速度が大きく、か
つ、搬送力が小さくなつていることを要旨とする
ものであつて、送り込み装置の受入側のローラに
供給された板状物は高速度で送り出し側のローラ
に送られた後に低速度で加熱炉の走行路に押し込
まれるから、後から送り込まれた板状物は先に送
り込まれた板状物との間に隙間があつてもこれに
追い付いて当接し、このとき受入側のローラは搬
送力が小さいことにより板状物との間で滑りを生
じて無理な力が作用しないようになつており、こ
のようにして送り込み装置により走行路に先に送
り込まれた板状物は後から送り込まれた板状物に
より順次に押されて出口側に走行するのであつ
て、加熱炉内を走行する板状物は前後に互いに当
接して〓間がなく、〓間の存在による不都合を回
避し得るとともに、送り込み装置に間欠的に板状
物を供給しても連続して加熱炉内に送り込むこと
ができるから板状物の供給を容易に行うことがで
きる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の一部切欠斜視図、
第２図はその送り込み装置の横断面図、第３図は
加熱炉の横断面図である。 １：加熱炉、３：レール（非自走式の走行路）、
４：入口、５：送り込み装置、１０：下部ロー
ラ、１２：上部ローラ、１３：従動プーリ、１
５，１６：駆動プーリ、１９，２０：無端ベル
ト、ａ：基板（板状物）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 非自走式の走行路を、加熱室内を通して貫設
   した加熱炉の前記走行路の入口側に、板状物をロ
   ーラで挟持して該ローラの回転により板状物を送
   り込む送り込み装置を設け、該送り込み装置のロ
   ーラは受入側と送り出し側の２組からなり、受入
   側のローラは送り出し側のローラに比べて搬送速
   度が大きく、かつ、搬送力が小さくなつているこ
   とを特徴とする板状物の連続加熱装置。