JPH02302583A

JPH02302583A - 熱処理炉

Info

Publication number: JPH02302583A
Application number: JP12254989A
Authority: JP
Inventors: Akiyoshi Kawamura; 明義川村; Isao Yano; 功谷野
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1989-05-16
Filing date: 1989-05-16
Publication date: 1990-12-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明はセラミ、りの仮焼やセラミック電子部品のセラ
ミ、り基板に銀電極や抵抗体を焼き付（するのに使用さ
れる熱処理かに関する。

［従゛１（の技術］ −ｌツに、セラミ、りを仮焼したり、あるいはセラミッ
クＷ仮に銀電極や抵抗体を焼き付けたりするには、熱処
理炉か使用される。

従来のこの種の熱処理炉を第３図に示す。

」１記熱処理！ｊｉｌは、ヘース２の両端部に人々設け
られたロール３．４に張り渡されて、矢印Ａ１て示す向
きに走行するメノンユ状のベルト５を備える。このベル
ト５は、上記ヘース２の内部に設けられた駆動モータ６
により駆動される。そして、上記ベルト５はベース２上
にて、マツフル７によってトンネル状に覆われる。この
マツフル７の人１”Ｊ７ａにて、内部に被熱処理物（図
示せず。）を収容してなる匣８か一１二記ベルト５上に
載置され、上記マツフル７外を入ロアａから出ロアｃに
向かって搬送される過程で、上記被熱処理物は、上記マ
ツフル７内に供給されるガス雰囲気中で、熱処理用あヒ
ータ（図示せず。）で加熱され、熱処理される。

上記マツフル７内には、その天井部７ｂに沿ってベルト
５の進行方向にガス供給管１１が配設される。このガス
供給管１１の先端部１１ａはベース２に向かって折曲さ
れ、しかもこの先端部１１ａには、第４図に示すように
、多数のガス噴出口１２が形成されている。

上記マツフル７内にて発生したＦｎ気ガスは、第５図に
示す排気装置１３により、マツフル７外に排出される。

この排気装置１３は、下部に多数の吸気孔１４を有する
吸気部１５と、その上に位置する吸引装置１６と、上記
吸気部１５と吸引装置１６とを連通ずる吸気管１７とか
らなる。この吸引装置１６は、その上記吸気部１５がマ
ツフル７の天井部７ｂに位置するように、マツフル７に
固定され、マ・７°フル７内の排気ガスを上向きに吸引
する。

［発明か解決しようとする課題］ところで、上記のような構成を有する従来の熱処理炉ｌ
ては、マツフル７の天井部７ｂの複数個所で、ガス供給
管１１の先端部１１ａから放射状に雰囲気ガスか放出さ
れて皿状の匣８の内部に収容されている被熱処理物に供
給されるので、マ。

フル７内をその人ロアａから出ロアｃに向かって搬送さ
れる匣８内の被熱処理物に均一に雰囲気ガスの供給が行
なわれない。このため、熱処理された製品の品質にばら
つきが生じるという問題があった。

また、上記従来の熱処理炉１において、被熱処理物に有
効に雰囲気ガスを供給するためには、匣８を平面的に配
列しなければならず、処理ｍか制限されるという問題も
あった。

さらに、上記従来の熱処理炉１では、雰囲気ガスの供給
および排気ガスの排出のための手段かいずれもマツフル
７の天井７ｂ側に配設されているので、雰白気ガスおよ
び排気ガスの滞留が生じやすいという問題もあった。

本発明の目的は、雰囲気ガスが均一に被熱処理物に供給
されるとともに、排気ガスの排気効率か高く、かつ、被
熱処理物の熱処理効率が高い熱処理炉を提供することで
ある。

［課題を解決するための手段］このため、本発明は、被熱処理物が一方向に移動するベ
ルト上に載置されて、このベルトをトンネル状に覆うよ
うに配置されたマツフル内を通過し、その過程で、上記
被熱処理物がマツフル内に配置された加熱手段により加
熱されて熱処理される熱処理炉において、上記マンフルの側壁に設けられ、マツフル内を通過する
匣に向かって上記ガス噴出口からガスを噴出するガス供
給装置と、マツフルの側壁に上記ベルトを間にして上記
ガス噴出口に対向して設けられた排気孔を有し、この排
気孔から上記マツフル内の排気ガスを排出する排気装置
とを備えたことを特徴としている。

本発明は、上記ガス供給装置がガス噴出口の直前にガス
噴出口から均一にカスを上記マツフル内に噴出させるた
めのガス溜め部を備えていることをいま一つの特徴とし
ている。

［作用］上記ガス供給装置は、マツフルの側壁から雰囲気ガスを
匣に向かって均一に噴出し、雰囲気カスは匣の側方から
被熱処理物に接触する。これにより、はぼすべての被熱
処理物に均一に雰囲気ガスか供給され、熱処理される。

また、この熱処理の過程で被熱処理物から発生した排気
カスは、マツフルの側壁から、排気装置によって排気さ
れる。

［発明の効用］本発明によれば、匣の側方から雰囲気ガスか匣内の被熱
処理物に均一に供給されるとともに、熱処理によって発
生しｔこ排気カスはマツフル側壁より排出されるので、
雰囲気ガスの供給および排気の効率か向上するばかりで
なく、各匣内のすべての被熱処理物は匣側方より雰囲気
ガスをうけて熱処理され、製品の品質の均一性も向上す
る。

また、本発明によれば、ガス供給装置および排気装置の
位置や運転状態を制御することによ１バマツフル内の雰
囲気カス濃度の管理も容易に行なうことができる。

［実施例］以下、添付の図面を参照して本発明の詳細な説明する。

本発明に係る熱処理炉の一実施例を第１図に示す。

上記熱処理炉２１の匣２２の搬送機構は、第３図におい
て説明した従来の熱処理炉１と同じ構成を有している。

従って、第１図において、匣２２の搬送機構部分につい
ては、第３図の熱処理炉ｌの匣８の搬送部分に付された
符弓と同じ符号を付して示し、重複した説明は省略する
。

第１図において、ベース２上にてメノンユ状のベルト５
をトンネル状に覆うマツフル２３は、その内部を通過す
る匣２２に向かって雰囲気ガスを供給するガス供給装置
２４と、」二記マツフル２３内にて発生した排気ガスを
排出ｒるための排気装置２５とを備える。

°　上記マツフル２３は、第２図に第１図の［１−ＩＩ
線に沿う断面を示すように、その対向する２つの側壁２
６．２７にガス噴出口２８およびυＦ気口２９を備える
。

」１記ガス噴出［１２８およびυ１気口２９は、ベルト
５の、移動方向に搬送される匣２２の積み重ね段数に対
応して、マツフル２３の上下方向に例えば２段、マツフ
ル２３の側壁２６．２７に形成されるとともに、ベルト
５の移動方向に複数個所設けられる。

マツフル２３の２つの側壁２６　、２７にハ、に下方向
に形１戊された２段の１−記カス噴出し］２８をマツフ
ル２３の外側から覆うように、カス溜め部３１が取り付
けられる。谷カス溜め部３１はマ。

フル２３と同じ材も）からなり、一つの面か開口した箱
形の形状をａする。そして、上記谷カス溜め部３１はそ
の上記開口部分かマツフル２３の外側壁２６．２７に密
着して、七ル己マツフル２３に熔接して固定されるとと
もに、上記マツフル２３に沿って走るガス供給管３２に
接続される。

上記各カス溜め部３１は、ト記ガス（Ｊ＋、給管３２か
ら供給された雰囲気ガスを内部に溜めたのち、第２図で
矢印Ａ、で示すように、上記ガス噴出口２８からマツフ
ル２３内に均一に噴出させる機能を有している。

一方、マツフル２３の上記２つの側壁２６，２７には、
これら側１２６．２７に２段に形成された排気口２９を
マツフル２３の外側から覆うように、マツフル２３と同
じ材料からなる排気装置２５のυＦ気部３３か熔接して
取り付けられる。この排気部３３には末端に吸引装置３
４か取り付けられたυＦ気表装置２５排気管３５が接続
される。

上記ガス供給装置２４と排気装置２５とは、第１図に示
すように、マツフル２３の匣２２の人口側の前半部２３
ａでは、マツフル２３の各側壁２６．２７について交互
に取り付けられる。そして、マツフル２３の中間部分２
３ｂからマツフル２３の匣２２の出口２３ｃの近くにか
けては、ガス供給装置２４が設置される。そして、上記
マツフル２３の出口付近には、排気装置２５が設置され
る。

このような構成であれば、マツフル２３の匣２２の人口
から前半部分では、ガス供給装置２４とυＦ気表装置２
５の上記の配置構造により、匣２２の移動につれて、カ
スｌＡしれ方向が交替することになり、これにより、マ
ツフル２３の前半部分では、雰囲気ガスが均一に匣２２
内の被熱処理物に与えられる。そして、マツフル２３の
中央部付近から後半にかけては、ガス供給装置２４から
雰囲気ノノズか与えられるとともに、マツフル２３出口
近くの排気装置２５によりｔｎ気ガスのｔＪｔ気か行な
われ、排気カスのパーンか行なわれる。

このように、ガス供給装置２４と排気装置２５とを適切
に配置することにより、マツフル２３内にて所望のガス
濃度プロファイルを得ることかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る熱処理炉の一実施例の構造を模式
的に示す説明図、第２図は第１図の熱処理炉の■−■線に沿う断面図、第３図は従来の熱処理炉の構造を模式的に示す説明図、第４図は第３図の熱処理炉のカス供給管の先端部の構造
を示す説明図、第５図は第３図の熱処理炉の排気装置の一部ωｌ断説明
図である。２１　　焼［炉、　２２・・匣、２３・・マツフル。２４・・カス供給装置、２５・・排気装置。２６、２７・・側壁、２８・・ガス噴出口。２９・・・排気口、３１・　カス溜め部。３２・・・カス供給管、３３・・排気部。３４・・吸引装置、３５・排気管。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被熱処理物が一方向に移動するベルト上に載置さ
れて、このベルトをトンネル状に覆うように配置された
マッフル内を通過し、その過程で、上記被熱処理物がマ
ッフル内に配置された加熱手段により加熱されて熱処理
される熱処理炉において、上記マッフルの側壁に設けられ、マッフル内を通過する
匣に向かって上記ガス噴出口からガスを噴出するガス供
給装置と、マッフルの側壁に上記ベルトを間にして上記
ガス噴出口に対向して設けられた排気孔を有し、この排
気孔から上記マッフル内の排気ガスを排出する排気装置
とを備えたことを特徴とする熱処理炉。
（２）上記ガス供給装置はガス噴出口の直前にガス噴出
口から均一にガスを上記マッフル内に噴出させるための
ガス溜め部を備えていることを特徴とする請求項１記載
の熱処理炉。