CN217775010U - 清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备，所述具有清洁装置的加热设备适用于对工件加热，并包含洁净设备及加热机构。所述洁净设备包括腔体及清洁装置。所述腔体界定出洁净空间。所述洁净空间具有连通外界的第一开口。所述清洁装置包含至少一个喷管。所述喷管设置于所述洁净空间，并具有指向所述第一开口的喷嘴。所述喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净空间的粉尘被所述喷嘴吹送出。通过所述喷嘴指向所述第一开口并能导引气体吹向所述第一开口的设计，能够让所述洁净设备内的粉尘被所述喷嘴吹送至所述洁净设备外，使得所述清洁装置的除尘效果佳，进而达到所述洁净设备的洁净度提升的效果。

Description

清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备

技术领域

本实用新型涉及一种清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备，特别涉及一种高洁净度的清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备。

背景技术

现有的基板的加工制程，通常会通过输送装置在加热腔内移载基板，使得基板能够在输送的过程中同时被加热烘烤，然而，基板在被输送装置移载进入或离开加热腔的过程中，受到热对流的影响粉尘会被带入加热腔内并附着于基板表面，导致基板表面脏污。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种除尘效果佳的清洁装置。

本实用新型的清洁装置适用于清除洁净设备内的粉尘。所述洁净设备包括第一开口。所述清洁装置包含至少一个喷管。

所述喷管适用于设置于所述洁净设备内，并具有指向所述第一开口的喷嘴。所述喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净设备内的粉尘被所述喷嘴吹送出。

本实用新型的另一目的在于提供一种洁净度提升的洁净设备。

本实用新型的洁净设备包含腔体及前述的清洁装置。

所述腔体界定出洁净空间。所述洁净空间具有连通外界的第一开口。

所述清洁装置的喷管设置于所述洁净空间。所述喷管的喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净空间的粉尘被所述喷嘴吹送出。

本实用新型所述的洁净设备，所述喷管还具有管体。所述喷嘴连通所述管体且用于导引气体自所述管体吹向所述第一开口。所述喷嘴的口径小于所述管体的内径。

本实用新型所述的洁净设备，所述洁净设备还包含基座及输送装置。所述基座设置于所述洁净空间。所述输送装置装设于所述基座，并包括邻近所述第一开口的第一段及远离所述第一开口的第二段。所述喷管还具有管体。所述管体设置于所述第二段。所述喷嘴连通所述管体且用于导引气体自所述管体吹向所述第一开口，使得所述第二段周围的粉尘被所述喷嘴吹送出。

本实用新型所述的洁净设备，所述洁净设备还包含排气机构。所述排气机构包括至少一个进气口。所述进气口对准所述第一段。在所述喷嘴吹出气体时，所述排气机构能够被驱动而自所述进气口将所述喷嘴所吹出的气体连同粉尘吸入。

本实用新型所述的洁净设备，所述喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，且在所述第一段处，所述喷嘴所吹出的气流范围的宽度不大于所述进气口的宽度。

本实用新型所述的洁净设备，所述第一段与所述第二段沿行进方向依序设置于所述基座。所述洁净设备还包含两个罩盖。所述罩盖分别罩覆于所述输送装置在所述行进方向上的两相反侧，并连通所述排气机构。所述罩盖内的粉尘能够被所述排气机构吸入。

本实用新型所述的洁净设备，所述喷管能够相对于所述输送装置上下移动地装设于所述基座。

本实用新型所述的洁净设备，所述洁净空间还具有反向于所述第一开口的第二开口。所述输送装置还包括较所述第一段与所述第二段邻近所述第二开口的第三段。所述第一段、所述第二段与所述第三段沿行进方向依序设置于所述基座。所述清洁装置包括两个喷管。所述喷管分别设置于所述第二段在所述行进方向上的两相反侧。所述喷嘴分别指向所述第一开口与所述第二开口，并用于导引气体自所述第二段分别吹向所述第一开口与所述第二开口，使得所述第二段周围的粉尘被所述喷嘴吹送出。

本实用新型所述的洁净设备，所述洁净设备还包含排气机构。所述排气机构包括两个进气口。所述进气口分别对准所述第一段与所述第三段。在所述喷嘴吹出气体时，所述排气机构能够被驱动而自所述进气口将所述喷嘴所吹出的气体连同粉尘吸入。

本实用新型所述的洁净设备，所述排气机构位于所述输送装置的其中一侧所述洁净设备还包含两个风刀。所述风刀位于所述输送装置的另一侧且分别对准所述进气口。所述风刀能够分别对着所述进气口吹气，以阻隔所述洁净空间与外界的气体流动。

本实用新型的又一目的在于提供一种制程良率提升的具有清洁装置的加热设备。

本实用新型的具有清洁装置的加热设备适用于对工件加热。所述具有清洁装置的加热设备包含腔体、加热机构及前述的清洁装置。

所述腔体界定出洁净空间。所述洁净空间具有连通外界且供所述工件通过的第一开口。

所述加热机构设置于所述洁净空间，并能够被驱动动作而让所述洁净空间升温。

所述清洁装置的喷管设置于所述洁净空间。所述喷管的喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净空间的粉尘被所述喷嘴吹送出。

本实用新型所述的具有清洁装置的加热设备，当所述加热机构未动作，所述喷嘴吹出气体使所述洁净空间降温。

本实用新型的有益效果在于：通过所述喷嘴指向所述第一开口并能导引气体吹向所述第一开口的设计，能够让所述洁净设备内的粉尘被所述喷嘴吹送至所述洁净设备外，使得所述清洁装置的除尘效果佳，进而达到所述洁净设备的洁净度提升的效果。同时，所述洁净空间内的粉尘被所述喷嘴吹送至所述腔体外，还能减少所述洁净空间内的落尘量，避免粉尘附着于所述工件表面，达到制程良率提升的效果。

附图说明

图1是说明本实用新型的具有清洁装置的加热设备的实施例的示意图，并移除所述实施例的第一段及第三段的部分滚筒；

图2是对应图1中的线II-II的剖视图；及

图3是图1中圈选部分的放大图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

参阅图1与图2，为本实用新型的具有清洁装置的加热设备的一实施例。所述具有清洁装置的加热设备适用于对一工件(图未示)加热。所述工件例如可以是电路板或基板，但不以板状为限，也可以是其他任意形态。所述具有清洁装置的加热设备包含一洁净设备10及一加热机构20。所述洁净设备10包括一腔体1、一基座2、一输送装置3、一清洁装置4、两个排气机构5、两个风刀6及两个罩盖7。

参阅图1与图2，所述腔体1界定出一洁净空间11。在本实施例中，所述腔体1配合如输送带形式的所述输送装置3而可以是如图1所示的中空长方体形态或是隧道式形态，并且所述腔体1所界定出的所述洁净空间11具有连通外界且分别位于所述腔体1的两相反侧的一第一开口111及一第二开口112。所述第一开口111与所述第二开口112的方向相反，且所述第一开口111供所述工件自外界移载进入所述洁净空间11，所述第二开口112供所述工件自所述洁净空间11移载送出至外界。但在另一些实施态样中，所述腔体1配合例如是机械手臂形式的所述输送装置3也可以仅是任意形态的中空结构，而所述洁净空间11仅具有供所述工件进出的所述第一开口111，不以两个开口为限。

参阅图1与图2，所述基座2设置于所述洁净空间11，并且所述基座2例如可以是对应所述腔体1形状的长条状结构，但所述基座2不以特定形式为限，也可以是支架等支撑结构。所述输送装置3装设于所述基座2的上方。在本实施例中，所述输送装置3包括沿一行进方向X依序设置于所述基座2的一第一段31、一第二段32及一第三段33。所述第一段31邻近所述第一开口111，所述第三段33邻近所述第二开口112，所述第二段32位于所述第一段31与所述第三段33之间。所述输送装置3能够被驱动动作，而将来自所述第一开口111的所述工件自所述第一段31经由所述第二段32移载至所述第三段33，并从所述第二开口112将所述工件移出。举例来说，所述输送装置3是以输送带的形式示例，并具有多根沿所述行进方向X并列设置的滚筒(未标号)。如图2所示，所述第一段31在此处是指在所述行进方向X上的前面(图中左侧)的多根滚筒，所述第三段33是指在所述行进方向X上的后面(图中右侧)的多根滚筒，所述第二段32则是指位于中间处的其余滚筒，但所述第一段31仅是用来表示所述输送装置3承接所述工件自所述第一开口111进入的部位、所述第三段33则是用来表示所述输送装置3将所述工件输送出所述第二开口112的部位，所述第二段32则是表示在所述腔体1内移载所述工件的部位，不以特定数量的滚筒限定。所述输送装置3通过滚筒转动而能让所述工件沿所述行进方向X移动。但所述输送装置3的实施方式不以输送带为限，例如所述输送装置3为机械手臂形式，则所述第一段31、所述第二段32及所述第三段33可以被省略。

参阅图1至图3，所述清洁装置4用于清除所述洁净空间11内的粉尘，并包含两个喷管41。所述喷管41装设于所述基座2且位于所述第二段32。各所述喷管41呈倒L字形，并具有一连通气体源的管体411、及一连通所述管体411且用于导引气体向外吹出的喷嘴412。所述喷嘴412分别指向所述第一开口111与所述第二开口112，而能够导引气体自所述第二段32分别吹向所述第一开口111与所述第二开口112，使得所述第二段32周围的粉尘被所述喷嘴412分别吹向所述第一段31与所述第三段33。如图3所示，更具体来说，所述喷嘴412的口径小于所述管体411的内径，使得通过所述喷嘴412后的气体流速大于所述管体411内的气体流速，而在所述喷嘴412吹出气体时产生吸附作用(文丘里效应，Venturi effect)吸附粉尘，进而带离所述喷嘴412周围的粉尘并让粉尘被吹送至所述第一开口111与所述第二开口112处，以清除所述洁净空间11内的粉尘。

参阅图1与图3，所述喷管41分别位于所述第二段32在所述行进方向X上的两相反侧(图1中的上下两侧)，并分别朝向所述第一开口111与所述第二开口112的中间部位吹送气体。在图1中，朝向所述第一开口111吹气的所述喷管41所吹出的气流以气流A1、气流A2标示；朝向所述第二开口112吹气的所述喷管41所吹出的气流则以气流B1及气流B2标示。当所述喷管41同时朝向所述第一开口111与所述第二开口112吹气，位于所述第二段32且分布于所述喷管41之间的气体会受到气流A1的导引而形成一如图1所示的呈弧形的气流C1；同理，位于所述第二段32且分布于所述喷管41之间的气体也会受到气流B1的导引而形成一如图1所示的呈弧形的气流C2，如此，所述气流C1与所述气流C2会在所述洁净空间11的中心处对流，扰动所述洁净空间11的粉尘，利于粉尘被所述气流A1、所述气流A2带离。此外，当所述喷管41的间距较大，使得所述喷管41所喷出的气流范围无法全面覆盖所述第二段32时，所述气流C1与所述气流C2对流的设计，也能增加所述清洁装置4的除尘效果。在本实施例中，视实际需要，所述喷管41的数量也可以仅一个，且所述喷嘴412指向所述第一开口111与所述第二开口112的其中一个。或者是，所述喷管41的数量为三个以上，有助于增加气体吹送的范围。另一方面，所述喷管41能够相对于所述输送装置3上下移动地装设于所述基座2，使得所述喷管41的喷嘴412能够在所述输送装置3的上下两侧的任一侧吹气，而能视实际需要调整吹气位置。

参阅图1与图2，所述排气机构5装设于所述基座2且包括两个进气口51。所述进气口51分别对准所述第一段31与所述第三段33。在所述喷嘴412吹出气体时，所述排气机构5能够被驱动而自所述进气口51将所述喷嘴412所吹出的气体连同粉尘吸入，再通过所述排气机构5内的管道将气体排出所述洁净设备10外。在本实施例中，各所述喷嘴412所吹出的气流范围其宽度沿气流的流动方向渐增，并且在所述第一段31与所述第三段33处，所述喷嘴412所吹出的气流范围的宽度与所述进气口51的宽度相同，如此能让粉尘刚好被所述进气口51吸入而不会再从所述第一段31与所述第三段33飘回所述第二段32，有助于提升除尘效果。此外，所述排气机构5也可以装设于腔体1，视实际需求而定。另外，所述进气口51的数量对应所述洁净空间11的开口数量设置，不以两个为限。

继续参阅图1与图2，所述风刀6与所述进气口51分别设置于所述输送装置3的两相反侧。并且，所述风刀6分别对准所述进气口51，且具有多个吹气孔(图未示)，而能够分别对着所述进气口51吹气(如图2中向下的箭头所示)，以阻隔所述洁净空间11与外界的气体流动，如此可避免外界的粉尘飞入所述洁净空间11，也可以达到维持所述洁净空间11与外界的温差的效果。在本实施例中，所述风刀6装设于所述腔体1，但也可以装设于所述基座2，视所述排气机构5的安装位置而定。此外，所述风刀6的数量也是对应所述洁净空间11的开口数量设置，不以两个为限。另外，所述喷管41在垂直方向上是位于所述风刀6与所述进气口51之间，使得所述喷管41吹送的粉尘能够被所述风刀6的气体带动而吹向所述进气口51。

参阅图1，所述罩盖7分别罩覆于所述输送装置3在所述行进方向X上的两相反侧(滚筒的两端)，并连通所述排气机构5。当所述输送装置3动作磨损而产生粉尘，所述罩盖7内的粉尘能够被所述排气机构5吸入，同样有助于提高除尘效果。但在一些实施态样中，所述罩盖7是可以被省略的，或者是仅有一个罩盖7罩覆于所述输送装置3的一侧，所述罩盖7的数量不以两个为限。

参阅图1与图2，所述加热机构20设置于所述洁净空间11，并能够被驱动动作而让所述洁净空间11升温。举例来说，所述加热机构20具有分别设置于所述输送装置3上下两侧的加热构件201(见图2)。所述加热构件201能够被驱动升温，并通过热辐射的方式使得所述洁净空间11升温，如此所述具有清洁装置的加热设备能够用于让所述工件在移载的过程中进行热处理。在本实施例中，所述喷管41是以设置于所述输送装置3与上方的所述加热构件201之间示意，在此位置所述喷管41能直接对所述输送装置3的表面吹气，除尘效果较佳。除此之外，当所述加热机构20未动作，所述喷嘴412亦能直接对所述输送装置3与相应的所述加热构件201的表面吹气，以加快所述洁净空间11降温的速度。

使用时，首先通过所述喷管41分别对着所述第一开口111与所述第二开口112吹气，通过吸附作用将所述第二段32附近的粉尘带至所述第一段31与所述第二段32附近。接着，通过所述风刀6阻隔外界气体进入所述洁净空间11，并且通过所述进气口51将所述第一段31与所述第二段32附近的粉尘吸入所述排气机构5，由此排出粉尘。如此能让所述洁净设备10维持高洁净度。然后，关闭所述喷管41使其不再吹气，且所述风刀6持续运作，此时所述输送装置3即可将所述工件移载进入所述洁净设备10，而能在高洁净度环境中进行所述工件的热处理，进而确保所述工件不被污染。最后，当所述工件加工完成，所述加热机构20停止动作，此时能够通过所述喷管41吹气，以降低所述洁净空间11的温度，有助于减少制程时间。

综上所述，通过所述喷嘴412指向所述第一开口111并能导引气体吹向所述第一开口111的设计，能够让所述洁净设备10内的粉尘被所述喷嘴412吹送至所述洁净设备10外，使得所述清洁装置4的除尘效果佳，进而达到所述洁净设备10的洁净度提升的效果。同时，所述洁净空间11内的粉尘被所述喷嘴412吹送至所述腔体1外，还能减少所述洁净空间11内的落尘量，避免粉尘附着于所述工件表面，达到制程良率提升的效果，故确实能达成本实用新型的目的。

以上所述仅为本实用新型较佳实施例，然其并非用以限定本实用新型的范围，任何熟悉本项技术的人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，可在此基础上做进一步的改进和变化，因此本实用新型的保护范围当以本申请的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (13)

1.一种清洁装置，适用于清除洁净设备内的粉尘，所述洁净设备包括第一开口，其特征在于，所述清洁装置包含：

至少一个喷管，适用于设置于所述洁净设备内，并具有指向所述第一开口的喷嘴，所述喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净设备内的粉尘被所述喷嘴吹送出。

2.一种洁净设备，其特征在于，所述洁净设备包含：

腔体，界定出洁净空间，所述洁净空间具有连通外界的第一开口；及

如权利要求1所述的清洁装置，所述清洁装置的喷管设置于所述洁净空间，所述喷管的喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净空间的粉尘被所述喷嘴吹送出。

3.根据权利要求2所述的洁净设备，其特征在于，所述喷管还具有管体，所述喷嘴连通所述管体且用于导引气体自所述管体吹向所述第一开口，所述喷嘴的口径小于所述管体的内径。

4.根据权利要求2所述的洁净设备，其特征在于，所述洁净设备还包含基座及输送装置，所述基座设置于所述洁净空间，所述输送装置装设于所述基座，并包括邻近所述第一开口的第一段及远离所述第一开口的第二段，所述喷管还具有管体，所述管体设置于所述第二段，所述喷嘴连通所述管体且用于导引气体自所述管体吹向所述第一开口，使得所述第二段周围的粉尘被所述喷嘴吹送出。

5.根据权利要求4所述的洁净设备，其特征在于，所述洁净设备还包含排气机构，所述排气机构包括至少一个进气口，所述进气口对准所述第一段，在所述喷嘴吹出气体时，所述排气机构能够被驱动而自所述进气口将所述喷嘴所吹出的气体连同粉尘吸入。

6.根据权利要求5所述的洁净设备，其特征在于，所述喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，且在所述第一段处，所述喷嘴所吹出的气流范围的宽度不大于所述进气口的宽度。

7.根据权利要求5所述的洁净设备，其特征在于，所述第一段与所述第二段沿行进方向依序设置于所述基座，所述洁净设备还包含两个罩盖，所述罩盖分别罩覆于所述输送装置在所述行进方向上的两相反侧，并连通所述排气机构，所述罩盖内的粉尘能够被所述排气机构吸入。

8.根据权利要求4所述的洁净设备，其特征在于，所述喷管能够相对于所述输送装置上下移动地装设于所述基座。

9.根据权利要求4所述的洁净设备，其特征在于，所述洁净空间还具有反向于所述第一开口的第二开口，所述输送装置还包括较所述第一段与所述第二段邻近所述第二开口的第三段，所述第一段、所述第二段与所述第三段沿行进方向依序设置于所述基座，所述清洁装置包括两个喷管，所述喷管分别设置于所述第二段在所述行进方向上的两相反侧，所述喷嘴分别指向所述第一开口与所述第二开口，并用于导引气体自所述第二段分别吹向所述第一开口与所述第二开口，使得所述第二段周围的粉尘被所述喷嘴吹送出。

10.根据权利要求9所述的洁净设备，其特征在于，所述洁净设备还包含排气机构，所述排气机构包括两个进气口，所述进气口分别对准所述第一段与所述第三段，在所述喷嘴吹出气体时，所述排气机构能够被驱动而自所述进气口将所述喷嘴所吹出的气体连同粉尘吸入。

11.根据权利要求10所述的洁净设备，其特征在于，所述排气机构位于所述输送装置的其中一侧，所述洁净设备还包含两个风刀，所述风刀位于所述输送装置的另一侧且分别对准所述进气口，所述风刀能够分别对着所述进气口吹气，以阻隔所述洁净空间与外界的气体流动。

12.一种具有清洁装置的加热设备，适用于对工件加热，其特征在于，所述具有清洁装置的加热设备包含：

腔体，界定出洁净空间，所述洁净空间具有连通外界且供所述工件通过的第一开口；

加热机构，设置于所述洁净空间，并能够被驱动动作而让所述洁净空间升温；及

如权利要求1所述的清洁装置，所述清洁装置的喷管设置于所述洁净空间，所述喷管的喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净空间的粉尘被所述喷嘴吹送出。

13.根据权利要求12所述的具有清洁装置的加热设备，其特征在于，当所述加热机构未动作，所述喷嘴吹出气体使所述洁净空间降温。

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