JPH02291594A - 紫外光照射プロジェクターを用いた光学的像形成装置 - Google Patents

紫外光照射プロジェクターを用いた光学的像形成装置

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JPH02291594A
JPH02291594A JP1112503A JP11250389A JPH02291594A JP H02291594 A JPH02291594 A JP H02291594A JP 1112503 A JP1112503 A JP 1112503A JP 11250389 A JP11250389 A JP 11250389A JP H02291594 A JPH02291594 A JP H02291594A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明紫外光照射プロジェクター及び光学的像形成装置
を以下の項目に従って詳細に説明する。
Ａ．産業上の利用分野 Ｂ．発明の概要 Ｃ．従来技術 Ｄ．発明が解決しようとする課題 Ｅ．課題を解決するための手段 Ｆ　実施例 Ｆ−１，紫外光照射プロジェクター及び電子回路パター
ン像形成装置の実施例 ［第１図乃至第３図コ ａ．紫外光照射プロジェクター［第 １　図コ ｂ．電子回路パターン像形成装置［第 １図］ Ｃ．紫外光照射プロジェクターの変形 例［第２図］ Ｆ−２．立体像形成装置の実施例［第３図、第４図コ Ｆ−３．フォーカシング機構の例［第５図乃至第７図］ Ｇ．発明の効果 （Ａ．産業上の利用分野） 本発明は新規な紫外光照射プロジェクター及び光学的像
形成装置に関する。詳しくは、紫外光感応材を露光する
ための光源である紫外光照射プロジェクター及び該紫外
光照射プロジェクターを用いて所望の２次元像もしくは
３次元像を形成する光学的像形成装置に関するものであ
り、紫外光感応材をプロジェクターの光学部材と非接触
な状態で露光することができるようにした新規な紫外光
照射プロジェクターと、このような紫外光照射プロジェ
クターを使用することによって複雑な条件管理を要しな
いで所望の像を高精度に形成することができるようにし
た新規な光学的像形成装置を提供しようとするものであ
る。
ＣＢ．発明の概要） 本発明紫外光照射プロジェクターは、紫外光を発光する
ブラウン管のパネル面と紫外光感応露光面との間に該露
光面と非接触な結像用光学部材を配置することにより紫
外光感応露光面を光学部材と常に非接触な状態で露光す
ることができ、よってプロジェクターの光学部材と露光
面との接触を避けることができるようにし、また、本発
明光学的像形成装置は上記紫外光照射プロジェクターを
光源として紫外光感光樹脂を所望の電子回路パターンに
応じたパターンで露光することにより電子回路パターン
形成用の２次元像を高精度に形成することができるよう
にし、更に、本発明光学的像形成装置は上記紫外光照射
プロジェクターを光源として紫外光感光樹脂を露光した
シート状の硬化樹脂を順次積層することによって所望の
３次元像を高精度に形成することができるようにしたも
のである。
（Ｃ．従来技術） 所望の像を形成する方法の１つに所謂光学的像形成方法
があり、例えば、紫外光を照射されることによって硬化
又は分解される液状もしくはシート状の合成樹脂（以下
、「感光樹脂Ｊという。）を所定の波長の紫外光でポジ
ティブにあるいはネガティブに露光することにより感光
樹脂か所望の像に形成されるようにしたものである。
そして、このような像形成に用いられる光源としては、
従来から、紫外光発光型のブラウン管を利用したものが
あり、該ブラウン管のパネル面と感光樹脂との間に結像
用光学部材を介在させ上記発光面からの紫外光を結像用
光学部材によって感光樹脂に結像させることにより該感
光樹脂を露光するようになっている。
このようなものとしては、例えば、特開昭６２−２８８
８４４号公報に記載されたものがある。
（Ｄ、発明が解決しようとする課題） ところが、上記公報に記載された光学的像形成装置は、
ブラウン管の発光面上に紫外光を平行光束化するための
ライトガイドを設けると共に、該ライトガイドの出光端
面に、直に、感光樹脂を供給するようにしているので、
ライトガイドの出光面の平滑度が形成像の精度を直接左
右することになり、このため、上記出光端面に極めて高
い加工精度が要求され、また、硬化した感光樹脂が上記
出光面に付着して残るようなことがあると、当該形成像
のパターンが壊れてしまうばかりか、その次に新たな感
光樹脂を供給して露光する際の形成像のパターンも壊わ
されてしまうことになり、しかも、出光端面に残った硬
化樹脂が紫外光に光学的な悪影響を及ぼすことにもなる
等、様々な問題があった。
また、ブラウン管のパネル面と感光樹脂との接触によっ
てこれらの間に温度差が生じることは必至であり、これ
がブラウン管を使用する上で制約事項になってしまうと
いう問題もある。
（Ｅ．課題を解決するための手段） そこで、本発明紫外光照射プロジェクターは、上記課題
を解決するために、紫外光を発光するブラウン管のパネ
ル面と紫外光感応露光面との間に桔像用投影レンズ等の
結像用光学部材を露光面と非接触に配置し、該紫外光照
射プロジェクターに画像処理装置を接続して所望の電子
回路パターン像を形成したり、あるいは任意に設計した
立体像のーの方向で分解した多数の分解面毎に紫外光感
光樹脂を露光しかつ該露光済の感光樹脂を積層すること
によって所望の立体像を形成するようにしたものである
。
従って、本発明によれば、紫外光感応露光面をプロジェ
クターの光学部材と常に非接触な状態で露光することが
できるので、感光材が上記光学部材の面精度の影響を受
けたり、あるいは感光材が光学部材に付着して残るよう
なことを完全に防止することができるため、常に、精度
の良い露光を行なうことができ、かつ、ブラウン管に課
せられる温度条件等の制約も少ない。
（Ｆ．実施例） 以下に、本発明紫外光照射プロジェクター及び光学的像
形成装置の詳細を図示した実施例に従って説明する。
（Ｆ−１　紫外光照射プロジェクター及び電子回路パタ
ーン像形成装置の実施例） ［第１図乃至第３図］ 第１図乃至第３図は本発明紫外光照射プロジェクターを
備えた電子回路パターン像形成装置の実施例を示すもの
である。
（ａ．紫外光照射プロジェクター）［第１図］１は紫外
光照射プロジェクターであり、ブラウン管と投影レンズ
とから成る。
２はブラウン管であり、そのパネル部３は紫外光に関す
る透過率の高いガラス材が望ましいが、通常の青板ガラ
スや白板ガラス等により形成することができ、該パネル
部３の材料は、その線膨張係数がファンネル部の材料の
それと略同じ値とされている。
そして、上記パネル部３の内面３ａ，即ち、蛍光パネル
面には電子銃４から放射された電子ビームが当ることに
より励起されて波長４５０ｎｍ（ナノメートル）以下の
紫外光を発光する蛍光体５が塗布されている。
６はパネル部３の前方に配置された投影レンズ（図面で
は単体状のもので示してあるが、実際には、各種の補正
用レンズの組合せから成る。）であり、この投影レンズ
６はパネル部３と同様に紫外光の透過率の高い材料、例
えば、石英ガラスや白板ガラス等により形成されている
。
しかして、パネル部３の出光面に現出した紫外光による
像パターンは投影レンズ６からその合焦距離離間した投
影面７上に結像され、従って、この投影面７上に紫外光
感応材料８、即ち、波長４５０ｎｍ以下の紫外光を照射
されることにより硬化又は分解する合成樹脂（以下、「
感光樹脂」と言う。）を配置すれば、該感光樹脂８の露
光面８ａが所望の像パターンで露光される。
尚、投影レンズ６の倍率はブラウン管２の輝度や解像度
の関係から約掻〜数倍が適当な値とされる。
しかして、感光樹脂８は、常に、投影レンズ６と非接触
な状態で露光されることになり、このため、感光樹脂８
か投影レンズ６の面精度の影響を受けたり、あるいは感
光樹脂８が投影レンズ６に付着ずるようなことは全く無
い。
（ｂ．電子回路パターン像形成装置）［第１図］ ９は上記した紫外光照射プロジェクター１を光源とした
電子回路パターン像形成装置であり、例えば、プリント
配線基板の製造に用いられるドライフィルムのパターン
形成を行なうための装置である。
１０は所謂ＣＡＤシステムの主要部を成す画像処理装置
、１１は該画像処理装置１０とブラウン管２の電子銃４
との間に設けられたコントローラであり、画像処理装置
１０によって任意に設計された電子回路パターンに対応
したデータはコントローラ１１を介してテレビ信号とし
て電子銃４に出力され、従って、所望の電子回路パター
ン像が紫外光照射プロジェクター１により前記投影面７
に投影される。
１２は投影面７と近接して配置されたワーク台であり、
該ワーク台１２上に基板１３が供給される。尚、該基板
ｌ３には一方の面にメッキ層１４が形成され、その上に
所定の厚さのドライフィルム１５が塗布される。
しかして、トライフィルム１５を設計された電子回路パ
ターンに応じた像パターンを有する紫外光で露光するこ
とかでき、通常必要とされるマスクフィルムの製作工程
を省略することができる。
よって、例えば、ＣＡＤシステムを用いて設計した回路
パターンを、その場合で直ちに試作して、これを評価す
るといったことも簡単に行うことができる。
（ｃ．紫外光照射プロジェクターの変形例）［第２図］ 第２図は前記紫外光照射プロジェクター１の変形例ＩＡ
を示すものである。
この変形例に示す紫外光照射プロジェクターＩＡは、ブ
ラウン管２のパネル面に現出した像を投影面７に結像さ
せるための結像用光学部材に、所謂屈折率分布型のアレ
イレンズ１６を使用しており、パネル面から出射した紫
外光はこのアレイレンズ１６により平行光束となって投
影面７に投影される。
このようなアレイレンズ１６を用い場合には倍率が１倍
に固定しているが、パネル面と投影面７との距離が短く
て済み、装置全体を小型に構成することができる。
尚、このようにブラウン管２のパネル面と結像面とが接
近していることにより感光樹脂への悪影害が生じる場合
には、アレイレンズ１６とブラウン管２との間、もしく
はアレイレンズ１６と投影面７との間に紫外光以外の不
要成分（例えばＸ線等）を除去するための適宜なフィル
タ一部材等を配苦すれは良い。
（　Ｆ　＝　２．立体像形成装置の実施例）［第３図、
第４図コ 第３図及び第４図は前記紫外光照射ブロジェクター１を
備えた立体像形成装置の実施例１７を示すものである。
１８は樹脂貯留槽であり、その内部に溶融状態の光硬化
型感光樹脂１９が貯留されている。
２０はエレベータであり、その下端部に位置した水平な
板状を為すステージ２１を有すると共に上端部にナット
部材２２が固定され、該ナット部材２２がステッピング
モータ２３により回転される送りねじ２４と螺合されて
おり、該送りねじ２４が回転することによってナット部
材２２が送られ、それにより、エレベータ２０が上下方
向へステップわ動されるようになっており、また、ステ
ージ２１は前記樹脂貯留槽ｌ８に貯留されている感光樹
脂ｌ９中に位置されている。
そして、紫外光照射プロジェクター１はブラウン管２の
パネル部３から出射した像パターンが樹脂貯留槽１８内
の感光樹脂１９の液面１９ａの上で結像するように配置
されている。
２５は前記画像処理装置１０と略同様にＣＡＤシステム
によって構築される立体像プログラミング装置であり、
該立体像プログラミング装置２５により任意に設計され
た立体像の一の方向で所定のピッチ（以下、「分解ビッ
チ」と言う。）で分解された多数の分解面についてのデ
ータが映像信号の形でコントローラ２６に送出され、表
示用ドライバー２７を介してブラウン管２の電子銃４へ
出力されるようになっている。
２８はモータ駆勅回路であり、コントローラ２６からの
制御信号を受けて、ステッピングモータ２３に所定の相
励磁信号を送出するために設けられている。尚、図示は
省略するが、エレベータ２０の現在位置を検出す，るた
めのセンサーが設けられており、この位置検出信号がコ
ントローラ２６に送出されるようになっている。
そこで、像形成動作時には、先ずエレベータ２０が初期
位置、即ち、ステージ２１上に感光樹脂１９が前記分解
ピッチ分の厚さで存在する位置へと移動されると共に、
前記多数の分解面のうち第１番目の分解面についてのデ
ータに対応した像パターンが紫外光照射プロジェクター
１により感光樹脂１９の液面１９ａに投影される。これ
により、ステージ２１上の感光樹脂１９が当該第１番目
の分解面に応じたパターンで露光されて１つのシート状
をした硬化層２９、（第４図参照）が形成される。
次いで、エレベータ２０が１分解ピッチ分下方へ｝多勅
され、それにより、形成済の硬化Ｎ２９，上に感光樹脂
１９が１分解ピッチ分の厚さでもって流れ込むように供
給される。この状態から第２番目の分解面についてのデ
ータに対応した像パターンが感光樹脂１９の液面１９ａ
に投影され、それによって、硬化層２９，上の感光樹脂
１９が当該第２番目の分解面に応じたパターンで露光さ
れて１つのシート状をした硬化Ｎ２９２が硬化層２９＋
上に形成される。
しかして、エレベータ２０の１分解ピッチづつの下方へ
の移動と各分解面に応じたパターンでの感光樹脂１９に
対する露光とが交互にくり返して行なわれて多数の硬化
層２９，　　２９，、２９３、・・・２９．１．２９ｎ
がステージ２１上で順次積層されて行き、それにより、
任意に設計とされた立体像３０が形成される。
（Ｆ−３．フォーカシング機構の例）［第５図乃至第７
図］ ところで、上記した電子回路パターン像形成装置９や立
体像形成装置１７においては、ブラウン管２のパネル面
上に映し出される像パターンをピントが合った状態で露
光面上に結像させることが重要である。
第５図及び第７図はそのようなフォーカス調整のための
フォーカシング機構の一例３１を示すものである。
尚、紫外光照射プロジェクター１においてフォーカス調
整を行なう際の調整要素としてはブラウン管２のパネル
部３と投影レンズ６との間の距ＩＲｆｔ　Ｉｌ＋又は投
影レンズ６と露光面（８ａ又は１９ａ）との間の距離２
２が考えられるが、この例に示すフォーカシング機構３
１は上記距離ｎ．は固定しておいて距！１ｉｆｆｕ２を
調整するようにしたものである。
同図において、３２、３２は駆動機構であり、モータ３
２ａ，３２ａと、紫外光照射プロジェクター１の上下方
向における原点位置を検出するためのホームセンサー３
２ｂ，３２ｂ等を備えており、紫外光照射プロジェクタ
ー１はその全体がこれら駆動機構３２、３２により露光
面と垂直な方向へ移動されるようになっている。
そして、第６図に示すように、ブラウン管２のパネル面
上において、その周辺部を除いた領域３３ａ内に所定の
画像パターンが表示され、この領域３３ａが電子回路パ
ターンや立体像形成パターンの形成上有効な領域とされ
る。
また、上記領域３３ａの周辺領域３３ｂには、領域３３
ａを挟んで斜向いに位置したフォーカス調整用パターン
像３４、３４′が映し出されるようになっている。該フ
ォーカス調整用パターン像３４、３４′は紫外領域にお
ける所定の、又は、所定範囲に亘る空間周波数パターン
を有しており、例えば、第７図に視覚化して示すように
紫外線強度の強い部分３４ａと弱い部分３４ｂとが交互
に、かつ、矢印方向にいくに従ってピッチが次第に小さ
くなって行くような空間周波数パターンとされ、このフ
ォーカス調整用パターン像３４、３４′が、ラスタース
キャンによって周辺領域３３ｂの所定範囲内に亘って移
動される。
３５、３５′は露光面８ａ又は１９ａと等価な位置に配
置された光検出器、３６、３６′は上記フォーカス調整
用パターン像３４、３４′を上記光検出器３５、３５′
に各々導くためのハーフミラー、３７、３７′は該ハー
フミラー３６、３６′と光検出器３５、３５′との間に
設けられたスリット（又はピンホール）であり、フォー
カス調整用パターン像３４、３４′はスリット３７、３
７′を通して光検出器３５、３５′に到達し、よって、
光検出器３５（又は３５′）の出力信号は第７図に示す
ようにフォーカス調整用パターン像３４（又は３４′）
の強弱のピッチが小さく（空間周波数が大きく）なるに
つれ、その振幅が減少する信号となる。
３８、３８′は検出回路（図面では一方の光検出器３５
と接続された一方の検出回路３Ｂについてのみその細部
を示してあるが、他方の検出回路３８′の構成も一方の
検出回路３８と同様になっている．）である．３９は光
検出器３５からの信号を増幅するプリアンプ、４０は該
ブリアンプ３９の後段に配置されたエンベローブ検波回
路、４１は該エンベローブ検波回路４０からの信号をデ
ィジタル化するためのＡ／Ｄ変換回路、４２は該Ａ／Ｄ
変換回路４１の後段に配置されたピーク検出回路であり
、その出力信号はフォーカス制御回路４３に送出される
ようになっている．このように、光検出器３５、３５′
の出力信号はブリアンブ３９により前置増幅された後、
そのエンベローブが抽出され、その時々の値がディジタ
ル化されて、ピーク値の検出がなされる．よってこのよ
うなデータに基づいた空間周波数と振幅変調度との関係
、所謂アンプリチェードレスポンスから、フォーカスが
合ったかどうかが判定される。
そして、フォーカス制御回路４３はフォーカスが合った
かどうかの判断に応じてモータ駆勅回路４４に制御信号
を送出して、モータ３２ａ１３２ａを各別に回転制御す
るようになっている。
尚，フォーカス制御回路４３は画像処理装置１０又は立
体像プログラミング装置２５からのフォーカス調整の開
始指令をインターフェース回路４５を介して受けて作動
し、ホームセンサー３２ｂ、３２ｂからの原点位置の検
出信号が人力される迄の間、モータ駆勅回路４４に制御
信号を送出してモータ３２ａ，３２ａにより移動機構３
２、３２を作動させ、紫外光照射プロジェクター１を原
点位置に復帰させるように制御を行う。
しかして、露光動作が開始すると、先ず、紫外光照射プ
ロジェクター１が原点位置へ移動され、その後表示用ド
ライバー２７によってブラウン管２のパネル面にフォー
カス調整用パターン像３４、３４′が映し出される。そ
して、モータ３２ａ，３２ａが駆動されて紫外光照射プ
ロジェクター１が露光面８ａもしくは１９ａ側へ移動し
、かつ、検出回路３８、３８′及びフォーカス制御回路
４３によフて高周波成分のレスポンスが最大になるまで
前記距ｌ！！ｆｔ　ｉ　２が調整される。そして、高周
波成分のレンスボンスの最大点が検出されたところで、
即ち、フォーカスが合ったところでモータ３２ａ，３２
ａの駆動が停止されてブラウン管２の領域３３ａに所定
の像パターンが表示されて実際の露光が開始される。そ
して、その後はフォーカス状態に関する微小変動の補正
が、検出回路３８、３８′の監視の下に常時行われるこ
とになる。
尚、このようなフォーカス調整はブラウン管２のパネル
面に映し出される２つのフォーカス調整用パターン像３
４、３４”に基づいて各別に行なわれ、これによって紫
外光照射プロジェクター１の水平面に対する傾きの調整
も同時に行われる。
フォーカス調整用パターン像３４、３４′としては、上
記したパターンの他、固定した空間周波数を有するパタ
ーン、つまり、紫外線強度の強弱が一定のピッチとされ
るようなパターン像を用いることもできるが、この場合
には出力信号の振幅値を予め設定された基準値と比較す
ることになり、ブラウン管の紫外線強度の変化（使用時
間等の要因による）に対する補正を行う必要があるとい
った煩わしさが生じるが、前記したように、所定範囲内
で変化する空間周波数パターン像を用いれば、ある空間
周波数を基準とした相対的なレスポンス値が得られるの
で上記のような補正は不要でありフォーカス調整が容易
である。
また、この実施例では、フォーカス調整を行なうために
、投影レンズ６と露光面８８又は１９ａとの間の距＠　
！Ｌ２のみを調整するようにしたが、場合によっては、
投影レンズ６をブラウン管２及び露光面８ａ又は１９ａ
に対して移動させるようにしても良い。
（Ｇ．発明の効果） 以上に記載したところから明らかなように、本発明紫外
光照射プロジェクターは、蛍光面に電子励起により波長
４５０ナノメートル以下の紫外光を発光する蛍光体が塗
布されたブラウン管と、該ブラウン管の蛍光パネル面と
紫外光感応露光面との間に該露光面と非接触に配置され
た結像用光学部材とを備えたことを特徴とする。
従って、本発明紫外光照射プロジェクターによれば、紫
外光感応露光面をプロジェクターの光学部材と常に非接
触な状態で露光することができるので、感光材が上記光
学部材の面精度の影響を受けたり、あるいは感光材が光
学部材に付着して残るようなことを完全に防止すること
ができるため、常に、精度の良い露光を行なうことがで
き、かつ、ブラウン管に課せられる温度条件等の制約も
少ない。
また、本発明光学的像形成装置は、蛍光パネル面に電子
励起により波長４５０ナノメートル以下の紫外光を発光
する蛍光体が塗布されたブラウン管と該ブラウン管の蛍
光パネル面と紫外光感応露光面との間に該露光面と非接
触に配置された結像用光学部材とを有する紫外光照射プ
ロジェクターと、所望の電子回路パターンに対応したデ
ータを上記ブラウン管に出力するための画像処理装置と
を備え、ブラウン管からの紫外光により上記露光面を露
光することにより該露光面に所望の電子回路パターン像
が形成されるようにしたことを特徴とする。
従って、このような光学的像形成装置によれば、紫外光
感応露光面をプロジェクターの光学部材と常に非接触な
状態で露光することができるので、感光材が上記光学部
材の面精度の影響を受けたり、あるいは感光材が光学部
材に付着して残るようなことを完全に防止することがで
きるため、常に、精度の良い露光を行なうことができ、
これにより、所望の電子回路パターン像を精度良く、か
つ、低コストに形成することができる。
更に、本発明に係る他の光学的像形成装置は、蛍光パネ
ル面に電子励起により波長４５０ナノメートル以下の紫
外光を発光する蛍光体が塗布されたブラウン管と該ブラ
ウン管の蛍光パネル面と紫外光感応露光面との間に該露
光面と非接触に配置された結像用光学部材とを有する紫
外光照射プロジェクターと、所望の立体像を一の方向で
１ピッチ毎に分解した多数の分解面に関するデータを順
次上記ブラウン管に出力するための画像処理装置と、１
つの分解面についての露光が終了する度に感応済み露光
面上に１ピッチ分の層厚で紫外光感応材を供給する供給
手段とを備え、各分解面に対応した感応済みの露光面が
積層されることにより所望の立体像が形成されるように
したことを特徴とする。
従って、このような光学的像形成装置によれば、紫外光
感応露光面をプロジェクターの光学部材と常に非接触な
状態で露光することができるので、感光材が上記光学部
材の面精度の影響を受けたり、あるいは感光材が光学部
材に付着して残るようなことを完全に防止することがで
きるため、常に、精度の良い露光を行なうことができ、
これにより、任意に設計した立体像を精度良く、かつ、
低コストに形成することかできる。
そして、これら光学的像形成装置において、ブラウン管
に映し出されるフォーカス調整用パターン像を利用した
フォーカシング機構を設けることによって、肉眼では見
えない紫外線像に関するフォーカス調整を簡単、かつ、
高精度に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第３図は本発明紫外光照射プロジェクターの
一例と該紫外光照射プロジェクターを用いて電子回路パ
ターンを形成する本発明光学的像形成装置の一例を示す
ものであり、第１図は光学的像形成装置の説明図、第２
図は紫外光照射プロジェクターの変形例を示す説明図、
第３図及び第４図は立体を形成する本発明光学的像形成
装置の実施の一例を示すものであり、第３図は説明図、
第４図は形成された立体像において一部の分解面を分離
して示す拡大斜視図、第５図乃至第７図は上記光学的像
形成装置に設けられたフ才一力シング機構の一例を示す
もので、第５図は全体の回路ブロック図、第６図はブラ
ウン管のパネル面上におけるパターン像とフォーカス調
整用パターン像の配置例を示す説明図、第７図はフォー
カス調整用パターン像の一例を視覚化し、かつ、光検出
器の信号出力と共に示す概念図である。 符号の説明 １・・・紫外光照射プロジェクター ２・・・ブラウン管、 ３ａ・・・蛍光パネル面、 ５・・・蛍光体、 ６・・・結像用光学部材、 ８ａ・・・紫外光感応露光面、 ＩＡ・・・紫外光照射プロジェクター １６・・・結像用光学部材、 ９・・・光学的像形成装置、 １０・・・画像処理装置、 １５・・・紫外光感応材、 １７・・・光学的像形成装置、 １　８、 １　０、 ３　４、 像、 ３５、 ３８、 ０・・・供給手段、 ・紫外光感応材、 ・・露光面、 ・画像処理装置、 ・立体像、 ・フォーカシング機構、 ５・・・テスト信号出力手段 ・移動手段、 ４′・・・空間周波数測定用パターン ３５′・・・光検出器、 ３８’　　４３・・・制御回路 出　願　大　ソニー株式会社 代理人弁理士　　小　　松　　祐　　治゛・，紫外光照
射プロジェクターの説明図（変形例）第 ２図 ３０・・・立体像 ３４、３４′・・空間周波数測定用パターン像ス 説明図 第６図 概 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）蛍光面に電子励起により波長４５０ナノメートル
    以下の紫外光を発光する蛍光体が塗布されたブラウン管
    と、 該ブラウン管の蛍光パネル面と紫外光感応露光面との間
    に該露光面と非接触に配置された結像用光学部材とを備
    えた ことを特徴とする紫外光照射プロジェクター（２）蛍光
    パネル面に電子励起により波長 ４５０ナノメートル以下の紫外光を発光する蛍光体が塗
    布されたブラウン管と該ブラウン管の蛍光パネル面と紫
    外光感応露光面との間に該露光面と非接触に配置された
    結像用光学部材とを有する紫外光照射プロジェクターと
    、 所望の電子回路パターンに対応したデータを上記ブラウ
    ン管に出力するための画像処理装置とを備え、 ブラウン管からの紫外光により紫外光感応材の上記露光
    面を露光することにより該露光面に所望の電子回路パタ
    ーン像が形成されるようにしたことを特徴とする光学的
    像形成装置 （３）蛍光パネル面に電子励起により波長 ４５０ナノメートル以下の紫外光を発光する蛍光体が塗
    布されたブラウン管と該ブラウン管の蛍光パネル面と紫
    外光感応露光面との間に該露光面と非接触に配置された
    結像用光学部材とを有する紫外光照射プロジェクターと
    、 所望の立体像を一の方向で１ピッチ毎に分解した多数の
    分解面に関するデータを順次上記ブラウン管に出力する
    ための画像処理装置と、 １つの分解面についての露光が終了する度に感応済み露
    光面上に１ピッチ分の層厚で紫外光感応材を供給する供
    給手段とを備え、 各分解面に対応した感応済みの露光面が積層されること
    により所望の立体像が形成されるようにした ことを特徴とする光学的像形成装置 （４）ブラウン管に空間周波数測定用パターン信号を出
    力するテスト信号出力手段と、ブラウン管から射出され
    た空間周波数測定用パターン像を検出する光検出器と、
    紫外光照射プロジェクターもしくは結像用光学部材を露
    光面と垂直な方向へ移動させる移動手段と、上記光検出
    器からの信号を受けて空間周波数特性の評価を行い上記
    移動手段へフォーカス制御信号を出力する制御回路とを
    有するフォーカシング機構を備えたことを特徴とする特
    許請求の範囲第２項又は第３項記載の光学的像形成装置
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