JPH0228733B2 - - Google Patents
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- JPH0228733B2 JPH0228733B2 JP57189683A JP18968382A JPH0228733B2 JP H0228733 B2 JPH0228733 B2 JP H0228733B2 JP 57189683 A JP57189683 A JP 57189683A JP 18968382 A JP18968382 A JP 18968382A JP H0228733 B2 JPH0228733 B2 JP H0228733B2
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- pressure
- servo
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- drive signal
- servo valve
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 41
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 4
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は流体軸受装置、特にはサーボバルブに
よつて軸受に供給される流体の圧力を制御する流
体軸受装置に関するものである。
よつて軸受に供給される流体の圧力を制御する流
体軸受装置に関するものである。
［従来の技術］
本件出願人は、先に、昭和56年８月８日出願の
特願昭56−124212号で、固定部に対して移動部を
流体軸受により支持する流体軸受装置において、
固定部の非直線性に影響されることなく、移動部
を一定の姿勢に維持したまま、移動部を固定部に
沿つて移動させるために、移動部の移動中に、流
体軸受に供給される流体の圧力を、サーボバルブ
によつて制御する方法を提案している。
特願昭56−124212号で、固定部に対して移動部を
流体軸受により支持する流体軸受装置において、
固定部の非直線性に影響されることなく、移動部
を一定の姿勢に維持したまま、移動部を固定部に
沿つて移動させるために、移動部の移動中に、流
体軸受に供給される流体の圧力を、サーボバルブ
によつて制御する方法を提案している。
［発明が解決しようとする問題点］
ところで、流体軸受に供給される流体の圧力
が、コントローラからの指令値に常に一致するよ
うに、流体の供給圧力をサーボバルブによつて制
御する場合には、流体軸受への供給圧力はサーボ
バルブによつて常に変化している。このため、こ
のような装置では、サーボバルブを駆動する制御
部にトラブルが生じたり、または負荷の瞬時変動
等が起こつた際には、流体軸受の固定部と移動部
が接触する可能性がある。固定部と移動部が接触
すれば、流体軸受の機械系に大きなダメージを与
えることになる。
が、コントローラからの指令値に常に一致するよ
うに、流体の供給圧力をサーボバルブによつて制
御する場合には、流体軸受への供給圧力はサーボ
バルブによつて常に変化している。このため、こ
のような装置では、サーボバルブを駆動する制御
部にトラブルが生じたり、または負荷の瞬時変動
等が起こつた際には、流体軸受の固定部と移動部
が接触する可能性がある。固定部と移動部が接触
すれば、流体軸受の機械系に大きなダメージを与
えることになる。
本発明は、このような事情に鑑みなされたもの
で、その目的は、流体軸受に供給される流体の圧
力をサーボバルブによつて制御する際、流体軸受
の固定部と移動部の接触を、極めて簡単な構成で
確実に防止することのできる流体軸受装置を提供
することにある。
で、その目的は、流体軸受に供給される流体の圧
力をサーボバルブによつて制御する際、流体軸受
の固定部と移動部の接触を、極めて簡単な構成で
確実に防止することのできる流体軸受装置を提供
することにある。
［問題点を解決するための手段］
上記の目的を達成するため、本発明は、固定部
に対して移動部を支持する流体軸受（リニアエア
ーベアリング１３）と、前記流体軸受に供給され
る流体の圧力値を検出する検出器（圧力センサ１
０）と、指令圧力値を出力するコントローラ（コ
ントローラ１）と、前記検出器からの検出圧力値
が前記コントローラからの指令圧力値に一致する
ように前記流体軸受に供給される流体を制御する
サーボバルブ（サーボバルブ９）と、前記サーボ
バルブを駆動するための駆動信号を出力するサー
ボアンプ（圧力サーボアンプ２）と、制御リミツ
ト値を設定する制御リミツト値設定器（制御上限
リミツト設定器２１および／または制御下限リミ
ツト設定器２２）を有し、前記サーボアンプは、
前記検出圧力値が前記制御リミツト値内のとき第
１ゲインで増幅した前記駆動信号を出力し、前記
検出圧力値が前記制御リミツト値外のとき前記第
１ゲインより大きい第２ゲインで増幅した前記駆
動信号を出力している。
に対して移動部を支持する流体軸受（リニアエア
ーベアリング１３）と、前記流体軸受に供給され
る流体の圧力値を検出する検出器（圧力センサ１
０）と、指令圧力値を出力するコントローラ（コ
ントローラ１）と、前記検出器からの検出圧力値
が前記コントローラからの指令圧力値に一致する
ように前記流体軸受に供給される流体を制御する
サーボバルブ（サーボバルブ９）と、前記サーボ
バルブを駆動するための駆動信号を出力するサー
ボアンプ（圧力サーボアンプ２）と、制御リミツ
ト値を設定する制御リミツト値設定器（制御上限
リミツト設定器２１および／または制御下限リミ
ツト設定器２２）を有し、前記サーボアンプは、
前記検出圧力値が前記制御リミツト値内のとき第
１ゲインで増幅した前記駆動信号を出力し、前記
検出圧力値が前記制御リミツト値外のとき前記第
１ゲインより大きい第２ゲインで増幅した前記駆
動信号を出力している。
また、前記サーボアンプと前記サーボバルブの
間には、両者間を前記駆動信号に関して切離すた
めの切換スイツチ（リレースイツチ３）が設けら
れ、前記切換スイツチは、前記流体軸受に供給さ
れる流体の圧力値が前記制御リミツト値を更に大
きく越えたとき、もしくは前記固定部と前記移動
部が異常接近したとき、前記サーボアンプと前記
サーボバルブを切離している。
間には、両者間を前記駆動信号に関して切離すた
めの切換スイツチ（リレースイツチ３）が設けら
れ、前記切換スイツチは、前記流体軸受に供給さ
れる流体の圧力値が前記制御リミツト値を更に大
きく越えたとき、もしくは前記固定部と前記移動
部が異常接近したとき、前記サーボアンプと前記
サーボバルブを切離している。
［作用］
このような本発明によれば、通常時には、所定
のゲインで増幅された適正な駆動信号を用いてサ
ーボバルブを駆動して、流体軸受に供給される流
体の圧力を、コントローラからの指令圧力値に常
に一致するように制御できると共に、異常時に
は、より大きなゲインで増幅された駆動信号によ
りサーボバルブを強制的に駆動して、流体軸受に
供給される流体の圧力を、サーボバルブの制御可
能範囲内に早急に復帰させることができる。ま
た、本発明によれば、このようなことが、サーボ
アンプのゲインを切換えるだけで達成できる。
のゲインで増幅された適正な駆動信号を用いてサ
ーボバルブを駆動して、流体軸受に供給される流
体の圧力を、コントローラからの指令圧力値に常
に一致するように制御できると共に、異常時に
は、より大きなゲインで増幅された駆動信号によ
りサーボバルブを強制的に駆動して、流体軸受に
供給される流体の圧力を、サーボバルブの制御可
能範囲内に早急に復帰させることができる。ま
た、本発明によれば、このようなことが、サーボ
アンプのゲインを切換えるだけで達成できる。
［実施例］
以下、本発明を図に示した実施例に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図は本発明の流体軸受制御装置の一実施例
を示すもので、この図において、１はコントロー
ラ、２は圧力サーボアンプ、４はスキヤンモータ
駆動系で、コントローラ１はスキヤンモータ駆動
系４に速度指令値を出力し、圧力サーボアンプ２
に圧力指令値を出力している。スキヤンモータ駆
動系４はモータ１２を速度指令値に基づいて駆動
する。モータ１２はリニアエアーベアリング１３
の移動部を固定部に沿つて図示矢印方向に移動す
る。圧力サーボアンプ２は、圧力センサ１０によ
り検出されている実際の供給圧力値が、コントロ
ーラ１からの圧力指令値と一致するように、サー
ボバルブ９を駆動する駆動信号を出力すると共
に、実際の供給圧力が圧力指令値から大きく外
れ、上限または下限の制御リミツト値を越えた場
合には、後述のリミツト内復帰機能により、実際
の圧力をリミツト値内に戻すようにサーボバルブ
９を駆動する駆動信号を出力する。
を示すもので、この図において、１はコントロー
ラ、２は圧力サーボアンプ、４はスキヤンモータ
駆動系で、コントローラ１はスキヤンモータ駆動
系４に速度指令値を出力し、圧力サーボアンプ２
に圧力指令値を出力している。スキヤンモータ駆
動系４はモータ１２を速度指令値に基づいて駆動
する。モータ１２はリニアエアーベアリング１３
の移動部を固定部に沿つて図示矢印方向に移動す
る。圧力サーボアンプ２は、圧力センサ１０によ
り検出されている実際の供給圧力値が、コントロ
ーラ１からの圧力指令値と一致するように、サー
ボバルブ９を駆動する駆動信号を出力すると共
に、実際の供給圧力が圧力指令値から大きく外
れ、上限または下限の制御リミツト値を越えた場
合には、後述のリミツト内復帰機能により、実際
の圧力をリミツト値内に戻すようにサーボバルブ
９を駆動する駆動信号を出力する。
１１は実際の圧力に応じてオン、オフされる圧
力スイツチで、この圧力スイツチ１１は、圧力サ
ーボアンプ２の上述の機能によつても、実際の圧
力がリミツト値内に戻らず、更に圧力ダウンまた
はアツプした場合に、これを検出するために設け
られている。また、５は危険状態判別回路、６は
エアーベアリング１３の移動部と固定部の異常接
近を検出する接近チエツク回路、７は制御装置内
のコネクタ外れを検出するコネクタ外れチエツク
回路、８は制御装置内の電源ダウンを検出する使
用電源チエツク回路である。
力スイツチで、この圧力スイツチ１１は、圧力サ
ーボアンプ２の上述の機能によつても、実際の圧
力がリミツト値内に戻らず、更に圧力ダウンまた
はアツプした場合に、これを検出するために設け
られている。また、５は危険状態判別回路、６は
エアーベアリング１３の移動部と固定部の異常接
近を検出する接近チエツク回路、７は制御装置内
のコネクタ外れを検出するコネクタ外れチエツク
回路、８は制御装置内の電源ダウンを検出する使
用電源チエツク回路である。
危険状態判別回路５は圧力スイツチ１１が圧力
異常を検出した場合、または各チエツク回路６，
７，８が異常を検出した場合に、スキヤンモータ
駆動系４に停止信号を出力すると共に、リレース
イツチ３をオン状態からオフ状態に切換えて、サ
ーボバルブ９を圧力サーボアンプ２から切り離
し、サーボバルブ９の駆動制御を中止する。サー
ボバルブ９は圧力サーボアンプ２から切り離され
ることにより、リニアエアーベアリング１３への
供給圧力を、１次圧力より低い所定の２次圧力に
保持する。この際の２次圧力がリニアエアーベア
リング１３にとつて安全な圧力となるように、サ
ーボバルブ９と１次圧力は選定されている。
異常を検出した場合、または各チエツク回路６，
７，８が異常を検出した場合に、スキヤンモータ
駆動系４に停止信号を出力すると共に、リレース
イツチ３をオン状態からオフ状態に切換えて、サ
ーボバルブ９を圧力サーボアンプ２から切り離
し、サーボバルブ９の駆動制御を中止する。サー
ボバルブ９は圧力サーボアンプ２から切り離され
ることにより、リニアエアーベアリング１３への
供給圧力を、１次圧力より低い所定の２次圧力に
保持する。この際の２次圧力がリニアエアーベア
リング１３にとつて安全な圧力となるように、サ
ーボバルブ９と１次圧力は選定されている。
次に、第２図を用いて、圧力サーボアンプ２を
詳細に説明する。この図において、２１はサーボ
バルブ９によつて制御可能な上限圧力値（上限リ
ミツト値）を設定する制御上限リミツト設定器、
２２はサーボバルブ９によつて制御可能な下限圧
力値（下限リミツト値）を設定する制御下限リミ
ツト設定器、２ａは圧力センサ１０が検出してい
る実際の圧力が各リミツト設定器２１，２２に設
定されている上下限リミツト値内にあるときに作
動するサーボアンプ、２ｂは実際の圧力が制御上
限リミツト設定器２１に設定されている上限圧力
値以上になつた場合に、サーボバルブ９を駆動し
て、この上限圧力値まで圧力を強制的にダウンさ
せる増幅率（ゲイン）の大きいサーボアンプ、２
ｃは実際の圧力が制御下限リミツト設定器２２に
設定されている下限圧力値以下になつた場合に、
サーボバルブ９を駆動して、この下限圧力値まで
圧力を強制的にアツプさせるゲインの大きいサー
ボアンプである。
詳細に説明する。この図において、２１はサーボ
バルブ９によつて制御可能な上限圧力値（上限リ
ミツト値）を設定する制御上限リミツト設定器、
２２はサーボバルブ９によつて制御可能な下限圧
力値（下限リミツト値）を設定する制御下限リミ
ツト設定器、２ａは圧力センサ１０が検出してい
る実際の圧力が各リミツト設定器２１，２２に設
定されている上下限リミツト値内にあるときに作
動するサーボアンプ、２ｂは実際の圧力が制御上
限リミツト設定器２１に設定されている上限圧力
値以上になつた場合に、サーボバルブ９を駆動し
て、この上限圧力値まで圧力を強制的にダウンさ
せる増幅率（ゲイン）の大きいサーボアンプ、２
ｃは実際の圧力が制御下限リミツト設定器２２に
設定されている下限圧力値以下になつた場合に、
サーボバルブ９を駆動して、この下限圧力値まで
圧力を強制的にアツプさせるゲインの大きいサー
ボアンプである。
また、２３は圧力センサ１０の出力を増幅する
アンプ、２４はサーボアンプ２ａ，２ｂ，２ｃの
各出力の一つを選択するセレクタ、２５はセレク
タ２４の出力に応じてサーボバルブ９を実際に駆
動するドライバであり、更に、前述の如く、３は
リレースイツチ、５は危険状態判別回路である。
アンプ、２４はサーボアンプ２ａ，２ｂ，２ｃの
各出力の一つを選択するセレクタ、２５はセレク
タ２４の出力に応じてサーボバルブ９を実際に駆
動するドライバであり、更に、前述の如く、３は
リレースイツチ、５は危険状態判別回路である。
第２図に示される如く、本実施例の圧力サーボ
アンプ２では、実際の圧力が上下限リミツト値内
にある場合には、サーボアンプ２ａの出力が駆動
信号としてセレクタ２４から出力されると共に、
実際の圧力が上限リミツト値以上の場合には、サ
ーボアンプ２ｂの出力が駆動信号としてセレクタ
２４から出力され、一方、実際の圧力が下限リミ
ツト値以下の場合には、サーボアンプ２ｃの出力
が駆動信号としてセレクタ２４から出力される。
このため、本実施例では、実際の圧力が上下限リ
ミツト値外になつた場合には、通常時に使用され
るサーボアンプ２ａから、これよりもサーボゲイ
ンが大きい、即ち、より強いドライブのできるサ
ーボアンプ２ｂ，２ｃに切換えることにより、よ
り早く実際の圧力を上下限リミツト値内に追込む
ことが可能となる。
アンプ２では、実際の圧力が上下限リミツト値内
にある場合には、サーボアンプ２ａの出力が駆動
信号としてセレクタ２４から出力されると共に、
実際の圧力が上限リミツト値以上の場合には、サ
ーボアンプ２ｂの出力が駆動信号としてセレクタ
２４から出力され、一方、実際の圧力が下限リミ
ツト値以下の場合には、サーボアンプ２ｃの出力
が駆動信号としてセレクタ２４から出力される。
このため、本実施例では、実際の圧力が上下限リ
ミツト値外になつた場合には、通常時に使用され
るサーボアンプ２ａから、これよりもサーボゲイ
ンが大きい、即ち、より強いドライブのできるサ
ーボアンプ２ｂ，２ｃに切換えることにより、よ
り早く実際の圧力を上下限リミツト値内に追込む
ことが可能となる。
次に、第３図を用いて本実施例の全体的な制御
動作を説明する。この図では、設定器２１に設定
されている上限リミツト値を破線Ａで、設定器２
２に設定されている下限リミツト値を破線Ｂで、
圧力スイツチ１１の動作圧力値を一点鎖線Ｃで、
接近チエツク回路（接近スイツチ）６の動作圧力
値を二点鎖線でそれぞれ示している。また、横軸
は時間Ｔ、縦軸は圧力Ｐを示している。
動作を説明する。この図では、設定器２１に設定
されている上限リミツト値を破線Ａで、設定器２
２に設定されている下限リミツト値を破線Ｂで、
圧力スイツチ１１の動作圧力値を一点鎖線Ｃで、
接近チエツク回路（接近スイツチ）６の動作圧力
値を二点鎖線でそれぞれ示している。また、横軸
は時間Ｔ、縦軸は圧力Ｐを示している。
エアーベアリング１３への供給圧力は、コント
ローラ１に予め設定される圧力指定曲線３１に追
従するようにサーボバルブ９により制御される
が、実際の圧力曲線３２は種々の要因により、例
えば、３２ａで制御下限リミツト設定値Ｂを下ま
わり、３２ｂで制御上限リミツト設定値Ａを上ま
わることがある。この部分では異常接近を生ず
る。第１の安全機構として、３２ａ，３２ｂで見
られる如く、実際の圧力が下限リミツト値Ｂ、ま
たは上限リミツト値Ａを越える量がわずかであれ
ば、サーボアンプ２ｂ，２ｃの出力によりリミツ
ト値Ａ，Ｂ内に強制的に戻され、その後サーボア
ンプ２ａの出力により圧力指定曲線３１に追従す
るよう復帰される。しかし、例えば、下限リミツ
ト設定値Ｂを大きく下まわり、圧力スイツチ１１
の動作圧力値Ｃにまで下がると、第２の安全機構
として、リレースイツチ３がオフとなつてサーボ
アンプ９の制御系がオープン状態、またはストツ
プ状態に切り換わり、実際の圧力が曲線３３で示
される如くトラブル回復のために所定時間の間、
安全圧力に保持され、異常接近を回避する。ここ
でオープン状態とは制御系電源をオフした状態、
ストツプ状態とはオフ状態と異なる所定の安全圧
力に保持するよう制御系が切り換えられた状態を
いう。
ローラ１に予め設定される圧力指定曲線３１に追
従するようにサーボバルブ９により制御される
が、実際の圧力曲線３２は種々の要因により、例
えば、３２ａで制御下限リミツト設定値Ｂを下ま
わり、３２ｂで制御上限リミツト設定値Ａを上ま
わることがある。この部分では異常接近を生ず
る。第１の安全機構として、３２ａ，３２ｂで見
られる如く、実際の圧力が下限リミツト値Ｂ、ま
たは上限リミツト値Ａを越える量がわずかであれ
ば、サーボアンプ２ｂ，２ｃの出力によりリミツ
ト値Ａ，Ｂ内に強制的に戻され、その後サーボア
ンプ２ａの出力により圧力指定曲線３１に追従す
るよう復帰される。しかし、例えば、下限リミツ
ト設定値Ｂを大きく下まわり、圧力スイツチ１１
の動作圧力値Ｃにまで下がると、第２の安全機構
として、リレースイツチ３がオフとなつてサーボ
アンプ９の制御系がオープン状態、またはストツ
プ状態に切り換わり、実際の圧力が曲線３３で示
される如くトラブル回復のために所定時間の間、
安全圧力に保持され、異常接近を回避する。ここ
でオープン状態とは制御系電源をオフした状態、
ストツプ状態とはオフ状態と異なる所定の安全圧
力に保持するよう制御系が切り換えられた状態を
いう。
第４図は圧力スイツチ１１を詳細に示す図であ
る。この図において、１１ａ〜１１ｄはリニアエ
アーベアリング１３のエアー吹き出し口の各々の
実際の圧力を検出する圧力スイツチで、実際の圧
力が第３図の圧力スイツチ動作圧力値Ｃに達する
とオフとなり、エアー吹き出し口の１つでもこの
状態となれば、これを危険状態判別回路５に伝
え、リレースイツチ３をオフにして安全圧力を保
持する。なお、圧力スイツチ動作圧力値Ｃは制御
下限リミツト設定値Ｂを下まわる値に設定される
場合だけでなく、制御上限リミツト設定値Ａを上
まわる値に設定される場合であつても良い。
る。この図において、１１ａ〜１１ｄはリニアエ
アーベアリング１３のエアー吹き出し口の各々の
実際の圧力を検出する圧力スイツチで、実際の圧
力が第３図の圧力スイツチ動作圧力値Ｃに達する
とオフとなり、エアー吹き出し口の１つでもこの
状態となれば、これを危険状態判別回路５に伝
え、リレースイツチ３をオフにして安全圧力を保
持する。なお、圧力スイツチ動作圧力値Ｃは制御
下限リミツト設定値Ｂを下まわる値に設定される
場合だけでなく、制御上限リミツト設定値Ａを上
まわる値に設定される場合であつても良い。
第５図は接近チエツク回路６を詳細に示す図で
ある。この図において、１４ａ〜１４ｅは各々リ
ニアエアーベアリング１３の移動部に取付けられ
ている接近チエツク用スイツチで、これらの接近
スイツチ１４ａ〜１４ｅからの信号は接近チエツ
ク回路６に接続されている。接近チエツク用スイ
ツチ１４ａ〜１４ｅの各端子は電気的導体であ
り、これを通してリニアエアーベアリング１３の
固定部と移動部が電気的に導通状態となることに
より、固定部と移動部の異常接近を検出してい
る。なお、各々の接近スイツチ１４ａ〜１４ｅ
は、リニアエアーベアリング１３の固定部と移動
部とが完全に接触した場合でも、リニアエアーベ
アリング１３の固定部にはダメージを与えない構
造としてある。。接近スイツチ１４ａ〜１４ｅに
よる安全圧力に保持は、圧力スイツチ１１による
場合と同様である。
ある。この図において、１４ａ〜１４ｅは各々リ
ニアエアーベアリング１３の移動部に取付けられ
ている接近チエツク用スイツチで、これらの接近
スイツチ１４ａ〜１４ｅからの信号は接近チエツ
ク回路６に接続されている。接近チエツク用スイ
ツチ１４ａ〜１４ｅの各端子は電気的導体であ
り、これを通してリニアエアーベアリング１３の
固定部と移動部が電気的に導通状態となることに
より、固定部と移動部の異常接近を検出してい
る。なお、各々の接近スイツチ１４ａ〜１４ｅ
は、リニアエアーベアリング１３の固定部と移動
部とが完全に接触した場合でも、リニアエアーベ
アリング１３の固定部にはダメージを与えない構
造としてある。。接近スイツチ１４ａ〜１４ｅに
よる安全圧力に保持は、圧力スイツチ１１による
場合と同様である。
以上、要約するに本実施例の内容は、大きく２
つに分けられるが、各々の効果を以下に示す。
つに分けられるが、各々の効果を以下に示す。
(1) サーボバルブによる制御を続行することによ
り、半危険領域から強制脱出させる。即ち、負
荷変動または流体圧力の元圧変動等により、流
体軸受の圧力が予じめ決めた圧力の上限以上ま
たは下限以下となつた場合に、ここから応答の
早い専用サーボ系で強制脱出を行なわせる。こ
のことにより、流体軸受の安全を確保するばか
りでなく、制御の続行を可能とする。
り、半危険領域から強制脱出させる。即ち、負
荷変動または流体圧力の元圧変動等により、流
体軸受の圧力が予じめ決めた圧力の上限以上ま
たは下限以下となつた場合に、ここから応答の
早い専用サーボ系で強制脱出を行なわせる。こ
のことにより、流体軸受の安全を確保するばか
りでなく、制御の続行を可能とする。
(2) 制御を中止することにより、流体軸受の安全
を確保する。即ち、(1)で述べた方法でも流体軸
受の圧力が上下限以内とならない場合、または
制御系のトラブルを検出した場合には、サーボ
バルブによる制御を中止する。このとき、流体
軸受の圧力は、安全な圧力になる様にしてお
く。また、このときには、流体軸受による移動
も同時に中止して、流体軸受の制御系がトラブ
ルを起した場合でも、流体軸受の機械系にダメ
ージを与えない様にする。
を確保する。即ち、(1)で述べた方法でも流体軸
受の圧力が上下限以内とならない場合、または
制御系のトラブルを検出した場合には、サーボ
バルブによる制御を中止する。このとき、流体
軸受の圧力は、安全な圧力になる様にしてお
く。また、このときには、流体軸受による移動
も同時に中止して、流体軸受の制御系がトラブ
ルを起した場合でも、流体軸受の機械系にダメ
ージを与えない様にする。
［変形例］
なお、本実施例の接近スイツチは、リニアエア
ーベアリングの固定部と移動部が接触したことを
検出するものであるが、これは固定部と移動部が
所定範囲内に接近したことを検出するようなもの
でも良い。即ち、本実施例の接近スイツチの代わ
りに、例えば〓渦電流によるギヤツプ測定器〓等
の非接触センサを用いても良い。また、この非接
触センサを本実施例の圧力スイツチの代わりに使
用しても良い。
ーベアリングの固定部と移動部が接触したことを
検出するものであるが、これは固定部と移動部が
所定範囲内に接近したことを検出するようなもの
でも良い。即ち、本実施例の接近スイツチの代わ
りに、例えば〓渦電流によるギヤツプ測定器〓等
の非接触センサを用いても良い。また、この非接
触センサを本実施例の圧力スイツチの代わりに使
用しても良い。
また、危険状態検出時には、サーボバルブの制
御を中止するだけでなく、即ちオープン状態とす
るだけでなく、流体軸受を安全状態とするような
高圧流体系に、流体軸受を切換え接続することに
より、即ちストツプ状態とすることにより、危険
状態からの脱出をより早く行なえるようにしても
良い。
御を中止するだけでなく、即ちオープン状態とす
るだけでなく、流体軸受を安全状態とするような
高圧流体系に、流体軸受を切換え接続することに
より、即ちストツプ状態とすることにより、危険
状態からの脱出をより早く行なえるようにしても
良い。
［発明の効果］
以上詳述した如く、本発明によれば、通常時に
は、所定のゲインで増幅された適正な駆動信号を
用いてサーボバルブを駆動して、流体軸受に供給
される流体の圧力を、コントローラからの指令圧
力値に常に一致するように制御できると共に、異
常時には、より大きなゲインで増幅された駆動信
号によりサーボバルブを強制的に駆動して、流体
軸受に供給される流体の圧力を、サーボバルブの
制御可能範囲内に早急に復帰させることができる
ので、サーボバルブによる流体圧力の制御を支障
なく行なえると共に、流体軸受の固定部と移動部
の接触を極めて簡単な構成で確実に防止すること
ができる。また、本発明によれば、このようなこ
とが、サーボアンプのゲインを切換えるだけで達
成できる。
は、所定のゲインで増幅された適正な駆動信号を
用いてサーボバルブを駆動して、流体軸受に供給
される流体の圧力を、コントローラからの指令圧
力値に常に一致するように制御できると共に、異
常時には、より大きなゲインで増幅された駆動信
号によりサーボバルブを強制的に駆動して、流体
軸受に供給される流体の圧力を、サーボバルブの
制御可能範囲内に早急に復帰させることができる
ので、サーボバルブによる流体圧力の制御を支障
なく行なえると共に、流体軸受の固定部と移動部
の接触を極めて簡単な構成で確実に防止すること
ができる。また、本発明によれば、このようなこ
とが、サーボアンプのゲインを切換えるだけで達
成できる。
第１図は本発明の流体軸受装置の一実施例を示
す図、第２図は本実施例のサーボアンプの構成を
詳細に示す図、第３図は本実施例の制御動作を説
明するための図、第４図は本実施例の圧力スイツ
チの構成を詳細に示す図、第５図は本実施例の接
近スイツチの構成を詳細に示す図である。 １……コントローラ、２……圧力サーボアン
プ、３……リレースイツチ、４……スキヤンモー
タ駆動系、５……危険状態判別回路、６……接近
チエツク回路、９……サーボバルブ、１０……圧
力センサ、１１……圧力スイツチ、１２……モー
タ、１３……エアーベアリング。
す図、第２図は本実施例のサーボアンプの構成を
詳細に示す図、第３図は本実施例の制御動作を説
明するための図、第４図は本実施例の圧力スイツ
チの構成を詳細に示す図、第５図は本実施例の接
近スイツチの構成を詳細に示す図である。 １……コントローラ、２……圧力サーボアン
プ、３……リレースイツチ、４……スキヤンモー
タ駆動系、５……危険状態判別回路、６……接近
チエツク回路、９……サーボバルブ、１０……圧
力センサ、１１……圧力スイツチ、１２……モー
タ、１３……エアーベアリング。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 固定部に対して移動部を支持する流体軸受
と、前記流体軸受に供給される流体の圧力値を検
出する検出器と、指令圧力値を出力するコントロ
ーラと、前記検出器からの検出圧力値が前記コン
トローラからの指令圧力値に一致するように前記
流体軸受に供給される流体を制御するサーボバル
ブと、前記サーボバルブを駆動するための駆動信
号を出力するサーボアンプと、制御リミツト値を
設定する制御リミツト値設定器を有し、前記サー
ボアンプは、前記検出圧力値が前記制御リミツト
値内のとき第１ゲインで増幅した前記駆動信号を
出力し、前記検出圧力値が前記制御リミツト値外
のとき前記第１ゲインより大きい第２ゲインで増
幅した前記駆動信号を出力することを特徴とする
流体軸受装置。 ２ 前記サーボアンプと前記サーボバルブの間に
は、両者間を前記駆動信号に関して切離すための
切換スイツチが設けられ、前記切換スイツチは、
前記流体軸受に供給される流体の圧力値が前記制
御リミツト値を更に大きく越えたとき、もしくは
前記固定部と前記移動部が異常接近したとき、前
記サーボアンプと前記サーボバルブを切離すこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の流体軸
受装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57189683A JPS5980520A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 流体軸受装置 |
| US06/543,444 US4569562A (en) | 1982-10-27 | 1983-10-19 | Method of and apparatus for controlling a fluid bearing |
| GB08328037A GB2130762B (en) | 1982-10-27 | 1983-10-20 | Control of fluid bearing |
| DE19833338728 DE3338728A1 (de) | 1982-10-27 | 1983-10-25 | Verfahren und vorrichtung zur regelung eines fluidlagers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57189683A JPS5980520A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 流体軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5980520A JPS5980520A (ja) | 1984-05-10 |
| JPH0228733B2 true JPH0228733B2 (ja) | 1990-06-26 |
Family
ID=16245429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57189683A Granted JPS5980520A (ja) | 1982-10-27 | 1982-10-27 | 流体軸受装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4569562A (ja) |
| JP (1) | JPS5980520A (ja) |
| DE (1) | DE3338728A1 (ja) |
| GB (1) | GB2130762B (ja) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4653408A (en) * | 1984-09-05 | 1987-03-31 | Citizen Watch Co., Ltd. | Table mechanism for controlling table attitude |
| US4650123A (en) * | 1986-03-25 | 1987-03-17 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Rotary type electrostatic spray painting device |
| US4702041A (en) * | 1986-07-09 | 1987-10-27 | Corning Glass Works | Prevention of foreign material intrusion in an air slide for machines |
| US4713913A (en) * | 1986-07-09 | 1987-12-22 | Corning Glass Works | Air slide positioning for grinding spindles |
| DE3935913C2 (de) * | 1988-10-29 | 2003-08-28 | Toyotomi Co | Aufbau eines Verbrennungszylinders für Ölöfen |
| DE4133563A1 (de) * | 1991-10-10 | 1993-04-15 | Schaeffler Waelzlager Kg | Linearfuehrung |
| US5364190A (en) * | 1992-01-14 | 1994-11-15 | Toshiba Kikai Kabushiki Kaisha | Hydrostatic bearing apparatus |
| WO1994007045A1 (en) * | 1992-09-11 | 1994-03-31 | Hanes Charles E | Stiff bearing system with minimal vibration characteristics |
| JP3086764B2 (ja) * | 1993-02-22 | 2000-09-11 | キヤノン株式会社 | 静圧軸受装置 |
| US5848930A (en) * | 1995-09-13 | 1998-12-15 | The Boeing Company | Aircraft trimming device |
| US5769545A (en) * | 1996-12-04 | 1998-06-23 | Bently Nevada Corporation | Hydrostatic bearing for supporting rotating equipment, a fluid handling system associated therewith, a control system therefore, method and apparatus |
| DE19711710A1 (de) * | 1997-03-20 | 1998-09-24 | Klg Electronic Ges Mbh | Funktionsüberwachung für Luftlager |
| US6142672A (en) * | 1998-06-22 | 2000-11-07 | Bently Nevada Corporation | Fluid flow and control system for a hydrostatic bearing supporting rotating equipment: method and apparatus |
| US6428210B1 (en) * | 2000-07-11 | 2002-08-06 | Lintech Motion Control, Inc. | Precision air bearing slide and stage assembly for controlled linear motion |
| JP4749123B2 (ja) * | 2005-11-11 | 2011-08-17 | Ｓｍｃ株式会社 | 耐モーメント対策静圧気体軸受機構 |
| US20120033904A1 (en) * | 2010-08-05 | 2012-02-09 | Honeywell International Inc. | Hydrodynamic gas film bearing cooling flow control system |
| US9506498B2 (en) | 2014-03-25 | 2016-11-29 | Specialty Components, Inc. | Gap sensing method for fluid film bearings |
| CN112096739B (zh) * | 2020-08-05 | 2021-12-21 | 佛山市华道超精科技有限公司 | 一种气浮导轨式可切换刚柔耦合运动平台 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55107116A (en) * | 1979-02-09 | 1980-08-16 | Hitachi Seiko Ltd | Method for protection of pneumatic bearing against damage |
| JPS5623052A (en) * | 1979-06-02 | 1981-03-04 | Licentia Gmbh | System and device for transmitting digital information |
| JPS571684A (en) * | 1980-06-03 | 1982-01-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Turning device for industrial robot |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB840751A (en) * | 1957-08-14 | 1960-07-13 | British Thomson Houston Co Ltd | Improvements in means for supporting members by liquid films, applicable to machine tools |
| FR1311765A (fr) * | 1960-05-23 | 1962-12-14 | Derefa Etablissement Pour Le D | Installation de graissage sous pression de glissières d'organes de machines-outils |
| US3032142A (en) * | 1960-06-28 | 1962-05-01 | Schiess Ag | Arrangement for regulating the height of the lubricating film on the slide tracks of machine tools |
| US3674112A (en) * | 1970-06-30 | 1972-07-04 | Houdaille Industries Inc | Centralized lubrication system |
| US3724597A (en) * | 1971-11-19 | 1973-04-03 | A Bereit | Device for the hydrostatic supporting of machine parts |
| US3812627A (en) * | 1972-12-29 | 1974-05-28 | Landis Tool Co | Pressure indicating device for hydrostatic bearings |
| US3856114A (en) * | 1973-01-29 | 1974-12-24 | Kearney & Trecker Corp | Automatic lubrication system |
| FR2385938A1 (fr) * | 1977-03-30 | 1978-10-27 | Fives Cail Babcock | Dispositif de lubrification pour paliers a patins supportant une piece tournante de grand diametre, telle qu'un broyeur rotatif |
| US4272216A (en) * | 1978-12-20 | 1981-06-09 | Kearney & Trecker Corporation | Machine tool lubrication system |
| US4326603A (en) * | 1979-12-17 | 1982-04-27 | International Business Machines Corporation | Lubrication control apparatus |
| JPS56126547A (en) * | 1980-03-06 | 1981-10-03 | Makino Milling Mach Co Ltd | Machine equipped with load compensating guide face |
| US4445168A (en) * | 1981-06-24 | 1984-04-24 | Houdaille Industries, Inc. | Apparatus and method for micro-computer control of lubrication system |
-
1982
- 1982-10-27 JP JP57189683A patent/JPS5980520A/ja active Granted
-
1983
- 1983-10-19 US US06/543,444 patent/US4569562A/en not_active Expired - Lifetime
- 1983-10-20 GB GB08328037A patent/GB2130762B/en not_active Expired
- 1983-10-25 DE DE19833338728 patent/DE3338728A1/de active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55107116A (en) * | 1979-02-09 | 1980-08-16 | Hitachi Seiko Ltd | Method for protection of pneumatic bearing against damage |
| JPS5623052A (en) * | 1979-06-02 | 1981-03-04 | Licentia Gmbh | System and device for transmitting digital information |
| JPS571684A (en) * | 1980-06-03 | 1982-01-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Turning device for industrial robot |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4569562A (en) | 1986-02-11 |
| DE3338728C2 (ja) | 1990-05-23 |
| DE3338728A1 (de) | 1984-05-03 |
| GB2130762A (en) | 1984-06-06 |
| GB8328037D0 (en) | 1983-11-23 |
| GB2130762B (en) | 1986-07-02 |
| JPS5980520A (ja) | 1984-05-10 |
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