DE4133563A1 - Linearfuehrung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Linearführung mit mindestens einer Führungsbahn und mindestens einem jeder Führungsbahn zugeordneten, als Dämpfungselement oder Führungseinheit bestimmter Führungslänge ausgebildeten Führungselement, welche entlang einer Führungsachse relativ zueinander bewegbar sind.

Bei Linearführungen treten bei ungleichen Belastungen an den Führungseinheiten Abweichungen bezüglich deren Bewe­ gung entlang der Führungsbahn zur Ideallinie auf. Solche Belastungsunterschiede treten insbesondere bei Momenten­ belastung auf. Da Linearführungen auch bei Bearbeitungs­ maschinen eingesetzt werden, führt dies auch zu einer Beeinflussung der Maßhaltigkeit des bearbeiteten Werk­ stückes. Neben den Führungseinheiten umfassen Linearfüh­ rungen auch Dämpfungsschlitten oder Dämpfungskeile, die mit engem Laufspalt zur Führungsbahn relativ verstellbar sind, zusammen mit den Führungseinheiten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Parallelität der Führung und den Führungsabstand zur Führungsbahn unab­ hängig von der Größe der Belastung konstant zu halten.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß mindestens eines der Führungselemente oder bei mehreren an einer Führungsbahn bewegbaren Führungselementen diesen gemeinschaftlich zwei senkrecht zur Führungsachse oder einer Parallele dazu verstellbare und zueinander beabstandete Verstellelemente zugehörig sind, deren Verstellachsen die Führungsachse der Führungsbahn oder eine Parallele dazu schneiden oder mit gleichem Abstand kreuzen, und daß den Paaren von Ver­ stellelementen je Führungselement oder je Gruppe von Füh­ rungselementen jeweils ein Abstandsmesser zur Messung des Abstandes zu einer Referenzfläche, die sich entlang der Führungsbahn erstreckt, zugeordnet sind und ferner Ver­ gleicher und Regler zur Verstellung der Verstellelemente, entsprechend der vom Vergleicher festgestellten Ab­ weichungen von einem Referenzwert vorhanden sind.

Sind beispielsweise einem Schlitten oder einem ortsfesten Ständer, bezogen auf eine Führungsbahn und Führungsachse, mehrere Führungselemente, beispielsweise zwei, zugeordnet, so ist jedes Führungselement nur mit einem Abstandsmesser, vorzugsweise an den außenliegenden Enden versehen.

Von Vorteil bei dieser Ausbildung ist, daß die Belastungs­ unterschiede durch die Abstandsunterschiede, die an den Abstandsmessern festgestellt werden, ermittelbar sind und durch eine entsprechende Verstellung wieder eine Paral­ lelität erreicht wird. Ferner wird auch bei einer gleich­ mäßigen Belastung, welche normalerweise zu einer Parallel­ verschiebung der Führungsachse von der Ideallinie und Annäherung zur Führungsbahn führen würde, durch Abstands­ vergrößerung zur Ideallinie hin zurückgeführt. Hierdurch wird beim Einsatz solcher Linearführungen beispielsweise in Bearbeitungsmaschinen für spanende Bearbeitung eine erhöhte Bearbeitungsgenauigkeit gewährleistet. Eine Genau­ igkeitsverbesserung wird insbesondere bei Momentenbe­ lastung erzielt. Da jedes der Führungselemente für sich mit der erfindungsgemäßen Abstandsmessung und Regelung versehen ist, ergibt sich auch bei einem mit mehreren Führungselementen versehenen Schlitten eine Ausrichtung des Schlittens insgesamt.

In weiterer Ausgestaltung wird eine Ausrichtung in zwei Ebenen dadurch erreicht, daß mindestens ein weiteres, ebenfalls senkrecht zur Führungsbahn verstellbares Ver­ stellelement vorhanden ist, dessen Verstellachse parallel zu einer die Verstellachsen der beiden ersten Verstell­ elemente verläuft.

Bevorzugt wird als Referenzfläche die Führungsbahn für die Führungselemente genutzt.

Vorzugsweise soll ein Einsatz zusammen mit als Führungs­ einheiten ausgebildeten Führungselementen, die durch Wälz­ führungen dargestellt sind, erfolgen. Bei diesen sind die Wälzkörper in einer endlosen Reihe umlaufend geführt und bewegen sich an der Führungsbahn abwälzend. Dabei können die Wälzkörper als Rollen, Kugeln oder Nadeln ausgebildet sein. Besonders günstig sind jedoch Rollenumlaufschuhe oder diesen ähnliche Elemente, die für hohe Auflasten dienen und bei Bearbeitungsmaschinen für eine spanende Bearbeitung Einsatz finden.

Alternativ oder zusätzlich können die Führungselemente durch die Dämpfungselemente der Linearführung dargestellt sein, wobei eine Ausbildung als Dämpfungsschlitten, der die Führungsbahn zumindest teilweise mit einem Laufspalt umschließt, oder als Dämpfungskeil, der zu einer der Flä­ chen der Führungsbahn einen engen Laufspalt bildet, vorge­ sehen ist.

Als Lastübertragungseinheiten kommen druckbeaufschlagbare Kolben-Zylinder-Einheiten in Frage. Diese können ölhydrau­ lisch oder mit Fettdruck beaufschlagbar sein. Da sich die Verstellung jedoch im Bereich bis etwa zweihundertstel Millimeter bewegt, ist alternativ vorgeschlagen, piezo­ elektrische Verstelleinrichtungen zu nutzen. Durch Anlegen einer Spannung kann eine Verstellung durch Dickenänderung des Kristalls erreicht werden.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind als Abstands­ messer mechanisch, elektromechanisch, elektrisch oder elektronisch arbeitende Meßfühler oder als Piezometer ausgestaltete Abstandsmesser vorgeschlagen. Die Verwendung von Abstandsmessern, bei denen sich der Abstand als elek­ trische Meßgröße ergibt, bieten sich insbesondere Piezo­ meter an, um einen schnellreagierenden Regelkreis, der zur Verstellung auf die auf eine Spannungsänderung reagieren­ den piezoelektrischen Verstelleinrichtungen einwirkt, an. Für den Fall der Verwendung von elektrischen Meßfühlern, ist es möglich, diese auch als induktiv oder kapazitiv arbeitende Näherungssensoren auszubilden.

Verschiedene Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung schematisch dargestellt.

Es zeigt

Fig. 1 einen Querschnitt durch eine typische Ausbil­ dung einer Linearführung,

Fig. 2 einen Teilschnitt bezüglich des Details Z von Fig. 1, die Anordnung einer Führungseinheit betreffend,

Fig. 3 einen Schnitt III-III gemäß Fig. 2,

Fig. 4 ein Blockschaltbild hinsichtlich der Steue­ rung der Ausführung gemäß Fig. 2,

Fig. 5 eine alternative Ausführungsform zu der gemäß Fig. 2, mit Piezoverstellelementen,

Fig. 6 einen Schnitt VI-VI gemäß Fig. 5,

Fig. 7 ein Blockschaltbild bezüglich einer zur Aus­ führung nach den Fig. 5 und 6 passenden Steuerung,

Fig. 8 einen Querschnitt durch eine Schlittenführung mit Rollenumlaufeinheiten als Führungs­ einheiten,

Fig. 9 eine Seitenansicht zu Fig. 8, teilweise geschnitten,

Fig. 10 einen Schnitt X-X gemäß Fig. 9,

Fig. 11 eine Linearführung mit einem entlang der Führungsschienen über Führungseinheiten und Dämpfungsschlitten bewegbaren Tisch,

Fig. 12 als Einzelheit die Zuordnung des Dämpfungs­ schlittens gemäß Fig. 11 zur Führungsschiene,

Fig. 13 einen Schnitt XIII-XIII gemäß Fig. 12,

Fig. 14 einen Querschnitt durch eine Linearführung, mit zwei nach unterschiedlichen Prinzipien gestalteten Dämpfungskeilen,

Fig. 15 die Ausbildung der in der linken Hälfte von Fig. 14 gezeigten hydraulischen Kolben- Zylinder-Anordnung für die Verstellung,

Fig. 16 die in der rechten Hälfte von Fig. 14 ge­ zeigte Verstelleinrichtung mit Piezo-Aktua­ toren im vergrößerten Maßstab und

Fig. 17 einen Schnitt XVII-XVII gemäß Fig. 14.

In Fig. 1 ist eine Linearführung 1 mit einem Ständer 2 und einem an diesem verfahrbaren Läufer 3 im Querschnitt dargestellt, wobei der Läufer 3 am Ständer 2 über Rollen­ umlaufschuhe 5a bis 5f als Führungseinheiten an zwei parallel zueinander angeordneten Führungsschienen 4 geführt ist. Es sind insgesamt zwei Rollenumlaufschuhe 5c, 5f für die vertikale Ausrichtung und insgesamt vier Rollenumlaufschuhe 5a, 5b, 5d, 5e für die horizontale Ausrichtung vorhanden. In einer hierzu parallelen Ebene ist nochmals die gleiche Anordnung getroffen. Durch Pfeile ist angedeutet, daß Belastungen in vertikaler Richtung auftreten sowie ein Moment anliegen kann.

Die beiden, die vertikale Ausrichtung übernehmenden Füh­ rungseinheiten 5c, 5f sind zusätzlich der Hauptbelastung entgegengerichtet verstellbar, um eine Neuausrichtung des beweglichen Läufers 3 gegenüber dem ortsfesten Teil vor­ nehmen zu können. Die Ausrichtung erfolgt durch Verstell­ einheiten 8, die den Führungseinheiten 5c, 5f zugeordnet sind. Die gegenseitige Zuordnung einer Verstelleinheit 8 und Führungseinheit 5c ist anhand der Fig. 2 und 3 sowie deren Steuerung anhand von Fig. 4 beschrieben.

Die Führungseinheit 5c und die Führungsschiene 4 sind bezüglich der Führungsachse 7 einander gegenüber verstell­ bar. Die Führungsachse 7 ist die Achse der Bewegungsrich­ tung der Führungseinheiten 5a-5f entlang der zugehörigen Führungsschiene 4. Die Verstelleinheit 8 umfaßt das über Befestigungsschrauben 12 am Ständer 2 festgelegte Ver­ stellgehäuse 11 und die Verstellelemente 14. Das Verstell­ gehäuse 11 besitzt zwei Bohrungen 16, in denen die Kolben 15 aufgenommen sind. Die Kolben 15 und Bohrungen 16 bilden zusammen das Verstellelement 14. Die beiden Verstellele­ mente 14 weisen eine Verstellachse 32 auf, die in einer Ebene mit der Führungsachse 7 liegen und eine Verstellbe­ wegung vertikal dazu erzeugen. Eine Führungsbahn 6 ver­ läuft parallel zur Führungsachse 7. Beim Ausführungsbei­ spiel steht die Verstellachse 32 auch senkrecht auf der Führungsbahn. Zur Abdichtung der beiden Kolben 15 sind jeweils Dichtungen 17 in der Bohrung 16 vorgesehen. Die Abdichtung des Verstellgehäuses 11 gegenüber dem Ständer 2 erfolgt ebenfalls durch Dichtungen 18. Der zum Ständer 2 hin gebildete Zylinderraum ist über eine Druckmittel­ bohrung mit Druckmittel versorgbar. Zur Anlagefläche der Führungseinheit 5c hin ist eine Deckplatte 10 vorgesehen, die begrenzt verstellbar gehalten ist. Um eine genaue Führung und Übertragung der Kräfte zu erreichen, ist die Deckplatte 10 mit dem Verstellgehäuse 11 über Stifte 13 verbunden. Ferner weist die Verstelleinheit 8 zwei Abstandsmesser 20 auf, die ebenfalls auf der Führungsachse 7 zentriert angeordnet sind und zur Messung des Abstandes bezüglich der Führungsbahn 6 dienen, welche als Referenz­ fläche ausgebildet ist. Die Führungseinheit 5c ist über Befestigungsschrauben 9 mit der Deckplatte 10 verbunden. Beim ersten Einbau der Führungseinheit 5c mit Verstellein­ heit 8 erfolgt ein erstes Ausrichten, so daß eine Paral­ lelführung des Läufers 3 gegeben ist. Beiden Abstandsmes­ sern 20, wobei jedem Verstellelement 14 ein solcher Ab­ standsmesser 20 zugeordnet ist, stellen die Abstandsverän­ derung gegenüber dem ursprünglich bei der Einrichtung einjustierten Referenzwert zu der als Referenzfläche die­ nenden Führungsbahn 6 fest. Der Meßwert wird im Verstärker 22 verstärkt und dem Vergleicher, der zugleich als Regler ausgebildet ist, und mit 23 bezeichnet ist, zugeführt. Dieser ermittelt die Abweichung zwischen dem gemessenen Wert und dem Referenzwert und steuert ein zugehöriges elektrohydraulisches Mehrwegeventil 24, über welches aus dem Druckbehälter 25 Druckmittel dem Verstellelement 14 und damit zur Bewegung des Kolbens 15 zugeführt oder aus dem gebildeten Zylinderraum abgeleitet wird. Der Druckbe­ hälter 25 wird von einer Pumpe 27 über ein Druckbegren­ zungsventil 26 gespeist. Die Verstellelemente 14 und damit die Kolben 15 der gegenüberliegenden Führungseinheit 5f mit Verstelleinheit 8 können entsprechend gegenläufig gesteuert werden.

Die Fig. 5 und 6 zeigen eine alternative Ausbildung der Verstelleinheit 8. Das Verstellgehäuse 11 und die Deck­ platte 10 sind als Keile (Vorspannkeil 28) gestaltet, um eine Voreinstellung zu bewirken, das heißt, beim Einbau die gewünschte Parallelführung zu erreichen. Die Verstell­ elemente 14 umfassen vier in das Verstellgehäuse 11 einge­ lassene Piezo-Aktuatoren 29, von denen jeweils zwei über je einen Abstandsmesser 20 und eine Steuerungseinheit in Form eines in Fig. 7 angedeuteten Vergleichers und Reglers 23 und über eine Steuerung für das Hochspannungsnetzteil 30 gesteuert werden. Durch die Ausbildung der Deckplatte 10 und des Verstellgehäuses 11 als Vorspannkeile 28 können die zur Einstellung zunächst erforderlichen größeren Ver­ stellwege erzeugt werden. Die Piezoverstellelemente 14 werden nur für die Korrektur der aus der Belastung resul­ tierenden Veränderungen genutzt. Der erreichbare Verstell­ weg bei Piezo-Verstellelementen 14 ist sehr viel kleiner als bei hydraulischen Verstellelementen, dafür aber ge­ nauer. Aus diesem Grund wird die erforderliche Vorspannung zunächst zweckmäßigerweise mit einem Vorspannkeil auf herkömmliche Art eingestellt, wie aus Fig. 5 ersichtlich. Zur Verstellung ist eine Kombination aus Vorspannkeil und integrierter Verstelleinheit 14 vorgesehen. Der Regelauf­ wand bei Piezo-Verstellelementen 14 ist kleiner als bei einer hydraulischen Steuerung.

In den Fig. 8 bis 10 ist eine alternative Ausführung der Führung dargestellt. Es handelt sich um eine Führung, bei der der Läufer 3 über Rollenumlaufeinheiten an am Ständer 2 befestigten Führungsschienen 4 geführt ist. Die Rollenumlaufeinheiten umgreifen die Führungsschienen 4. Die Rollenumlaufeinheiten sind an zur Führungsachse 7 einander entgegengerichtet geneigten Führungsbahnen 6 abrollend bewegbar, so daß sowohl Vertikal- als auch Horizontalkräfte aufgenommen werden können. Es sind zwei Verstellelemente 14 im Abstand zueinander so angeordnet, daß ihre Verstellachse 32 unmittelbar die Führungsachse 7 schneidet. Ferner sind zwei den beiden ersten, Verstell­ elementen 14 zwei weitere Verstellelemente 14, die Verbin­ dungsebene, die die beiden Verstellachsen 32 der ersten und auf der Führungsachse 7 angeordneten Verstellelemente 14 enthält, mit gleichem Abstand kreuzend angeordnet. Bei auf parallelen Führungsschienen geführten Führungsein­ heiten ist nur ein zusätzliches Verstellelement 14 mit Abstandsmesser den Führungseinheiten zugeordnet. Dabei verlaufen deren Verstellachsen 32 parallel zu der vorbe­ schriebenen Ebene. Ferner ist ein erster Abstandmesser 20 für die beiden ersten, auf der Führungsachse 7 angeordne­ ten Verstellelemente 14, vorhanden. Den beiden anderen, quer dazu angeordnet und die Führungsachse 7 mit gleichem Abstand kreuzenden Verstellelementen 14, ist ein weiterer Abstandsmesser 20 zugeordnet. Die Steuerung der beiden ersten Verstellelemente 14 entspricht der in Fig. 4 dar­ gestellten. Die Verstellelemente 14 sind als Kolbenzylin­ dereinheiten ausgebildet. Es ist ebenfalls ein Verstellge­ häuse 11 vorhanden, in dem die Bohrungen 16 für die Kolben 15 untergebracht sind. Ferner trägt das Verstellgehäuse 11 die beiden Abstandsmesser 20. Die obere Fläche der Füh­ rungsschiene 4 dient als Referenzfläche 31 für die Ab­ standsmessung.

Für die in den Fig. 8 bis 10 dargestellte Linearführung la ist es auch möglich, anstelle der hydraulischen Ver­ stellung eine Verstellung über Piezoelemente vorzusehen, so wie sie im Zusammenhang mit den Fig. 5 bis 7 be­ schrieben ist. Von Vorteil ist bei der Ausführung, wie sie in den Fig. 8 bis 10 und insbesondere im Zusammenhang mit Piezoelementen als Verstellelementen gegeben ist, die hochgenaue Führung, da die Führungseinheiten 5 mit der Führungsschiene 4 vormontiert sind und bereits im Anlie­ ferungszustand eine Vorspannung haben. So ausgerüstete Li­ nearführungen eignen sich zum Beispiel für Tische von Meßmaschinen. Bei diesen liegen die Federwerte unter Be­ lastung im Bereich bis max. 0,02 mm. Über die Verstellele­ mente 14 kann dann eine noch verbesserte Führungsqualität erreicht werden, bzw. können die Federwerte kompensiert werden, wobei durch eine Kombination von Kolben und Piezo­ element als Verstellelement eine besonders feinfühlige Verstellung erreicht werden kann, da der Kolben die Grob­ verstellung übernimmt und das Piezoelement für eine fein­ fühlige Verstellung genutzt wird. Solche Piezo-Verstell­ elemente, die Druck erzeugen können und als Aktuatoren bezeichnet werden, haben die Eigenheit, daß sie sich bei Anlegen einer elektrischen Spannung, beispielsweise bis 0,1%, ihrer Dicke ausdehnen. So wird ein 10mm dickes Ele­ ment z. B. um 0,01 mm dicker. Die Kombination aus Kolbenver­ stellung und Verstellung über Piezoelement ermöglicht also die Bauhöhe zu reduzieren, wo größere Verstellwege erfor­ derlich sind. Dies trifft auch auf die Ausführung mit den Piezo-Elementen zu.

Fig. 11 zeigt eine Linearführung 1b bei der ein Tisch 3 entlang zweier paralleler Führungsschienen 4 unter Zwi­ schenschaltung von Führungseinheiten, die als Rollenum­ laufschuheinheiten 5a bis 5d gestaltet sind, bewegbar ist. Ferner sind jeweils benachbart zu den Rollenumlaufschuh­ einheiten 5a bis 5d Dämpfungsschlitten 33 angeordnet. Solche Dämpfungsschlitten 33 werden zur Dämpfung der Bewe­ gung des Tisches 3 entlang der Führungsschienen 4 benutzt. Zusätzlich zu den Führungseinheiten, das heißt, den Rol­ lenumlaufschuheinheiten 5a bis 5f sind auch die Dämpfungs­ schlitten 33 als Verstelleinheiten ausgebildet, bzw. mit diesen versehen. Dabei ist, wie aus den Fig. 12 und 13 ersichtlich, das Dämpfergehäuse 34 mit einer Einlage 35 versehen. Es umgreift das Profil der Führungsschiene 4 mit einem engen Laufspalt, der mit Öl versorgt wird. Der Dämpfungsschlitten 33 ist ebenfalls entlang der Führungs­ achse 7, die durch die Führungsschiene 4 vorgegeben ist, verstellbar. In dem Dämpfergehäuse 34 sind Piezo-Aktua­ toren 29 in Ausnehmungen 36 aufgenommen und abgestützt. Sie stützen sich ferner an einer gegenüber dem Dämpferge­ häuse 34 beweglichen Stützplatte 37 ab. Zwei Abstands­ messer 20 sind in Bohrungen der Stützplatte 37 befestigt und messen den Abstand zu den beiden Referenzflächen 6 der Führungsschiene 4. Die Abstandsmesser 20 ragen durch Aus­ nehmungen in dem Dämpfergehäuse 34 auf die Referenzfläche 6 zu. Stützplatte 37 ist beweglich im Dämpfergehäuse 34 gestützt verbunden. Das Dämpfergehäuse 34 ist mit dem Tisch 3 verbunden, jedoch derart, daß eine Relativbewegung zur Veränderung des Abstandes des Tisches 3 zu den Refe­ renzflächen 6 im Rahmen der Verstellung durch die Piezo-Aktuatoren 29 durch Längung oder Kürzung der Schrau­ ben zur Befestigung des Dämpfergehäuses 34 durch elasti­ sche Verformung möglich ist. Die Schaltung und Funktion der Verstelleinheit entspricht der im Zusammenhang mit den Fig. 5 und 6 beschriebenen.

In Fig. 14 ist ein Querschnitt und in Fig. 17 ein Schnitt entlang der Schnittlinie XVII-XVII von Fig. 14 durch eine Tischführung mit Dämpfungskeilen 41, die gleichzeitig als Verstelleinheiten 8 ausgebildet sind, dargestellt. Dabei ist aus Fig. 17 erkenntlich, daß je­ weils zwei Führungseinheiten 5 und Dämpfungskeile 41 je­ weils ein Paar bildend hintereinander angeordnet sind. Dabei sind zwei Alternativen gezeigt. In der linken Hälfte von Fig. 14 ist die als Dämpfungskeil gestaltete Ver­ stelleinheit 8 als eine Kolben-Zylinderanordnung, wie sie im Prinzip im Zusammenhang mit den Fig. 2 bis 8 be­ schrieben ist, ausgebildet, wobei jedoch, wie aus Fig. 15 ersichtlich, das Verstellgehäuse 11 neben der Führungsein­ heit 5 angeordnet ist. Das Verstellgehäuse 11 ist über eine zu ihm in Richtung auf die Führungsbahn 6, die als Referenzfläche dient, durch die Kolben 15 verstellbare Gleitplatte 38 mit Gleitbelag 39 an der Führungsbahn 6 abgestützt. Die Gleitplatte 38 ist über eine Stiftverbin­ dung 40 beweglich mit dem Verstellgehäuse 11 verbunden.

In der rechten Hälfte von Fig. 14 ist ein Dämpfungskeil, der als Verstelleinheit 8 ausgebildet ist, dargestellt, bei dem die Verstellfunktion von Piezo-Aktuatoren 29 aus­ geübt wird. Diese sind im Verstellgehäuse 11 (Fig. 16) aufgenommen und einerseits an einer Stützplatte 37, über die sie am Tisch 3 anliegen, und andererseits an einer Gleitplatte 38 abgestützt. Die Gleitplatte 38, die mit einem Gleitbelag 39 versehen ist, stützt sich auf der Führungsbahn 6 ab. Die Gleitplatte 38 ist über eine Stift­ verbindung 40 beweglich am Verstellgehäuse 11 gehalten. Die Verstellung und das Zusammenwirken der Abstandsmesser 20 und der Piezo-Aktuatoren 29 entspricht der im Zusammen­ hang mit den Fig. 5 bis 7 beschriebenen. Die als Dämp­ fungskeil gestaltete Verstelleinheit 8 ist neben der Füh­ rungseinheit 5 angeordnet.

Bezugszeichenliste

 1, 1a, 1b, 1c Linearführung
 2 Ständer/Maschinenbett
 3 Läufer/Tisch
 4 Führungsschiene
 5, 5a bis 5f Führungseinheit
 6 Führungsbahn/Referenzfläche
 7 Führungsachse
 7a Parallele zur Führungsachse
 8 Verstelleinheit
 9 Befestigungsschrauben für Führungseinheit
10 Deckplatte
11 Verstellgehäuse
12 Befestigungsschrauben für Verstelleinheit und Führungseinheit
13 Stift
14 Verstellelement
15 Kolben
16 Bohrung
17, 18 Dichtung
19 Druckmittelbohrung
20 Abstandmesser
21 Schmiermittelkanal
22 Meßwertverstärker
23 Vergleicher
24 Ventil
25 Druckbehälter
26 Druckbegrenzungsventil
27 Pumpe
28 Vorspannkeil
29 Piezo-Aktuatoren
30 Steuerung
31 Referenzfläche
32 Verstellachse
33 Dämpfungsschlitten
34 Dämpfergehäuse
35 Einlage
36 Ausnehmung
37 Stützplatte
38 Gleitplatte
39 Gleitbelag
40 Stiftverbindung
41 Dämpfungskeil

Claims (12)

1. Linearführung mit mindestens einer Führungsbahn und mindestens einem jeder Führungsbahn zugeordneten, als Dämpfungselement oder Führungseinheit bestimmter Füh­ rungslänge ausgebildeten Führungselement, welche ent­ lang einer Führungsachse relativ zueinander bewegbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eines der Führungselemente (5, 5a-5f, 33) oder bei mehreren an einer Führungsbahn (6) beweg­ baren Führungselementen (5a-5f, 33, 41) diesen gemein­ schaftlich zwei senkrecht zur Führungsachse (7) oder eine Parallele (7a) dazu verstellbare und zueinander beabstandete Verstellelemente (14) zugehörig sind, deren Verstellachsen (32) die Führungsachse (7) der Führungsbahn (6) oder die Parallele (7a) dazu schneiden oder mit gleichem Abstand kreuzen, und daß den Paaren von Verstellelementen (14) je Führungs­ element oder je Gruppe von Führungselementen jeweils ein Abstandsmesser (20) zur Messung des Abstandes zu einer Referenzfläche (6, 31), die sich entlang der Führungsbahn (6) erstreckt, zugeordnet sind und ferner Vergleicher (23) und Regler (23) zur Verstellung der Verstellelemente (14), entsprechend der vom Ver­ gleicher (23) festgestellten Abweichungen von einem Referenzwert vorhanden sind.

2. Linearführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein weiteres, ebenfalls senkrecht zur Führungsachse verstellbares Verstellelement (14) vor­ handen ist, dessen Verstellachse (32) parallel zu einer die Verstellachsen (32) der beiden ersten Ver­ stellelemente (14) verläuft.

3. Linearführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Referenzfläche durch die Führungsbahn (6, 31) gebildet ist.

4. Linearführung nach Anspruch 1, mit einer Ausbildung des/der Führungselemente als Führungseinheit, dadurch gekennzeichnet, daß die Führungseinheit (5,5a-f) durch eine Wälzführu­ ng mit in einer endlosen Reihe umlaufend geführten und an der Führungsbahn (6) abwälzend bewegten Wälzkörpern dargestellt ist.

5. Linearführung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Wälzkörper als Rollen, Kugeln oder Nadeln ausgebildet sind.

6. Linearführungseinheit nach Anspruch 1, mit einer Aus­ bildung des/der Führungselemente als Dämpfungselement, dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungselement als Dämpfungsschlitten (33) ausgebildet ist, der die Führungsbahn (6) zumindest teilweise mit engem Laufspalt umschließt.

7. Linearführungseinheit nach Anspruch 1, mit einer Aus­ bildung des Führungselementes als Dämpfungselement, dadurch gekennzeichnet, daß das Dämpfungselement durch einen Dämpfungskeil (41), der zu einer der Flächen der Führungsbahn (6) einen engen Laufspalt bildet, dargestellt ist.

8. Linearführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellelemente (14) als druckbeaufschlagbare Kolben-Zylinder-Einheiten ausgebildet sind.

9. Linearführung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellelemente (14) ölhydraulisch oder mit Fettdruck beaufschlagbar sind.

10. Linearführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verstellelemente (14) als piezoelektrisch wirkend ausgebildet sind.

11. Linearführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abstandsmesser (20) als mechanisch, elektro­ mechanisch, elektrisch oder elektronische Meßfühler oder als Piezometer ausgebildet sind.

12. Linearführung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß bei Ausbildung der Abstandsmesser (20) als elek­ trische Meßfühler, diese als induktiv oder kapazitiv arbeitende Näherungssensoren ausgestaltet sind.