JPH02276731A

JPH02276731A - 基板収納装置

Info

Publication number: JPH02276731A
Application number: JP1198842A
Authority: JP
Inventors: Tomio Ougihara; 扇原　富雄
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 1988-11-07
Filing date: 1989-07-31
Publication date: 1990-11-13
Anticipated expiration: 2010-01-25
Also published as: JPH075170B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コ本発明は、例えばハイブリッドＩＣ基板及びプリント基
板等（以下、基板と称する）の製造装置に関し、特に、
上記基板の製造及び組立工程において使用される基板収
納装置（基板ストッカー）に関する。

［従来の技術］従来、基板を印刷・焼成するライン、または、基板に電
子部品を装着する装着作業ラインにおいて、ラインの上
流及び下流の調整等を行うため、ラインを流れる基板を
一時的に収納する基板収納装［ｉ！（基板ストッカー）
を、その途中に配置することがよく行われている。この
様な基板収納装置は、例えば第９図（ａ）及び（ｂ）に
示すように、その内部に基板収納用の１１１３１を縦方
向に複数設けた収納箱３２をラインの途中に配置し、こ
の収納箱を上下しながら基板３３の収容及び供給を行う
もの、そして、基板係合用の凹部３４を設けた無端ベル
ト３５を一対それぞれ対向して配置し、このａｍベルト
３５を回転上下しながら基板３３を段積み収容し、基板
の供給を行うものが知られている。そして、この様な基
板収納装置では、ライン下流の工程が停止した場合、上
記基板収納装置へライン上流の基板が順次収納され、下
流の工程が回復した場合、上記基板収納装置に収納され
た基板が順次ライン下流へ供給される。

［発明が解決しようとする問題点コしかしながら、上記の様な従来技術の基板収納装置では
、基板の収納は上記収納箱２の上の方から下の棚へ順々
に、すなわち、古い基板を上に新しい基板を下に順次積
み上げるが、逆に、基板収納装置からラインへの基板の
供給は、下の棚から上の棚へ順々に、すなわち、新しい
基板が先に、そして、古い基板が後に取り出される。こ
のため、下流の工程が回復して上記基板収納装置に収納
されていた基板が搬送される際、印刷ペーストやクリー
ム半田等一定時間内に次の工程で処理されなければなら
ないにも拘らず、上記基板収納装置の内部に滞留し、そ
の処理制限時間を越えてしまい、これが出来上がる基板
の不良の原因となっており、品質管理上の問題となって
いた。

また、この様な従来技術の基板収納装置の問題点に対し
、収容した基板の排出が完了するまで上流工程を停止さ
せる方法も考えられるが、短時間の停止が頻発するライ
ンでは上流工程の停止時間が伸び、柔軟な対応が出来な
い。

さらに、搬送する製品によっては、基板収納装置内に収
容する必要もなく、そのまま装置を通過させればよいも
のもあり、その場合、基板の収納される段数が固定され
ている場合には、この基板収納装置内を通る時間はむし
ろロス時間となってしまう。

この様な問題点を解決するため、装置の外側にバイパス
するラインを設置することも考えられるが、これでは装
置がより複雑かつ高価になり、そのための必要床面積も
増大してしまう。

そこで、本発明は、上記の従来技術における問題点に鑑
み、先に収納した基板を先に取り出すことが出来、製造
ラインの途中に設けても、基板の停滞時間の大きなばら
つきが生じない基板収納装置を、さらには、ラインの変
更に対してもフレキシビリティに優れた基板収納装置を
提供することにある。

［問題を解決するための手段］すなわち、上記の本発明の目的を達成するための第一の
手段の要旨は、基板係合用の凹部を設けた一対の無端ベ
ルトを対向して形成した第一の収納無端ベルトと、やは
り基板係合用の凹部を設けた一対の無端ベルトを対向し
て形成した第二の収納無端ベルトと、供給される基板を
第一の収納無端ベルトの基板係合用の凹部に収納する装
置と、上記第二の収納無端ベルトの基板係合用の凹部に
収納された基板を取り出す排出装置と、上記第一の収納
無端ベルトあるいは上記第二の収納無端ベルトを、基板
の収納に応じて、互いに反対方向に移動する駆動装置と
、上記第一の収納無端ベルト及び第二の収納無端ベルト
の移動方向に対応して移動されると共に、上記第一の収
納無端ベルトの基板係合用の凹部に収納された基板を第
二の収納無端ベルトの基板係合用の凹部に移送するため
の移送手段とを備えたことを特徴とする基板収納装置で
ある。

また、上記の本発明の目的を達成するための第二の手段
の要旨は、係合用の凹部を設けた一対の無端ベルトを対
向して形成した第一の収納無端ベルトと、やはり基板係
合用の凹部を設けた一対の無端ベルトを対向して形成し
た第二の収納無端ベルトと、供給される基板を第一の収
納無端ベルトの基板係合用の凹部に収納する収納装置と
、上記第二の収納無端ベルトの基板係合用の凹部に収納
された基板を取り出す排出装置と、上記第一の収納無端
ベルトあるいは上記第二の収納無端ベルトを、基板の収
納に応じて、互いに反対方向に移動する駆動装置と、上
記第一の収納無端ベルトあるいは第二の収納無端ベルト
の移動方向の所定の位置に配置され、上記第一の収納無
端ベルトの基板係合用の凹部に収納された基板を第二の
収納無端ベルトの基板係合用の凹部に移送するための第
一の移送手段と、上記第一の移送手段の下側の上記収納
装置付近に配置され、上記第一の収納無端ベルトの基板
係合用の凹部に収納された基板を第二の収納無端ベルト
の基板係合用の凹部に移送するための第二の移送手段を
備えた基板収納装置である。

［作　　　用コ先ず、上記の本発明の目的を達成するための第一の手段
による基板収納装置によれば、第二の収納無端ベルトの
基板係合用の凹部から排出される基板は、第一の収納無
端ベルトと第二の収納無端ベルトとがそれぞれ反対方向
に移動し、また、移送手段によって上記上記第一の収納
無端べ・ルトの基板係合用の凹部に収納された基板を第
二の収納無端ベルトの基板係合用の凹部に移送すること
から、第一の収納無端ベルトの基板係合用の凹部へ収納
されるた順序になる。その為、収納した順に、すなわち
先に収納した基板を先に取り出すことが出来、基板収納
装置内に留まる時間を概ね一定に維持できる。

また、上記第二の手段による基板収納装置によれば、上
記第一の移送手段の下側の上記収納装置付近に配置され
、上記第一の収納無端ベルトの基板係合用の凹部に収納
された基板を第二の収納無端ベルトの基板係合用の凹部
に移送するための第二の移送手段の［有］きにより、装
置内にＩｉｎ送された基板が基板収納装置内に留まる時
間を短縮し、バイパスさせることが可能となる。

［実　施　例］以下、本発明の実施例について、添付の図面を参照しな
がら説明する。

先ず、本発明による基板収納装置では、その外周表面に
一定のピッチで基板係合用凹部を形成した一対の無端ベ
ルトを対向して配置し、その基板係合用凹部の間に基板
を挿入して収納する収納無端ベルトが採用されている。

そして、第１図において、符号１．１及び２．２はこの
様な収納無端ベルトを示しており、図からも明らかなよ
うに、第一の収納無端ベル）１１１と第二の収納無端ベ
ルト２．２とが、基台Ａの上に直列に設けられ、矢印で
示すように、それぞれ反対の方向に移動する様に構成さ
れている。

また、この基台Ａの下（ｆｉＩＩには、上記第一の収納
無端ベルト１、■と上記第二の収納無ｉシ１ベルト２．
２とを駆動するための車面ギア機構３．４と共に電動モ
ータ５．６が設けられている。

さらに、これら車面ギア機構３．４と電動モータ５．６
との間にはピッチ送りのためのスリット板７．８とその
センサー９．１０が配置されている。

一方、上記第一の収納無端ベル）Ｌｌの間には、矢印の
方向に移動し、その基板係合用凹部に挿入した基板１０
０を第二の収納フ１１（端ベルト２．２へ押出して移送
するための移送プッシャーシリンダー機構１１が設けら
れ、その上方には、この移送ブツシャ−シリンダー機構
１１を上下に移動するためのラックアンドピニオンを備
えた電動機Ｉ２が設けられている。そして、このラック
アンドビニオンを備えた電動機１２には、さらにその上
方に、二組のピッチ板とセンサーが設けられている。す
なわち、一方の組のピッチ板１３とセンサー１４は、上
記無端ベルトの外周表面に形成された基板係合用凹部の
ピッチの１／２のピッチで形成したスリットを有するピ
ッチ板１３を備え、他方の組のピッチ板１５とセンサー
１８は、移送位置を示すため、上記無端ベルトの外周表
面に形成された基板係合用凹部のピッチと同一ピッチの
スリットを有するピッチ板１５を備えている。さらに、
上記の二つのセンサー１４と１６に並んで、上記ブツシ
ャ−シリンダー１１の上下の端を検出するためのセンサ
ー１７が配置されている。そして、上記ラックアンドビ
ニオンを備えた電動ｆｉ１２は、後にその動作の詳細を
説明するが、上記第一の収納無端ベルト１、ｌ及び上記
第二の収納無端ベルト２．２の移動に同期して上記基板
係合用凹部のピッチの１／２のピッチで上下に移動する
。

また、上記基台Ａの上には、上記第一の収納無端ベル）
１，１の前方にこれと直列に並んで、いわゆる収納シリ
ンダー機構１８が設けられている。この収納シリンダー
機構！８は、基板収納装置の上流側から送られてきた基
板１００を上記第一の収納無端ベルト１．１の基板係合
用凹部に押し込んで挿入するための機構である。

また、符号１９で示すシリンダー機構は、上記の基板押
し込み用の収納シリンダー機構１８の位置を上下に移動
し、上流から送られてくる基板の通過を避けるためのも
のである。

また、上記第一の収納無端ベルトｌｑｌの前方には、基
板１００の有無を確認する基板検出センサー２０、基板
１００を搬送するための基板搬送コンベア２１及びその
駆動用のモータ２２が、°　さらに、図面では見えない
が、上記第二の収納無端ベルト２．２の後方には、基板
１００を基板収納装置の下流へ送るための、いわゆる排
出シリンダー機構（他の図では、符号２３で示す）が備
えられている。また、図には示されないが、基板収納装
置の下流側の機械や装置が基板１００の受は入れを行っ
ている場合、あるいは、故障や処理能力等の原因により
、基板１００の供給を受入れない場合、これらの下流側
の状態は電気的な信号（例えばオン・オフ信号）として
信号線を介して伝達される。

次に、上記に説明した本発明による基板収納装置の動作
を説明する。

先ず、前工程から基板１００が搬入されると同時に、こ
れを次工程へ排出する場合、すなわち、基板通過時の動
作について、第２図（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示す。

先ず、第２図（ａ）において、基板１００の有無を確認
する基板検出センサー２０の出力はｒオン」状態であり
、また、基板収納装置下流側の機械や装置の受は入れ状
態を示す出力も「オン」状態となっている。この時、上
記第一の収納無端ベルトｌ、ｌと上記第二の収納無端ベ
ルト２．２は矢印で示す方向？こ、すなわち、第一の収
納無端ベルト１．１は上方に、第二の収納無端ベルト２
．２は反対の下方に１ピツチずつ移動する。また、この
時、上記移送ブツシャ−シリンダー機構１１は、上記第
一の収納無端ベルト１、ｌと上記第二の収納無端ベルト
２．２がそれぞれ上昇方向及び下降方向に移動させよう
とすることから、互いに相殺され、その位置は移動され
ず、そのままの位置に止どめられる。

次に、第２図（ｂ）に示すように、先ずシリンダー機構
１９が収容シリンダー機構１８を上方に移動させ、さら
に、移送ブツシャ−シリンダー機構１１、収容シリンダ
ー機構１８及び排出シリンダー機構２３が矢印で示す方
向に移動する。その後、第２図（Ｃ）に示すように、再
び、上記第一の収納無端ベル）１，１（！−上記第二の
収納無端ベルト２．２を矢印で示す方向に１と・ツチず
つ移動する。以上の動作を繰り返すことにより、前工程
から搬入された基板１００は、上記第一の収納無端ベル
ｌ−１１１と上記第二の収納能ｉ１１ベルト２．２を通
過し、次工程へと排出される。すなわち、上記の動作で
は、装置内に収納された基板１００は、先に収納した基
板を先に取り出すことが出来ると共に、特に上記移送ブ
ツシャ−シリンダー機構１１がその最下位置にある場合
は、収納された基板１００は直ちに次工程へと排出され
ることとなり、いわゆるバイパスされることとなる。

上記第２図（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）には、前工程から
搬入された基板１００が上記第一の収納無端ベルト［１
と上記第二の収納無端ベルト２．２の内部に収納されて
いない状態について述べたが、第３図には、既に、前工
程から搬入された基板１００が上記第一の収納無端ベル
トｉ、ｔと上記第二の収納無端ベルト２．２の内部に収
納されており、さらに、前工程から基板１００がＵｐ人
されると同時に、これを次工程へ排出する場合の基板通
過時の動作について示されてい条。すなわち、同図に示
されるように、上記移送プッシャーシリンダー機構１１
が上方に移動し、上記第一の収納無端ベルト１．１と上
記第二の収納無端ベルｌ−２，２の内部に収納されてい
る基板１００の最上に位置する。

その他の動作については、上記第２図　（ａ）、（ｂ）
及び（Ｃ）に示したそれと同様である。

そして、この場合、前工程から搬入された基板１００は
上記第一の収納無端ベルト１．１と上記第二の収納無端
ベルト２．２の内部に収納され、その内部に所定の時間
滞留することとなるが、先に収納された基板１００から
順に排出されることとなり、その収納と排出との順序が
逆にならない。

次に、第４図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）？こは
、基板収納時の動作が示されている。

この基板収納時には、基板収納装置下流側の機械や装置
の受は入れ状態を示す出力は「オフ」状態となっている
。そして、この状態では、上記第二の収納無端ベルト２
．２の動作を停止させる。そこで、第４図（ａ）に示す
ように、基板ｌＯＯの有無を確認する基板検出センサー
２０の出力がｒオン」状態となると、シリンダー機構１
９が収容シリンダー機構１８を上方に移動させ、さらに
、移送ブツシャ−シリンダー機構１１及び収容シリンダ
ー機構１８が矢印で示す方向に移動する。この時、排出
シリンダー機構２３は動作しない。この結果、１行程前
に上記第一の収納無端ベルト１．１に収容されていた基
板１００が第二の収納無端ベルト２．２へ移送され、一
方、上記第一の収納無端ベルト１１１には新たな基板１
００が収納される。

次に、第４図（ｂ）に示すように、上記第一の収納無端
ベルトｌ、１だけが上方に１ピツチだけ移動する。それ
と同時に、移送プッシャーシリンダー機構１１は、上記
第一の収納無端ベルト１、ｌに連動し、１／２ピツチだ
け上方に移動する。その後、第４図（Ｃ）に示すように
、さらに新たな基板１００が到着すると、再びシリンダ
ー機構１９が収容シリンダー機構１８を上方に移動させ
、収容シリンダー機構１８を矢印で示す方向に移動する
。この結果、さらに新たに到着した基板１００は、上記
第一の収納１！１（端ベルト１．１の内部の、その一つ
前に到着した基板の一つ下に収納されることになる。ま
た、この時、上記移送ブツシャ−シリンダー機構１１は
、ｌピッチ毎のスリットを設けたピッチ板１５のスリッ
トから外れた状態となっており、動作をしない。そして
、第４図（ｄ）に示すように、上記第一の収納無端ベル
ト１．１だけを上方に１ピツチだけ移動し、それと同時
に、移送プツシ十−シリンダー機構１１を１／２ピツチ
だけ上方に移動する。その結果、上記移送ブツシャ−シ
リンダー機構１１は１ピツチ上に移動した状態となる。

その後、さらに新たな基板１００が到着すると、再び、
上記第４図（ａ）に示す動作を繰り返す。

次に、第５図（ａＬ　　（ｂ）、（ｃ）及び（ｄ）には
、基板排出時の動作が示されている。

この基板排出時には、基板収納装置下流側の機械や装置
の受は入れ状態を示す出力は「オン」状態となっている
が、基板１００の有無を確認する基板検出センサー２０
の出力は「オフ」状態となる。

この様な基板排出時の動作は、第５図（ａ）に示すよう
に、移送プッシャーシリンダー機構１１と排出シリンダ
ー機構２３が矢印で示す方向に移動する。その結果、最
も先に収納されていた基板１００、すなわち、上記第二
の収納無端ベルト２．２の最下段の基板が排出されると
同時に、上記第一の収納無端ベルト１．１の最上段の基
板１００は上記第二の収納無端ベルト２．２の最上段に
移送される。その後、第５図（ｂ）に示すように、上記
第二の収納無端ベルト２．２だけが下方に１ピツチだけ
移動する。

それと同時に、移送ブツシャ−シリンダー機構１１は、
上記第二の収納無端ベルト２．２に連動し、ｌ／２ピツ
チだけ下方に移動する。その後、第５図（Ｃ）に示すよ
うに、次の基板１００を排出するため、再び排出シリン
ダー機構２３を矢印で示す方向に移動する。この時、上
記移送プッシャーシリンダー機構ＩＩは、既述のように
、ピッチ板１５のスリットから外れた状態となっており
、動作をしない。そして、第５図（ｄ）に示すように、
上記第二の収納無端ベルト２．２だけを再び下方に１ピ
ツチだけ移動し、それと同時に、移送ブツシャ−シリン
ダー機構１１を１／２ピツチだけ下方に移動する。

その結果、上記移送ブツシャ−シリンダー機も１１ｆｆ
１１は１ピツチだけ下に移動した状態となる。

その後、さらに基板１００を排出する場合、再び、上記
第５図　（ａ）に示す動作を繰り返す。

上記の実施例では、上記第一の収納ｆＩＫ端ベルト１、
ｌあるいは上記第二の収納無端ベルト２．２に基板を係
合できる数は有限であり、基板の収納を続けると一杯に
なってしまう。そのため、この様な状態をブツシャ−シ
リンダー１１の高さで検出し、基板収納装置の動作を停
止する必要がある。この検出を行うのが上記プッシャー
シリンダー１１の上下の端を検出するためのセンサー１
７であり、また、上記センサー１７は、上記プツシセー
ジリンダ−１１が最下位１８に来たときに基板排出動作
の終了を検出することができる。

このように、上記の本発明による実施例では、基板収納
装置内に収容される基板の順序と排出される順序が入れ
換ることがなく、収納された順序に排出される。また、
上記の本発明による実施例では、基板の収容と排出、基
板の単なる通過（バイパス）、あるいは基板の排出等の
間の動作の切り換えが容易に自動的に行うことが可能で
あり、この場合、例えば第４図（ｂ）の状態から第５図
（ｂ）の状態に移行するには、基板の排出動作を１回休
み、それぞれが（ｄ）に示す状態になってから移行する
必要があることは上記の説明からも明らかであろう。

また、上記の実施例では、種々の機構−装置の駆動源と
してモータ及びベルト等を用いたものが示されているが
、しかしながら、本発明はこれに限定されるものではな
い。例えば、上記の収納無端ベルトを駆動するモータと
ベルトに代え、例えば空気圧あるいは油圧で動くシリン
ダ等によってラチェット機構を送る方法を使用すること
も可能である。また、上記移送ブツシャ−シリンダー機
構１１の上下を電気的制御で行う代わりに、無端ベルト
から差動機等で連動し、機械的に上下させる方法、さら
にベルトの段だけシリンダーを並べてしまい、順次該当
位置に切り換えて同様の作用をさせることも考えられる
。

次に、第６図には、本発明になる他の実施例が示されて
いる。この実施例においても、基板収納装置の各部は、
上記第１図に示す基板収納装置と同様の符号が付されて
いる。そして、この他の実施例によれば、上記第１図に
示す基板収納装置の１個の移送ブツシャ−シリンダー機
構１１に代え、２個の移送プッシャーシリンダーａ構、
すなわち第一の移送ブツシャ−シリンダー機構２５と第
二の移送ブツシャ−シリンダー機構２６とを備えている
。これら２個の移送ブツシャ−シリンダー機構２５．２
６は、上記第一の収納ｆ１１！端ベルト１．１あるいは
第二の収納無端ベルト２．２の移動方向の所定の位置に
固定配置されている。すなわち、上記第一の移送プッシ
ャーシリンダー機構２５は上記収納無端ベルト１，１あ
るいは２．２の移動方向の比較的高い位置に固定され、
通常の収容機能の時にのみ作動する。そして、この固定
位置は、収容する基板の装置内に留まるべき時間によっ
て決定される。一方、上記第二の移送プッシャーシリン
ダー機構２６は上記第一の移送ブツシャ−シリンダー機
構２５の下側に配置され、より具体的には、基板１００
を装置内に収容するための収容シリンダー機構１８に近
接した位置に配置されている。

この他の実施例になる基板収納装置の動作が、第７図（
ａ）、（ｂ）及び第８図（ａＬ　　（ｂ）に示されてい
る。先ず、第７図（ａ）、　（ｂ）には、通常の収容機
能における動作が示されており、第７図（ａ）において
、基板１００が収容シリンダー機構１８によって上記収
納無端ベルト１．１内に収納されると同時に、上記第一
の移送プッシャーシリンダー機構２６も作動し、既に収
納無端ベルト１．１内に収納された基板１００の内の最
も高い位置の基板を収納無端ベルト２．２へ移動する。

また、これと同時に排出シリンダー機構２３も収納無端
ベルト２．２の最低位置の基板を押出して排出する。次
に、上記収納無端ベルト１．１はｌピッチだけ上昇する
と同時に、収納無端ベルト２．２はｌピッチだけ下降す
る。

次に、いわゆる通過（バイパス）動作時には、上記第一
の移送プッシャーシリンダー機構２５は停止し、代わり
に、第二の移送ブツシャ−シリンダー機構２６が作動す
る。この時、第８図（ａ）、　（ｂ）にも示す様に、第
二の移送プッシャーシリンダー画描２６は収容シリンダ
ー機構１８に近接した位置に配置されているため、収納
無端ベル）Ｌｌ及び２．２の内部に収納される基板１０
０の数は少なく、装置内を短時間で通過させることが可
能となる。

［発明の効果コ以上の説明からも明らかなように、本発明による基板収
納装置によれば、収容される基板の順序と排出される順
序が入れ換ることがなく、収納された順序に排出される
ため、収納された一部の基板だけが装置内に止どまり、
そのために基板が下流側に投入される順序が狂わず、品
質管理上もを利である。さらに、基板の収納、排出、通
過（バイパス）動作もラインの状況に応じて臨機応変の
行なうことが出来、柔軟な対応が可能となる等の優れた
効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による基板収納装置の一実施例の詳細な
構造を示す斜視図、第２図（ａ）、（ｂ）、　（ｃ）及
び第３図は、第１図に示す基板収納装置の基板通過時の
動作を説明するための装置の模式図、第４図（ａ）、（
ｂ）、　（ｃ）及び（ｄ）は、上記基板収納装置の基板
収納時の動作を説明するための装置の模式図、第５図（
ａ）、　（ｂ）、　（ｃ）及び（ｄ）は、上記基板収納
装置の基板排出時の動作を説明するための装置の模式図
、第６図は本発明による基板収納装置の他の実施例を示
す斜視図、第７図（ａ）（ｂ）及び第８図（ａ）、　（
ｂ）は上記他の実施例の動作を説明するための装置の模
式図、そして、第９図（ａ）及び（ｂ）は従来技術によ
る基板収納装置の構造を示す斜視図である。１、　１・・・第一の収納無端ベルト２．２・・・第二
の収納無端ベルト　１００・・・基板　１１・・・ブツ
シャ−シリンダー機構　１８・・・収納シリンダー機構
　２３・・・排出シリンダー機構　２５・・・第一の移
送プッシャーシリンダー機構　２６・・・第二の移送プ
ッシャーシリンダー機構特　許　出　願　人　太陽誘電株式会社代　　　理　　
　人　弁理士北條和由（ａ）第５図（ｂ）とΦ 第図（ｂ）図（ｂ）＋００ｊ第９図（ａ）（ｂ）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）係合用の凹部を設けた一対の無端ベルトを対向し
て形成した第一の収納無端ベルトと、やはり基板係合用
の凹部を設けた一対の無端ベルトを対向して形成した第
二の収納無端ベルトと、供給される基板を第一の収納無
端ベルトの基板係合用の凹部に収納する装置と、上記第
二の収納無端ベルトの基板係合用の凹部に収納された基
板を取り出す排出装置と、上記第一の収納無端ベルトあ
るいは上記第二の収納無端ベルトを、基板の収納に応じ
て、互いに反対方向に移動する駆動装置と、上記第一の
収納無端ベルト及び第二の収納無端ベルトの移動方向に
対応して移動されると共に、上記第一の収納無端ベルト
の基板係合用の凹部に収納された基板を第二の収納無端
ベルトの基板係合用の凹部に移送するための移送手段と
を備えたことを特徴とする基板収納装置。
（２）係合用の凹部を設けた一対の無端ベルトを対向し
て形成した第一の収納無端ベルトと、やはり基板係合用
の凹部を設けた一対の無端ベルトを対向して形成した第
二の収納無端ベルトと、供給される基板を第一の収納無
端ベルトの基板係合用の凹部に収納する収納装置と、上
記第二の収納無端ベルトの基板係合用の凹部に収納され
た基板を取り出す排出装置と、上記第一の収納無端ベル
トあるいは上記第二の収納無端ベルトを、基板の収納に
応じて、互いに反対方向に移動する駆動装置と、上記第
一の収納無端ベルトあるいは第二の収納無端ベルトの移
動方向の所定の位置に配置され、上記第一の収納無端ベ
ルトの基板係合用の凹部に収納された基板を第二の収納
無端ベルトの基板係合用の凹部に移送する、ための第一
の移送手段と、上記第一の移送手段の下側の上記収納装
置付近に配置され、上記第一の収納無端ベルトの基板係
合用の凹部に収納された基板を第二の収納無端ベルトの
基板係合用の凹部に移送するための第二の移送手段を備
えたことを特徴とする基板収納装置。