JPH02275919A - 露光装置の回転多面鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、中心部に回転軸を有する角柱状本体部の外周
側面部に平面状の反射鏡を複数連続して備え偏向走査を
行なうようにした露光装置の回転多面鏡に関する。

［従来の技術］ ティシタル複写機、ファクシミリあるいはレーザープリ
ンターなどの各種ディジタル画像形成装置に用いら九る
露光書き込み装置おいては、記録す八き画像に対応する
情報信号を光情報に変換し、得られた変、１ＩＩＪ光を
露光装置の光偏光Ｅ：）で偏向させながら感光体表面」
二を走査させることによって情報の書き込みを行なうこ
ととするのが一般的である。

このような露光書き込み装置における偏光器の一例とし
て回転多面鏡がある。回転多面鏡は、中心部に回転軸を
有する多角柱状本体部の外周側面部に平面状の反射鏡を
複数連続して備えてなるものであって、上記多角柱状本
体部を回転軸を中心にして一定の速度で回転させること
によって反射鏡を円周上に回転移動させ、この反射鏡の
周状回転移動によって変調光を偏向させ走査を行なうよ
うにしている。

「発明が解決しようとする。！ｌＩ題］ところが近年の
画像形成装置は高密度化および高速度化される傾向にあ
り、それにともなって上記光偏光器としての回転多面鏡
は大型化および高速回転化され、回転に伴う回転多面鏡
の変形が問題となっている。

すなわち第１１図には内接円が２２　ｎｍｎで、６面を
備える回転多面鏡を用いた場合におけるプリン１〜アウ
ト枚数（横軸）とそれに対応する回転多面鏡の回転数（
縦軸）が示されている。回転多面鏡が大型化および高速
回転化されてくると、回転による不均一な変形が著しく
なって反射鏡の平面性が維持されなくなり、光偏向作用
に不具合を生じ最適なビーム径およびビーム強度分布が
得られなくなるという問題が生じる。つまり上記回転多
面鏡の本体部は角柱状に形成されて回転軸回りの慣性モ
ーメン１−が不均一状態になされており、その結果回転
に伴う変形が回転軸回りに不均一な状態で生じることと
なる。特に第１２図破線に示されるように回転多面鏡の
曲部分が外方向に突出するように変形が行なわれること
となる。

そこで本発明は、回転に伴う変形が均一に行なわれて反
射鏡の平面性が維持され、良好な光偏向作用を維持する
ことができるようにした露光装置の回転多面鏡を提供す
ることを目的とするとともに、変形を均一化させたとき
に回転騒音を小さく抑えることができるようにした露光
装置の回転釜面鏡を提供することをもＬＩ的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するため請求項の１に記載されている発
明にかかる手段は、回転軸に固定される多角柱状本体部
の外周側面部に平面状の反射鏡を複数連続して装着して
なり、上記反射鏡の周状回転移動によって変調光を偏向
させ走査を行なうようにした露光装置の回転多面鏡にお
いて、上記多角柱状本体部は、該多角柱状本体部の半径
方向外方部分であって多角形凸部の近傍領域が位置規制
されるようにして回転軸がわに固定される構成を有して
いる。

また請求項の２に記載されている発明にかかる手段は、
回転軸に固定される多角柱状本体部の外周側面部に平面
状の反射鏡を複数連続して装着してなり、上記反射鏡の
周状回転移動によって変調光を偏向させ走査を行なうよ
うにした露光装置の回転多面鏡において、上記多角柱状
本体部は、回転軸を中心にしてほぼ均一な慣性モーメン
１−を備えるように、該多角柱状本体部の回転中心と多
角形凸部とを粘ふ線上に孔部か形成される（）も成を有
している。

さらに請求項の３に記載されている発明にかかる手段は
、回転軸に固定される多角柱状本体部の外周側面部に平
面状の反射鏡を複数連続して装着してなり、上記反射鏡
の周状回転移動によって変調光を偏向させ走査を行なう
ようにした露光装置の回転多面鏡において、上記多角柱
状本体部は、回転軸を中心にしてほぼ均一な慣性モーメ
ン１〜を備えるように、該多角柱状本体部の回転中心と
多角形の凸部とを結ふ線上に孔部が形成されてなり、上
記孔部は、前記多角柱状本体部を形成する材料よりも密
度の小さい材料で充填される構成を有している。

さらにまた請求項の４に記載されている発明にかかる手
段は、回転軸に固定される多角柱状本体部の外周側面部
に平面状の反射鏡を複数連続して装着してなり、上記反
射鏡の周状回転移動によって変調光を偏向させ走査を行
なうようにした露光装置の回転多面鏡において、上記多
角柱状本体部は、回転ｌｌ１１１を中心にしてほぼ均一
な慣性モーメン１〜を備えるように、該多角柱状本体部
の回転中心と多角形の凸部とを結ふ線」二に孔部が形成
され−Ｃなり、上記多角柱状本体部の両底面部の少なく
とも一方には、シート状の樹脂が被着される構成を有し
ている。

［作　　用］ 請求項の１に記載されている構成を有する手段において
は、不均一な慣性モーメン１−すなわち不均一な変形の
発生原因となる多角形凸部が位置規制されることとなり
、その不均一部分の変形が抑えられるようになっている
。その結果本体部の外周面部に設けられている反射鏡の
平面性が維持される範囲内で歪か均一に発生される作用
か奏せらＡしるようになっている。

また請求項の２に記載されている構成を有する手段にお
いては、不均一な慣性モーメントすなわち不均一な変形
の発生原因となる多角形凸部に対応して、回転中心と多
角形凸部とを結ぶ線」二に孔部か形成されているため、
走査回転に伴う本体部の変形が回転軸を中心にしてほぼ
均一に生しることとなり、その結果本体部の外周部に設
けられている反射鏡の平面性が維持される範囲内で歪が
均一に発生される作用が奏せられるようになっている。

また請求項の３に記載されている構成を有する手段にお
いては、上記請求項の２に記載されている手段と同様に
回転中心と多角形凸部とを結ぶ線上に孔部が形成される
ことによって本体部の外周部に設けられている反射鏡の
平面性が維持される範囲内で歪が均一に発生される作用
に加えて、上記孔部が密度の小さい材料で充填されてい
るため、これにより外表面部の気流の流れが円滑化され
風切り音の発生が抑えられる作用が奏せられるようにな
っている。

さらにまた請求項の４に記載されている構成を有する手
段においては、上記請求項の２に記載されている手段と
同様に回転中心と多角形凸部とを結ぶ線上に孔部が形成
されることによって本体部の外周部に設けられている反
射鏡の平面性が維持される範囲内で歪が均一に発生され
る作用に加えて、」−記多角柱状本体部の両底面部の少
なくとも一方にシート状の樹脂が被着されているため、
これにより外表面部の気流の流れが円滑化され風切り音
の発生か抑えられる作用か奏せられるようになっている
。

［実　施　例コ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

実施例の説明に先立ってまず回に時の慣性力による変形
に関して述へる。回転多面鏡を高速で回転させて使用す
る場合にはまず遠心破壊に注意して安全性を確保する必
要がある。遠心破壊に関しては、円周応力が回転体の直
径方向の断面に対して一様に作用し材料の引っ張り強さ
σＢに等しくなると破壊が生しるとする平均応力説と、
最大応力が発生しているところから亀裂を生して破壊が
行なわれるとする最大広力説とがある。

平均応力説はアルミニウム（Ａ］）や銅（Ｃｕ）などの
延性材料に対して適用される。回転多面鏡を、中心部に
半径ｒ１の穴があけられた外周半径ｒ２の円板とみなす
場合、平均応力σｍｅａｎが材料の引っ張り強さσＢに
等しくなるときにつぎの式が成立する。

上記式■および■を用いて計算した各種材料の破壊回転
数をつぎに示す。

＝ＣＨ（ｋｇ／ｃｎ？）・・・・■ この０式より破壊回転角速度ω（ｒａｄ／５ｅｅ）を計
算することができる。ここでΩは材料の密度（ｋｇ／ｄ
）、ｇは重力加速度（ＣＩＩｌ／５ｅｃ２）、ｒｌおよ
びｒ２は円板の内径および外径（ｃｌＩｌ）である。

一方最大応力説はガラスや石英などのもろい材料に対し
て適用される。この場合には最大円周応力σＩｌｌ　ａ
　ＸがσＢに達したときすなわち、＝ＣＨ（ｋｇ／　ｃ
ＩＫ）・・・・■ なる条件式に基づいて破壊回転速度ωを求めることがで
きる。ここでｍはポアソン比を表わしている。

ただしｒ１＝ｒ・２＝３（ａ＋υとして割算が行なわれ
ている。

つぎにｒ□＝１．５（ｃｎ＋）、ｒ２＝３（ｃｍ）のＡ
ｌ製回転多面鏡が１１００００ｒｐで回転された場合の
概略的変形量を求める。但しこの場合には回転多面鏡は
多面ではなく円形として割算する。まず１１００００ｒ
ｐを回転角速度ωに変換するとω＃１０４７となる。上
述した式■に対してΩ＝　２．６９　Ｘ　１０”　（ｋ
ｇ／ａｉｆ）、（，１＝１０４７（ｒａｄ／５ｅｅ）、
ｇ　＝９８０（ｃｍ／５ｅｅ２）、ｒ　、＝　１．５（
ｃｎ＋）、ｒ２＝３（ｏｎ）を代入すると、 １５．８（ｋｇ／ｃｎτ） となる。したがってこのときの歪Ｊｉｌｔは、（Ｅはヤ
ング率）となり、回転中心から３印の位置にある回転多
面鏡の変形量Δγは、 Δγ＝３Ｘ２．Ｉ　ＸＩＯ’ ＝６．３Ｘ１０’（ａ＋＋） ０．６３（μｎｌ） となる。このように変形量は回転数に比例し、回転数が
２００００（ｒｐｍ）のときには変形量は１μｍ以上と
なる。

以上の計算式は回転多面鏡を円形と仮定したものであり
、実際の回転多面鏡においてはさらに複雑な変形が生し
ている。現在高速回転時の回転多面鏡の挙動を精度よく
測定した例はないが、第１３図に示されるようなレーザ
ー光源１とその出射光を受けるディテクター２とを対面
構成してなる計測装置によって概略が把握されている。

すなわちレーザー光源１から発せられた光は、その−部
が回転多面鏡３の面と面との境界凸部を通過するように
当てられており、ディテクター２に受けられる光量の変
化を計測することによって回転多面鏡３の変形を把握す
るようにしている。このような計測によるとｒ２＝：３
（ａｎ）、６面を有する回転多面鏡が約１００００　（
ｒｐｍ）で回転された場合において、回転多面鏡の一つ
の反射面とそれに連続する他の反射面との多角形凸部は
遠心方向に数μｎ１変形していると考えられる。また有
限要素法によるシュミレーション結果から回転中の回転
多面鏡は第１２図に示されるような回転軸回りに不均一
な変形が生じるという結論が得られている。このような
不均一な変形に基づいて上述したような不具合が生じる
ものである。

回転多面鏡が第１２図に示されるような不均一変形を生
じるのは回転多面鏡の外周における慣性モーメントが回
転軸回りに均一化されていないためである。すなわち第
１−４図に丞されるように回転多面鏡を微小分割した場
合、回転多面鏡の内接円より外側にある微小体積に加わ
る慣性モーメン１〜は内接円の円周方向に均一ではなく
、回転多面鏡の反射面と反射面どの境界凸部付近には高
速回転中に大きな慣性モーメントが負荷されて外側への
引っ張り力を受ける。したがって回転多面鏡は高速回転
中に第１２図に示されるような変形を生しることとなる
ものと考えられる。

本発明の一実施例にかかる回転多面鏡は、第２図（ａ）
、（ｂ）に示されるように、六角柱状の本体部１］を有
しているとともに、該六角柱状本体部１−１の底面部に
は六角形に内接する円直径を備える取付用円筒部１１．
　ａが一体形成されている。

そして」−配本体部１１の中心部分に貫通形成されてい
る穴部１］ｌ〕が、第１図に示されるよ°うに、１康動
モーター】２の出力軸１２ａに嵌挿されるようになって
いる。

一方上記１康動モーター１２の出力軸１２ａには円板状
の支持体１３か種々のねし結合手段によす固定されてい
る。」−記支持体１３の外周部分には、所定高さのフラ
ンジ部１３ａが同心周状に形成されているとともに、こ
のフランジ部１３ａの内周壁部に凹状の段部が形成され
ている。そして上記フランジ部１３ａの凹状段部に対し
て本体部１１の取付用円筒部１１ａの外周縁部分が載置
・係合されており、その係合部分において本体部１１が
位置規制されるように保持されている。さらに上記本体
部１１の」二面部には、円板状の押え部材１４が上記１
犯動モーター］２の出力軸１２ａに嵌挿されるようにし
て装着されている。押え部材１４の上面部には、バネ座
を介して抜は止め用のＣリンク１５が装着されている。

そして上記押え部月１−４の押圧力によって該押え部材
１４と支持体１３との間に本体部］−１が挾み込まれる
ようにして保持されるようになっている。

このような実施例にかかる装置においては、六角柱状本
体部１１に設けられている取付用円筒部１１　ａの外周
部分が支持体１３の外周フランジ部１３ａにおいて位置
規制されるようにして支持される。すなわち不均一な慣
性モーメントを生しさせ不均一な変形の発生原因となる
六角形凸部が位置規制されて、その不均一部分の変形が
抑えられることとなる。その結果本体部］１が所定の高
速度で回転販動される際に、該本体部１１の外周面部に
設けられている反射鏡の平面性が維持される範囲内で歪
がほぼ均一に発生されるようになっている。

なお上記押え部材］４を邸動モーター１２の出力軸１２
ａに対して螺着させ、押え部材１４を締め込むことによ
って六角柱状本体部１」。を支持体１３かわに保持させ
ることとしても良い。

第３図に示されている実施例では、六角柱状本体部２］
の上面部および底面部の両面部に、六角形に内接する円
直径を備える取付用円筒部２１ａ。

２１ａが設けられており、上記面取付用円筒部２１ａ、
２１ａのそれぞれが、支持体２３．２３の外周部分に形
成されているフランジ部２３ａ。

２３ａに係合されるように支持されている。このような
実施例によれは、六角柱状本体部２］−の六角形凸部が
より−Ｍ確実に位置規制されることとなり、不均一な変
形は良好に抑えられるようになっている。

また第４図（ａ）、（ｂ）に示される六角柱状本体部３
１ては、該六角柱状本体部３１の底面部に、六角形に外
接する円直径を備える取付用円筒部３１ａが一体形成さ
れているとともに、第５図（ａ）、（ｂ）に示される六
角柱状本体部４１ては、該六角柱状本体部４１の上面部
および底面部の両面部に、六角形に外接する円直径を備
える取付用円筒部４１ａ、４．１ａが設けられている。

このように取付用円筒部３１ａ、４．１ａの外径を大き
く形成することとすれば、六角柱状本体部３１゜４］の
六角形凸部のより外方部分が位置規制されることとなり
、不均一な変形は一層良好に抑えられる。さらに第６図
（ａ）、（ｂ）に示されるように、六角柱状本体部５１
の底面部に設けられている取付用円筒部５１ａが、六角
形の内接円直径と外接円直径との中間直径を備える構成
になされることも可能である。

ここで慣性モーメンＩ−Ｉは回転運動に対する慣性の大
きさを表わし、回転多面鏡の形と質量によって決まるも
のである。特に密度が一定化されている場合には回転物
体の形だけで決まる量に回転物体の全質量Ｍを乗したも
のとなる。第１５図に示される回転多面鏡の内接円の外
側に配置される凸部における慣性モーメントを求めてみ
る。

回転多面鏡の内接円の半径をｒｏ、外接円の半径をｒ２
とし、ｒ、■、］。、ｄｒをそれぞれ第１３図に示され
るように定義する。まず第１５図より、ｒ２−　ｒ　　
：　　ｌ　＝　ｒ２−　ｒ□：　　］。

よって、 １−−−＝−１ｏ・・・・・・・・・・■となる。また
図中の斜線部の微小面積ｄｍはｌｄｒであるのでこれを
上式に代入すると、 ｄｍ＝”ｌ。ｄｒ・・・・・・・・・■が得られる。し
たがってもとめる慣性モーメント■は、 Ｉ　−ｆ　”　ｒ”ｄ＋ｎ−’−＝　ｆ　’　ｒ”　−
”−””　ｌ　ｏ　−’−ｄｒｒ＋　　　　　　　ｇ　
　　　　ｒ＋　　　　　ｒ２　　　”１　　　　ｇとな
り、 これを整理すると、 が得られる。一方１゜およびｒ２と、回転多面鏡の面数
Ｎおよび内接円半径ｒ工との関係は、」。＝且ｒ、・・
・・・・・・・・■ ｒｌ　　・・・・・・・・・■ となる。これら■式および■式を０式に代入して整理す
ると、求める慣性モーメンＩ−Ｉは、となる。

第７図には本発明の一実施例における回転多面鏡の六角
柱状本体部７１が表わされている。六角柱状本体部７１
には、回転中心軸○の回りにほぼ均一な慣性モーメント
を備えるように６個の貫通孔７１ａが形成されている。

上記各貫通孔７１ａは、多角柱状本体部７１の回転中心
軸Ｏと多角形の各凸部７１ｂとを結ぶ線上に配置されて
いる。

この実施例における慣性モーメン１〜を考察してみる。

第８図に示されるように、多角柱状本体部７１の回転中
心軸○から多角形の各凸部７１ｂに向かって距離Ｘの位
置に直径２ｙの貫通孔が設けられているとすると、まず
斜線部微小面積ｄｓは、ｄｓ＝ＡＢ・ｄｘ・・・・・・
・・・・■となる。一方貫通孔の円の方程式は、 （Ｘ−ｘ）２＋Ｙ２＝ｙ　　・・・・・■すなわち ＡＢ＝２吾１１α０罰７・・・・・・■である。

したがって貫通孔に相当する部分の回転軸０回りの慣性
モーメンＩへＩは、 Ｉ　”　ｆ”−”Ｘ”ｄｓ−”−・・＠）上式■よす ■ ／　”ｘ”ＡＢ−ｄｘ−’− −ｙｇ ／　”ｘ”２　ｙ　−Ｘ−ｘ　璽・ｄｘ−’−ｘ−ｙ　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　ｇρ　　　　］− ７［−７（（ｘ十ｙ）　７−（ｘ ３（（ｘ　＋　ｙ）　６（ｘ ２−Ｘ２ ５　（（Ｘ＋ｙ）′ したがって弐〇および■より ｙ）７）＋ ｙ）’）＋ （ｘ−ｙ）’）コ −Ｌ「−１ （（ｘ＋ｙ）　７ （Ｘ ｙ）７）＋ ｙ”　−ｘ” ５（（ｘ＋ｙ）　’　−（ｘ−ｙ）　’）　］が成立す
るようなＸおよびｙを採用すれば、回転軸０回りの慣性
モーメン１〜■が均一化された回転多面鏡か得られるこ
ととなる。

このような実施例においては、不均一な慣性モメン１〜
すなわち不均一な変形の発生原因となる多角形凸部７１
ｂに対応して、回転中心軸○と多角形凸部７１ｂとを結
ぶ線上に貫通孔７１ａが形成されているため、回転に伴
う本体部７」の変形か回転軸を中心にほぼ均一に生しる
こととなり、その結果本体部７］の外周部に設けられて
いる反射鏡の平面性か維持される範囲内で歪が均一に発
生されるようになっている。

また第９図に示される実施例における六角柱状本体部８
１には、回転中心軸○の回りにほぼ均一な慣性モーメン
１〜を備えるように６個の貫通孔８１ａが形成されてい
る。上記各貫通孔８１ａは、多角柱状本体部８１の回転
中心○と多角形の各凸部８１１）とを結ぶ線」二にそれ
ぞれ配置されている。

さらに上記各貫通孔８１ａ内には、多角柱状本体部８１
を形成する材料よりも密度の小さい材料８１ｃが充填さ
れている。この充填材料８１ｃとしては、加工」−の観
点から各種４ｉｔＪ脂材やゴム制料か適するものである
が、スポンジなどの他の材料をも広く採用することがで
きる。

このような実施例においては、上記実施例と同様に不均
一な慣性モーメン１〜すなわち不均一な変形の発生原因
どなる多角形凸部８１ｂに対応して、回転中心軸○と多
角形凸部８１ｂとを結ぶ線」−に貫通孔８１ａが形成さ
れているため、回転に伴う本体部８」の変形が回転軸○
を中心にほぼ均一に生しることとなり、その結果本体部
８１の外周部に設けられている反射鏡の平面性が維持さ
れる範囲内で歪が均一に発生されるようになっている。

さらに本実施例では、上記貫通孔８１ａか密度の小さい
材料８１ｃで充填されているため、これにより回転に伴
う外表面部の気流の流れが円滑化されることとなり、風
切り音の発生が抑えられるようになっている。なお従来
風切り音の発生を抑えるために、回転多面鏡の全体を箱
で覆うことが提案されているが実際上の効果は小さいこ
とが確認されている。

また第１０図に示される実施例においては」二連した各
実施例と同様に、六角柱状本体部９］−に対して、回転
中心軸○の回りにほぼ均一な慣性モーメン１−を備える
ように６個の貫通孔９１ａが形成されている。上記各貫
通孔９１−ａは、多角柱状本体部９１の回転中心○と多
角形の各凸部９１ｂとを結ぶ線上にそれぞれ配置されて
いる。さらに上記多角柱状本体部９］の両底面部には、
シート状の樹脂９１ｃが被着されており、これによって
多角柱状本体部９１の両底面部が平滑になされている。

このような実施例においては、」一連した各実施例と同
様に不均一な慣性モーメンＩ・すなわち不均一な変形の
発生原因となる多角形凸部９　］、　ｂに対応して、回
転中心軸○と多角形凸部９１ｂとを結ぶ線上に貫通孔９
１ａが形成されているため、回転に伴う本体部９１の変
形か回転軸○を中心にほぼ均一に生しることとなり、そ
の結果本体部９１の外周部に設けられている反射鏡の平
面性が維持される範囲内で歪が均一に発生されるように
なつている。さらに本実施例では、上記多角柱状本体部
９」の両底面部がシート状の樹脂９１ｃによりか被着さ
れて角柱状本体部９１の両底面部か平滑になされている
ため、こ、ｆｔにより回転に伴う外表面部の気流の流れ
が円滑化されることとなり、風切り音の発生が抑えられ
るようになっている。上記シート状の樹脂９　］、　ｃ
は、角柱状本体部９］の両底面部のいずれか一方に被着
させることも可能である。

「発明の効果コ 以」二連へたように請求項の」上記載されている発明に
おける回転多面鏡は、不均一な慣性モーメン１〜すなわ
ち不均一な変形の発生原因となる多角形凸部が位置規制
され変形が抑えられるように、多角柱状本体部は、該多
角柱状本体部の半径方向外方部分てあって多角形凸部の
近傍領域が位置規制されるようにして回転軸がわに固定
される構成を採用してなるから、本体部の側部に設けら
れている反射鏡の平面性を高速回転時においても良好に
維持させることができ、光偏向作用に不具合が発生する
ことを防止して最適なビーム径およびビーム強度分布を
安定的に得ることができる。

また請求項の２に記載されている発明における回転多面
鏡の本体部は、回転に伴う変形が均一に行なわれるよう
に回転軸回りの慣性モーメントを均一化する貫通孔を備
える構成が採用されているから、多角柱本体部の側部に
設けられている反射鏡の平面性を高速回転時においても
良好に維持させることができ、光偏向作用に不具合が発
生することを防止して最適なビーム径およびビーム強度
分布を安定的に得ることができる。

さらに請求項の３に記載されている発明における回転多
面鏡の本体部は、上記請求項の２に記載されている手段
の構成に加えて、外表面部の気流の流れが円滑化される
ように多角柱状本体部に形成される孔部を密度の小さい
材料で充填させる構成になされているから、変形を均一
化させたときにおいても回転に伴う風切り音の発生を抑
えて回転騒音を小さく抑えることができる。

さらにまた請求項の４に記載されている発明における回
転多面鏡の本体部は、上記請求項の２に記載されている
手段の構成に加えて、外表面部の気流の流れが円滑化さ
れれるように多角柱状本体部の両底面部の少なくとも一
方にシート状の樹脂を被着させる構成になされているか
ら、変形を均一化させたときにおいても回転に伴う風切
り音の発生を抑えて回転騒音を小さく抑えることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における回転多面鏡の側面説
明図、第２図（ａ）および（ｂ）は第１図に表わされた
実施例における多角柱本体部の平面説明図および側面説
明図、第３図は本発明の他の実施例における回転多面鏡
の側面説明図、第４図（ａ）および（ｂ）は多角柱本体
部の他の実施例を表わした平面説明図および側面説明図
、第５図（ａ）、（ｂ）は多角柱本体部のさらに他の実
施例を表わした平面説明図および側面説明図、第６図（
ａ）、（ｂ）は多角柱本体部のさらに他の実施例を表わ
した平面説明図および側面説明図、第７図は本発明の他
の実施例における回転多面鏡の平面説明図、第８図は第
７図に示されている回転多面鏡の一部を拡大して表わし
た平面説明図、第９図および第１０図は本発明のさらに
他の実施例を表わした平面説明図および側面説明図、第
１１図は回転多面鏡を用いた場合におけるプリントアラ
１−枚数とそれに対応する回転多面鏡の回転数を示した
線図、第１２図は回転多面鏡の回転軸回りにおける不均
一な変形を示した平面説明図、第１３図はレーザー光源
とディテクターとを対面構成してなる計測装置を表わし
た構成説明図、第１４図は回転多面鏡を微小分割した場
合における回転多面鏡の平面説明図、第１５図は回転多
面鏡の内接円の外側に配置される多角形凸部を表わした
平面拡大説明図である。 １１．２１，３１，４１，５１，６１，７１゜８１．９
１・・・回転多面鏡の角柱状本体部、１１ａ、２１ａ、
３１ａ、４１ａ、５１ａ、６１ａ・・・取付用円筒部、
１３・・・支持体、７１ａ、８１ａ。 ９１ａ・・・孔部、８１ｃ・・・充填材料、９１ｃ・・
・シート状樹脂。 （ほか１名） 囚 ＼ ■ ＼ 〉 区 口 四 静 ト返 ゝＮ１ 〈酬 家 〈ト

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、回転軸に固定される多角柱状本体部の外周側面部に
   平面状の反射鏡を複数連続して装着してなり、上記反射
   鏡の周状回転移動によって変調光を偏向させ走査を行な
   うようにした露光装置の回転多面鏡において、 上記多角柱状本体部は、該多角柱状本体部の半径方向外
   方部分であって多角形の凸部近傍領域が位置規制される
   ようにして回転軸がわに固定されていることを特徴とす
   る露光装置の回転多面鏡。 ２、回転軸に固定される多角柱状本体部の外周側面部に
   平面状の反射鏡を複数連続して装着してなり、上記反射
   鏡の周状回転移動によって変調光を偏向させ走査を行な
   うようにした露光装置の回転多面鏡において、 上記多角柱状本体部は、回転軸を中心にしてほぼ均一な
   慣性モーメントを備えるように、該多角柱状本体部の回
   転中心と多角形の凸部とを結ぶ線上に孔部が形成されて
   いることを特徴とする露光装置の回転多面鏡。 ３、回転軸に固定される多角柱状本体部の外周側面部に
   平面状の反射鏡を複数連続して装着してなり、上記反射
   鏡の周状回転移動によって変調光を偏向させ走査を行な
   うようにした露光装置の回転多面鏡において、 上記多角柱状本体部は、回転軸を中心にしてほぼ均一な
   慣性モーメントを備えるように、該多角柱状本体部の回
   転中心と多角形の凸部とを結ぶ線上に孔部が形成されて
   なり、 上記孔部は、前記多角柱状本体部を形成する材料よりも
   密度の小さい材料で充填されていることを特徴とする露
   光装置の回転多面鏡。 ４、回転軸に固定される多角柱状本体部の外周側面部に
   平面状の反射鏡を複数連続して装着してなり、上記反射
   鏡の周状回転移動によって変調光を偏向させ走査を行な
   うようにした露光装置の回転多面鏡において、 上記多角柱状本体部は、回転軸を中心にしてほぼ均一な
   慣性モーメントを備えるように、該多角柱状本体部の回
   転中心と多角形の凸部とを結ぶ線上に孔部が形成されて
   なり、 上記多角柱状本体部の両底面部の少なくとも一方に、シ
   ート状の樹脂が被着されていることを特徴とする露光装
   置の回転多面鏡。