JPH02275366A - プローブボード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体基板上に形成された各種デバイスの電
気的特性測定におけるパッドと計測器を接続するための
プローブボードに関するものである。

〔従来の技術〕

第２図（ａ）、　（ｂ）に従来のものの上面図と側面図
を示す。図において、１はプローブボード、２はプロー
ブニードル、３はウェハ上に形成された端子（バンド）
、４はウェハ、５はウェハを固定するチャックトップ、
６は光素子からの光の受光及び光素子への発光部、７は
光信号、１ｏは光素子を示す。

第２図５）に示す用に、チャックトップ５上にウェハ４
をセットし、ウェハ上に形成されたパッド３とプローブ
ニードル２が接触する位置までウェハ４を移動した後、
ハツト３とプローブニードル２を接触させる。この後、
ウェハ上に形成された光素子１０と光信号７を送受する
ための位置に発・受光部６を矢印（Ｂ）に示す方向へ移
動して最適位置を調整する。これによって電気信号はプ
ローブニードル２を介して、また光信号は発・受光部６
を介してそれぞれ計測器に接続して光素子の特性を測定
する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来、発・受光部は、プローブボードの上方、例えばウ
エハプローバのテストヘッド等に取り付けられているた
め、プローブニードルとパッドの位置合わせに必要な上
方からの顕微鏡による目視ができないため、位置合わせ
時には、取り除く必要があり、取扱いが面倒であった。

またプローブニードルとパッドの位置合わせ後、光素子
と発・受光部の位１合わせも光素子が小さいうえにウェ
ハと発・受光部の距離が離れており、精度よく合わせる
ことが困難であった。

本発明は上記問題点を解消するためになされたもので、
発・受光部をプローブボード上方から取り除き、光信号
をプローブポートを介して発・受光部へ導入することの
できるプローブボードを得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明にかかるプローブボードは、光ファイバーを備え
たプローブニードルをプローブボードに取り付けて、光
信号の送受を行なうようにしたものである。

〔作用〕

本発明においては、上記構成のプローブボードの光フア
イバニードルによって、光素子と発・受光部間で光信号
の送受を行い、光素子の特性を測定する。

〔実施例〕

第１図（ａ）、　（ｂ）、　（Ｃ）はそれぞれ本発明の
一実施例にかかるプローブボードの上面図、側面図及び
（ｂ）の側面図の（Ａ）の部分の拡大図を示す。

図において、１はプローブボード、２はプローブニード
ル、３はパッド、４はウェハ、５はチャックトップ、８
は光ファイバー、９は光フアイバニードル、１０は光素
子である。

第１図（ｂ）に示す様に、チャンクトップ５上にウァイ
パー二一ドル９が接触する位置までウェハ４を移動した
後、それぞれを接触させる。光フアイバーニードル９の
光ファイバー８はプローブボード１を介して外部に設け
た発・受光部に接続し、発・受光部は、光素子特性を測
定する計測器へ接続する。光素子１０の発光特性は光素
子１０にプローブニードル２を介して電気的なバイアス
及び信号を印加し、その時発生した光を光フアイバーニ
ードル９で発・受光部へ導入し、さらに計測器へ信号を
送り測定する。また受光特性は、発・受光部からの光を
光フアイバーニードル９を介して光素子１０に導き、そ
の時の電気信号の変化をプ０−プニードルよを介して計
測器に導入して測定する。

従って本実施例では、発・受光部をプローブボード近辺
に配置する必要がなくなり、ウェハとプローブニードル
の位置合わせ時の取り扱いを容易にできる。さらに高い
精度が必要とされる光素子と発・受光部との位置合わせ
が不要となるため、光素子特性測定の省力化が図れると
同時に、精度の高い測定を行うことができる。

なお、上記実施例では、半導体ウェハ基板の例を述べた
が、絶縁基板上に形成された素子、例えばＳＯ３，Ｓｏ
ｌ、ＴＦＴ等の光特性測定を行うものであってもよい。

また、光フアイバーニードルは光信号のみならず、外被
層を導電物で形成することにより電気信号も同時に導通
させるようにしてもよい。

また、上記実施例では光フアイバーニードルを光素子に
接触させた例を述べたが、光信号の送受が精度良く行え
る範囲であればこれは接触させなくてもよい。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、光素子に直接光を導（
ための光フアイバーニードルをプローブボードに取り付
けて、光信号の送受を行なうようにしたので、発・受光
部をプローブボード近辺に配置する必要がなくなり、ウ
ェハとプローブニードルの位置合わせ時の取り扱いを容
易にできる。

さらに高い精度が必要とされる光素子と発・受光部との
位置合わせが不要となるため、光素子特性測定の省力化
が図れると同時に、精度の高い測定ができる効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるプローブボードを示す
図、第２図は従来のプローブボードを示す図である。 １・・・プローブボード、２・・・プローブニードル、
３・・・パッド、４・・・ウェハ、５・・・チャックト
ンプ、６・・・発・受光部、７・・・光信号、８・・・
光ファイバー９・・・光フアイバーニードル、１０・・
・光素子。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体基板上に形成された各種デバイスの端子（
   パッド）に針状のプローブニードルを接触させ、デバイ
   スの電気的特性を測定するプローブボードにおいて、 光素子の光特性測定のための光ファイバーを具備したこ
   とを特徴とするプローブボード。